JPH04133250A - 陰極線管用ゲッタ装置及びシステム - Google Patents
陰極線管用ゲッタ装置及びシステムInfo
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- JPH04133250A JPH04133250A JP2415283A JP41528390A JPH04133250A JP H04133250 A JPH04133250 A JP H04133250A JP 2415283 A JP2415283 A JP 2415283A JP 41528390 A JP41528390 A JP 41528390A JP H04133250 A JPH04133250 A JP H04133250A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/94—Selection of substances for gas fillings; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the tube, e.g. by gettering
Landscapes
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[0001]
本発明は、陰極線管内の窒素のような気体の圧力の突然
の増大により最初のスイッチ−オンにおいて損傷を受け
やすいデイスペンサーカソードを使用するカラーデイス
プレィ管或いはブラウン管のような陰極線管のためのゲ
ッタリングシステム或いは陰極線管の作製方法に関する
ものである。これに有用な蒸発壓チタンゲッタ装置もま
た記載される。 [0002]
の増大により最初のスイッチ−オンにおいて損傷を受け
やすいデイスペンサーカソードを使用するカラーデイス
プレィ管或いはブラウン管のような陰極線管のためのゲ
ッタリングシステム或いは陰極線管の作製方法に関する
ものである。これに有用な蒸発壓チタンゲッタ装置もま
た記載される。 [0002]
陰極線管は斯界で周知でありそして広く様々の情報の目
視表示のために長年にわたって使用されてきた。陰極線
管は一般に、電子ビームによる励起に際して可視光を放
出する1種以上の蛍光体を付着せしめたスクリーン部分
を備えている。 一つ以上の電子ビームが陰極線管のネック部分に位置付
けられた電子銃から発生せしめられる。コーン部分がス
クリーン部分とネック部分とを分離している。コーン部
分内には金属製磁気遮蔽カップもまた組み込まれること
が多い。 [0003] 陰極線管が効率的に動作するためには、その内部空間は
非常の高度の真空に維ない。もし圧力がこの値を超える
と、残留気体の分子としての原子がイオン化されるよう
になりそして存在する電界によりカソードに向かって加
速されるとき、それらはカソードに衝突しそして電子放
出物質をし侵食し、それによりカソードの寿命を減する
。 [0004] 陰極線管のスクリーン上に発生する映像はなるたけ光輝
であることが要求される。これは、適当な蛍光体の選択
により達成されるが、蛍光体を励起する電子ビームがな
るたけ高い密度を有することを保証することによっても
達成される。これは、カソードがその電子放出面積単位
Cm2当たり多数の電子を放出しなければならないこと
を意味する。そうしたカソードは良く知られており、そ
して[デイスペンサー(dispenser)Jカソー
ドとして呼ばれている。これらはまた、「エル(L)」
、「プレスト(pressed)J、「イムプレグネー
テツド(impregnated)J及び[マトリック
ス(matrix)Jカソードとも呼ばれているが、基
本的にこれらは、放出表面を構成する多孔質タングステ
ンの1窓」を有するモリブデン(但し、タングステン、
タンタル及びニオブのような他の種金属も使用されうる
)のような非多孔質熱伝導性金属製の室から構成される
。 [0005]
視表示のために長年にわたって使用されてきた。陰極線
管は一般に、電子ビームによる励起に際して可視光を放
出する1種以上の蛍光体を付着せしめたスクリーン部分
を備えている。 一つ以上の電子ビームが陰極線管のネック部分に位置付
けられた電子銃から発生せしめられる。コーン部分がス
クリーン部分とネック部分とを分離している。コーン部
分内には金属製磁気遮蔽カップもまた組み込まれること
が多い。 [0003] 陰極線管が効率的に動作するためには、その内部空間は
非常の高度の真空に維ない。もし圧力がこの値を超える
と、残留気体の分子としての原子がイオン化されるよう
になりそして存在する電界によりカソードに向かって加
速されるとき、それらはカソードに衝突しそして電子放
出物質をし侵食し、それによりカソードの寿命を減する
。 [0004] 陰極線管のスクリーン上に発生する映像はなるたけ光輝
であることが要求される。これは、適当な蛍光体の選択
により達成されるが、蛍光体を励起する電子ビームがな
るたけ高い密度を有することを保証することによっても
達成される。これは、カソードがその電子放出面積単位
Cm2当たり多数の電子を放出しなければならないこと
を意味する。そうしたカソードは良く知られており、そ
して[デイスペンサー(dispenser)Jカソー
ドとして呼ばれている。これらはまた、「エル(L)」
、「プレスト(pressed)J、「イムプレグネー
テツド(impregnated)J及び[マトリック
ス(matrix)Jカソードとも呼ばれているが、基
本的にこれらは、放出表面を構成する多孔質タングステ
ンの1窓」を有するモリブデン(但し、タングステン、
タンタル及びニオブのような他の種金属も使用されうる
)のような非多孔質熱伝導性金属製の室から構成される
。 [0005]
残念ながら、こうしたデイスペンサーカソードは陰極線
管内の残留気体圧力に極めて敏感に影響される。陰極線
管の通常の動作中カソードを保護するために、米国特許
第3,381,805号及び4,710,344号に記
載されるようなゲッタ装置が使用された。これらゲッタ
装置は、陰極線管の作動前命中残留気体を収着しうるが
、組立を完成した陰極線管の最初のスイッチ−オン中発
生する気体、実質上は窒素を充分迅速には除去し得ない
。 [0006] デイスペンサーカソードを組み込んだ陰極線管の最初の
スイッチ−オンにおいて、残留気体圧力が非常に高くな
るので、これは陰極線管の作動寿命中力ソードのその後
の性能の信頼性を落とす。 [0007] 本発明の課題は、従来技術のゲッタリングシステムのひ
とつ以上を排除した陰極線管用の改善されたゲッタリン
