JPH04131631A - Air cleaner device - Google Patents
Air cleaner deviceInfo
- Publication number
- JPH04131631A JPH04131631A JP2251045A JP25104590A JPH04131631A JP H04131631 A JPH04131631 A JP H04131631A JP 2251045 A JP2251045 A JP 2251045A JP 25104590 A JP25104590 A JP 25104590A JP H04131631 A JPH04131631 A JP H04131631A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- temperature
- clean room
- heaters
- supply chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルーム内に送風される清浄装置の温
度管理を行う空気清浄装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an air cleaning device that controls the temperature of a cleaning device that blows air into a clean room.
近年、半導体製造等において塵埃か問題となる工程では
クリーンルームか使用され、ウェハの大口径化と高集積
度化か進むにつれて温湿度制御を必要とする製造工程が
増加している。従って、クリーンルーム内全体で温度等
を調節する必要かある。In recent years, clean rooms have been used in semiconductor manufacturing processes where dust is a problem, and as wafers become larger in diameter and more highly integrated, the number of manufacturing processes that require temperature and humidity control is increasing. Therefore, it is necessary to adjust the temperature etc. throughout the clean room.
第３図に、従来の空気清浄装置の概念図を示す。 FIG. 3 shows a conceptual diagram of a conventional air cleaning device.
第３図において、チャンバ３０とクリーンルーム３１と
にはＨＥ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）フ
ィルタ等のエアフィルタ３２か介在している。チャンバ
３０には空調機３３から所定の温度、湿度に調節された
エアを送風している。この空調機３３は、外気をろ過し
、これを所定温度に加熱して温度、湿度を調節する。In FIG. 3, a chamber 30 and a clean room 31 are equipped with HEPA (High Efficiency
An air filter 32 such as a particulate air filter is also interposed. Air controlled to a predetermined temperature and humidity is blown into the chamber 30 from an air conditioner 33. This air conditioner 33 filters outside air, heats it to a predetermined temperature, and adjusts the temperature and humidity.
すなわち、温湿度か調節されたエアかチャンバ３３に送
られ、エアフィルタ３２を通って清浄されたエアをクリ
ーンルーム３１内に送っている。That is, air whose temperature and humidity have been adjusted is sent to the chamber 33, and the purified air is sent into the clean room 31 through the air filter 32.
なお、クリーンルーム３１には図示しないか排気部か設
けられている。Note that the clean room 31 is provided with an exhaust section (not shown).
そして、クリーンルーム３１の所定の一箇所に温湿度計
３４か設けられており、これにより、クリーンルーム３
１内の温度、湿度を監視し、これに基づいて空調機で温
度管理を行うものである。A thermohygrometer 34 is installed at a predetermined location in the clean room 31.
The temperature and humidity inside the air conditioner are monitored, and the air conditioner controls the temperature based on this.
しかし、上述の空気清浄装置では、クリーンルーム３１
内に送られるエアの温度を一箇所（空間的−点）に設け
られた温湿度計３４により検知し、これに基づいて空調
機３３か温度調節を行っていることから、ドアの開閉等
によりクリーンルーム３１内で温度プロファイルが複雑
に発生してルーム全体の温度管理が困難であるという問
題かある。However, in the above-mentioned air purifier, the clean room 31
The temperature of the air sent into the interior is detected by a thermohygrometer 34 installed at one point (spatial point), and the air conditioner 33 adjusts the temperature based on this. There is a problem in that a complicated temperature profile occurs within the clean room 31, making it difficult to control the temperature of the entire room.
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、クリ
ーンルーム内全体で綿密な温度管理を行う空気清浄装置
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an air cleaning device that performs careful temperature control throughout a clean room.
