JPH04127022A

JPH04127022A - ヒータ

Info

Publication number: JPH04127022A
Application number: JP2246970A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Tsuruoka; 鶴岡　重雄; Toshiaki Arato; 利昭荒戸; Minoru Takahashi; 実高橋
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-09-19
Filing date: 1990-09-19
Publication date: 1992-04-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、無機絶縁層で保護されたヒータに係わり、特
に、自動車内燃機関の吸入空気量の検出に用いられる熱
線式空気流量計におけるセンサとして好適な熱線式空気
流量センサ、並びに陰極線管の陰極加熱ヒータ及びその
製造法に関する。

〔従来の技術〕

熱線式空気流量計は、流量を測定すべき空気の流れの中
に発熱抵抗体から成るセンサを置き、空気流速によって
放散熱量が変化するのに応じて温度を一定に保つための
電流を変化させ、この電流量により空気流速を検知する
ようにしたもので、可動部分がなく、しかも、流量を、
直接、検知できるため、自動車内燃機関の空燃比制御用
などに広く採用されている。

この熱線式空気流量センサにおける発熱抵抗体は、極め
て細い例えば直径が数十ミクロンの白金などの金属細線
が用いられており、従来はそのため、例えば、実開昭５
６−９６３２６号公報に記載のように、セラミックスか
ら成るボビンに金属細線を巻きまわしで構成していた。

また、別の方法として、特開昭６２−８３６２２号公報
に記載のように５発熱抵抗体となる金属細線を金属芯線
に巻きまわし、ガラス被覆した後、金属芯線を酸により
エツチング除去したボビンレス方式があった。

また、陰極線管の陰極加熱ヒータは、例えば、特開昭５
７−９５０３５号公報に記載のように、金属線コイルを
アルミナ等を主成分とする無機絶縁層で保護するものが
ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来技術の内、金属細線をセラミックスのボビンに巻き
まわした熱線式空気流量センサでは、ボビン自体を加熱
する熱及びボビンに伝わって支持体に伝わる熱量が無視
できず、特に、空気流量の変化に対し過度応答が遅れる
ため、自動車の急加速、減速時にサージングが発生する
といった問題があった。

これに対してボビンレス方式では応答性の改善が行われ
、巻線作業も複数個連続に行うことができるので、製造
の自動化が増すが、発熱抵抗体を巻きまわしだ金属芯線
を、被覆したガラス部材の焼成後に酸によるエツチング
で除去するための作業が煩雑であること、さらに芯線を
除去する際の酸によるエツチングによってガラス表面が
荒れ、使用環境下で空気中の塵埃やイオン性物質等が付
着して特性を劣化させるので、信頼性が低下する等の問
題があった。

また、金属細線コイルを無機絶縁層で保護した陰極線管
の陰極加熱ヒータは、金属芯線に金属細線を巻き回し、
アルミナ等を主成分とする無機絶縁粒子を電着して焼成
しているが、比較的低い（１１００℃以下）温度で作動
させるヒータには効果があるが、高温（約１３００℃）
で作動させる含浸型加熱方式のヒータでは、無機絶縁粒
子を電着する際に、金属細線間に生じてしまう低密度部
が起点となって無機絶縁層が割れてしまうため、低寿命
となってしまうとの問題があった。