グシステムを開発することである。 [0008] 本発明のまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッチ−
オン中残留気体圧力を10’mbar未満に維持する陰
極線管用の改善されたゲッタリングシステムを開発する
ことである。 [0009] 本発明のまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッチ−
オン中窒素気体に対する高いゲッタ収着速度を有する陰
極線管用の改善されたゲッタリングシステムを開発する
ことである。 [00101 本発明の更にまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッ
チ−オン中力ソードが損傷を受けない陰極線管用の改善
されたゲッタリングシステムを開発することである。 [00113 本発明の別の課題は、上記のようなゲッタリングシステ
ムに有用な改善されたゲッタ装置を開発することである
。 [0012]
管内の残留気体圧力に極めて敏感に影響される。陰極線
管の通常の動作中カソードを保護するために、米国特許
第3,381,805号及び4,710,344号に記
載されるようなゲッタ装置が使用された。これらゲッタ
装置は、陰極線管の作動前命中残留気体を収着しうるが
、組立を完成した陰極線管の最初のスイッチ−オン中発
生する気体、実質上は窒素を充分迅速には除去し得ない
。 [0006] デイスペンサーカソードを組み込んだ陰極線管の最初の
スイッチ−オンにおいて、残留気体圧力が非常に高くな
るので、これは陰極線管の作動寿命中力ソードのその後
の性能の信頼性を落とす。 [0007] 本発明の課題は、従来技術のゲッタリングシステムのひ
とつ以上を排除した陰極線管用の改善されたゲッタリン
グシステムを開発することである。 [0008] 本発明のまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッチ−
オン中残留気体圧力を10’mbar未満に維持する陰
極線管用の改善されたゲッタリングシステムを開発する
ことである。 [0009] 本発明のまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッチ−
オン中窒素気体に対する高いゲッタ収着速度を有する陰
極線管用の改善されたゲッタリングシステムを開発する
ことである。 [00101 本発明の更にまた別の課題は、陰極線管の最初のスイッ
チ−オン中力ソードが損傷を受けない陰極線管用の改善
されたゲッタリングシステムを開発することである。 [00113 本発明の別の課題は、上記のようなゲッタリングシステ
ムに有用な改善されたゲッタ装置を開発することである
。 [0012]
本発明者は、バリウムゲッタとチタンゲッタとの長所に
着目し、それらをうまく組み合わせることにより課題を
解決することに成功した。 [0013] 本発明に従えば、敏感度の高いカソードを具備しそして
該カソードの最初のスイッチ−オンにおいて高い窒素圧
力が発生せしめられるディスプレー陰極線管におけるゲ
ッタリングシステムであって、 (A)加熱に際してバ
リウム蒸気を放出することのできる第1ゲッタ金属蒸気
放出材料と、(B)加熱に際してチタン蒸気を放出する
ことのできる第2ゲッタ金属蒸気放出材料とを具備する
ことを特徴とするゲッタリングシステムが提供される。 好ましい具体例においては、本発明は、スクリーン部分
、コーン部分及びネック部分を装備し、該コーン部分内
に金属製磁気遮蔽カップを配しそして該ネック部分内に
タングステンディスペンサーカソードを配し、そしてカ
ソードの最初のスイッチ−オンにおいて内部に高い窒素
圧力が発生せしめられるカラーディスプレー陰極線管に
おけるゲッタリングシステムであって、(A)外側壁と
底壁とを有し、そして約50重量%バリウム−50重量
%アルミニウムの粒状合金とほぼ等重量の粒状ニッケル
との混合物を含む第1ゲッタ金属蒸気放出材料を支持す
るリング状ステンレス鋼製第1ホルダと(B)外側壁と
底壁とを有し、そして粒状チタンと粒状タンタルとの混
合物を含む第2ゲッタ金属蒸気放出材料を支持するリン
グ状モリブデン製第2ホルダとを具備することを特徴と
するゲッタリングシステムを提供する。本発明はまた、
加熱に際してチタン蒸気を放出する、二とのできるゲッ
タ金属蒸気放出材料を支持するホルダであって、ホルダ
が外側壁と底壁とを有するリング状でありそしてモリブ
デン、ニオブ、タンタル及びタングステンから成る群か
ら選択される材料製であり、そしてチタンと、モリフ゛
デン′1.ニオ゛プ、タンタル及び゛タングステンから
成る群から選択される焼結防止剤との混合物であり、チ
タン及び焼結防止剤両方が粒状であり且つチタン対焼結
防止剤の重量比が19:1〜1.19の範囲にある混合
物を支持するホルダを提供する。 [0014]
着目し、それらをうまく組み合わせることにより課題を
解決することに成功した。 [0013] 本発明に従えば、敏感度の高いカソードを具備しそして
該カソードの最初のスイッチ−オンにおいて高い窒素圧
力が発生せしめられるディスプレー陰極線管におけるゲ
ッタリングシステムであって、 (A)加熱に際してバ
リウム蒸気を放出することのできる第1ゲッタ金属蒸気
放出材料と、(B)加熱に際してチタン蒸気を放出する
ことのできる第2ゲッタ金属蒸気放出材料とを具備する
ことを特徴とするゲッタリングシステムが提供される。 好ましい具体例においては、本発明は、スクリーン部分
、コーン部分及びネック部分を装備し、該コーン部分内
に金属製磁気遮蔽カップを配しそして該ネック部分内に
タングステンディスペンサーカソードを配し、そしてカ
ソードの最初のスイッチ−オンにおいて内部に高い窒素
圧力が発生せしめられるカラーディスプレー陰極線管に
おけるゲッタリングシステムであって、(A)外側壁と
底壁とを有し、そして約50重量%バリウム−50重量
%アルミニウムの粒状合金とほぼ等重量の粒状ニッケル
との混合物を含む第1ゲッタ金属蒸気放出材料を支持す
るリング状ステンレス鋼製第1ホルダと(B)外側壁と
底壁とを有し、そして粒状チタンと粒状タンタルとの混
合物を含む第2ゲッタ金属蒸気放出材料を支持するリン
グ状モリブデン製第2ホルダとを具備することを特徴と
するゲッタリングシステムを提供する。本発明はまた、
加熱に際してチタン蒸気を放出する、二とのできるゲッ
タ金属蒸気放出材料を支持するホルダであって、ホルダ
が外側壁と底壁とを有するリング状でありそしてモリブ
デン、ニオブ、タンタル及びタングステンから成る群か