上記課題は、空調手段により所定温度に調節されたエア
をサプライチャンバに送風し、エアフィルタを介してク
リーンルームに所定温度の清浄空気を送風する空気清浄
装置において、前記サプライチャンバに所定数のヒータ
を所定位置に配設し、また、前記クリーンルーム内に、
前記所定数のヒータを制御するために、該クリーンルー
ムに送風される前記清浄空気の温度を検出する所定数の
センサを所定位置に配設することにより解決される。The above problem is solved by an air cleaning device that blows air adjusted to a predetermined temperature by an air conditioning means into a supply chamber, and blows clean air at a predetermined temperature into a clean room via an air filter, in which a predetermined number of heaters are installed in the supply chamber. placed at a predetermined location, and within the clean room,
The problem is solved by arranging a predetermined number of sensors at predetermined positions to detect the temperature of the clean air blown into the clean room in order to control the predetermined number of heaters.
上述のように、所定数のヒータをサプライチャンバの所
定の位置に配設する。これにより、該チャンバ内に空調
手段により送風されるエアを直接に加熱し、また、エア
フィルタを加熱することによって該エアフィルタを通る
エアを加熱する。As mentioned above, a predetermined number of heaters are disposed at predetermined locations in the supply chamber. This directly heats the air blown into the chamber by the air conditioning means, and also heats the air passing through the air filter by heating the air filter.
従って、加熱したエアの熱損失か最小限に抑えられ、ク
リーンルーム内の温度管理を容易に行うことが可能とな
る。Therefore, the heat loss of the heated air can be minimized, and the temperature inside the clean room can be easily controlled.
また、クリーンルーム内に所定数のセンサを所定位置に
配設する。これにより、クリーンルーム内全体の温度検
品を行い、これに基づいてヒータを制御することで、立
体的で綿密な温度管理を行うことが可能となる。Further, a predetermined number of sensors are arranged at predetermined positions within the clean room. This makes it possible to perform three-dimensional and detailed temperature control by inspecting the temperature of the entire clean room and controlling the heater based on this.
〔実施例）
第１図に本発明の一実施例の構成図を示す。第１図にお
いて、空気清浄装置ｌはサプライチャンバ２とクリーン
ルーム３とかエアフィルタ４を介在させて連設される。[Embodiment] FIG. 1 shows a configuration diagram of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, an air cleaning device 1 is connected to a supply chamber 2 with a clean room 3 or an air filter 4 interposed therebetween.
サプライチャンバ２は、その天井面に複数のヒータ５１
例えば遠赤外線ヒーターがマトリクス状に配設されてお
り、図示しな゛いがコントローラにより制御される。こ
のサプライチャンバ２には、空調手段（図示せず）によ
り外気を所定の温度、湿度に調節されたエアがファン６
により強制的に送風される。The supply chamber 2 has a plurality of heaters 51 on its ceiling surface.
For example, far-infrared heaters are arranged in a matrix, and are controlled by a controller (not shown). This supply chamber 2 is supplied with air that has been adjusted to a predetermined temperature and humidity by an air conditioning means (not shown) through a fan 6.
Air is forcibly blown.
クリーンルーム３内には、該ルーム内に配設される各種
装置の排気のための排気ロアか設けられると共に、下部
にリターンチャンバ８か設けられる。そして、リターン
チャンバ８よりリターンダクト９を介してファン６に送
り、清浄空気を循環させる。Inside the clean room 3, an exhaust lower is provided for exhausting the various devices disposed within the room, and a return chamber 8 is also provided at the bottom. The clean air is then sent from the return chamber 8 to the fan 6 via the return duct 9 to circulate the clean air.
エアフィルタ４は、例えばＨＥＰＡ又はＵＬＰＡ （Ｕ
ｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ−
ｆｉｌｔｅｒ）フィルタか使用される。The air filter 4 is made of, for example, HEPA or ULPA (U
ltra Low Penetration Air-
filter) is used.
