JPH04128820A - 導波型光スイッチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、導波路中を伝搬する光の進行方向を電気的
に制御する導波型光スイッチに関するものである。

（従来の技術） 光集積回路を構築するための重要な素子の一つとして、
Ｙ分岐構造を有する導波型光スイッチか知られている。

そして、Ｙ分岐構造を有する導波型光スイッチの一種と
して、例えば文献■（電子通信学会技術研究報告○ＱＥ
８３−８７）に開示されているように、各分岐導波路に
これら導波路の非対称性を電気的に制御するための電極
を有しさせた構成の導波型光スイッチがある。

この導波型光スイッチは、具体的には、第９図に概略的
な平面図で示すように、ＬｉＮｂ○３基板１］の０面に
、導波路１３と、該導波路１３から分岐角θをもってＹ
字状に分岐している分岐導波１１５ａ及び１５ｂとを具
え、ざらに、両分枝導波路１５ａ、１５ｂの分岐開始点
Ｐがら、両分枝導波路の間隔が両分枝導波路の結合を十
分弱くし得る間隔になるまでの領域に（図中ρで示す長
さの領域）これら分岐導波路１５ａ、１５ｂの屈折率を
制御するための電極１７（図中、斜線を付して示すもの
。）を具えて成っていた。

この導波型光スイッチは、偶モードにあける光パワーが
分岐導波路１５ａ、１５ｂのうちの屈折率の高い側に集
中することを利用してあり、干渉作用を利用していない
ため、ディジタル的○Ｎ・ＯＦＦ動作が可能であるとい
う特徴、また作製条件・動作条件のトレランスが大きい
という特徴を有していた。

（発明か解決しようとする課題） しかしながら、この従来の導波型光スイッチでは、駆動
電圧を低く抑えたい場合、文献■にも記載の通り分岐導
波路の分岐角θを小ざくしなければならなかった。従っ
て両分枝導波路の結合か弱くなるまで設ける電極の長さ
Ｉ２（第９図参照）も当然に長くなるため、素子の全長
（第９図の１方向（水平方向）の全長、以下、同様。）
が長くなってしまうという問題点があった。

この発明はこのような点に鑑みなされたものであり、従
ってこの発明の目的は、Ｙ分岐構造を有する導波型光ス
イッチであって、分岐導波路各々はこれら導波路の非対
称性を電気的に制御するための電極を有する導波型光ス
イッチにおいて、従来より素子の全長を短縮出来る構造
の導波型光スイッチを提供することにある。

（課題を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明によれば、Ｙ分岐
構造を有する導波型光スイッチであって、分岐導波路間
々はこれら導波路の非対称ｔ！を電気的に制御するため
の電極を有する導波型光スイッチにおいて、 分岐導波路各々を互いの開き角がθ、となるように配設
し、 これら分岐導波路を分岐角θ２　（たたし、θ２〉θ１
）のＹ字溝波路で接続しで成ることを特徴とする。

ここで、開き角とは、分岐導波路が直線の場合は、分岐
導波路各々を互いが接近する側に延長した際にその延長
線同士が交差する部分で規定される角度を意味するもの
とする（第１図参照）。また、分岐導波路が曲率を持っ
ている場合は、このような分岐導波路各ぐの前述のＹ字
溝波路との接続点における接線同士が交差する部分で規
定される角度を意味するものとする（第８図（Ａ）参照
）。

なあ、この発明の芙施に当たり、前述のＹ字溝波路と前
述の各分岐導波路との接続点におけるこれら分岐導波路
間の結合係数Ｋ。と、これら分岐導波路の末端における
これら分岐導波路間の結合係数に、どの比に、／Ｋｏ　
ｔＲとしたとき、０．００３＜Ｒｈ０．３を満足するよ
うに、各分岐導波路を配設するのが好適である。

（作用） 次に、この発明の作用について説明する。第１図は、そ
の説明に供する図であり、この発明の導波型光スイッチ
の基本ａ造例を概略的に示した図である。

この発明の構成によれば、第１図の如く、開き角θ１そ
構成する２本の分岐導波路２１ａ、２１ｂであって電極
（図示せず）ｖ！有し、始端での導波路間隔がｄ０末端
での導波路間隔がｄ、である２本の分岐導波路２１ａ、
２１ｂに、分岐角θ２（ただし、θ２〉θ１）のＹ字溝
波路２３ｖ！接続した導波型光スイッチが得られる。こ
れは、分岐開始点から電極が直に設けられ分岐角がθ、
である場合の従来の導波型光スイ・ンチ（第１図におい
てＹ字溝波路２３を除外し分岐導波路２１ａ。

２１ｂを破線のように延長し構成した導波型光スイッチ
）の、分岐導波路各々の途中位置より後段の部分した、
分岐角θ２　（ただし、θ２＞θ１）のＹ字溝波路２３
によって短絡しこの部分以外の分岐導波路部分（第１図
中へして示す部分）を除去した構成の導波型光スイッチ
に相当する。従って、破線部分ΔＬの導波路部分が不要
となフた分、素子の全長の短縮が図れる。

そして、このような構成であっても、分岐導波路の配設
位置を適正に選択することにより、従来同様低電圧駆動
が可能になる。この適正配設位置とは、Ｙ字溝波路２３
と各分岐導波路２１ａ。

２１ｂとの接続点（第１図中Ｐａ）におけるこれら分岐
導波路間の結合係数Ｋ。と、これら分岐導波路２１ａ、
２１ｂの末端（第１図中Ｐ、）におけるこれら分岐導波
路間の結合係数に８との比に、／Ｋｏ　％Ｒとしたとき
、０．００３＜Ｒ＜０．３を満足するように、両分枝導
波路２１ａ。

２１ｂを配設することにより得られる。

（実施例） 以下、図面を参照してこの発明の導波型光スイッチの実
施例について説明する。なお、説明に用いる各図は、こ
の発明を理解出来る程度に各構成成分の寸法、形状、配
Ｍ間係を概略的に示しであるにすぎない。

第ユニ≦匿ＡＪ！ＪＬ例 第２図〜第５図は、第１〜第４実施例の導波型光スイ・
ンチの説明に供する平面図である。

菓２図〜第５図において、３］は基板、３３ａ、３３ｂ
は互いの開き角がθ、（第１図参照）となるように基板
３１に配設された第１の分岐導波路及び第２の分岐導波
路である。両分枝導波路３３ａ、３３ｂの始端Ｐ。ての
間隔はｄ。、末端Ｐ、ての間隔はｄ、（ｄｏ　＜ｄや）
となっている。なお、Ｐｏ、Ｐ、、ｄｏ及びｄ、の記号
は、第３図〜第５図では一部図示を省略しである。

ざらに、第２図〜第５図において、３５は分岐導波路の
屈折率又は伝搬定数そ変化させて第１及び第２分岐導波
路３３ａ、３３ｂ間に非対称性そ生しさせるだめの電極
（図中ハツチングを付して示す。）、３７は分岐角ｅ２
　　（但し、θ２〉θ、）を有するＹ字溝波路であって
各分岐導波路３３ａ、３３ｂの各始端ＰＱ　　（第２図
参照）と接続されているＹ字溝波路、３９は出力ポート
接続用導波路、４０ａは入力ボート、４０ｂは出力ポー
トである。

基板２１としては、基板の厚さ方向の電界に対して電気
光学効果が大となる基板を用いるのが好適である。例え
ばＬ　Ｉ　Ｎ　ｂ　Ｏ３は、そのような基板として好適
である。

マタ、各導波路３３ａ、３３ｂ、３７．３９及び電極３
５は、従来公知の技術により作製出来る。

なあ、第２図〜第５図に示した各実施例の導波型光スイ
ッチは、導波路構造は同じとしているが、基板３１の厚
さ方向と直交する方向の電界を制御するために基板３１
の分岐導波路３３ａ、３３ｂ上に或いはその近傍に設け
る電極３５の構成例を、違えである。

第２図に示した導波型光スイッチでは、電極３５は、第
１の分岐導波路３３ａの、第２の分岐導波路３３ｂ側と
は反対の側部に沿って設けた電極４１ａと、笥７の分岐
導波路３３ａ上に設置すた電極４１ｂと、第２の分岐導
波路３３ｂの、第１の分岐導波路３３ａ側とは反対の側
部に泊って設けた電極４１ｃと、第２の分岐導波路３３
ｂ上に設けた電極４１ｄとで構成しである。

また、第３図に示した導波型光スイッチでは、電極３５
は、第１の分岐導波路３３ａの、第２の分岐導波路３３
ｂ側とは反対の側部に沿って設けた電極４３ａと、第１
及び第２の分岐導波路３３ａ、３３ｂ間に設けた電極４
３ｂと、第２の分岐導波路３３ｂの、第１の分岐導波路
３３ａ側とは反対の側部に治って設けた電極４３ｃとて
構成しである。

また、菓４図に示した導波型光スイッチでは、電極３５
は、第１の分岐導波路３３ａの、第２の分岐導波Ｖ３３
３ｂ側とは反対の側部に治ってがつＹ字溝波路３７側に
延在するように設けた電極４５ａと、第１の分岐導波ｉ
￥１３３ａ上及びＹ字溝波路３７側に延在するように設
けた電極４５ｂと、第２の分岐導波路３３ｂの、第１の
分岐導波路３３ａ側とは反対の側部に沿ってがつＹ字溝
波路３７側に延在するように設けた電極４５ｃと、第２
の分岐導波路３３ｂ上及びＹ字溝波路３７側に延在する
ように設けた電極４５ｄとで構成しである。

また、第５図に示した導波型光スイッチでは、電極３５
は、第１の分岐導波路３３ａの、第２の分岐導波路３３
ｂ側とは反対の側部に沿ってかつＹ字溝波路３７側に延
在するように設けた電極４７ａと、第１及び第２の分岐
導波路３３ａ。

３３ｂ間及びＹ字溝波路３７の分岐側に延在するように
設けた電極４７ｂと、第２の分岐導波路３３ｂの、菓１
の分岐導波路３３ａ側とは反対の側部に沿ってかつＹ字
溝波路３７側に延在するように設けた電極４７ｃとで構
成しである。

第２図又は第３図に示した導波型光スイッチは、電極３
５ｖ！分岐導波路部分のみに設けた構成となるので、屈
折率をＹ字溝波路３７と分岐導波路３３ａ、３３ｂとの
接続部で急に変化させたい場合に好適なものになる。一
方、第４図又は第５図に示した導波型光スイッチは、電
極３５をＹ字溝波路３７側まで及んで設けた構成である
ので屈折率ＭＹ字導波路３７から分岐導波路３３ａ。

３３ｂに至る間で徐々に変化させたい場合に好適なもの
になる。

く素子設計の説明〉 ここで、第９図を用いで説明した導波型光スイッチ及び
この発明の導波型光スイッチのように、Ｙ分岐構造を有
し分岐導波絶間々はこれら導波路の非対称性を電気的に
制御するための電極を有する種類の導波型光スイッチで
は、分岐導波路の末端（実施例の素子でいえば分岐導波
路３３ａ又は３３ｂの末端Ｐ、（第２図参照））部分で
、下記０式で定義される値Ｘ、が十分大きいと、×１が
大きい側の分岐導波路へ界分布が集中する。これについ
ては、例えば文献■（ガイディト　ウェーブ　オプトエ
レクトロニクス（Ｇｕｉｄｅｄ　　Ｗａｖｅ　　０ｐｔ
ｏｅｌｅｃｔｒｏｒ＋１ｃｓ）、５ｐｒｉｒ＋ｑｅｒ社
、１９８８．３章）に開示され、良く知られている。な
お、■式中、Ｋ、は、分岐導波路３３ａ、３３ｂの末端
におけるこれら分岐導波路間の結合係数である。また、
ΔＢは、分岐導波路３３ａの伝搬定数と分岐導波路３３
ｂの伝搬定数との差であり、電極３５への印加電圧に比
例する量である。

Ｘ、＝へβ／２に、　　　・・・■ また。ここで、「×、が十分大きい値」とは、両分枝導
波路３３ａ、３３ｂの末端部分でのこれら分岐導波絶間
で許容されるクロストーク量をＸｔとした場合、下記０
式で与えられる値程度以上必要であることも知られてい
る（文献■より９用）。

２　Ｘ　−”　Ｘ　ｃ　−”’　　　　　・・・■従っ
て、Δβが小さい値のままで、即ちΔβぼ印加電圧に比
例するので電極３５への印加電圧が小さいままで、Ｘ、
を大きくするには、０式より、分岐導波路末端での両溝
波路の結合係数Ｋ。

が小さいことが必要なことが分る。但し、八〇を小さく
すると、０式及び０式より、クロストークＸ１は大とな
るので、Δβの下限（印加電圧の下限）に留意する必要
はある。

この結合係数に、と、分岐導波路末端Ｐ、における両分
岐導波１Ｍ３３ａ、３３ｂ間の間隔ｄ。

（第２図参照）との関係は、文献■によれば、下記０式
のよってある。なお、■式中、Ｋ１は定数であり、γ３
は分岐導波路の光界分布のしみ出しパラメータである。

ｄ、＝−ρｎ　　（Ｋ、／に＋　　）／７３　−■また
、モート変換（偶モードから奇モードへの変換）がある
と、この種の光スィッチではクロストーク特性か劣化す
ることか知られている。そして、モード変換の生し易さ
の指標のピーク値γは、下記０式で示される（文献■よ
り引用）、ここで、θ、は、第９図の導波型光スイッチ
では分岐導波路１５ａ、１５ｂの分岐角θに相当し、こ
の実施例の導波型光スイッチでは分岐導波路３３ａ、３
３ｂの開き角θ１　（第１図参照）に相当する。

従って、■式から明らかなように、Ｍ９図の光スィッチ
では分岐角が小ざい方が、また、この発明の光スィッチ
では開き角θ１は小ざい方が、モード変化が生しにくい
ことが分る６ しかし、第９図を用いて説明した従来の導波型光スイッ
チの構成では、既に説明したように、分岐角が小さいと
電極長は長くしなければならず、このため素子長が長く
なってしまうという問題があった。これに対し、この発
明では、第１図を用いて説明したように、開き角θ、で
配設され始端Ｐ０において既に間隔ｄ。で離間している
分岐導波路３３ａ、３３ｂに、分岐角θ２　（θ２〉θ
Ｉ）のＹ字溝波路３７を接続して導波型光スイッチを構
成し、素子長の短縮を図る。

従って、次に、間隔ｄ。のとり方について説明する。

電極３５を有する分岐導波１３３ａ、３３ｂの始端Ｐ。

では、光の伝搬方向で八Ｂ（伝搬定数差）が急激に生し
ることによるモート変換が生しる。

始端Ｐ。てのモード変換のパワーとしての■は、文献■
より下記■式で与えられるＸ。をパラメータとして約Ｘ
　０２／　４となる。なお、０式中、Ｋｏは、各分岐導
波路３３ａ、３３ｂの始端Ｐ。

（つまり、Ｙ字溝波路と角分岐導波路との接続点）にお
けるこれら分岐導波路３３ａ、３３ｂ間の結合係数であ
る。

×。　＝へβ／２　ＫＯ・・・■ 従って、０式よつ、△βが大であると、Ｘｏが増加する
ことか分つ、この結果始端におけるモート変換のパワー
が増すことから、クロストークは劣化することか分る。

そこで、分岐導波路間隔ＰやてのクロストークＸ、＝０
．０３２　（クロストークか一１５ｄＢ）を与えるΔβ
を△βとし、分岐導波路始端ＰＯでクロストーク量−１
５６Ｂ７ａ与えるモート変換のパワー量×。２／４ユ０
．０３２を与える△βを△β°　とすると、ΔＢ’／△
βユ４であればクロストークが少い笑用的な導波型光ス
イッチが得られる。つまり、この条件であれば、クロス
トーク量１５ｄＢ％得ることが出来る最小印加電圧の４
倍の大きざの電圧までクロストーク量が一１５ｄＢ程度
の導波型光スイッチが得られることを意０未する。

そこで、Ｘｔ＝０．０３２を０式に代入しこれによｒ３
得られた結果を０式に代入して、△β／に、＝５．６　
　　　　・・・■を得る。

また、Δβ°／Δβユ４及び０式と、Ｘ　ｏ２／　４ユ
０．０３２とから、 △β′／に。＝４へ〇／　Ｋｏ　＝０．　７２−（ｆ）
を得る。

そして、０式及び０式より、Ｋ、／Ｋ。で与えられる結
合係数比臼を求めると、 Ｒ＝に、／Ｋｏ　＝０．０３　　−・・■が得られる。

また、結合係数に０と、分岐導波路間隔ｄ０との関係は
、■式と同様に考えられるので、下記０式のようになる
。

ｄｏ　＝−Ｉ２ｎ　（Ｋｏ／に、）／γ３　　・・・■
従って、分岐導波路の末端での間隔がｄ、でありかつ分
岐導波路の末端の結合係数かに、である場合、■式中の
Ｋｏ’Ａ、Ｋ、／ＫＯ＝０．０３０を満足するような値
としでｄ。を決定すれば良い。なあ、に、／に、即ち日
は、Ｒ＝０．０３０に限られず、数値計算結果によれば
、０．００３〈日＜０．３０を満足する値で英用土問題
ない導波型光スイッチが得られる。

また、分岐導波路３３ａ又は３３ｂの長さかしく但し、
第２図に示すように水平方向の長さである。）、これら
導波路の開き角がθ７、分岐導波路の光界分布のしみ出
しパラメータがγ３、分岐導波路の始端の間隔がｄ。、
末端間隔がｄｌ、結合係数比が日の場合これらの関係は
、文献■を基に考えれば、 γ３θ＋Ｌ”γ３　　（ｄ−−ｄｏ　）　＝−１ｎ日で
ある。これを、γ３で表わしでこの結果を■式に代入す
ると、 となる。

［相］式より、ΔＢが大である程モード変換の生じ易さ
の指標のピーク値γは小ざくなることが分かる。

そして、最小スイッチング電圧でのΔβ／Ｋ。

は０式よりΔβ／に、５．６であることがら、これをΔ
βで表わして０式に代入し、さらにＲ＝に、／Ｋｏ　＠
用い０式を変形すると、となる。

クロストーク！−１５ｄ８以下と十分低くするには、γ
＜１／２’／７７程度の条件が必要であるのて、この条
件と０式とから となり、ここでＲ−０，０３とした場合は、ＫｏＬ＞４
２ となる。そして、この条件を満足するには、Ｌか１ｃｍ
である場合、■式よりｄｏはｌｕｍ程度になる。また、
この場合ｄ、は８ｕｍ程度になる。

また、実施例１〜４の構造の導波型光スイッチにおいて
、導波路幅をＷとし、また篤９図の導波型光スイッチに
比べて素子長が短縮される寸法をΔＬとすると、第１図
から明らかなように、となる。

従って、 Ｌ十へＬ Ｏｏ ＋ＺＷ となる。この式に、例えば、Ｗ＝７ｕｍ、ｄ、＝Ｉ　Ｌ
ｊｍ、ｄ＠＝８ｕｍｖ！代入すると、となり、第９図の
ものに比へ素子長は１／３近くに短縮されることが分る
。

次に、Ｗ　”　７　Ｕ　ｍ　、ｄ　ｏ　＝　Ｉ　ＬＪ　
ｍ　、　ｄ　ｅ　＝　８ｑｍとした分岐導波路３３ａ、
３３ｂについて、Ｒ＝０．０３とした場合でＫ。Ｌ％パ
ラメータとして結合方程式を解くことにより、両溝波路
間でのクロストークと八〇との関係を求める。

この結果を第６図に縦軸にクロストーク（ｄＢ）ａ取り
横軸に八〇Ｌ／Ｔ＋を取って示した。

第６図からも明らかなように、ＫＯＬ＝５７゜４５とし
た場合では良好な特性が得られることが分る。Ｋ、Ｌ＜
４２では既に説明したようにモト変換の生し易さの指標
のビークリアが大となるので、特性が悪化するはずであ
るが、に。し＝１７の例で示すように、モード間の干渉
により特性が改善される場合もある。このことについて
考察すると、この発明の導波型光スイッチにおいてに０
は支配的なパラメータではなくＫ、／Ｋｏが重要になる
。

次に、試作した素子の特性を、縦軸に光出力及び横軸に
印加電圧をとって第７図に示した。なあ、動作確認にあ
たっては、波長１．５５ｇｍの光を用いている。１Ｘ２
光スイツチとして動作していることが分る。なお、試作
した素子は、構造的には第４図に示したものであり、具
体的には、基板としてＬｉＮｂＯ２のＺ板を用い、開き
角θ、＝１．６ｍｒａｄとし、分岐導波路３３ａ。

３３ｂ宋端での間隔ｄ、＝８ｑｍとし、導波路幅は全て
７ｕｍとし、Ｙ字溝波路３７の分岐開始点Ｙ（第４図参
照）から分岐導波路の始端までの長さ（水平方向の長さ
）２（第４図参照）を２ｍｍとし、分岐導波路の長さし
を１ｃｍとした。なお、導波路は膜厚６００人のチタン
ｔ１０５０℃の温度で８時間拡散させ作製しでいる。ま
た、電極３５は膜厚２０００人のＡｕ薄膜で構成したか
、分岐導波路上ではこの電極は膜厚３０００人の８１０
２膜を介して設けている。勿論、これら作製条件は単な
る一例にすぎない。

分岐角を１．６ｍｒａｄとし、分岐導波路末端の間隔ｄ
、を８ＬＩｍとして第９図に示した従来の導波型光スイ
ッチを構榮した場合分岐導波路寸法（Ｌ＋へＬ）は２ｃ
ｍ程度になる。これに対し、試作した素子では上述のよ
うにし＝１ｃｍであるから、素子寸法を約］／２に出来
ることが分る。

支形皇 上述の実施例では、分岐導波路を直線導波路としていた
が、分岐導波路を曲線導波路としても良い。

第８（Ａ）図は、この−例を示した図である。

電極（図示せず）を有する分岐導波路５１ａ、５１ｂは
開き角０１で配設してあり、これらの始端での間隔かｄ
。、末端での間隔がｄ、どなっている。そして、これら
分岐導波路５１ａ、５１ｂの始端は、分岐角θ２のＹ字
溝波路３７と接続しである。なお、この構成において、
開き角θ２は、Ｙ字溝波路５３と分岐導波路５１ａ、５
１ｂ各々との接続点にあける接線５３そＹ字導波路側に
それぞれ延長した際にこれら接線の交差部分で規定され
る角度とする。

また、設計によっては、Ｙ字溝波路の分岐側部分を曲線
導波路としても良い、この場合、第８図（Ｂ）に示すよ
うなＹ字溝波路６１とするのか良い。具体的には、Ｙ字
溝波路６１の分岐側の導波路間隔が、分岐開始点Ｙから
遠ざかるに従い指数的に増加するようなものとするのか
好適である。

この際の分岐角は、当該Ｙ字溝波路６１と分岐導波路３
３ａ、３３ｂ或いは５１ａ、５１ｂとの接続点での接線
６３同士の交差部での角度θ２とする。

（発明の効果） 上述した説明からも明らかなように、この発明によれば
、Ｙ分岐構造を有する導波型光スイッチであって、分岐
導波路上々はこれら導波路の非対称性を電気的に制御す
るための電極を有する導波型光スイッチの素子長を従来
より短縮することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の導波型光スイッチの基本構造例を
示す図、 菓２図〜第５図は、実施例の導波型光スイッチの説明に
供する図、 第６図は、実施例の導波型光スイッチのクロストーク特
性を示す図、 第７図は、試作した導波型光スイッチのスイッチング特
性を示す図、 第８図（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例の説明に供する図、 第９図は、従来技術の説明に供する図である。 ２１　ａ、２１　ｂ、３３ａ、３３ｂ−・・開き角θ、
で配設した分岐導波路 ３１・・・基板 ２３．３７−−・分岐角θ２　（θ２〉θ、）のＹ字溝
波路 ３５・・・分岐導波路の非対称性を制御する電極３９・
・・出力ポート接続用導波路 ４０ａ・・・入力ボート、　４０ｂ・・・出力ボート５
１ａ、５１ｂ・・・開き角０１で配設した曲線分岐導波
路 ５３．６３・・・接線 ６１・・・分岐側が曲線導波路のＹ字溝波路。 特 許 出 願 人 沖電気工業株式会社 この発明の基本構造例を示す図 第１ 図 １ａ １ｂ １ｃ １ｄ 実施例の説明に供する図 ３ｂ 実施例の説明に供する図 第３ 図 実施例の説明に供する図 実施例の説明に供する図 第５ 図 実施例の導波型光スイッチのクロスド ウ特゛ｉを示す図 第６ 図 印加電圧 試作した導波型光スイッチのスイッチング特性を示す間
第７ 図 ５１ａ、５１ｂ開き角θ、で配設した曲線分岐導波路接
線 ６１、分岐側が曲線導波路のＹ字溝波路接線 変形例の説明に供する図 第Ｓ図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｙ分岐構造を有する導波型光スイッチであって、
   分岐導波路各々はこれら導波路の非対称性を電気的に制
   御するための電極を有する導波型光スイッチにおいて、 分岐導波路各々を互いの開き角がθ＿１となるように配
   設し、 これら分岐導波路を分岐角θ＿２（ただし、θ＿２＞θ
   ＿１）のＹ字溝波路で接続して成ることを特徴とする導
   波型光スイッチ。
2. （２）請求項１に記載の導波型光スイッチにおいて、 前記Ｙ字溝波路と前記各分岐導波路との接続点における
   これら分岐導波路間の結合係数Ｋ＿ｏと、これら分岐導
   波路の末端におけるこれら分岐導波路間の結合係数Ｋ＿
   ｅとの比Ｋ＿ｅ／Ｋ＿ｏをＲとしたとき、０．００３＜
   Ｒ＜０．３を満足するように、各分岐導波路を配設して
   成ること を特徴とする導波型光スイッチ。