ら選択される材料製であり、そしてチタンと、モリフ゛
デン′1.ニオ゛プ、タンタル及び゛タングステンから
成る群から選択される焼結防止剤との混合物であり、チ
タン及び焼結防止剤両方が粒状であり且つチタン対焼結
防止剤の重量比が19:1〜1.19の範囲にある混合
物を支持するホルダを提供する。 [0014]
本ゲッタ装置系は、陰極線管作動寿命全体を通し、て残
留気体に対する高い容量を与えるバリウムゲッタと、カ
ソードの最初のスイッチ−オンにおいて放出される窒素
に対する高い収着速度を有するチタン皮膜を提供する別
個のチタンゲッタからなり、これら作用の組合せで以っ
て窒素を放出し易いカッ−ドを有する陰極線管の寿命全
体を通して損傷を防止する。バリウムゲッタとチタンゲ
ッタとの有用な作用を組合せたることにより、最初に速
やかに窒素を収着し、その後陰極線管の作動寿命全体を
通して所要の真空度を維持する。 [0015] 本発明は、デイスペンサーカソードのような敏感度の大
きいカソードを有するカラーディスプレー陰極線管ある
いは単色投射受像管用のゲッタリングシステムを提供す
る。このゲッタリングシステムは、陰極線管が最初にス
イッチ−オンされる時発生する窒素気体を急速に収着す
ることができる。したがって、窒素の高い圧力が防止さ
れ、イオン衝突によるカソードへの損傷を回避する。本
発明ゲッタリングシステムは、加熱に際してバリウム蒸
気を放出することのできる第1ゲッタ金属蒸気放出材料
と、加熱に際してチタン蒸気を放出することのできる第
2ゲッタ金属蒸気放出材料とを具備している。 [0016] ここで使用するものとしての「ゲッタ金属蒸気放出材料
」とは、ゲッタ金属蒸気の放出の前後の材料両方を含む
ことを意味するものである。この用語は、ゲッタ装置と
共に販売される形態における材料及びゲッタ金属の大半
が材料から蒸発せしめられそして管内面に皮膜の形態で
存在する材料両方を包括する。 [0017] 図面、特に図1を参照すると、スクリーン部分102、
コーン部分104及びネック部分106を備えるカラー
ディスプレー陰極線管100が示される。スクリーン部
分102には蛍光体の層108が被覆され、その近くに
フレーム112により然るべく保持されるスクリーン選
択電極即ちシャドウマスク110が配置されている。フ
レーム112はまた、コーン部分104内に金属製磁気
遮蔽カップ114を支持している。コーン部分104の
表面はグラファイト層116で被覆されている。デイス
ペンサーカソード118がネック部分106内に配置さ
れる。カソード118は、タングステンディスペンサー
カソードのような様々の型式の既知デイスペンサーカソ
ードの任意のものである。 [00183 カラーディスプレー陰極線管100内のゲッタリングシ
ステムは、加熱に際してバリウム蒸気を放出することの
できる第1ゲッタ金属蒸気放出材料を備えそして好まし
くは第1ホルダ120を備える。第1ホルダ120は、
好ましくはステンレス鋼製でありそして外側壁と底壁と
を備える。ホルダ120は加熱に際してバリウム蒸気を
放出することのできるゲッタ金属蒸気放出材料を支持す
る。ゲッタ金属蒸気放出材料は約50%バリウム及び5
0%アルミニウムの粒状合金とはぼ等重量の粒状ニッケ
ルとを混合した混合物から主として成る。F e 4
Nのような少量の追加材料が空間分布及びその結果とし
て生成付着バリウム皮膜の多孔度を制御するためにバリ
ウムの蒸発中ある圧力の窒素気体を発生せしめるために
混合物に添加され得ることが認識されよう。 [0019] 本ゲッタリングシステムはまた、チタン−タンタル合金
ワイヤ或いはチタンをクラッドしたタンタルワイヤのよ
うな加熱に際してチタン蒸気を放出することのできる第
2ゲッタ金属蒸気放出材料をも含んでいる。しかし、第
2ゲッタ金属蒸気放出材料は好ましくは、第2図に詳し
く示される第2ホルダの形態にある。第2ホルダ122
は、好ましくは、全体的にパン状外観を有する外側壁1
24及び底壁126を有するリング形状を有する。ホル
ダ122は、セラミック材料から作成できるが、好まし
くはチタンより高い融点を有する金属製とされる。した
がって、ホルダ122は、モリブデン、ニオブ(コロン
ビウム) タンタル或いはタングステンから作製され得
る。加工性、コスト並びに他の性質を勘案してのホルダ
材料の最善の選択はモリブデンである。ホルダ122は
、粒状のチタンと粒状の高融点金属の混合物を含むゲッ
タ金属蒸気放出材料128を支持する。粒状の形態のチ
タンを使用することが望ましい。その方が単位質量光た
り大きな表面積を有し、チタンの蒸発を助成するからで
ある。粒寸はあまり大きくすべきでない。そうでないと
、単位質量あたりの表面積が低くなり、ディスプレー管
内のカソードの最初のスイッチ−オンにおいて発生する
窒素を除去するために必要な高いポンピング速度を提供
するに充分量のチタンの放出を保証するのに過度に長い
加熱期間が必要とされる。チタン粒子寸法が小さ過ぎる
と、ゲッタ装置の作製中取扱が困難となりまた爆発の危
険がある。したがって、チタン粒子寸法は、2〜100
μm、好ましくは5〜44μmの範囲とすべきである。 [0020] チタンがその蒸発速度が十分に大きくなるような高温ま
で加熱される時、チタンはその融点に非常に近くなり、
そして粒状物であるなら熱的な焼結により表面積の減少
を受ける。したがって、粒状チタンを高融点金属のよう
な焼結防止剤と混合することが好ましい。適当な高融点
金属はモリブデン、ニオブ、タンタル及びタングステン
である。タンタル粒子寸法でゲッタ性質を示す物質であ
りしかも400℃において大気に曝露されても酸化しな
いから好ましい。更に、チタンの蒸発後、残渣はホルダ
内にゆるく付着した粒子が存在しないようしっかりと保
持されるので、温度が不慮にその融点に達したとしても
、チタンの溶融した粒子が放出されないことを保証する
。タンタル粒子寸法は、チタン粉末との−様なそして容
易な混合を保証するために2〜100μm、好ましくは
5〜44μmの範囲とすべきである。 [0021] チタン対高融点金属の重量比は広い限界内で変えること
ができる。チタンの比率が高すぎると、高融点金属はそ
の焼結防止作用を発揮できなくなる。チタンの比率が低
過ぎると、許容し得る短時間に所要量のチタンを蒸発す
ることは不可能となろう。チタン対高融点金属の重量比
は、19:1〜1:19、好ましくは5:1〜1:5の
範囲とすべきである。 [0022] 実施において、加熱に際してバリウム蒸気を放出し得る
第1ゲッタ金属蒸気放出材料は、陰極線管のコーン部分
内に、加熱に際してバリウム蒸気がスクリーン部分に向
