JPH04131706A - 変形・変位測定装置及び補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野１ 本発明は、変形・変位測定装置及び補正装置に係り、特
に、変形・変位前後の物体を光電変換素子列で撮像し、
その撮像パターンをそれぞれ光電変換して得られる信号
間の相互相関関数を求め、該相関関数の極値の位置とし
て求められる撮像パターンの移動量から物体の変形・変
位量を決定する、変形・変位測定装置及び相関計算によ
る極値の位置を利用する装置に適用する補正装置に関す
るものである。 ［従来の技術］ レーザビームを粗面に当てた時、拡散光の干渉によって
生ずるスペックル模様は、物体表面に変位や変形が起き
ると、徐々に変形しながら移動する。そこで、反射光に
含まれるスペックル模様を光電的に走査し、得られる電
気信号をマイクロコンピュータ、相関計に入力し、その
相関関数の極値の位置の移動量からスペックル移動を求
め、このスペックル移動と物体表面の変位や変形との関
係を利用して、物体の並進、回転、歪み等による微小な
変形を測定する、いわゆるスペックル相関法が提案され
ている（特公昭５９−５２９６３＞。 このスペックル相関法に適用可能な装置としては、例え
ば第８図にその概略を示す如く、−次元イメージセンサ
とマイクロコンピュータを備えたものを挙げることがで
きる。 この装置においては、物体１０上の測定点を、レーザ源
１２で発生した、直径１闘程度のレーザビーム１３で、
必要に応じて拡大レンズ１４を介して照射し、その拡散
反射光の中に一次元イメージセンサ１５を配置しておく
。その際、ビーム径Ｗとセンサ距離ＬＯを調節して、お
よそλＬｏ／Ｗ　（λはレーザビームの波長）で与えら
れるセンサ１５上でのスペックルの平均径を、そのピッ
チ（１０〜２０μｍ）より大きくとっておく。又、−次
元イメージセンサ１５の軸は、光学系と物体変位の種類
（平行移動、回転、歪みの方向）で決まるスペックル移
動の方向に合致させておく。 −次元イメージセンサ１５の出力をＡ／Ｄ変換してマイ
クロコンピュータ１６に入れ、相関器１８で物体の変形
前後の出力の間の相互相関関数を計算すると、そのピー
ク位置としてスペックル移動が求められる。 上述のスペックル相関法では、相関計算と頂点位置の特
定に時間を要するため、それを改善するべく、極値とそ
の位置を出力する専用相関器を用いて、リアルタイムで
スペックルの移動量を検出する装置も本発明者により開
発されている〈オブトロニクスＶＯＩ、７、Ｎｏ、９　
（１９８８）１２０−１２５＞。 又、光電変換素子の出力をマイクロコンピュータに取込
み、そのフレームデータの異なったフレーム間の相互相
関関数をこのマイクロコンピュータにより計算し、得ら
れた相互相関関数の極値とその周辺の値２点を放物曲線
にあてはめてその頂点位置を求めることより極値の位置
を補正し、その分解能を向上させる技術が本発明者によ
り開発されている（　Ｑ　ｐｔｉｃｓ　　ａｎｄ　　Ｌ
　ａｓｅｒｓ　　ｉｎ　　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｐ　　
１１　（１９８９）　２２３−２３２）。 【発明が解決しようとする課題】 前記専用相関器を備えた装置は、相関計算の高速化が達
成され、相互相関関数の極値とその位置をリアルタイム
で出力することができるが、該極値の正確な位置をリア
ルタイムで補正する方法が無いため、物体変形の測定に
おける最小分解能は光電変換素子の配列ピッチにより決
定され、該ピッチ以下の分解能で、しかもリアルタイム
で、上記極値の正確な位置、即ち、物体の変形・変位量
を計測することは不可能であった。 又、上記のように、光電変換素子の出力をマイクロコン
ピュータに取込み、そのフレームデータの異なったフレ
ーム間の相関計算及び補正計算をソフトウェアにより実
行する場合は、その目算時間として数秒を要し、そのた
