JPH04132902A - Manufacture of sensitivity adjusting apparatus of position detector - Google Patents
Manufacture of sensitivity adjusting apparatus of position detectorInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流体圧シリンダにおけるピストンのストロー
ク位置などを検出するための位置検出装置の感度調整装
置の製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method of manufacturing a sensitivity adjustment device for a position detection device for detecting the stroke position of a piston in a fluid pressure cylinder.
従来より、油圧シリンダや空気圧シリンダなどの流体圧
シリンダには、そのピストンのストローク位置を検出す
るための位置検出装置が取りつけられている。BACKGROUND ART Conventionally, a position detection device for detecting the stroke position of a piston has been attached to a fluid pressure cylinder such as a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder.
従来の位置検出装置は、合成樹脂などからなるハウジン
グ内に、磁気抵抗素子又はホール素子などの磁気センサ
ーが取り付けられたプリント基板が配置されて構成され
ている。A conventional position detection device includes a printed circuit board to which a magnetic sensor such as a magnetoresistive element or a Hall element is attached, disposed within a housing made of synthetic resin or the like.
このような位置検出装置は、例えばシリンダチューブの
外周面に装着され、シリンダチューブ内を摺動するピス
トンに取り付けられた永久磁石の磁界を検出する。Such a position detection device is mounted, for example, on the outer peripheral surface of a cylinder tube and detects the magnetic field of a permanent magnet attached to a piston that slides within the cylinder tube.
つまり、ピストンのストローク方向（軸方向）の位置に
応じて磁気センサーを通過する磁束密度が変化し、これ
に応じて磁気センサーが出力する検知信号の大きさが変
化する。検知信号が予め設定された閾値よりも大きくな
ったときに、ピストンが位置検出装置に接近した旨の信
号である検出信号を出力するのである。That is, the magnetic flux density passing through the magnetic sensor changes depending on the position of the piston in the stroke direction (axial direction), and the magnitude of the detection signal output by the magnetic sensor changes accordingly. When the detection signal becomes larger than a preset threshold value, a detection signal indicating that the piston has approached the position detection device is output.
ところが、流体圧シリンダにおいては、シリンダチュー
ブの材質により、また使用する流体の圧力により、シリ
ンダチューブの肉厚が異なる。例えば、ステンレス鋼で
はアルミニウム合金に比較して肉厚が薄く、また油圧用
では空気圧用に比較して肉厚が厚い。However, in a fluid pressure cylinder, the wall thickness of the cylinder tube varies depending on the material of the cylinder tube and the pressure of the fluid used. For example, stainless steel has a thinner wall thickness than an aluminum alloy, and a hydraulic type has a thicker wall than a pneumatic type.
このようにシリンダチューブの肉厚が変わると、位置検
出装置と永久磁石との間隔、すなわち磁気センサーと永
久磁石との距離が変わるので、磁気センサーに加わる磁
界の強さが変わる。When the wall thickness of the cylinder tube changes in this way, the distance between the position detection device and the permanent magnet, that is, the distance between the magnetic sensor and the permanent magnet changes, so the strength of the magnetic field applied to the magnetic sensor changes.
そのため、位置検出装置の感度が不変一定であると、異
なる肉厚の流体圧シリンダに用いた場合に位置検出装置
の検出動作幅（ピストンのストローク方向において位置
検出装置から検出信号が出力される幅）が変わり、安定
した検出動作が行えないという問題があった。Therefore, if the sensitivity of the position detection device remains constant, the detection operation width of the position detection device (width in which the detection signal is output from the position detection device in the piston stroke direction) when used for fluid pressure cylinders with different wall thicknesses. ) has changed, making it impossible to perform stable detection operations.
例えば、シリンダチューブの肉厚が薄くなれば検出動作
幅が大きくなり、これによって検出精度が低下するとと
もに−、肉厚が薄くなりすぎると多点動作（検出動作が
ストローク方向位置に応じて複数回生起すること）を起
こす恐れがある。For example, as the wall thickness of the cylinder tube becomes thinner, the detection operation width becomes larger, which reduces the detection accuracy. There is a risk of causing
本発明は、上述の問題に鑑み、位置検出装置の感度調整
を容易に行うことのできる感度調整装置の製造方法を提
供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a sensitivity adjustment device that can easily adjust the sensitivity of a position detection device.