このような空気清浄装置ｌは、ヒータ５か図示しないコ
ントローラにより予め所望の温度に加熱され、これによ
りエアフィルタ４を加熱する。そこで、空調手段（図示
せず）により所定の温度、湿度に調節されたエアかファ
ン６によりサプライチャンバ２内に送風される。エアは
サプライチャンバ２内てヒータ５により直接加熱される
と共に、エアフィルタ４を通る際に該エアフィルタ４の
熱で加熱されてクリーンルーム３内に送られる。クリー
ンルーム３内の清浄空気は、該クリーンルーム３内で温
度下降するか、リターンチャンバ８゜リターンダクト９
．ファン６を介して循環する。Such an air cleaning device 1 is heated in advance to a desired temperature by a heater 5 or a controller (not shown), thereby heating the air filter 4. Therefore, air whose temperature and humidity are adjusted to a predetermined value by an air conditioning means (not shown) is blown into the supply chamber 2 by the fan 6 . The air is directly heated by the heater 5 in the supply chamber 2, and when it passes through the air filter 4, it is heated by the heat of the air filter 4 and sent into the clean room 3. The temperature of the clean air in the clean room 3 decreases within the clean room 3, or the temperature of the clean air in the clean room 3 decreases, or the temperature of the clean air in the clean room 3 decreases.
．． It circulates through the fan 6.
すなわち、遠赤外線のヒータ５により、エアフィルタ４
の温度プロファイルを図面上縦方向に変えるものである
。これにより、加熱したエア（清浄空気）の熱損失が最
小限に抑えられ、熱の効率的利用でクリーンルーム３内
の温度管理を容易に行うことができる。That is, the air filter 4 is heated by the far-infrared heater 5.
This changes the temperature profile in the vertical direction in the drawing. Thereby, the heat loss of the heated air (clean air) is minimized, and the temperature inside the clean room 3 can be easily controlled through efficient use of heat.
この場合、ヒータ５のそれぞれの加熱温度を一律にすれ
ばクリーンルーム３内全体を均一にすることか可能であ
り、ヒータ５のそれぞれの加熱温度を部分的に変えるこ
とにより、クリーンルーム３を局部的な温度分布とする
ことか可能である。In this case, by making the heating temperature of each heater 5 uniform, it is possible to make the entire clean room 3 uniform, and by partially changing the heating temperature of each heater 5, it is possible to make the clean room 3 uniform. It is possible to use temperature distribution.
例えば、ドアの開閉に伴う温度下降に対処してドア付近
の温度を周囲より上昇させる場合である。For example, this is a case where the temperature near the door is raised higher than the surrounding temperature in response to a temperature drop caused by opening and closing the door.
次に、第２図に本発明の第２の一実施例の構成図を示す
。第２図の空気清浄装置ｌＡは、第１図のクリーンルー
ム３の下側部分に複数の温度センサｌＯを所定位置に配
設したものである。センサ１０は、例えばヒータ５と同
数で、対応したマトリクス状に配置する場合、クリーン
ルーム３内の所望する温度分布に対応させて配置する場
合（前述のようにドア付近に密集させる場合）等があり
、数はヒータ５と同数に限らず任意に設定される。Next, FIG. 2 shows a configuration diagram of a second embodiment of the present invention. The air cleaning device 1A shown in FIG. 2 has a plurality of temperature sensors 10 arranged at predetermined positions in the lower part of the clean room 3 shown in FIG. For example, the number of sensors 10 may be the same as the number of heaters 5, and they may be arranged in a corresponding matrix, or they may be arranged corresponding to a desired temperature distribution in the clean room 3 (as described above, they may be arranged closely near the door), etc. , the number is not limited to the same number as the heaters 5, but can be arbitrarily set.
また、センサｌＯは、その検出値を図示しないヒータ５
のコントローラに出力して、該ヒータ５の温度制御をさ
せるものである。Further, the sensor 1O sends the detected value to a heater 5 (not shown).
The temperature of the heater 5 is controlled by outputting it to the controller.
このような空気清浄装置ＩＡは、センサ１０によりヒー
タ５の温度制御を行うことがら、クリーンルーム３内の
温度、エアフィルタ４の温度、及びクリーンルーム３の
縦方向の温度プロファイルをコントロールすることかで
き、立体的に綿密な温度管理を行うことができる。Since such an air purifying device IA controls the temperature of the heater 5 using the sensor 10, it is possible to control the temperature inside the clean room 3, the temperature of the air filter 4, and the vertical temperature profile of the clean room 3. It is possible to perform detailed three-dimensional temperature control.
