JPH04136455U

JPH04136455U - 薬液の高温サーキユレート回路

Info

Publication number: JPH04136455U
Application number: JP4894291U
Authority: JP
Inventors: 和夫小玉
Original assignee: 株式会社小松製作所
Priority date: 1991-05-30
Filing date: 1991-05-30
Publication date: 1992-12-18

Abstract

(57)【要約】【目的】洗浄、エッジング等を高温で行うために用い
るアンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水等の薬液を加熱
する薬液のサーキュレート回路の改良に関する。【構成】薬液を熱交換器に流し電気ヒータにより加熱
して薬液を高温にする薬液の高温サーキュレート回路に
おいて、熱交換器への出入配管に安全弁を配設する。あ
るいは、出入配管を接続する配管を設けるとともに、熱
交換器への出入配管の少なくとも一方に安全弁を配設す
る。【効果】停電等でポンプと熱交換器とが同時に停止し
て熱交換器の残熱で薬液が沸騰して蒸気が大量に発生し
ても安全弁が作動して蒸気は外部に排出され、回路の圧
力が高圧にならず安全が保たれる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、薬液の高温サーキュレート回路に係わり、特には、アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水等の薬液を用いて、洗浄、エッジング等を高温で行う薬液のサーキュレート回路の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近来、シリコンウエハの洗浄、エッジング、レジスト剥離等を行うために、図３に示すような高温サーキュレータ回路１０に薬液（アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水、リン酸、硫酸等）１１を用い、高温にして行っている。高温サーキュレータ回路１０としては、近年では薬液１１をフイルターリングする目的で高温サーキュレータ回路１０が用いられている。高温サーキュレータ回路１０は、通常、処理槽１からベローズ型のポンプ３で薬液１１を吸い込み、熱交換器（ヒータ）５で高温にし、高温にされた薬液１１はフイルタ７で処理液中に混入している異物を濾過して処理槽１に戻している。処理槽１では、図示しないウエハー等を洗浄している。この高温サーキュレータ回路１０の特徴はポンプ３とフイルター７との間に加熱装置の熱交換器５を設け、薬液を加熱している。また、高温サーキュレータ回路１０にはドレン回路８と回路内の薬液１１をドレンするときに用いるコック９が配設されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、近年ではシリコンウエハの大型化にともない薬液用槽の容量の増大、および、ＩＣの容量の増大にともない洗浄度の向上が望まれている。また、薬液用槽の容量の増大に反して、温度上昇の待ち時間の短縮、装置の小型化等が望まれ、熱交換器のパワー（例えば、現在では、約２．０Ｋｗから４．０Ｋｗに増加）の向上が望まれている。しかし、この高温サーキュレータ回路１０では、ポンプと熱交換器とが停電等で同時に停止した場合には熱交換器の残熱で薬液が沸騰して蒸気が大量に発生するが、熱交換器の前後にポンプとフィルタが配設してあるため発生した蒸気がスムーズに排出されず、ポンプ、熱交換器あるいはフイルタを破損するか、回路そのものが破損し蒸気が吹き出す危険がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するためには、本考案に係わる第１の考案では、薬液を熱交換器に流し電気ヒータにより加熱して薬液を高温にする薬液の高温サーキュレート回路において、熱交換器への出入配管に安全弁を配設する。

【０００５】第２の考案では薬液を熱交換器に流し電気ヒータにより加熱して薬液を高温にする薬液の高温サーキュレート回路において、出入配管を接続する配管を設けるとともに、熱交換器への出入配管の少なくとも一方に安全弁を配設する

【０００６】

【作用】

上記構成によれば、ポンプと熱交換器とが停電等で同時に停止し、熱交換器の残熱で薬液が沸騰して蒸気が大量に発生しても、熱交換器の前後の回路中に配設した安全弁が作動して、蒸気は水槽を経由してスムーズに排出されるため、回路の圧力が高圧にならず安全が保たれる。

【０００７】

【実施例】

以下に、本考案の薬液の高温サーキュレート回路の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。図１は本考案の第１実施例の薬液の高温サーキュレート回路の概略を示す全体構成配置図である。図１において、高温サーキュレータ回路２０が用いられている。高温サーキュレータ回路２０は、従来と同様に、処理槽１から配管２１を経てベローズ型のポンプ３で薬液１１を吸い込み、ポンプ３から配管２２で熱交換器（内部に電気を用いて加熱するヒータを有する。）５に吐出し、熱交換器５で高温にし、熱交換器５で高温にされた薬液１１は配管２３でフイルタ７へ、フイルタ７で処理液中に混入している異物を濾過して配管２４を経て処理槽１に戻している。また、ドレン回路８は配管２１より分岐して処理槽１に、さらに回路内の薬液１１をドレンするため、配管２５が配管２２、２４から分岐されて処理槽１に接続されている。配管２５ａ、２５ｂ、２５ｃにはドレンするときに用いるコック９が配設されている。さらに、本考案の高温サーキュレータ回路２０には、配管２２から分岐し配管２１に接続された管路３１に安全弁３２が、また、配管２３から分岐し配管２４に接続された管路３３に安全弁３４が配設されている。

【０００８】上記構成において、次に作動を説明する。ポンプ３と熱交換器５とが停電等で同時に停止し、熱交換器５の内部に配設されているヒータの残熱で薬液１１が沸騰して蒸気が配管２２、２３、あるいは熱交換器５に大量に発生しても、熱交換器５の前後の配管２２、２３、に配設した安全弁３２、３４が作動して、蒸気は配管３１、３３を通り、水槽１を経てスムーズに排出される。このため、熱交換器５の前後の回路の圧力が高圧にならず安全が保たれる。

【０００９】図２は本考案の第２実施例の薬液の高温サーキュレート回路の概略を示す全体構成配置図である。第１実施例と同一部品には同一符号を付し説明は省略する。図２において、高温サーキュレータ回路５０が用いられている。高温サーキュレータ回路５０は、第１実施例と同様に、ポンプ３から配管２２で熱交換器５に吐出し、熱交換器５で高温にし、熱交換器５で高温にされた薬液１１は配管２３を経てフイルタ７に流れている。熱交換器５からの配管２３を分岐して配管５２を設け、配管５２は配管２２にチェック弁５１を介して接続している。また、配管２２から分岐した配管５２には電磁弁５３を配設している。

【００１０】上記構成において、次に作動を説明する。ポンプ３と熱交換器５とが停電等で同時に停止し、熱交換器５の内部に配設されているヒータの残熱で薬液１１が沸騰して蒸気が配管２２、２３、あるいは熱交換器５に大量に発生しても、熱交換器５の後の蒸気は配管２３はチェック弁５１を経て配管２２に行く。配管２２の蒸気は配管５２と、電気が切れたときに開となる電磁弁５３とを経て、蒸気は配管２４を通り、水槽１を経てスムーズに排出される。このため、熱交換器５の前後の回路の圧力が高圧にならず安全が保たれる。

【００１１】前記構成において、安全弁を電気が切れたときに開となる電磁弁でも良く、また、所定圧力となったときに開くチェック弁でも良い。さらに、第２実施例ではチェック弁の向きを反対にするとともに、出口側に安全弁、チェック弁あるいは電磁弁等を配設しても良い。蒸気は水槽を経て戻したが、空中等の外部に直接排出しても良い。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、停電等でポンプと熱交換器とが同時に停止して熱交換器の残熱で薬液が沸騰して蒸気が大量に発生しても安全弁が作動して蒸気は外部に排出され、回路の圧力が高圧にならず安全が保たれるという優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例の薬液の高温サーキュレー
ト回路図。

【図２】本考案の第２実施例の薬液の高温サーキュレー
ト回路図。

【図３】本考案の従来の薬液の高温サーキュレート回路
図。

【符号の説明】

１処理槽３ベローズ型のポンプ５熱交換器７フイルター２１、２２、２３、２４、５２配管３１、３４安全弁５１チェック弁５３電磁弁

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】薬液を熱交換器に流し電気ヒータにより
加熱して薬液を高温にする薬液の高温サーキュレート回
路において、熱交換器への出入配管に安全弁を配設する
ことを特徴とする薬液の高温サーキュレート回路。
【請求項２】薬液を熱交換器に流し電気ヒータにより
加熱して薬液を高温にする薬液の高温サーキュレート回
路において、出入配管を接続する配管を設けるととも
に、熱交換器への出入配管の少なくとも一方に安全弁を
配設することを特徴とする薬液の高温サーキュレート回
路。