め、この計算時間中は光電変換素子からの出力を取込む
ことが出来ず、計算終了後に始めて次のフレームデータ
を取込むことが出来るにすぎなかった。そのため、前記
のような分解能を向上する技術は、動きの遅い物体の変
形や変位の測定にしか適用できなかった。 以上の問題点は、所定の形状・大きさを有する通常物体
の変形）変位を測定する場合はもとより、粉体や気泡等
０ノ物体について、例えば粉体の変位や気泡の位置の移
動（変位）等を定量的に測定する場合に、変形・変位前
後のこれら物体を光学的に撮像し、その撮像パターンに
対応する電気信号から相関関数を求め、その極値の位置
から前記スペックルパターンの場合と同様にして上記物
体の変形・変位量を求める場合にも存在する。 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、変形・変位前後の物体を光電変換素子列で撮像し
、それぞれの撮像パターンの相互相関関数を求め、相関
計算による相互相関関数の極値の位置の補正を高速且つ
高精度で実現することにより、物体の変形・変位を高速
且つ高精度で測定することができる変形・変位測定装置
を提供することを第１の課題とする。 本発明は、又、広く相関計算による極値の位置を利用す
る装置に適用し、該極値の位置を高精度に補正すること
ができる補正装置を提供することを第２の課題とする。

【課題を達成するための手段】

第１発明は、変形・変位前後の物体を光電変換素子列で
撮像し、それぞれの撮像パターンを光電変換して得られ
る信号間の相互相関関数を求め、該相互相関関数の極値
の位置として求められる撮像パターンの移動量から物体
の変形・変位量を決定する変形・変位測定装置であって
、極値の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力す
る相関手段と、複数の上記相関値を入力し、極値の位置
の補正値を出力する補正手段と、極値の位置と上記補正
値とを合成し、補正された極値の位置を出力する合成手
段とを備えることにより、前記第１の課題を達成したも
のである。 第２発明は又、前記変形・変位測定装置において、極値
の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力する相関
手段と、相関値と適値との差をとり、その差分値を出力
する減算手段と、上記差分値を入力し、極値の位置の補
正値を出力する補正手段と、極値の位置と上記補正値と
を合成し、補正された極値の位置を出力する合成手段と
を備えることにより、同様に前記第１の課題を達成した
ものである。 第３発明は、相関計算による極値の位置を利用する装置
に適用する補正装置であって、極値の位置と該極値及び
その周辺の相関値とを出力する相関手段と、複数の上記
相関値を入力し、極値の位置の補正値を出力する補正手
段と、極値の位置と上記補正値とを合成し、補正された
極値の位置を出力する合成手段とを備えることにより、
前記第２の課題を達成したものである。 第４発明は又、前記補正装置において、極値の位置と該
極値及びその周辺の相関値とを出力する相関手段と、相
関値と適合値との差をとり、その差分値を出力する減算
手段と、上記差分値を入力し、極値の位置の補正値を出
力する補正手段と、極値の位置と上記補正値とを合成し
、補正された極値の位置を出力する合成手段とを備える
ことにより、同様に前記第２の課題を達成したものであ
る。

【作用及び効果】

第６図に示す如く、物体１０について、その測定領域Ｏ
を、レーザ源１２からのレーザビーム１３で必要に応じ
て拡大レンズ１４を介して照射し、得られる撮像パター
ンを観察面３０で観察する場合を考える。 ここで、物体面上の座標軸をｘ、ｙ、ｚル−ザビーム１
３の発散点の距離０８＝ＬＳ　１発散点の方向をｆｌ　
Ｓｘ、　Ｒｓｙ、　Ｉｌ　ｓｚ、物体面と観察面３０の
距離をＬＯ１観察観察点力向をＪｘ　、　ｆｙ　、　１
２、レーザビーム１３で照射した領域における物体１０
の並進、回転、歪みの成分をそれぞれ（ａＸ、ａｙ、　
ａｚ）、〈Ω×、Ωｙ１Ω２）、（εＸＸ、εｙｘ。 εｙｙ）とする。 この条件下で、物体１０が変形を受ける前後における観
察点Ｐでの撮像パターンの強度分布１１（Ｘ、Ｖ）と１
２（Ｘ、Ｖ）の間の相互相関関数Ｃ（ｘ、ｙ）を計算す
る。 Ｃ（ｘ、ｙ）＝＜１＋　　（ｘ、ｙ） ＸＩ２　＜Ｘ＋Ｘ−ｙ＋ｙ）＞・・・（１）ここで、く
〉は集合平均を意味する。 この（１）式を計算すると、Ｃ（ｘ、ｙ）が、ｘ　＝Ａ
ｘ　、　ｙ　＝Ａｙで最大値をとることがわかる。 ここでＡＸ　、　Ａｙは、次式で与えられ、物理的には
物体の変形・変位による撮像パターンの移動量に相当す
る。 Ａｘ　＝−ａｘ［（Ｌｏ　／Ｌｓ　）　　（ｊ２ｓＸ２
−１　）＋Ｊ２Ｘ　’−１５ ａｙ［（Ｌｏ　／Ｌｓ　　）ｎｓｉｓｙ＋ｆｆ１ｘ　　
ｎｙ　　］ａｚ［（Ｌｏ　／Ｌｓ　　）　　ｊ２ｓｘｎ
ｓｚ＋ｊ２ｘ　　ｊ２ｚ　　］−ＬＱ［−Ω２　（βｓ
ｙ十βｙ　） −〇Ｖ　　１２ｓｚ＋Ｊ２ｚ　　）　　＋εｘｘ（Ｊ２
ｓｘ−１２ｘ）＋εＸＶ（ＡＳＶ＋ｆｌＶ　　）］　　
　　・・・・・・　（２）ＡＶ　　＝−ａｘ［（Ｌｏ　
　／Ｌｓ　　）　　（ｊ！５ｙｆｆｌｓｘ−１ａｙ　　
Ｊ２Ｘ　　］ −ａｙ［（Ｌｏ　　／Ｌｓ　　）　　（ｊ２ｓｙ２−１
　　）十βｌ／　　２−１］ −ａｚ［（Ｌｏ　／Ｌｓ　　）Ｊｓ＋ｖＪ２Ｓｚ＋Ａｘ
　　Ｊ２Ｚ　　］−ＬＯ［−Ω２　（ＡＳＸ＋Ｊ２Ｘ） −ΩＸ　　（Ｊ２ｓｚ＋Ａｚ　　）　　＋εｙｙ（、ｅ
ｓｙ＋Ａｙ　　）＋　ε　ｘｙ（しｇ　　ｓｘ＋　　、
ｇ　　Ｘ　　　ン　　コ　　　　　　・・・　・・・　
〈　３　）従って、前記観察面３０に一次元イメージセ
ンサ（光電変換素子列）を配置して撮像パターンの移動
量Ａｘ、Ａｙを観測すれば、該−次元イメージセンサの
出力波形は、物体変位前後で第７図（Ａ＞に示す如く変
化し、その自己相関波形は、第７図（Ｂ）に示す如くと
なり、相互相関波形は第７図（Ｃ）に示す如くとなる。 このような装置において、第１発明は、それぞれ専用の
前記機能を有する相関手段、補正手段及び合成手段を設
けることにより、補正手段において、相関手段から入力
された相互相関関数の極値及びその周辺の相関値を用い
て該極値の位置の補正値を求め、合成手段において、相
関手段から入力された極値の位置と上記補正手段から入
力された補正値とを合成し、補正した極値の位置（補正
位置）を求めることにより、相関計算による相互相関関
数の極値の位置の補正を高速且つ高精度で実現すること
が可能となる。その結果、例えばレンズ等の光学系を介
して光電変換素子列上に変形・変位前後の物体像を結像
させてその物体を撮像し、その撮像パターンについて上
述の処理を施すことにより、上記物体の変形・変位を高
速且つ高精度で測定することが可能となる。具体的には
；通常物体の変形・変位はもとより、例えば、動きの速
い粉体の変位や気泡の移動を高精度に計測可能となる。 又、第２発明は、相関手段と補正手段との間に、前記機
能を有する減算手段を介設することにより、減算結果で
ある差分値を補正手段に入力し、同様に極値の位置の補
正値を求めることが可能となるため、補正手段に対する
入力情報量を低減した上で、なお且つ前記第１発明と同
様に物体の変形を高速且つ高精度で測定することが可能
である。 第３発明にいおいては、例えば、前記第１発明における
撮像パターンについて相関関数を求めた如くして所定の
相関関数を導き、その極値を用いて前記第１発明の場合
と同様の処理を施すとにより該極値の位置を高精度で測
定することが可能となり、相関計算による極値の位置を
利用する装置の測定精度を向上することが可能となる。 第４発明においては、第３発明における相関関数の極値
について、前記第２発明の場合と同様に処理することに
より、上記第３発明と同様に相関計算による極値の位置
を利用する装置の精度を向上することが可能となる。

【実施例】

以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第１図は、本発明による第１実施例の変形・変位測定装
置を、その作用と共に示す概略構成図、第２図は、実際
の撮像パターンにより得られた相互相関関数の相関値を
ヒストグラムで表わした線区である。 本実施例の変形・変位測定装置は、物体２０の表面にレ
ーザ光を、必要に応じて拡大レンズ（図示せず）を介し
て照射するためのレーザ源２２と、該物体２０の表面で
反射した反射光を受光（撮像）する−次元イメージセン
サ（光電変換素子列）２６と、該−次元イメージセンサ
から入力される撮像パターンに対応する電気信号に基づ
いて相互相関関数を求め、その相関値等を出力する相関
器（相関手段）２６と、該相関器２６から入力される極
値を含む上記相関値に基づいて極値の位置の補正値を求
め、該補正値等を出力する補正器（補正手段）２８と、
上記相関器２６から入力される極値の位置と上記補正器
２８から入力される上記補正値及び演算符号とから該極
値の位置の補正値を求め、該出力を補正するための加減
算器（合成手段＞３０とを備えている。 本実施例の変形・変位測定装置においては、物体２０の
変位の前後にわたって該物体２０の表面にレーザ光りを
照射し、その表面を前記−次元イメージセンサ２４で撮
像し、その撮像パターンに対応する電気信号Ｅをフレー
ム毎に順次前記相関器２６に出力する。 上記電気信号Ｅを入力した相関器２６では、毎フレーム
時刻毎に、光電変換素子列の配列ピッチＰを単位幅とす
る第２図に示すようなヒストグラムで表わされる相互相
関関数を求める。そして、上記ヒストグラムで表わされ
る相互相関関数の極値Ａ及びその周辺の２つの相関値Ｂ
、Ｃと、上記ピッチＰを最小分解能とする極値の位置Ｍ
とを前記補正器２８へ出力する。 上記補正器２８は、入力された極値Ａ１相関値Ｂ、Ｃを
用い、例えば、放物線の頂点位置、重心位置又は直線の
交点を求める等の計算手法により、極値の位置に対する
補正量として小数点以下の補正値りを算出し、該補正値
りを、演算符号Ｆと共に前記加減算器３０へ出力する。 上記加減算器３０は、上記補正器２８から入力される補
正値り及び前記相関器２６から入力される極値の位置Ｍ
の間で演算符号Ｆに基づく加算又は減算を行い、例えば
、整数部（Ｍ）と小数部（Ｄ）とからなるその算出値を
極値の補正位置Ｍとして出力する。 上述した本実施例の変形・変位測定装置によれば、前記
のような相関器２６、補正器２８及び加減算器３０から
なる極値の位置の補正機能を有しているため、光電変換
素子列の配列ピッチＰの間隔で表わされる極値の位置Ｍ
を高速且つ高精度で補正し、その補正位置Ｍ′を求める
ことが可能となる。そのため、撮像パターンの移動量を
高速且つ高精度で求めることができ、その結果物体２０
の変形・変位を高速且つ高精度で測定するこができる。 従って、最小分解能が光電変換素子のピッチによって決
定されていた従来の相関計算による極値の位置の補正を
、リアルタイムで高精度に実現することができる。 本実施例における前記補正器２８は、ディジタル信号処
理プロセッサ又は予め計算結果を格納したＲＯＭを使用
して形成することができる。ＲＯＭを使用する場合は、
予め実験的に求めた相関値と補間データを格納しておく
ことにより、補正計算で取りきれない誤差を無くし、更
に高精度の補正をすることもできる。 又、第１図で二点鎖線で囲んだ部分３２は、１フレ一ム
時間に演算可能な、高速で動作するマイクロプロセッサ
又はディジタル信号処理プロセッサとそのソフトウェア
で代用することもできる。 その場合、例えばＲＩＳＣ形の３２ビツトプロセツサ等
が使用できる。 又、上記部分３２は、第３図に示すように安価な８ビツ
トマイクロプロセツサ（ＣＰｔＪ）３４と、補正計算結
果を予め書込んでおいたＲＯＭ３６によるソフトウェア
によって実行することも可能である。即ち、相関値△（
極値）、Ｂ、Ｃが、それぞれ入力ボート３８Ａ、３８Ｂ