けて優先的に差し向けられ、付着したバリウムを実質上
台まないコーン部分の一部を残すような配向において位
置付けられる。加熱に際してチタン蒸気を放出し得る第
2ゲッタ金属蒸気放出材料は、陰極線管のコーン部分内
に、加熱に際してチタン蒸気が前記付着したバリウムを
実質上台まないコーン部分の一部に向けて優先的に差し
向けられるような配向において位置付けられる。付着し
たチタン量とそれが付着した面積は、カソードの最初の
スイッチ−オンにおいて放出される窒素が迅速に除去さ
れて、その圧力をカソードの損傷をもたらす恐れのある
圧力未満に維持することを保証するに十分大きくなけれ
ばならない。 [0023] 図3には、ゲッタ収着特性試、験装置300が概略的に
示されている。試験装置300は、4500m2の内面
積を有するガラス球状部分(バルブ)と3cmの直径を
有する円筒状付属管304とを備える。バリウムゲッタ
金属蒸気放出材料306を球状部分302が円筒状付属
管304に接合される位置に置きそして交換するための
装備がなされた。チタンゲッタ金属蒸気放出材料308
もまた電気的支持線310.310′ により球状部分
302の中央に置かれる。装置300にはまた、AST
MFl 11に記載された手順に従い装置300内で蒸
発されたゲッタ材料の収着特性を測定するような態様で
排気と窒素気体導入のための手段(図示なし)が設けら
れる。 [0024]
留気体に対する高い容量を与えるバリウムゲッタと、カ
ソードの最初のスイッチ−オンにおいて放出される窒素
に対する高い収着速度を有するチタン皮膜を提供する別
個のチタンゲッタからなり、これら作用の組合せで以っ
て窒素を放出し易いカッ−ドを有する陰極線管の寿命全
体を通して損傷を防止する。バリウムゲッタとチタンゲ
ッタとの有用な作用を組合せたることにより、最初に速
やかに窒素を収着し、その後陰極線管の作動寿命全体を
通して所要の真空度を維持する。 [0015] 本発明は、デイスペンサーカソードのような敏感度の大
きいカソードを有するカラーディスプレー陰極線管ある
いは単色投射受像管用のゲッタリングシステムを提供す
る。このゲッタリングシステムは、陰極線管が最初にス
イッチ−オンされる時発生する窒素気体を急速に収着す
ることができる。したがって、窒素の高い圧力が防止さ
れ、イオン衝突によるカソードへの損傷を回避する。本
発明ゲッタリングシステムは、加熱に際してバリウム蒸
気を放出することのできる第1ゲッタ金属蒸気放出材料
と、加熱に際してチタン蒸気を放出することのできる第
2ゲッタ金属蒸気放出材料とを具備している。 [0016] ここで使用するものとしての「ゲッタ金属蒸気放出材料
」とは、ゲッタ金属蒸気の放出の前後の材料両方を含む
ことを意味するものである。この用語は、ゲッタ装置と
共に販売される形態における材料及びゲッタ金属の大半
が材料から蒸発せしめられそして管内面に皮膜の形態で
存在する材料両方を包括する。 [0017] 図面、特に図1を参照すると、スクリーン部分102、
コーン部分104及びネック部分106を備えるカラー
ディスプレー陰極線管100が示される。スクリーン部
分102には蛍光体の層108が被覆され、その近くに
フレーム112により然るべく保持されるスクリーン選
択電極即ちシャドウマスク110が配置されている。フ
レーム112はまた、コーン部分104内に金属製磁気
遮蔽カップ114を支持している。コーン部分104の
表面はグラファイト層116で被覆されている。デイス
ペンサーカソード118がネック部分106内に配置さ
れる。カソード118は、タングステンディスペンサー
カソードのような様々の型式の既知デイスペンサーカソ
ードの任意のものである。 [00183 カラーディスプレー陰極線管100内のゲッタリングシ
ステムは、加熱に際してバリウム蒸気を放出することの
できる第1ゲッタ金属蒸気放出材料を備えそして好まし
くは第1ホルダ120を備える。第1ホルダ120は、
好ましくはステンレス鋼製でありそして外側壁と底壁と
を備える。ホルダ120は加熱に際してバリウム蒸気を
放出することのできるゲッタ金属蒸気放出材料を支持す
る。ゲッタ金属蒸気放出材料は約50%バリウム及び5
0%アルミニウムの粒状合金とはぼ等重量の粒状ニッケ
ルとを混合した混合物から主として成る。F e 4
Nのような少量の追加材料が空間分布及びその結果とし
て生成付着バリウム皮膜の多孔度を制御するためにバリ
ウムの蒸発中ある圧力の窒素気体を発生せしめるために
混合物に添加され得ることが認識されよう。 [0019] 本ゲッタリングシステムはまた、チタン−タンタル合金
ワイヤ或いはチタンをクラッドしたタンタルワイヤのよ
うな加熱に際してチタン蒸気を放出することのできる第
2ゲッタ金属蒸気放出材料をも含んでいる。しかし、第
2ゲッタ金属蒸気放出材料は好ましくは、第2図に詳し
く示される第2ホルダの形態にある。第2ホルダ122
は、好ましくは、全体的にパン状外観を有する外側壁1
24及び底壁126を有するリング形状を有する。ホル
ダ122は、セラミック材料から作成できるが、好まし
くはチタンより高い融点を有する金属製とされる。した
がって、ホルダ122は、モリブデン、ニオブ(コロン
ビウム) タンタル或いはタングステンから作製され得
る。加工性、コスト並びに他の性質を勘案してのホルダ
材料の最善の選択はモリブデンである。ホルダ122は
、粒状のチタンと粒状の高融点金属の混合物を含むゲッ
タ金属蒸気放出材料128を支持する。粒状の形態のチ
タンを使用することが望ましい。その方が単位質量光た
り大きな表面積を有し、チタンの蒸発を助成するからで
ある。粒寸はあまり大きくすべきでない。そうでないと
、単位質量あたりの表面積が低くなり、ディスプレー管
内のカソードの最初のスイッチ−オンにおいて発生する
窒素を除去するために必要な高いポンピング速度を提供
するに充分量のチタンの放出を保証するのに過度に長い
加熱期間が必要とされる。チタン粒子寸法が小さ過ぎる
と、ゲッタ装置の作製中取扱が困難となりまた爆発の危
険がある。したがって、チタン粒子寸法は、2〜100
μm、好ましくは5〜44μmの範囲とすべきである。 [0020] チタンがその蒸発速度が十分に大きくなるような高温ま
で加熱される時、チタンはその融点に非常に近くなり、
そして粒状物であるなら熱的な焼結により表面積の減少
を受ける。したがって、粒状チタンを高融点金属のよう
な焼結防止剤と混合することが好ましい。適当な高融点
金属はモリブデン、ニオブ、タンタル及びタングステン
である。タンタル粒子寸法でゲッタ性質を示す物質であ