以上のように本発明によれば、所定数のヒータをサプラ
イチャンバの所定位置に配設し、また、クリーンルーム
内に所定数のセンサを所定位置に配設することにより、
クリーンルーム内全体で綿密な温度管理を行うことがで
きる。As described above, according to the present invention, by arranging a predetermined number of heaters at predetermined positions in a supply chamber and arranging a predetermined number of sensors at predetermined positions in a clean room,
Careful temperature control can be performed throughout the clean room.
第１図は本発明の一実施例の構成図、
第２図は本発明の第２の実施例の構成図、第３図は従来
の空気清浄装置の概念図である。
図において、
１．１Ａは空気清浄装置、
２はサプライチャンバ
３よりリーンルーム、
４はエアフィルタ、
５はヒータ、
６はファン、
７は排気口、
８はリターンチャンバ
９はリターンダクト、
１０はセンサ
を示す。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a conceptual diagram of a conventional air cleaning device. In the figure, 1.1A is an air purifier, 2 is a lean room from supply chamber 3, 4 is an air filter, 5 is a heater, 6 is a fan, 7 is an exhaust port, 8 is a return chamber, 9 is a return duct, 10 is a sensor shows.
Claims (2)
ライチャンバ（２）に送風し、エアフィルタ（４）を介
してクリーンルーム（３）に所定温度の清浄空気を送風
する空気清浄装置において、前記サプライチャンバ（２
）に所定数のヒータ（５）を所定位置に配設することを
特徴とする空気清浄装置。(1) In an air purifying device that blows air adjusted to a predetermined temperature by an air conditioning means into a supply chamber (2) and blows clean air at a predetermined temperature into a clean room (3) via an air filter (4), Supply chamber (2
), wherein a predetermined number of heaters (5) are arranged at predetermined positions.
ータ（５）を制御するために、該クリーンルーム（３）
に送風される前記清浄空気の温度を検出する所定数のセ
ンサ（１０）を所定位置に配設することを特徴とする請
求項（１）記載の空気清浄装置。(2) In order to control the predetermined number of heaters (5) in the clean room (3),
2. The air cleaning device according to claim 1, further comprising a predetermined number of sensors (10) arranged at predetermined positions to detect the temperature of the clean air blown.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2251045A JP2859943B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Air purifier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2251045A JP2859943B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Air purifier |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131631A true JPH04131631A (en) | 1992-05-06 |
| JP2859943B2 JP2859943B2 (en) | 1999-02-24 |
Family
ID=17216796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2251045A Expired - Fee Related JP2859943B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Air purifier |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2859943B2 (en) |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP2251045A patent/JP2859943B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2859943B2 (en) | 1999-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0648256Y2 (en) | Clean room | |
| JP4643067B2 (en) | Energy-saving system for air conditioners | |
| JP2008500898A (en) | Autoclave with complex airflow | |
| JP3503265B2 (en) | Clean room air conditioning system | |
| JPH04131631A (en) | Air cleaner device | |
| JPH11201511A (en) | Air cleaning system | |
| JPH05106888A (en) | Connected type clean spacing device | |
| JPH05248678A (en) | Air shower device | |
| JPH04108507A (en) | Hepa box | |
| JP3773327B2 (en) | Air conditioner | |
| JP2004286436A (en) | Air flow rate control device and clean room air conditioning system using the same | |
| JP2001056140A (en) | Clean room | |
| JP3835883B2 (en) | Clean air blowing unit and clean room | |
| JP2002228242A (en) | Method and apparatus for room pressure control | |
| JP3963660B2 (en) | Clean room air conditioning system | |
| JP4657530B2 (en) | Air conditioning system for high temperature and high humidity | |
| JPH11141963A (en) | Floor outlet air-conditioning method and device thereof | |
| JPH05203193A (en) | Air conditioner | |
| JP3280605B2 (en) | Air temperature and humidity controller | |
| JP2002147812A (en) | Air-conditioning system for cleanroom | |
| KR102467530B1 (en) | Air purifying apparatus comprising a platinum catalyst filter | |
| JPH08114342A (en) | Clean room device | |
| JPH0214616B2 (en) | ||
| JP2000314544A (en) | Clean room | |
| JPH05288378A (en) | Clean room |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |