JPH04145373A - 風力計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 風力計に係り、特にクリーンルーム内の風力針に関し。

風力及び風の方向を観測者の個人差がなく正確に検知す
る風力計の提供を目的とし。

固定された支点から鉛直に垂れ下がる糸と、酸系を中心
とし水平面に配置される複数の円環とを有し、該複数の
円環は各々該支点からの距離が異なり、該複数の円環と
該支点を結ぶ直線が鉛直線となす角度は該支点から遠い
円環ほど人きく、酸系が横から風を受けて傾き２円環と
接する時、該支点により近い円環から順次より遠い円環
に接触し、該複数の円環のどの円環まで接触Ｌ２ている
かを検知することにより、風力が求まる風力計により構
成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は風力計に係り、特Ｃごクリーンルーム内の風力
針に関する。

半導体装置の製造工程において、クリーンルーム内のク
リーン度を保つため、クリーンルーム内の風力及びその
方向を調査し、それらのデータを正確に把握してお（こ
とが要求される。というのは、クリーン度が低下した時
、クリーンルーム内の風力及びその方向が、クリーン度
低下の原因となるほこりやごみの搬入経路を知るための
有力な手掛かりとなるからである。

このため、それに適する風力計を開発する必要がある。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルーム内の風力及びその方向を知るため
に２固定された支点から下方に糸を垂らし、その糸に横
から風があたる時、糸が傾斜するのを目視により観測し
、傾斜の角度と傾（方向から風力とその方向を求めてい
た。

第４図は風力と糸の傾斜の関係を示す図である。

支点１から糸２を垂らすと無風の時は糸２は鉛直に垂れ
下がる。横から風を受けると、糸２は鉛直線とθの角度
をなして傾斜する。角度θは風力により糸２にかかる回
転モーメントと重力により糸２にかかる回転モーメント
の釣合いから定まり２風力が大きい時ほど角度θは大き
くなる。そこで。

予め風力と角度θの関係を求めておき、目視により観測
された角度θの値から風力を知ることができる。また、
風の方向は糸２が鉛直線とどの方向にθの角度をなすか
を調べることにより知ることができる。

しかし、この方法により求まる風力の値及び風の方向は
、観測者の個人差があり、観測者の疲労もあって信頼性
が低く、また１人手を要するので長期にわたる調査に対
しては不便であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上述の間Ｐに鑑み、風力及びその方向を客観
的に求め、しかも長期にわたる記録も可能な、信頼性の
高い風力計を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題は、固定された支点１から鉛直に垂れ下がる糸
２と、酸系２を中心とし水平面に配置される複数の円環
３８〜３ｆとを有し、該複数の円環３ａ〜３ｆは各々該
支点１からの距離が異なり、該複数の円環３３〜３ｆと
該支点１を結ぶ直線が鉛直線となす角度は該支点ｌから
違い円環ほど大きく、酸系２が横から風を受けて傾き９
円環と接する時、該支点１により近い円環から順次より
遠い円環に接触し、該複数の円環３ａ〜３ｆのどの円環
まで接触しているかを検知することにより、風力が求ま
る風力針によって解決される。

〔作用〕

風がある時、糸２が鉛直線となす傾斜は、風力が大きい
ほど大きくなるから１本発明のように複数の円環を配置
すれば、糸２は風力が大きくなるにつれて、順次上の円
環から下の円環へと接触して行き、風力と釣り合う位置
より下の円環では接触しなくなる。それゆえ、その限界
にある円環の位置から風力を知ることができる。

〔実施例〕

第１図は実施例Ｉを示す模式図で、ｌは支点。

２は糸、　３ａ〜３ｆは円環を表す。

糸２は無風の時、支点ｌから鉛直に垂れ下がっている。

鉛直に垂れ下がった糸２を中心とし、水平面に複数の円
環３ａ〜３ｆを配置する。ｖ１数の円環３ａ〜３ｆは各
々高度が異なり、複数の円環３ａ〜３ｆと支点１を結ぶ
直線が鉛直線となす角度は高度の低い円環ほど大きくな
っている。

糸２に横から風があたると、糸２は傾き円環と接触する
が、高度の高い円環から順次高度の低い円環に接触して
行き、風力に応じて、ある傾斜の所でそれより高度の低
い円環には接触しなくなる。