りしかも400℃において大気に曝露されても酸化しな
いから好ましい。更に、チタンの蒸発後、残渣はホルダ
内にゆるく付着した粒子が存在しないようしっかりと保
持されるので、温度が不慮にその融点に達したとしても
、チタンの溶融した粒子が放出されないことを保証する
。タンタル粒子寸法は、チタン粉末との−様なそして容
易な混合を保証するために2〜100μm、好ましくは
5〜44μmの範囲とすべきである。 [0021] チタン対高融点金属の重量比は広い限界内で変えること
ができる。チタンの比率が高すぎると、高融点金属はそ
の焼結防止作用を発揮できなくなる。チタンの比率が低
過ぎると、許容し得る短時間に所要量のチタンを蒸発す
ることは不可能となろう。チタン対高融点金属の重量比
は、19:1〜1:19、好ましくは5:1〜1:5の
範囲とすべきである。 [0022] 実施において、加熱に際してバリウム蒸気を放出し得る
第1ゲッタ金属蒸気放出材料は、陰極線管のコーン部分
内に、加熱に際してバリウム蒸気がスクリーン部分に向
けて優先的に差し向けられ、付着したバリウムを実質上
台まないコーン部分の一部を残すような配向において位
置付けられる。加熱に際してチタン蒸気を放出し得る第
2ゲッタ金属蒸気放出材料は、陰極線管のコーン部分内
に、加熱に際してチタン蒸気が前記付着したバリウムを
実質上台まないコーン部分の一部に向けて優先的に差し
向けられるような配向において位置付けられる。付着し
たチタン量とそれが付着した面積は、カソードの最初の
スイッチ−オンにおいて放出される窒素が迅速に除去さ
れて、その圧力をカソードの損傷をもたらす恐れのある
圧力未満に維持することを保証するに十分大きくなけれ
ばならない。 [0023] 図3には、ゲッタ収着特性試、験装置300が概略的に
示されている。試験装置300は、4500m2の内面
積を有するガラス球状部分(バルブ)と3cmの直径を
有する円筒状付属管304とを備える。バリウムゲッタ
金属蒸気放出材料306を球状部分302が円筒状付属
管304に接合される位置に置きそして交換するための
装備がなされた。チタンゲッタ金属蒸気放出材料308
もまた電気的支持線310.310′ により球状部分
302の中央に置かれる。装置300にはまた、AST
MFl 11に記載された手順に従い装置300内で蒸
発されたゲッタ材料の収着特性を測定するような態様で
排気と窒素気体導入のための手段(図示なし)が設けら
れる。 [0024]
【例1】
この例は、本発明を表すものでなく、既知のバリウム皮
膜収着特性を示すことを意図するものである。 [0025] 約50%バリウム及び50%アルミニウムの粒状合金と
ほぼ等重量の粒状ニッケルとの混合物を収納する環状リ
ングゲッタホルダを上述した試験装置内に配置した。バ
リウムを誘導加熱によりゲッタ混合物から約35mgの
バリウム金属が球状部302の内面に一様に付着するま
で蒸発せしめた。窒素気体に対するゲッタ特性を測定し
そして図4に曲線1として報告した。 [0026]
膜収着特性を示すことを意図するものである。 [0025] 約50%バリウム及び50%アルミニウムの粒状合金と
ほぼ等重量の粒状ニッケルとの混合物を収納する環状リ
ングゲッタホルダを上述した試験装置内に配置した。バ
リウムを誘導加熱によりゲッタ混合物から約35mgの
バリウム金属が球状部302の内面に一様に付着するま
で蒸発せしめた。窒素気体に対するゲッタ特性を測定し
そして図4に曲線1として報告した。 [0026]
【例2】
この例は、本発明を表すものでなく、また別の既知のバ
リウム皮膜収着特性を示すことを意図するものである。 混合物がバリウム蒸発中10〜5X10−2mbar窒
素圧力の範囲の窒素を発生することのできるF e i
、 Nを含有したことを除いてすべての点で例1を繰り
返した。この結果生じるバリウム皮膜の収着特性を図4
において曲線2として示す。この例を繰り返して図4の
曲線3を得た。 [0027]
リウム皮膜収着特性を示すことを意図するものである。 混合物がバリウム蒸発中10〜5X10−2mbar窒
素圧力の範囲の窒素を発生することのできるF e i
、 Nを含有したことを除いてすべての点で例1を繰り
返した。この結果生じるバリウム皮膜の収着特性を図4
において曲線2として示す。この例を繰り返して図4の
曲線3を得た。 [0027]
【例3】
この例は、本発明を表すものでなく、既知のチタン皮膜
収着特性を示すことを意図するものである。 [0028] 上述したような試、験装置において、直径0.010イ
ンチ(0,254mm)の直径の80重量%タンタル−
20重量%チタンワイヤを試験装置球状部中央に置いた
。約0.18mgのチタンが球状部の内面に付着するま
で支持リード線を通して通電した。 [0029] 窒素気体に対するチタン皮膜の収着特性を図5に曲線4
として報告した。1゜8mgのチタンを付着したことを
除いてこの例を繰り返し、得られた収着特性を図5に曲
線5として報告した。 [00301
収着特性を示すことを意図するものである。 [0028] 上述したような試、験装置において、直径0.010イ
ンチ(0,254mm)の直径の80重量%タンタル−
20重量%チタンワイヤを試験装置球状部中央に置いた
。約0.18mgのチタンが球状部の内面に付着するま
で支持リード線を通して通電した。 [0029] 窒素気体に対するチタン皮膜の収着特性を図5に曲線4
として報告した。1゜8mgのチタンを付着したことを
除いてこの例を繰り返し、得られた収着特性を図5に曲
線5として報告した。 [00301
【例4]
この例は、本発明を表すものでなく、バリウム皮膜とそ
の上に付着されたチタン皮膜の収着特性を示すことを意
図するものである。 [0031] 例2の工程を繰り返して球の内面にバリウム皮膜を生成
した。続いて、例3に記載したようにしてバリウム上に
チタン皮膜を蒸発せしめた。蒸発されたチタンの量は0
.68mgであった。この二重膜の窒素気体に対する収
着特性を測定しそして図6に曲線6として呈示した。 [0032] チタン蒸発量が1.8mgであることを除いてこの例を
繰り返した。この第2の二重膜の窒素に対する収着特性
を図6に曲線7として報告しな。 [0033] 後の論議での便宜上、図4の曲線3もまた図6に曲線3
′ として転記した。 [0034] 【例5】 この例は本発明を例示する。チタンゲッタ金属蒸気放出
材料を円筒状付属管内に置いたことを除いて既に記載し
たような試験装置を使用した。 [0035] バリウム皮膜を例2に記載したようにして球の内面に生
成せしめそしてチタンを付属管内で蒸発せしめた。0.