本発明の目的は、ボビンレス型空気流量センサにおける
エツチング工程を不要にして工程作業の容易化を図ると
共に、ガラス表面のエツチング荒れの問題を解決し、空
気流量低下時の充分な応答性をもった熱線式空気流量セ
ンサ及びその製造法、並びに金属細線側の方が外側と同
等以上の充填密度で分布するように無機絶縁粒子を電着
させ、緻密な無機絶縁層をもつ従来より高温度でも長寿
命な陰極線の陰極加熱用ヒータ及びその製造法を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明は、Ｍｏ芯線に巻き
まわしだ金属細線間を含む筒状内面までセラミックス粒
子が緻密に分布された多孔質体の隙間にガラスを浸透・
充填させると共に、表層をガラスで被覆したガラスとセ
ラミックスの複合部材である筒状の部材と、この複合部
材の内壁に螺設され、先端が前記筒状部材外へ引き出さ
れた金属細線で構成される熱線式空気流量センサとした
ものである。さらに本発明は、酸化により比較的低温で
昇華性のＭｏ芯線に発熱抵抗体の金属細線を巻きまねず
工程と、一回の通電時間が１００ｍ５以下としたパルス
電着と膜の性状を調整する均し電着を連続して行うこと
により、巻きまわしだ前記金属細線両端の引出部を除い
て前記金属細線側の方が外側と同等以上の充填密度で分
布するようにセラミックス粒子とガラス粒子の混合部材
を付着して覆う工程と、酸化性雰囲気中での焼成により
Ｍｏ芯線と昇華除去とガラス粒子とセラミックス粒子を
焼成して多孔質体とする工程と、表面に被覆ガラス粒子
を付着して焼成することにより、前記セラミックス多孔
質体の隙間に被覆ガラスを浸透・充填させて、筒状内面
までセラミックス粒子が緻密に分布したセラミックスと
ガラスの複合材で固着した熱線式空気流量センサを得る
工程を含めたものである。

また、本発明は、一回の通電時間が１００ｍ５以下とし
たパルス電着と膜の性状を調整する均し電着を行って、
発熱抵抗体となる金属細線側の方が外側と同等以上の充
填密度で無機絶縁粒子が緻密に分布するように付着させ
て成る陰極線管陰極加熱ヒータを含む無機絶縁層で保護
されたヒータとしたものである。

〔作用〕

本発明では１発熱抵抗体の金属細線例えばＰｔ細線を昇
華性をもつ、Ｍｏ芯線にコイル状に巻きまわし、先端部
に電気引出部となるリード線を溶接し、ガラス粒子とセ
ラミックス粒子の混合部材をｐｔ細線側の方が外側と同
等以上の充填密度で分布するように付着して酸化性雰囲
気炉で焼成し、Ｍｏ芯線を酸化して昇華除去すると共に
ガラス粒子とセラミックス粒子を焼成して多孔質体とし
、被覆ガラスを付着した後焼成し、コイル状に巻きまわ
した金属細線とリード線をガラス／アルミナ複合材で固
着する作業を行う。

この処理で、Ｍｏ芯線は導電性がありリード線間を短絡
してしまうので、まずガラス粒子とセラミックス粒子の
混合部材を付着した後に酸化性雰囲気炉で加熱し、Ｍｏ
芯線を酸化して昇華除去すると共にガラス粒子とセラミ
ックス粒子を焼成して多孔質体とする一次焼成を行う。

この多孔質体に被覆ガラスを付着して焼成し、多孔質体
の隙間に被覆ガラスを浸透・充填させると共に表面をガ
ラスで被覆したガラス／アルミナ複合材とする二次焼成
を行う。そのため、−次焼成におけるガラス粒子とセラ
ミックス粒子の混合部材の付着層は、Ｍｏ芯線の昇華揮
散を妨げないために十分な多孔性を維持する必要がある
。この−次焼成後の多孔質体は強度的に弱いので、セラ
ミックス粒子の分布状態で不均一であると、粒子分布の
粗な部分が起点となって割れてしまう。また、−次焼成
後の多孔質体に被覆ガラスを浸透・充填させる二次焼成
で、多孔質体の特にｐｔ細線間に粒子分布の粗な部分が
あると、被覆ガラスが浸透しやすいので。

被覆ガラスがセラミックス粒子を伴って内面に流れ出て
しまい、ついには折損したりして形状を害してしまう。

そのため、ガラス粒子とセラミックス粒子の混合部材は
、ＰｔＪｉｌｌ線間にも緻密に分布するように付着させ
ることが必要である。

金属細線は、例えば耐熱性、耐食性の高いｐｔ細線が、
リード線にはｐｔ・Ｉｒ合金線が用いられる。また、芯
線として用いるＭｏは高温で酸化し、約７９５℃で昇華
するが、Ｍｏ芯線を酸化して昇華除去する際には充分な
酸素を補強する必要がある。このＭｏ芯線を酸化して昇
華除去する際、ガラス粒子とセラミックス粒子の混合部
材の付着層は、Ｍｏが昇華揮散するために充分な多孔性
を維持することが必要である。−次焼成によりアルミナ
とガラスが反応した多孔質体は脆弱であり、コイル状に
巻いたＰｔＪ［ｌ］ｌｉが補強的役目を担っているもの
の、セラミックス粒子分布の粗な部分があるとそこが起
点となって割れてしまう。特に、ＰｔＪｌｌｌ線間にセ
ラミックス粒子分布の粗な部分が存在すると割れの進展
は速い。そのため、Ｐｔ細線間などに粗な部分が生じな
いようにガラス粒子とセラミックス粒子の混合部材を緻
密に付着する必要がある。しかし、一般に電着法ではセ
ラミックス粒子等が突起物に集中的に付着しやすく外側
に成長するので、第７図に示すように、ｐｔ細線間が取
り残されてセラミックス粒子分布の粗な部分ができてし
まう。

そこで、まずガラス粒子とセラミックス粒子を。

電着速度は遅いが緻密に、かつ、均一に粒子を付着でき
る条件のパルス電着法で、ｐｔ細線間にも緻密に分布す
るように付着した後に連続して膜の性状を調整する均し
電着を行えば、ｐｔ細線側の方が外側と同等以上の充填
密度で分布したガラス粒子とセラミックス粒子の混合層
を得られることを見出した。第６図は、本発明によるも
ので、（ａ）がパルス電着後の途中で採取した試料を観
察した断面ＳＥＭ像、（ｂ）がパルス電着膜の性状を調
整するために行った均し電着後の断面ＳＥＭ像を示すが
、ガラス粒子とセラミックス粒子はｐｔ細線側の方が外
側と同等以上の充填密度で分布されている。このように
本発明の方法で電着されたものは、ガラス粒子とセラミ
ックス粒子がＰｔ細線間にも緻密に分布されているので
、その後、−次焼成して得られた多孔質体はｐｔ細線間
にも粒子分布の粗な部分がないので、強度が向上して作
業性が改善され、−次焼成後の割れはなくなるので製造
歩留まりが向上することも見出した。

この多孔質体に被覆ガラスを付着して二次焼成すれば、
被覆ガラスがセラミックス粒子を伴い空洞内面に流出し
て割れることや形状を害することもなくなる。また、電
着層のｐｔ細線間にも粒子分布の粗な部分がなければ、
−次焼成後の多孔質体の強度が向上するので取扱いが容
易となり、作業の自動化がしやすくなる。さらに−次焼
成後の多孔質体の強度が向上することによってガラス／
セラミックス複合層を薄くできるので、素子の応答性を
さらに向上することができる。

以上の方法によって従来の方法で問題であった芯線除去
に際しての酸によるエツチング工程を不要とし、作業の
簡略化を図ることができる。また、ガラス／アルミナ複
合層表面のエツチング荒れを回避できる。

こうして得られる熱線式空気流量センサでは、金属細線
に通電することにより発生した熱が従来のボビン式のよ
うにボビンを伝わって支持体に逃げることがなく、はと
んどが空気に伝達される。

従って、ボビンレス方式特有の応答性が得られる。

また、本発明によるパルス電着と膜の性状を調整する均
し電着を組合せて１１密な被覆層を付着してセンサ素子
を得る方法は、Ｍｏ芯線にＷ細線を巻き回した後にセラ
ミックス粒子を電着して焼成し、Ｍｏ芯線を除去して製
造することを特徴とする陰極線管の陰極加熱ヒータ及び
その製造法にも適用できる。

第８図は１本発明による陰極線管の陰極加熱ヒータであ
り、金属線コイル２６．絶縁層２７及びダーク層２８か
らなり、陰極ペレット２９を加熱するが、絶縁層２７は
第６図に示したと同様に金属細線側の方が外側と同等以
上の充填密度で無機＃！縁粒子が分布した緻密な層にな
っているので、高温加熱して使用しても長寿命が得られ
る。

〔実施例〕

以下１本発明を実施例により説明する。

〈実施例１〉第１図は、本実施例の熱線式空気流量センサの構造図で
ある。熱線式空気流量センサ１は、コイル状に巻きまわ
しだｐｔ細線２と、その両端に接続したｐｔ・Ｉｒ合金
のリード線３と、それらの接続部３１及びＰｔ細線２を
支持するガラスとアルミナからなる複合部材６とからな
り、内部に空洞をもちかつ両端部を密封した構造である
。

この熱線式空気流量センサ１の製造方法を第２図に基づ
いて説明する。第２図（ａ）は、自動巻線機により直径
３０μｍのｐｔＨ線２を直径０．５ＩのＭｏ芯線７に連
続的に巻きまわした状態を示す。（ｂ）は（ａ）からセ
ンサー個分の長さ４ｍに切断し、両端に直径０．１３ｏ
ｎのｐｔ・Ｉｒ合金のリード線３を接続部３１で溶接し
た状態を示す。（ｃ）はｐｔ細線２をＭｏ芯線７に巻き
まわした周囲に、水を６６．７ｍＱ　及びエチルアルコ
ール６２．３　ｍ　Ｑとインビルアルコール２．９ｍＱ
とメチルエチルケトン１．９ｍＱ　とからなる変性アル
コール並びに電解質として硝酸アルミニウム２．１ｇ　
と硝酸マグネシウム２．０ｇ　とから成る溶液に１４ｖ
ｏＱ％ガラスーアルミナ混合粉体１００ｇを加えて作製
した電着液を用い、電気泳動法によりアルミナ粒子とガ
ラス粒子から成る混合部材４を、電圧５０Ｖで５０ｍ５
通電して５００　ｍ　ｓ休止するパルス電着を十回行い
Ｐｔ細線間にも緻密に付着した後に連続して、電圧５０
ｖで６００ｍ５通電して膜の性状を調整する均し電着を
して前述の混合部材４を厚み７０μｍに均一に付着させ
た後、酸化性雰囲気炉で一次焼成した状態を示す。ここ
で用いたガラス部材は、ＡＱｚＯ３−８ｉ○２−ＢａＯ
系ガラスで、温度８６０℃での粘度が１０’ポアズ、１
１８０℃テノ粘度が１０４ポアズの特性をもつ。（ｃ）
の−次焼成において、温度が上昇するにつれてＭｏ芯線
７の酸化が進んでＭ　ｏ　Ｏａとなり、温度が７９５°
Ｃに達するとＭ　ｏ　Ｏａは昇華するが、アルミナ粒子
とガラス粒子から成る混合部材４は空隙を維持するため
、この空隙からＭｏＯ２が揮散する。８５０℃で２ｈ保
持してＭＯ芯線の昇華除去を完了させた後温度を１２０
０　’Ｃに上昇させ２ｈ保持して一次焼成を終了したが
、アルミナとガラスが反応した粒子がＭＯ芯線が昇華除
去した後の空洞内面まで均一に分布された多孔質体は、
以降の作業の取扱に必要な充分な強度を持つ。しかし、
このセラミックス多孔質体はセンサ素子として用いるに
はまだ強度が低く：表面の平滑度も充分でないので、こ
れらを補うため、（ｄ）に示すように被覆ガラス５を浸
漬法で付着し、酸化性雰囲気炉で二次焼成した。