、３８Ｃに入力されるど、ＣＰＵ３４は、上記相関値Ａ
、Ｂ、Ｃに基づいて相関結果が書込んであるＲＯＭ３６
より補正値を続出し、入力ポート３８Ｄに入力された極
値の位置Ｍと加減算を実行し、極値の補正位置Ｍ′を出
力ポート３８Ｅより出力する。 次に、本実施例の変形・変位測定装置を物体変位の測定
に実際に適用した結果を第４図に示す。 なお、ここでは、第１図に示す二点鎖線で囲んだ部分３
２をマイクロプロセッサのソフトウェアにより実行した
。 上記第４図は、物体を連続的に移動させた時の極値の位
置の変移を示したもので、補正をしない場合の位置Ｏと
、本実施例により補正をした場合の位置Ｐとを併記した
ものである。この第４図より、補正をしない場合の極値
の位置Ｏは、１ビクセルの分解能でステップ状になるの
に対し、本実施例の場合は極値の位置Ｐを連続的に求め
ることができる。従って、本実施例によれば、極値の位
置、即ち物体の変位を高精度で測定できることが判る。 第５図は、本発明による第２実施例の変形・変位測定装
置を示す概略構成図である。 本実施例の変形・変位測定装置は、相関器２６と、補正
器２８との間に第１及び第２の減算器（減算手段）４０
△、４０Ｂを介在させ、補正器２８に対する入力情報量
を減少される構成とした以外は、前記第１実施例の変形
・変位測定装置と実質的に同一である。 本実施例の作用を、減算に使用する適値として極値Ａを
用いる場合を例に説明する。 先ず、相関器２６から、第１減算器４０Ａに極値Ａ及び
相関値Ｂを、又、第２減算器４０Ｂに極値Ａ及び相関値
Ｃを入力し、第１減算器４０ＡからはＡとＢの差Ｂ−Ａ
を、第２減算器４０ＢからはＡとＣの差Ｃ−Ａを、それ
ぞれ補正器２８に出力する。補正器２８は、入力した差
分値Ｂ−Ａと差分値Ｃ−Ａを用いて補正値Ｏを求め、該
補正値りを加減算器３０へ出力し、その後前記第１実施
例と同様の処理を行い、極値の補正位置Ｍ′を出力する
。 本実施例によれば、前記第１実施例と同様に、高速巨つ
高精度に極値の位置を補正し、分解能を向上できると同
時に、第１及び第２減算器４０Ａ、４０Ｂで上記減算を
行うことにより、補正器２８に対する入力情報を差分値
Ｂ−Ａと差分値Ｃ−Ａの２つに減らし、しかもこれら各
差分値自体の情報量も減少させることができる。このよ
うに、本実施例では、補正器２８に対する入力情報量を
大幅に減少させることができる利点がある。 なお、減算器に入力する適値は前述のように極値Ａに限
られるものでなく、任意の適値を設定し、該適値と極値
Ａを含むＢ、Ｃ等の相関値との間で減算を行ってもよい
。 又、第５図で二点鎖線で囲んだ部分３２Ａは、第１図の
同部分３２と同様の前述した取扱いが可能である。 以上、本発明を具体的に説明したが、本発明は前記実施
例に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない
。 例えば、前記第３図において、ＣＰＵ３４に対して入力
する相関値Ａ、Ｂ、Ｃは、前記第２実施例の場合と同様
に適値との間で減算処理を行い、その差分値として入力
してもよい。このようにすると、ＲＯＭ３６の入力アド
レス、データを減少させることができる。又、適値とし
ては極値に限らず任意の値を用いることができる。 又、前記実施例では、光学系等を介して変位前後の物体
を撮像して得られる撮像パターンから相関関数を求め、
前記所定の処理を行うことにより、該物体の変位量を正
確に求めたが、本発明はこれに限られるものでなく、変
形前後の物体に適用し、該物体の変形量をも同様に求め
ることができる。 又、本発明は、粉体や気泡等の微小な物体についても適
用できる。即ち、前記第１図や第５図の物体２０の代り
に粉体や気泡をおき、変位前後の粉体や移動（変位）前
後の気泡について前記のように撮像し、その撮像パター
ンを用いることにより、動きの速い粉体や気泡等の微小
物体の変位をも計測することができる。 又、光源としてはレーザ光源に限らず種々のものを利用