本発明に係る製造方法は、上述の課題を解決するため、
軟磁性体からなるシート状体と合成樹脂板からなるスペ
ーサ板とを接着層により接着する工程と、前記スペーサ
板の外表面に台紙が付いた両面テープを貼り付ける工程
と、前記シート状体、前記接着層、前記スペーサ板、及
び前記両面テープからなる積層体を、前記台紙を残して
所定の寸法に切断する工程とを有してなる。In order to solve the above-mentioned problems, the manufacturing method according to the present invention includes:
a step of adhering a sheet-like body made of a soft magnetic material and a spacer plate made of a synthetic resin plate with an adhesive layer; a step of pasting a double-sided tape with a mount on the outer surface of the spacer plate; The method includes the step of cutting the laminate made of the adhesive layer, the spacer plate, and the double-sided tape into a predetermined size, leaving the mount intact.
接着層によって、シート状体とスペーサ板とが接着され
、これに両面テープが貼り付けられて積層体が構成され
る。The sheet-like body and the spacer plate are adhered to each other by the adhesive layer, and a double-sided tape is attached to this to form a laminate.
積層体は台紙の部分を残して切断され、これによって多
数の感度調整装置が台紙に貼り付いた状態になる。The laminate is cut leaving the backing paper behind, resulting in a large number of sensitivity adjustment devices stuck to the backing paper.
それぞれの感度調整装置を台紙から剥がすことによって
、その表面に接着層が露出するので、その接着層を利用
して磁気センサーなどに貼り付ける。By peeling off each sensitivity adjustment device from the mount, an adhesive layer is exposed on its surface, which can be used to attach it to a magnetic sensor, etc.
調整板は、磁気センサーを通過する磁束を減少させ、位
置検出装置の感度を調整する。The adjustment plate reduces the magnetic flux passing through the magnetic sensor and adjusts the sensitivity of the position sensing device.
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本発明に係る感度調整装置１０の正面図、第２
図は本発明に係る感度調整装置ｌＯを有した位置検出装
置２の断面正面図、第３図は感度調整装置１０の平面図
である。FIG. 1 is a front view of a sensitivity adjustment device 10 according to the present invention, and FIG.
The figure is a cross-sectional front view of a position detection device 2 having a sensitivity adjustment device IO according to the present invention, and FIG. 3 is a plan view of the sensitivity adjustment device 10.
第２図において、位置検出装置２は、流体圧シリンダ３
のシリンダチューブ４の外周面に取り付けられており、
シリンダチューブ４の内周面を摺動するピストン５に装
着された永久磁石６の磁界によって作動する。永久磁石
６は、流体圧シリンダ３のストローク方向（第１図の矢
印Ｍ１方向）に沿って、Ｎ極又はＳ極を有している。In FIG. 2, the position detection device 2 is connected to a hydraulic cylinder 3.
It is attached to the outer peripheral surface of the cylinder tube 4 of
It is operated by the magnetic field of a permanent magnet 6 attached to a piston 5 that slides on the inner peripheral surface of the cylinder tube 4. The permanent magnet 6 has an N pole or an S pole along the stroke direction of the fluid pressure cylinder 3 (direction of arrow M1 in FIG. 1).
位置検出装置２は、ハウジング１１、プリント基板１２
、発光ダイオード１３、磁気センサー１４、感度調整装
置１０、リード線１７などから構成されている。The position detection device 2 includes a housing 11 and a printed circuit board 12.
, a light emitting diode 13, a magnetic sensor 14, a sensitivity adjustment device 10, a lead wire 17, and the like.
ハウジング１１は、合成樹脂などの非磁性材料からなり
、筒状又は容器状に形成されている。The housing 11 is made of a non-magnetic material such as synthetic resin, and is formed into a cylindrical or container shape.
プリント基板１２には、発光ダイオード１３、磁気セン
サー１４、図示しない比較器、及びその他の回路部品が
実装されており、ピストン５のストローク位置を検出す
るための検出回路を形成している。プリント基板１２は
ハウジング１１の内部に配置され、合成樹脂などを充填
することによって固定されている。A light emitting diode 13, a magnetic sensor 14, a comparator (not shown), and other circuit components are mounted on the printed circuit board 12, forming a detection circuit for detecting the stroke position of the piston 5. The printed circuit board 12 is placed inside the housing 11 and fixed by filling it with synthetic resin or the like.
発光ダイオード１３は、磁気センサー１４の検知信号に
基づいた検出状態に応じて点灯する。The light emitting diode 13 lights up according to the detection state based on the detection signal of the magnetic sensor 14.
磁気センサー１４は、永久磁石６の磁界を検知して磁界
の強さに応じた検知信号を出力するもので、例えば、磁
気抵抗素子、ホール素子などが用いられる。The magnetic sensor 14 detects the magnetic field of the permanent magnet 6 and outputs a detection signal according to the strength of the magnetic field, and uses, for example, a magnetoresistive element, a Hall element, or the like.
磁気センサー１４は、流体圧シリンダ３のストロータ方
向（矢印Ｍ１方向）の磁界に対して感度が最大となるよ
うに配置されている。The magnetic sensor 14 is arranged so that its sensitivity to the magnetic field in the stroker direction (arrow M1 direction) of the fluid pressure cylinder 3 is maximized.
リード１１７は、上述の検出回路からの検出信号を出力
し、また検出回路への電源を供給するためのものである
。The lead 117 is for outputting a detection signal from the above-mentioned detection circuit and for supplying power to the detection circuit.
感度調整装置１０は、磁気センサー１４の上側の面（永
久磁石６と反対側の面）に貼り付けられている。The sensitivity adjustment device 10 is attached to the upper surface of the magnetic sensor 14 (the surface opposite to the permanent magnet 6).
第１図において、感度調整装置１０は、調整板１６、ス
ペーサ１５、及び両面テープ２１．２２から構成されて
いる。In FIG. 1, the sensitivity adjustment device 10 is composed of an adjustment plate 16, a spacer 15, and double-sided tapes 21 and 22.
調整板１６は、磁気センサー１１に加わる磁界の強さを
減少させるためのものであり、アモルファス合金などの
軟磁性体からなり、磁気センサー１４の面積よりも少々
大きい板状のものである。The adjustment plate 16 is for reducing the strength of the magnetic field applied to the magnetic sensor 11, and is made of a soft magnetic material such as an amorphous alloy, and has a plate shape slightly larger than the area of the magnetic sensor 14.
スペーサ１５は、調整板１６と磁気センサー１４との間
に配置されるものであり、合成樹脂などの非磁性材料か
らなる板状のものである。スペーサ１５の板厚を適当な
ものに設定することによって、位置検出装置２の感度が
調整される。The spacer 15 is disposed between the adjustment plate 16 and the magnetic sensor 14, and is a plate-shaped spacer made of a non-magnetic material such as synthetic resin. By setting the thickness of the spacer 15 to an appropriate value, the sensitivity of the position detection device 2 is adjusted.
スペーサ１５と調整板１６とは、その間に介在する両面
テープ２２によって接着されて一体化されており、スペ
ーサ１５の他方の面には、磁気センサー１４と接着する
ための両面テープ２１が貼り付けられている。The spacer 15 and the adjustment plate 16 are bonded and integrated with a double-sided tape 22 interposed between them, and a double-sided tape 21 for bonding the magnetic sensor 14 is pasted on the other surface of the spacer 15. ing.
感度調整装置１０は、調整板１６の長手方向が、磁気セ
ンサー１４が感応する磁界の方向（矢印Ｍ１方向）と平
行な方向になるように配置して貼り付けられている。The sensitivity adjustment device 10 is attached so that the longitudinal direction of the adjustment plate 16 is parallel to the direction of the magnetic field (arrow M1 direction) to which the magnetic sensor 14 is sensitive.
次に、感度調整装置１０の製造方法について説明する。Next, a method of manufacturing the sensitivity adjustment device 10 will be explained.
第４図〜第６図は感度調整装置１０の製造工程を示す図
である。4 to 6 are diagrams showing the manufacturing process of the sensitivity adjustment device 10.