ここで用いた被覆ガラス部材はＢ２Ｏ３−５ｉ○２−ｐ
ｂｏ系ガラスで、温度６９０℃での粘度が１０８ポアズ
、７８０℃での粘度が１０４ポアズの特性をもつ。（ｄ
）に示したように８２０℃で２ｈ保持して二次焼成をす
ることにより、アルミナとガラスが反応した多孔質体４
の空隙に被覆ガラス５が浸透するが、多孔質体にはＰｔ
細線間に粗な部分もなく、内面まで緻密な構造を有する
ので、被覆ガラスの浸透を阻害することもなく、また被
覆ガラスがアルミナとガラスの反応した粒子を伴って空
洞内面に流出することもないので、折損や形状を害する
こともなく、ガラスで覆って表面平滑な熱線式空気流量
センサ素子１を得た。

なお、前述の電着液を用いて、条件を変えてパルス電着
したセラミックス粒子又はガラス粒子とアルミナ粒子の
混合粒子の付着状態を検討したところ、（１）電圧が１
０〜１２０Ｖの範囲で１回の通電時間が１００ｍ５以下
であれば、第６図に示したようにセラミックス粒子又は
ガラス粒子とアルミナ粒子の混合粒子がｐｔ細線にも緻
密に分布されること。（２）また、この時の通電時間に
休止時間を加えたーパルス時間と通電時間との比が約０
．１　以下となる組合せがパルス条件として適当である
こと。（３）しかし、通電時間が１００ｍ５を越えたパ
ルス電着ではｐｔ細線に電荷が集中する現象が顕著なの
で、セラミックス粒子又はガラス粒子とアルミナ粒子の
混合粒子はｐｔ細線から反ＭＯ芯線側に成長して付着す
るため、第７図に示したようにｐｔ細線間が取り残され
てセラミックス粒子又はガラス粒子とアルミナ粒子の混
合粒子の分布が粗になってしまうことを見出した。

従って、第６図に示したようなセラミックス粒子又はガ
ラス粒子とアルミナ粒子の混合粒子をＰｔ細線間にも緻
密に分布するように付着させるためのパルス電着は、通
電時間が１００ｍｓ以下で、通電時間に休止時間を加え
た１パルス時間と通電時間との比が約０．１　　以下と
なる組合せが適当である。

本方法によれば、従来のボビンレス方式に比べ、芯線を
酸によりエツチング除去するための煩雑さがなくなると
共に、昇華性を有する金属芯線７を酸化して昇華除去し
た後、ガラス粒子とアルミナ粒子が反応して形成した多
孔質体は、Ｍｏ芯線除去後の空洞内面まで均一に分布し
て取扱いに必要な強度も充分なので、以降の取扱処理が
容易に行え、このセラミックス多孔質体に被覆ガラスを
付着して焼成することにより、Ｒ密で強固な複合部材６
で保持した熱線式空気流量センサ素子１を得ることがで
きるので、作業性が大幅に向上した。

このセンサ素子１を用いた熱線式空気流量計の一実施例
を第３図に示す。なお、この実施例では、熱線式空気流
量センサ１と同じものが測温抵抗体８として空気温度測
定に用いられている。熱線式空気流量センサ１と測温抵
抗体８は、第３図に示すように吸入空気のメイン通路１
０及びバイパス通路１１をもったボディ１２のバイパス
通路１１中の支持体９に固定される。

第４図は、熱線式空気流量計の駆動回路の実施例で、熱
線式空気流量センサ１．測温抵抗体８゜オペアンプ１３
，１４．パワートランジスタ１５゜コンデンサ１６．抵
抗１７〜２０で構成されている。また、パワートランジ
スタ１５のコネクタ端子２１にはバッテリ（図示せず）
の（＋）極が、抵抗１７のアース端子２２にはバッテリ
の（−）極が、そして抵抗１７と熱線式空気流量センサ
エの接続点４１には、本熱線式空気流量計の出力信号を
使ってエンジン制御を行うマイクロコンピュータ（図示
せず）の入力端子がそれぞれ接続される。