例えば、第１図では円環３ａ〜３ｄに接触し１円環３ｅ
。

３ｆには接触しない状態を示している。

各円環と支点１を結ぶ直線が鉛直線となす角度θと風力
の関係は予め調べておく。

目視観測により、接触限界の円環３ｄを検知して風力を
知る。このようにして、従来、円環なしに糸２の傾斜を
目視観測していたのに比較してはるかに容易に、しかも
精度よく風力を知ることができる。

第２回は実施例■を示す模式図である。この例では実施
例Ｉにおける糸２と円環３ａ〜３ｆ＠導電体で形成する
。糸２は１例えば、細い裸銅線を糸状に撚り合わせたも
のである。糸２と円環３ａ〜３ｆが接触した時２電気的
閉回路を形成しランプ４ａ〜４ｆが点灯するように回路
を形成する。このようにして、糸２がどの高度の円環ま
で接触しているかをランプ４ａ〜４【が点灯状態により
直ちに知ることができる。

第２図では糸２が円環３ａ〜３ｄと接触してランプ４ａ
〜４ｄが点灯し２円環４ｅ＋　４ｆには接触しないので
ランプ４ｅ、　４ｆは点灯しない状態を模式的に示して
いる。このようにして１風力を電気的に検知することが
できる。

自動記録針により、長期にわたるランプ４ａ〜４ｆの点
灯状Ｂ（例えばランプ両端の電圧）を記録しておけば、
風力の長期にわたる変動を知ることができる。

第３図は実施例■を示す模式図であり、１は支点、２は
糸、　４ａ〜４ｈはランプ＋　５ａ〜５ｈは導電片を表
す。この例は風の方向をｉｌ菟的に検知する風力計であ
る。糸２は導電体で、この導電性の糸２が鉛直に垂れ下
がった状Ｂに対して、複数の導電片５ａ〜５ｈを回転対
称の位置に配置する。導電性の糸２は１例えば、実施例
■と同じく細い裸銅線を糸状に撚り合わせたものを用い
ることができる。

導電性の糸２が導電片５ａヘ−５ｈのいずれかと接触す
れば、！魚釣閉回路を形成Ｌ７ランブ４ａ〜４ｈが点灯
するように回路を形成する。このようにして。

糸２がどの導電片に接触しているかをランプ４ａ〜４ｈ
の点灯状態により直ちに知ることができる。

第３図では糸２が導電片５ｄ、と接触し、ランプ４ｄが
点灯した状態を模式的に示している。

風の方向をラフに知ればよい場合は、導電片は４箇でよ
く、その敵を８箇、１６箇と増やすことにより、精度よ
く風の方向を検知できる。

自動記録針により、長期にわたるランプ４ａ〜４ｈの点
灯状Ｊ！！（例えばランプ両端の電圧）を記録しておけ
ば、風の方向の長期にわたる変動を知ることができる。

また、ラッチ回路を設けることによって、−時的にも風
が吹けば、以後ランプを点灯状態にし。

注意を喚起することもできる。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば、風力及びその方
向を容易にかつ精度よく検知することができる。しかも
長期にわたるデータの蓄積も可能となる。

本発明は、特にクリーンルームにおける風力の測定に適
用し、クリーン度を保つために大きな効果を奏するもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例Ｉを示す模式図。 第２図は実施例■を示す模式図。 第３図は実施例■を示す模式図。 第４図は風力と糸の傾斜の関係を示す図である。 図において。 １は支点。 ２は糸であって導電性の糸。 ３ａ〜３ｆは円環。 ４８〜４ｈはランプ。 ５ａ〜５ｈは導電片 ツー）（セ脅’ｌＨ，’５卜すオ莫Ｎ目第　１　ロ ーＶ仔！イク１１廿をｊ亡ｑ−オバ＼ト１％　　ニピ　
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Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 固定された支点（１）から鉛直に垂れ下がる糸（２）と
   、 該糸（２）を中心とし水平面に配置される複数の円環（
   ３ａ〜３ｆ）とを有し、 該複数の円環（３ａ〜３ｆ）は各々該支点（１）からの
   距離が異なり、該複数の円環（３ａ〜３ｆ）と該支点（
   １）を結ぶ直線が鉛直線となす角度は該支点（１）から
   遠い円環ほど大きく、 該糸（２）が横から風を受けて傾き、円環と接する時、
   該支点（１）により近い円環から順次より遠い円環に接
   触し、該複数の円環（３ａ〜３ｆ）のどの円環まで接触
   しているかを検知することにより、風力が求まることを
   特徴とする風力計。