第４図に示すように、まず、例えば厚さが数十ミクロン
程度のアモルファス合金（例えば田島スチール社製の商
品名「マグネシール」）からなり、１辺の長さがそれぞ
れ数センチ程度の長方形のシート状体１６Ｂ、シート状
体１６Ｂと同じ大きさの両面テープ２２Ｂ１ポリカーボ
ネイトなどの合成樹脂板からなるスペーサ板１５Ｂ、片
面に台紙２１ｂが貼り付けられた両面テープ２１Ｂを、
それぞれこの順に貼り合わせ、第５図に示すような積層
体１０Ｂを作製する。As shown in Figure 4, first, it is made of an amorphous alloy (for example, "Magneseal" manufactured by Tajima Steel Co., Ltd.) with a thickness of several tens of microns, and a rectangular shape with each side length of several centimeters is formed. A sheet-like body 16B, a double-sided tape 22B of the same size as the sheet-like body 16B, a spacer plate 15B made of a synthetic resin plate such as polycarbonate, and a double-sided tape 21B with a mount 21b attached to one side,
They are bonded together in this order to produce a laminate 10B as shown in FIG.
次に、第６図に示すように、積層体１０Ｂを台紙２１ｂ
の側を下にして適当な台上に置き、−枚歯のカッターで
感度調整装置１０の外形となるように切断する。−枚歯
のカッターを使用することにより、外形が欠けることな
く綺麗に切断できる。Next, as shown in FIG. 6, the laminate 10B is
Place it on a suitable table with the side facing down, and cut it to the outer shape of the sensitivity adjustment device 10 using a cutter with two teeth. - By using a cutter with single teeth, it is possible to cut cleanly without chipping the outer shape.
積層体１０Ｂの切断に当たつては、縦切断線Ｍ２に沿っ
て縦方向に所定のピッチ毎に切断し、次に横切断ＩＪＩ
Ｍ３に沿って横方向に所定のピッチ毎に切断する。また
、台紙２１ｂを切断しないようにハーフカットとする。When cutting the laminate 10B, it is cut at predetermined pitches in the longitudinal direction along the vertical cutting line M2, and then transversely cut IJI.
Cut at predetermined pitches in the transverse direction along M3. Moreover, the mount 21b is half-cut so as not to be cut.
これによって、多数の感度調整装置１０が、台紙２１ｂ
上に整列して接着している状態となる。As a result, a large number of sensitivity adjustment devices 10 can be mounted on the mount 21b.
They are lined up and glued together.
感度調整装置１０を磁気センサー１４に貼り付ける際に
は、感度調整装置１０を台紙２１ｂから剥がすことによ
って１個の感度調整装置１０が積層体１０Ｂから分離し
、且つこれによって接着面が露出するので、その接着面
を利用して磁気センサー１４の表面に貼り付ける。When attaching the sensitivity adjustment device 10 to the magnetic sensor 14, one sensitivity adjustment device 10 is separated from the laminate 10B by peeling off the sensitivity adjustment device 10 from the mount 21b, and the adhesive surface is thereby exposed. , is attached to the surface of the magnetic sensor 14 using its adhesive surface.
第７図は永久磁石６による磁界の状態を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the state of the magnetic field generated by the permanent magnet 6.
第７図において、実線で示す曲線Ｈａは、感度調整装置
１０が無い場合における磁気センサー１４を通過する磁
束の有効成分（矢印Ｍ１方向の成分）による磁界の強さ
を示している。In FIG. 7, a solid curve Ha indicates the strength of the magnetic field due to the effective component (component in the direction of arrow M1) of the magnetic flux passing through the magnetic sensor 14 in the absence of the sensitivity adjustment device 10.
また、破線で示す曲線Ｈｂは、感度調整装置ｌＯが有る
場合における磁気センサー１４を通過する磁束の有効成
分による磁界の強さを示している。Further, a curve Hb indicated by a broken line indicates the strength of the magnetic field due to the effective component of the magnetic flux passing through the magnetic sensor 14 in the case where the sensitivity adjustment device IO is provided.
これらの曲線Ｈａ、Ｈｂによると、永久磁石６の真上で
最も大きいピークが、その両側で小さい２つのピークが
、それぞれ現れているが、これらのピークは、感度調整
装置ｌＯがある場合の方が無い場合に比較して小さ（な
っている。According to these curves Ha and Hb, the largest peak appears directly above the permanent magnet 6, and two smaller peaks appear on both sides of it, but these peaks are more pronounced when there is a sensitivity adjustment device IO. It is smaller compared to the case without it.
これは、磁気センサー１４を通過していた磁束の一部が
調整板１６を通過することにより、磁気センサー１４を
通過する磁束が減少するためである。This is because a part of the magnetic flux that has passed through the magnetic sensor 14 passes through the adjustment plate 16, thereby reducing the magnetic flux that passes through the magnetic sensor 14.
また、第７図のラインＬｓは、位置検出装置２が検出信
号を出力するためのしきい値を示している。Further, a line Ls in FIG. 7 indicates a threshold value for the position detection device 2 to output a detection signal.
その結果、感度調整装置１０が有る場合の位置検出装置
２の動作幅Ｅｂは、感度調整装置１０が無い場合の動作
幅Ｅａに比較して小さくなっている。As a result, the operating width Eb of the position detection device 2 when the sensitivity adjusting device 10 is present is smaller than the operating width Ea when the sensitivity adjusting device 10 is not present.
つまり、調整板１６が設けられることによって、位置検
出装置２の動作幅が小さくなる。調整板１６と磁気セン
サー１４との間隔が小さくなるにしたがって、つまりス
ペーサ１５の板厚が小さくなるにしたがって、磁気セン
サー１４を通過する磁束が減少し、動作幅が小さ（なる
、したがって、スペーサ１５の板厚を適当に設定してお
くことによって位置検出装置２の感度を調整することが
できるのである。That is, by providing the adjustment plate 16, the operating width of the position detection device 2 becomes smaller. As the distance between the adjusting plate 16 and the magnetic sensor 14 becomes smaller, that is, as the plate thickness of the spacer 15 becomes smaller, the magnetic flux passing through the magnetic sensor 14 decreases, and the operating width becomes smaller. By appropriately setting the thickness of the plate, the sensitivity of the position detection device 2 can be adjusted.
シリンダチューブ４の肉厚、及び永久磁石６の強さによ
って、磁気センサー１４に加わる磁界の強さが異なった
ものとなるので、これら流体圧シリンダ３の仕様に応じ
て、スペーサ１５（スペーサ板１５Ｂ）の板厚を設定し
位置検出装置２の感度を調整しておけばよい。The strength of the magnetic field applied to the magnetic sensor 14 varies depending on the thickness of the cylinder tube 4 and the strength of the permanent magnet 6. Therefore, depending on the specifications of the fluid pressure cylinder 3, ) and adjust the sensitivity of the position detection device 2.
上述の実施例によると、感度調整装置１０を磁気センサ
ー１４の表面に貼り付けることによって位置検出装置２
の感度を調整することができるので、感度調整が極めて
容易である。According to the above-described embodiment, the sensitivity adjustment device 10 is attached to the surface of the magnetic sensor 14, thereby adjusting the position detection device 2.
Since the sensitivity can be adjusted, sensitivity adjustment is extremely easy.
板厚の異なる種々のスペーサ１５を用いた感度調整装置
１０を準備しておき、位置検出装置２の感度仕様に応じ
てそれらを選択すればよい。Sensitivity adjustment devices 10 using various spacers 15 having different plate thicknesses may be prepared in advance, and one of them may be selected according to the sensitivity specifications of the position detection device 2.
また、両面テープ２１．２２により貼り合わせて積層体
１０Ｂを構成しているので、積層体１０Ｂの製造が容易
である。Furthermore, since the laminate 10B is constructed by bonding them together using double-sided tapes 21 and 22, the laminate 10B is easy to manufacture.
しかも、多数の感度調整装置１０が、台紙２１ｂ上に整
列して接着した状態に仕上がるので、感度調整装置１０
がバラバラにならず、部品管理が容易である。積層体１
０Ｂの台紙２１ｂから感度調整装置１０を剥がして磁気
センサー１４に貼り付ければよいので、感度調整装置１
０の取り付は作業が極めて容易であり、位置検出装置２
の製造コストの低減を図ることができる。Moreover, since a large number of sensitivity adjustment devices 10 are arranged and glued on the mount 21b, the sensitivity adjustment devices 10
The parts do not fall apart and parts management is easy. Laminate 1
All you have to do is peel off the sensitivity adjustment device 10 from the mount 21b of 0B and attach it to the magnetic sensor 14.