このような構成で、パワートランジスタ１５によって熱
線式空気流量センサ１に電流を供給して加熱し、測温抵
抗体８より常に一定の温度だけ高くなるように制御する
。この測温抵抗体８には発熱が無視できる程度の微小電
流しか流さず、これにより吸入空気温度を検出するよう
にして吸入空気の温度補正用として使用している。ここ
で空気流が熱線式空気流量センサ１に当たると、駆動回
路の動作によって熱線式空気流量センサ１と測温抵抗体
８の温度差が常に一定になるように制御される。従って
、空気流量が変化すると熱線式空気流量センサ１を流れ
る電流が変化し、その電流に応じて抵抗１７に現われる
電圧降下で空気流量が測定されることになる。

第５図は、本実施例の熱線式空気流量計の応答特性を示
す。空気流量を低流量的２０ｋｇ／ｈから高流量約２０
０ｋｇ／ｈに切り替えた時の熱線式空気流量計の電圧を
測定し、流量に換算して縦軸に示した。（ａ）が本発明
によるボビンレス方式、（ｂ）が従来のボビン式の結果
である。従来のボビン式に比べて最終値到達時間が大幅
に向上しており、従来のボビンレス方式と同等であるこ
とが判る。

このため、自動車の急加速や減速時においても、真の空
気流量に追従して熱線式空気流量計が信号を出せるため
、適切なインジェクタの噴射量を決定でき、サージング
の問題は解消できる。

このように応答性が向上したのは、熱線式空気流量セン
サ１のｐｔ細線２に発生する熱が、従来のボビン式のよ
うにボビンを加熱したりボビンを伝わって支持体に逃げ
ることがなく、空気量の変化に敏感に反応するためであ
る。

また、本実施例の熱線式空気流量計は、従来のボビンレ
ス方式に比べて信頼性が高い。これは、従来のボビンレ
ス方式では酸によるエツチングでガラス表面が荒れてい
たが、本実施例では表面が平滑であるためである。

〈実施例２〉以下、第１図に示すガラス部材とセラミックス部材につ
いて、種々な組成及び種々な種類を用いて実施したが、
セラミックス粒子とガラス粒子を、実施例１で用いたの
と同じ電着液を用いて、一回の通電時間が１００　ｍ　
ｓ以下のパルス電着てｐｔ細線間にもＩｉ密に付着させ
た後に連続して膜の性状を調整する均し電着を行い、Ｍ
ｏ芯線を酸化して昇華除去した後に被覆ガラスを付着し
て焼成す・ることにより、第１図に示す熱線式空気流量
センサ１を得ることができた。

本実施例では、熱線式空気流量センサを得ることについ
て述べたが、熱線式空気流量センサ以外でも、例えばＭ
ｏ芯線にＷ細線を巻きまわして製造する陰極線管の陰極
加熱ヒータであっても、回の通電時間が１００　ｍ　ｓ
以下のパルス電着でＷ細線間にも緻密に分布するように
セラミックス粒子を付着した後に連続して膜の性状を調
整する均し電着を行い、セラミックスを焼成し、Ｍｏ芯
線を除去すれば、セラミックスが緻密に分布した保護層
を有する長寿命の陰極線管の陰極加熱ヒータを得ること
ができる。

従って、一回の通電時間が１００　ｍ　ｓ以下のパルス
電着でＷ細線間にも緻密に分布するようにセラミックス
粒子を付着した後に連続して、膜の性状を調整する均し
電着を行うことを特徴とする本発明による方法は、熱線
式空気流量センサ並びに陰極線管の陰極加熱ヒータの製
造法に適用できる。

〔発明の効果〕

本発明の熱線式空気流量センサによれば、空気中の塵埃
、イオン性物質等によって応答性を損なわれることはな
く、高い応答性をもつと共に信頼性の高い熱線式空気流
量計を得ることと高品質の熱線式空気流量センサを安定
して供給でき、かつ作業性を高めることができる。

また、本発明による陰極線管の陰極加熱ヒータは、従来
以上の高温での長寿命化が図れるので、性能が向上し、
作業性を高めることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示す熱線式空気流量セ
ンサの断面図、第２図（ａ）ないしくｄ）は本発明によ
る熱線式空気流量センサの製造方法の一実施例を示す工
程図、第３図は熱線式空気流量センサが用いられた熱線
式空気流量計の一実施例を示す断面図、第４図は前記熱
線式空気流量計における駆動回路の一実施例を示す回路
図、第５図は本発明の効果を示す特性図、第６図は本発
明によるパルス電着と膜の性状を調整する均し電着て得
たｐｔ細線間にもセラミックス粒子が均一に分布された
状態を示す無機絶縁層の粒子写真、第７図は従来の方法
で電着したｐｔ細線間にセラミックス粒子が粗に分布さ
れた状態を示す無機絶縁層の写真、第８図は陰極線管の
陰極加熱ヒータの断面図である。１・・・熱線式空気流量センサ、２・・・Ｐｔワイヤ、
３・・リード線、４・・・ガラス粒子とセラミックス粒
子の混合部材、５・・・被覆ガラス部材、６・・・ガラ
スとセラミックスの複合部材、７・・Ｍｏ芯線、８・・
・測温抵抗体、９・・・支持体、１０・・・メイン通路
、１トバイパス通路、１２・・ボディ、１３．１４・・
オペアンプ、１５・・・パワートランジスタ、１６・・
・コンデンサ、１７〜２０・・・抵抗、２１・・・コネ
クタ端子、２２・・アース端子、２６・タングステンコ
イル、２７・・・絶縁層、２８・・・ダーク層、２９・
・陰極牢２−区（ｂ）（Ｃ）（ｄ）宅Ｓ図時開（ＴｒＮＳ）宅８図手続補正書（旗）平成３７２Ｒ１３４

Claims

【特許請求の範囲】１、Ｍｏなどの金属芯線に巻き回した発熱抵抗体となる
金属細線間に高密度で分布した無機絶縁体の保護層を設
けたことを特徴とするヒータ。２、請求項１において、まず金属細線間にも均一に分布
するようにかつ金属芯線及び金属細線に均一に付着する
ように無機絶縁粒子から成る層を形成させた後、前記無
機絶縁層の性状を調整するための均し電着を行い、金属
細線側の方が外側と同等以上の充填密度で分布した無機
絶縁体の保護層を設けたヒータ。３、Ｍｏの金属芯線に巻き回した金属細線側の方が外側
と同等以上の充填密度でセラミックス粒子が緻密に分布
した多孔質体の隙間をガラスで充填された内層と、表層
がガラスの複合部材から成る筒状の部材と、この複合部
材内壁に螺設され、両端が前記筒状部材外へ電気的に引
き出された金属細線とで構成される熱線式空気流量セン
サ。４、Ｍｏ芯線に金属細線を巻き回した両端にリード線を
固着し、前記金属細線側の方が外側と同等以上の充填密
度で分布するようにセラミックス粒子または前記セラミ
ックス粒子とガラス粒子の混合部材を付着し、Ｍｏ芯線
を酸化させ昇華除去して多孔質体とした後、被覆ガラス
を付着して焼成し、前記多孔質体の隙間に被覆ガラスを
浸透・充填させて、セラミックスとガラスの複合材から
なる内層と、その表層をガラスで被覆された複合部材か
らなる筒状の部材と、この筒状の複合部材内壁に螺設さ
れ、両端が前記筒状部材外へ電気的に引き出された金属
細線とで構成されることを特徴とした熱線式空気流量セ
ンサの製造法。５、一回の通電時間が１００ｍｓ以下としたパルス電着
と膜の性状を調整する均し電着を連続して行い、Ｍｏ芯
線に巻き回した金属細線側の方が外側と同等以上の充填
密度で分布するようにセラミックス粒子又はセラミック
ス粒子とガラス粒子の混合部材を付着したことを特徴と
する熱線式空気流量センサの製造法。６、一回の通電時間が１００ｍｓ以下としたパルス電着
と膜の性状を調整する均し電着を連続して行い、Ｍｏ芯
線に巻きまわした金属細線側の方が外側と同等以上の充
填密度で分布するようにセラミックス粒子を付着したこ
とを特徴とする陰極線管の陰極加熱ヒータの製造法。