することができる。 又、補正装置については具体的に説明しなかったが、前
記第１及び第２実施例の変形・変位測定装置を構成する
相関器２６から加減算出器３０までの補正位置を演算し
、且つ出力する機能を有する部分は、任意の装置に適用
可能な補正装置として利用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による第１実施例の変形・変位測定装
置を示す概略構成図、 第２図は、撮像パターンより得られた相互相関関数の相
関値をヒストグラムで表わした線図、第３図は、第１実
施例の変形例を示す概略構成図、 第４図は、第１実施例の効果を示す線図、第５図は、本
発明による第２実施例の変形・変位測定装置を示す概略
構成図、 第６図は、撮像パターンにより物体の変形・変位口を求
める測定原理を説明するための斜視図、第７図＜Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ−次元イメージセンサの出
力波形、自己相関波形及び相互相関波形を示す線図、 第８区は、従来のスペックル相関法による測定装置の一
例の構成を示す斜視図である。 ２０・・・物体、 ２４・・・−次元イメージセンサ、 ２８・・・補正器、 ４０Ａ、４０Ｂ・・・減算器。 ２２・・・レーザ源、 ２６・・・相関器、 ３０・・・加減算器、

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）変形・変位前後の物体を光電変換素子列で撮像し
   、それぞれの撮像パターンを光電変換して得られる信号
   間の相互相関関数を求め、該相互相関関数の極値の位置
   として求められる撮像パターンの移動量から物体の変形
   ・変位量を決定する変形・変位測定装置であつて、 極値の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力する
   相関手段と、 複数の上記相関値を入力し、極値の位置の補正値を出力
   する補正手段と、 極値の位置と上記補正値とを合成し、補正された極値の
   位置を出力する合成手段とを備えていることを特徴とす
   る変形・変位測定装置。
2. （２）変形・変位前後の物体を光電変換素子列で撮像し
   、それぞれの撮像パターンを光電変換して得られる信号
   間の相互相関関数を求め、該相互相関関数の極値の位置
   として求められる撮像パターンの移動量から物体の変形
   ・変位量を決定する変形・変位測定装置であつて、 極値の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力する
   相関手段と、 相関値と適値との差をとり、その差分値を出力する減算
   手段と、 上記差分値を入力し、極値の位置の補正値を出力する補
   正手段と、 極値の位置と上記補正値とを合成し、補正された極値の
   位置を出力する合成手段とを備えていることを特徴とす
   る変形・変位測定装置。
3. （３）相関計算による極値の位置を利用する装置に適用
   する補正装置であつて、 極値の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力する
   相関手段と、 複数の上記相関値を入力し、極値の位置の補正値を出力
   する補正手段と、 極値の位置と上記補正値とを合成し、補正された極値の
   位置を出力する合成手段とを備えていることを特徴とす
   る補正装置。
4. （４）相関計算による極値の位置を利用する装置に適用
   する補正装置であつて、 極値の位置と該極値及びその周辺の相関値とを出力する
   相関手段と、 相関値と適値との差をとり、その差分値を出力する減算
   手段と、 上記差分値を入力し、極値の位置の補正値を出力する補
   正手段と、 極値の位置と上記補正値とを合成し、補正された極値の
   位置を出力する合成手段とを備えていることを特徴とす
   る補正装置。