0 is extremely easy to install, and the position detection device 2
The manufacturing cost can be reduced.
上述の実施例において、積層体１０Ｂ及び感度調整装２
１０の寸法、形状、数量、構造、位置検出装置２の構造
、形状などは、上述した以外に種々変更することができ
る。In the above embodiment, the laminate 10B and the sensitivity adjustment device 2
The dimensions, shape, quantity, structure, etc. of 10 and the structure, shape, etc. of position detection device 2 can be changed in various ways other than those described above.
本発明によると、位置検出装置の感度調整を容易に行う
ことのできる感度調整装置の製造方法を提供することが
できる。According to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a sensitivity adjustment device that can easily adjust the sensitivity of a position detection device.
しかも、多数の感度調整装置が台紙上に整列して接着し
た状態に仕上がるので、感度調整装置がバラバラになら
ず、部品管理が容易である。積層体の台紙から感度調整
装置を剥がして使用できるので、感度調整装置の取り付
は作業が極めて容易であり、位置検出装置の製造コスト
の低減を図ることができる。Moreover, since a large number of sensitivity adjustment devices are arranged and adhered to the mount, the sensitivity adjustment devices do not come apart and parts management is easy. Since the sensitivity adjustment device can be used after being peeled off from the mount of the laminate, attachment of the sensitivity adjustment device is extremely easy, and the manufacturing cost of the position detection device can be reduced.
第１図は本発明に係る感度調整装置の正面図、第２図は
本発明に係る感度調整装置を有した位置検出装置の断面
正面図、
第３図は感度調整装置の平面図、
第４図〜第６図は感度調整装置の製造工程を示す図、
第７図は永久磁石による磁界の状態を示す図である。
２・・・位置検出装置、１０・・・感度調整装置、１０
Ｂ・・・積層体、１５Ｂ・・・スペーサ板、１６Ｂ・・
・シート状体、２１Ｂ・・・両面テープ、２１ｂ・・・
台紙、２２Ｂ・・・両面テープ（接着層）。FIG. 1 is a front view of a sensitivity adjustment device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional front view of a position detection device having a sensitivity adjustment device according to the present invention, FIG. 3 is a plan view of the sensitivity adjustment device, and FIG. 6 to 6 are diagrams showing the manufacturing process of the sensitivity adjustment device, and FIG. 7 is a diagram showing the state of the magnetic field caused by the permanent magnet. 2... Position detection device, 10... Sensitivity adjustment device, 10
B... Laminated body, 15B... Spacer plate, 16B...
・Sheet-shaped body, 21B...Double-sided tape, 21b...
Mounting paper, 22B... double-sided tape (adhesive layer).
Claims (1)
るスペーサ板とを接着層により接着する工程と、 前記スペーサ板の外表面に台紙が付いた両面テープを貼
り付ける工程と、 前記シート状体、前記接着層、前記スペーサ板、及び前
記両面テープからなる積層体を、前記台紙を残して所定
の寸法に切断する工程と を有してなることを特徴とする位置検出装置の感度調整
装置の製造方法。(1) A step of adhering a sheet-like body made of a soft magnetic material and a spacer plate made of a synthetic resin plate with an adhesive layer, a step of pasting a double-sided tape with a mount on the outer surface of the spacer plate, and the sheet Sensitivity adjustment of a position detection device characterized by comprising the step of cutting a laminate consisting of a shaped body, the adhesive layer, the spacer plate, and the double-sided tape into a predetermined size while leaving the mount intact. Method of manufacturing the device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25551190A JP2859945B2 (en) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | Manufacturing method of sensitivity adjustment device for position detection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25551190A JP2859945B2 (en) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | Manufacturing method of sensitivity adjustment device for position detection device |
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|---|---|---|---|---|
| WO2009116365A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-24 | 三菱電機株式会社 | Origin position signal detector |
| JP2011169715A (en) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Panasonic Corp | Position detection mechanism |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP25551190A patent/JP2859945B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009116365A1 (en) * | 2008-03-17 | 2009-09-24 | 三菱電機株式会社 | Origin position signal detector |
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