6mgのチタンが500m2の表面積において蒸発せし
められ、かくして、バリウムとチタン皮膜とは別々の表
面ではあるが連376一 線8として報告した。後の論議での便宜上、図4の曲線
3もまた図7に曲線3パとして転記した。 [00361
の上に付着されたチタン皮膜の収着特性を示すことを意
図するものである。 [0031] 例2の工程を繰り返して球の内面にバリウム皮膜を生成
した。続いて、例3に記載したようにしてバリウム上に
チタン皮膜を蒸発せしめた。蒸発されたチタンの量は0
.68mgであった。この二重膜の窒素気体に対する収
着特性を測定しそして図6に曲線6として呈示した。 [0032] チタン蒸発量が1.8mgであることを除いてこの例を
繰り返した。この第2の二重膜の窒素に対する収着特性
を図6に曲線7として報告しな。 [0033] 後の論議での便宜上、図4の曲線3もまた図6に曲線3
′ として転記した。 [0034] 【例5】 この例は本発明を例示する。チタンゲッタ金属蒸気放出
材料を円筒状付属管内に置いたことを除いて既に記載し
たような試験装置を使用した。 [0035] バリウム皮膜を例2に記載したようにして球の内面に生
成せしめそしてチタンを付属管内で蒸発せしめた。0.
6mgのチタンが500m2の表面積において蒸発せし
められ、かくして、バリウムとチタン皮膜とは別々の表
面ではあるが連376一 線8として報告した。後の論議での便宜上、図4の曲線
3もまた図7に曲線3パとして転記した。 [00361
【例6]
この例は、加熱に際してチタン蒸気を放出しうるゲッタ
金属蒸気放出材料の具体例を記載する。 [0037] 0.010インチ(0,254mm)直径と10cm長
さそして重量的0. 5gの80重量%タンタル−20
重量%チタン合金ワイヤの8部片を、各それらの中心で
曲げそして2本巻き形態にねじりそして後リング上に湾
曲したその後、各リングを真空環境に置きそして誘導加
熱により加熱してチタンを蒸発せしめた。 加熱は30秒継続した。各サンプルから蒸発したチタン
の量を表1に示す。 [0038] 【去月 サンプル番号 蒸発チタン量(m g )1
2.0 2 3.2 3 0.8 4 2.8 5 0.9 6 0.4 7 0.3 8 0.5 [0039] 表1かられかるように、蒸発チタン量はサンプル毎にか
なり変動する。目視によっても、リングが非常に不均一
に加熱されたことが観察された。 [00401 【例7] 本例は、加熱に際してチタン蒸気を放出しうるゲッタ金
属蒸気放出材料を支持するホルダとして現在量も好まし
い例を記載する。 [0041] 幾つかのパン状ホルダを0.15mm厚のモリブデンシ
ートからプレス加工した。ホルダは1.5mmの外側側
壁高さを有する11mm内径のものであった。 ホルダ内に、4000kgの力でもって、80重量%の
粒状チタンと20重量%の粒状タンタルの混合物100
mgを圧縮した。チタン及びタンタル両方の粒寸は、そ
れらが325メツシュ/インチ(128メツシュ/cm
)の米国標準篩を通過するようなものであった。その後
、パン状ホルダを真空環境に置きそして誘導加熱により
加熱してチタンを蒸発せしめた。加熱は30秒継続した
。各サンプルから蒸発したチタンの量を表2に示す。 [0042] 【表2】 サンプル番号 蒸発チタン量(m g )1
4.8 2 4、6 3 8.9 4 6、7 5 6.4 6 5.4 7 7.2 8 10.1 9 4.8 10 4.6 11 6.7 12 11.8 [0043] 表2かられかるように、がなり多量のチタンが一層一様
な発生量でもって蒸発されうる。更に、目視による観察
は、ホルダ及びその内容物の実質上−様な加熱を示した
。 肋間+4−133250 (15) [0044]
金属蒸気放出材料の具体例を記載する。 [0037] 0.010インチ(0,254mm)直径と10cm長
さそして重量的0. 5gの80重量%タンタル−20
重量%チタン合金ワイヤの8部片を、各それらの中心で
曲げそして2本巻き形態にねじりそして後リング上に湾
曲したその後、各リングを真空環境に置きそして誘導加
熱により加熱してチタンを蒸発せしめた。 加熱は30秒継続した。各サンプルから蒸発したチタン
の量を表1に示す。 [0038] 【去月 サンプル番号 蒸発チタン量(m g )1
2.0 2 3.2 3 0.8 4 2.8 5 0.9 6 0.4 7 0.3 8 0.5 [0039] 表1かられかるように、蒸発チタン量はサンプル毎にか
なり変動する。目視によっても、リングが非常に不均一
に加熱されたことが観察された。 [00401 【例7] 本例は、加熱に際してチタン蒸気を放出しうるゲッタ金
属蒸気放出材料を支持するホルダとして現在量も好まし
い例を記載する。 [0041] 幾つかのパン状ホルダを0.15mm厚のモリブデンシ
ートからプレス加工した。ホルダは1.5mmの外側側
壁高さを有する11mm内径のものであった。 ホルダ内に、4000kgの力でもって、80重量%の
粒状チタンと20重量%の粒状タンタルの混合物100
mgを圧縮した。チタン及びタンタル両方の粒寸は、そ
れらが325メツシュ/インチ(128メツシュ/cm
)の米国標準篩を通過するようなものであった。その後
、パン状ホルダを真空環境に置きそして誘導加熱により
加熱してチタンを蒸発せしめた。加熱は30秒継続した
。各サンプルから蒸発したチタンの量を表2に示す。 [0042] 【表2】 サンプル番号 蒸発チタン量(m g )1
4.8 2 4、6 3 8.9 4 6、7 5 6.4 6 5.4 7 7.2 8 10.1 9 4.8 10 4.6 11 6.7 12 11.8 [0043] 表2かられかるように、がなり多量のチタンが一層一様
な発生量でもって蒸発されうる。更に、目視による観察
は、ホルダ及びその内容物の実質上−様な加熱を示した
。 肋間+4−133250 (15) [0044]
【例8】
例7と正確に同じようにして調製したサンプルを真空中
でチタンを蒸発せしめる前に大気中400℃で10分間
加熱した。30秒以内に7.2mgのチタンが蒸発した
ことが見出された。 [0045]
でチタンを蒸発せしめる前に大気中400℃で10分間
加熱した。30秒以内に7.2mgのチタンが蒸発した
ことが見出された。 [0045]
【図4〜7の考察】
図4は、バリウム皮膜が高い収着容量を有するが窒素気
体に対して所望されざる程に低い初期収着ポンピング速
度しか有しないことを示す。 [0046] 図5は、チタン皮膜が非常に高いポンピング速度を示す
が、窒素気体に対して非常に低い収着容量しか有しない
ことを示す。 [0047] 図6において、曲線の比較の結果、もしチタンがバリウ
ム上に蒸発せしめられるなら、この組合せゲッタ系の初
期収着速度の僅かの増大が見られるが、しがしこれはデ
ィスプレー陰極線管の最初のスイッチ−オンにおいて窒
素を急速に収着するに充分ではない。更に、チタンが多
く蒸発せし、められる程、収着容量は減少する。 [00481 図7は、バリウム及びチタン皮膜が別々であるなら、高
い初期ポンピング速度と高い収着容量得られることを示
す。 [0049]
体に対して所望されざる程に低い初期収着ポンピング速
度しか有しないことを示す。 [0046] 図5は、チタン皮膜が非常に高いポンピング速度を示す
が、窒素気体に対して非常に低い収着容量しか有しない
ことを示す。 [0047] 図6において、曲線の比較の結果、もしチタンがバリウ
ム上に蒸発せしめられるなら、この組合せゲッタ系の初
期収着速度の僅かの増大が見られるが、しがしこれはデ
ィスプレー陰極線管の最初のスイッチ−オンにおいて窒
素を急速に収着するに充分ではない。更に、チタンが多
く蒸発せし、められる程、収着容量は減少する。 [00481 図7は、バリウム及びチタン皮膜が別々であるなら、高
い初期ポンピング速度と高い収着容量得られることを示
す。 [0049]
【例9】
カラーディスプレー陰極線管を図1に示すようにして組
み立てた。約50%バリウム−50%アルミニウムの粒
状合金とほぼ等量のニッケル及びバリウム蒸発中10〜
5X10−2mbar窒素圧力の範囲の窒素を発生する
に充分の少量のF e 4Nを混合した混合物的100
0mgを支持する第1のステンレス鋼製ボルダを金属ス
クリーニングキャップに付設した。例7に記載したのと
正確に同じようにして作製した第2のパン状ホルダを金
属スクリーニングキャップに管のキャツブとコーン部分
との間に付設した。第1及び第2ゲッタ金属蒸気放出材
料両方を管作製中フリットシール工程に供した。管の排
気及びシール後、第1ホルダを加熱してバリウム金属蒸
気を放出せしめた。その後、第2ホルダを加熱してチタ
ン蒸気を放出せしめた。チタン蒸気はバリウムが付着し
なかったところに付着した。管を最初にスイッチ−オン
したとき、窒素の圧力はカソードを損傷する危険のない
水準以下に維持された。 [00501 【発明の効果] 陰極線管作動寿命全体を通して残留気体に対する高い容
量を与えるバリウムゲッタと、カソードの最初のスイッ
チ−オンにおいて放出される窒素に対する高い収着速度
を有するチタン皮膜を提供する別個のチタンゲッタの組
合せにより窒素を放出し易いカソードを有する陰極線管
の寿命全体を通して損傷を防止する。
み立てた。約50%バリウム−50%アルミニウムの粒
状合金とほぼ等量のニッケル及びバリウム蒸発中10〜
5X10−2mbar窒素圧力の範囲の窒素を発生する
に充分の少量のF e 4Nを混合した混合物的100
0mgを支持する第1のステンレス鋼製ボルダを金属ス
クリーニングキャップに付設した。例7に記載したのと
正確に同じようにして作製した第2のパン状ホルダを金
属スクリーニングキャップに管のキャツブとコーン部分
との間に付設した。第1及び第2ゲッタ金属蒸気放出材
料両方を管作製中フリットシール工程に供した。管の排
気及びシール後、第1ホルダを加熱してバリウム金属蒸
気を放出せしめた。その後、第2ホルダを加熱してチタ
ン蒸気を放出せしめた。チタン蒸気はバリウムが付着し
なかったところに付着した。管を最初にスイッチ−オン
したとき、窒素の圧力はカソードを損傷する危険のない
水準以下に維持された。 [00501 【発明の効果] 陰極線管作動寿命全体を通して残留気体に対する高い容
量を与えるバリウムゲッタと、カソードの最初のスイッ
チ−オンにおいて放出される窒素に対する高い収着速度
を有するチタン皮膜を提供する別個のチタンゲッタの組
合せにより窒素を放出し易いカソードを有する陰極線管
の寿命全体を通して損傷を防止する。
【図1】
本発明のゲッタリングシステムが有用に使用されるカラ
ー陰極線ディスプレー管の断面図である。
ー陰極線ディスプレー管の断面図である。
【図2】
本発明のゲッタリングシステムにおいて有用な蒸発型チ
タンゲッタ装置の断面図である。
タンゲッタ装置の断面図である。
【図3】
ゲッタ収着特性試験装置の概略図である。
【図4】
バリウム皮膜の窒素収着特性を示すグラフである。
【図5】
チタン皮膜の窒素収着特性を示すグラフである。
【図6】
バリウム皮膜上のチタン皮膜の窒素収着特性を示すグラ
フである。
フである。
【図7】
チタン及びバリウム皮膜が同一容器内で別々の表面に付
着された時のこれら皮膜の組合せ窒素収着特性を示すグ
ラフである。
着された時のこれら皮膜の組合せ窒素収着特性を示すグ
ラフである。
100 カラーディスプレー陰極線管102 スクリ
ーン部分 104 コーン部分 106 ネック部分 108 蛍光体層 110 シャドウマスク 112 フレーム 114 磁気遮蔽カップ 116 グラファイト層 118 デイスペンサーカソード 120 第1ホルダ 122 第2ホルダ 124 外側壁 126 底壁 128 ゲッタ金属蒸気放出材料
ーン部分 104 コーン部分 106 ネック部分 108 蛍光体層 110 シャドウマスク 112 フレーム 114 磁気遮蔽カップ 116 グラファイト層 118 デイスペンサーカソード 120 第1ホルダ 122 第2ホルダ 124 外側壁 126 底壁 128 ゲッタ金属蒸気放出材料
【図1】
【図2】
図面
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
Claims (10)
- 【請求項1】敏感度の高いカソードを具備しそして該カ
ソードの最初のスイッチ−オンにおいて高い窒素圧力が
発生せしめられるディスプレー陰極線管におけるゲッタ
リングシステムであって、 (A)加熱に際してバリウム蒸気を放出することのでき
る第1ゲッタ金属蒸気放出材料と、 (B)加熱に際してチタン蒸気を放出することのできる
第2ゲッタ金属蒸気放出材料と を具備することを特徴とするゲッタリングシステム。 - 【請求項2】敏感度の高いカソード(118)を具備し
そして該カソードの最初のスイッチ−オンにおいて高い
窒素圧力が発生せしめられるディスプレー陰極線管(1
00)におけるゲッタリングシステムであって、(A)
加熱に際してバリウム蒸気を放出することのできる第1
ゲッタ金属蒸気放出材料を支持する第1ホルダ(120
)と、(B)加熱に際してチタン蒸気を放出することの
できる第2ゲッタ金属蒸気放出材料を支持する第2ホル
ダ(122)と を具備することを特徴とするゲッタリングシステム。 - 【請求項3】第2ホルダ(122)がモリブデン、ニオ
ブ、タンタル及びタングステンから成る群から選択され
る高融点金属製である請求項2のゲッタリングシステム
。 - 【請求項4】第2ゲッタ金属蒸気放出材料(128)が
粒状チタンと、モリブデン、ニオブ、タンタル及びタン
グステンから成る群から選択される粒状金属焼結防止剤
との混合物である請求項2のゲッタリングシステム。 - 【請求項5】粒状チタンが44μm未満の粒寸を有する
請求項4のゲッタリングシステム。 - 【請求項6】焼結防止剤の粒寸が44μm未満である請
求項4のゲッタリングシステム。 - 【請求項7】チタン対
焼結防止剤の重量比が19:1〜1:19の範囲にある
請求項4のゲッタリングシステム。 - 【請求項8】スクリーン部分(102)、コーン部分(
104)及びネック部分(106)を装備し、該コーン
部分内に金属製磁気遮蔽カップ(114)を配しそして
該ネック部分内にタングステンディスペンサーカソード
(118)を配し、そしてカソード(118)の最初の
スイッチ−オンにおいて内部に高い窒素圧力が発生せし
められるカラーディスプレー陰極線管(100)におけ
るゲッタリングシステムであって、 (A)外側壁と底壁とを有し、そして約50重量%バリ
ウム−50重量%アルミニウムの粒状合金とほぼ等重量
の粒状ニッケルとの混合物を含む第1ゲッタ金属蒸気放
出材料を支持するリング状ステンレス鋼製第1ホルダ(
120)と、(B)外側壁(124)と底壁(126)
とを有し、そして粒状チタンと粒状タンタルとの混合物
を含む第2ゲッタ金属蒸気放出材料(128)を支持す
るリング状モリブデン製第2ホルダ(122)と を具備することを特徴とするゲッタリングシステム。 - 【請求項9】スクリーン部分(102)、コーン部分(
104)及びネック部分(106)を装備し、該コーン
部分(104)内に金属製磁気遮蔽カップ(114)を
配しそして該ネック部分(106)内にタングステンデ
ィスペンサーカソード(118)を配し、そしてカソー
ド(118)の最初のスイッチ−オンにおいて内部に高
い窒素圧力が発生せしめられるカラーディスプレー陰極
線管(100)におけるゲッタリングシステムであって
、(A)外側壁と底壁とを有し、そして約50重量%バ
リウム−50重量%アルミニウムの粒状合金とほぼ等重
量の粒状ニッケルとの混合物を含む第1ゲッタ金属蒸気
放出材料を支持するリング状ステンレス鋼製第1ホルダ
(120)と、(B)外側壁(124)と底壁(126
)とを有し、そして44μ未満の粒寸を有する粒状チタ
ンと44μ未満の粒寸を有する粒状タンタルとの混合物
でありそしてチタン対タンタルの重量比が5:1〜1:
5の範囲にあるチタン及びタンタル混合物を含む第2ゲ
ッタ金属蒸気放出材料(128)を支持するリング状モ
リブデン製第2ホルダ(122)と を具備することを特徴とするゲッタリングシステム。 - 【請求項10】加熱に際してチタン蒸気を放出すること
のできるゲッタ金属蒸気放出材料を支持するホルダ(1
22)であって、ホルダ(122)が外側壁(124)
と底壁(126)とを有するリング状でありそしてモリ
ブデン、ニオブ、タンタル及びタングステンから成る群
から選択される材料製であり、そしてチタンと、モリブ
デン、ニオブ、タンタル及びタングステンから成る群か
ら選択される焼結防止剤との混合物であり、チタン及び
焼結防止剤両方が粒状であり且つチタン対焼結防止剤の
重量比が19:1〜1:19の範囲にある混合物を支持
するホルダ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT19017A/90 | 1990-01-05 | ||
IT01901790A IT1237948B (it) | 1990-01-05 | 1990-01-05 | Dispositivo getter ed insieme getterante per un tibo a raggi catodici |
Publications (1)
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---|---|
JPH04133250A true JPH04133250A (ja) | 1992-05-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2415283A Pending JPH04133250A (ja) | 1990-01-05 | 1990-12-27 | 陰極線管用ゲッタ装置及びシステム |
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---|---|
EP (1) | EP0436477A3 (ja) |
JP (1) | JPH04133250A (ja) |
KR (1) | KR910014988A (ja) |
IT (1) | IT1237948B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006192380A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気体吸着合金 |
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JPH09320493A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-12 | Futaba Corp | 真空気密容器 |
US5898272A (en) * | 1997-08-21 | 1999-04-27 | Everbrite, Inc. | Cathode for gas discharge lamp |
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FR1527220A (fr) * | 1967-04-21 | 1968-05-31 | Csf | Perfectionnements aux filaments à sublimation de titane pour application dans les techniques du vide |
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-
1990
- 1990-01-05 IT IT01901790A patent/IT1237948B/it active IP Right Grant
- 1990-12-27 JP JP2415283A patent/JPH04133250A/ja active Pending
- 1990-12-28 KR KR1019900022106A patent/KR910014988A/ko not_active Application Discontinuation
- 1990-12-31 EP EP19900830621 patent/EP0436477A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006192380A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気体吸着合金 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0436477A2 (en) | 1991-07-10 |
IT1237948B (it) | 1993-06-19 |
IT9019017A1 (it) | 1991-07-06 |
EP0436477A3 (en) | 1991-12-18 |
KR910014988A (ko) | 1991-08-31 |
IT9019017A0 (it) | 1990-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990525 |