JPH04121641A - グライドテスト方法およびグライドテスター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気記録媒体の表面に存在する微小突起の分
布状態等を検知するためのグライドテスト方法およびそ
のためのグライドテスターに関するものである。

［従来の技術］ 例えばコンピュータシステムの記憶装置として使用され
る磁気ディスク装置は、ますます高記録密度化が進展し
ており、磁気記録媒体にはその微細化と性能の向上が求
められている。また、磁気ヘッドの浮上量が０．１５μ
ｍ程度と非常に小さくなっているために、この磁気ヘッ
ドを安定に浮上させることが出来るように極めて平滑な
表面とすることが要求されている。

磁気ディスクの製造においては、磁気記録媒体膜を塗布
した後、これを平滑にするため研磨を行うが、研磨して
もある程度平滑度を阻害する微小な突起があるので、さ
らにバーニッシュ工程により微小突起の除去がなされて
いる。このバーニッシュ工程にあわせて突起の有無が検
査される。この場合、研磨工程においては研磨層の微粒
子が多量に発生するので、それが検査装置およびその周
辺に進入するのを避けるために、バーニッシュと突起の
検査は研磨工程とは別の工程とし、−括してグライドテ
スターにより行なわれている。一般に、ヘッドを安定浮
上させるのに必要な磁気記録媒体表面の平滑性をグライ
ド特性といい、ヘッドを安定浮上させることのできる最
小浮上量でその特性を評価している。グライド特性を測
定することをグライドテストと言うが、このテストには
従来から次のような手法が用いられている（例えば、特
開昭６３−２１４９１６号公報参照）。

第５図は磁気ディスク装置において、書き込み／読みだ
し用の磁気ヘッドの浮上動作の説明図である。磁気ディ
スク１が矢印θ方向に回転すると。

磁気ディスク表面に矢印Ａで示すように空気流が生ずる
。これに対して磁気ヘッド２を保持するスライダー３が
図示のように傾斜しているので、磁気ディスクとスライ
ダー間を通る空気流の作用でスライダーは浮上し、磁気
ヘッド２は磁気ディスク表面と非接触の状態で作用する
。なお、スライダー３は、ばね４により適当な力で下方
（磁気ディスク面近づく方向）に付勢されている。また
、磁気ヘッドの浮上の高さΔｈは０．２μｍ程度の微小
なものである。グライドテスターにおいては、この磁気
ヘッドと同様の浮上特性で突起検査を行なうことが必要
であり、このため従来は第５図に示したスライダーと同
一のスライダー３を使用し、磁気ヘッド２の代わりに、
ピエゾ素子による突起センサ５を取付けてグライドヘッ
ド６とする。

第６図に示すように、グライドヘッドが磁気記録媒体表
面の突起に接触すると、その接触によって生じた衝撃波
が該ヘッドを伝搬して圧電素子を励振する。その時発生
した第７図に示すようなスパイク状の電圧波形の振幅や
、その波形を周波数分析した結果から突起を確認するの
である。

圧電素子を使用する方法以外のものとしては、アコース
チック・エミッション（ＡＥ）センサをジンバル支持ア
ーム等に取り付け、その出力信号によって突起の状況を
判断するもの等がある（特開昭５５−２８５２６号公報
、特開昭５８−５８４０７号公報、特開昭６３−２１４
９１６号公報等参照）。

なお、バーニッシュは、前記のグライドヘッドと同様に
、空気流により浮上するスライダー方式のものが使用さ
れるが、スライダーとしては磁気ヘッドのものより硬い
材料のものが使用され、磁気ディスクとの対向接触する
面倒に例えば斜方向の鋭い切り刃が刻まれており、突起
に衝突すると突起が削り取られてバーニッシュされるよ
うにしである。なお、バーニッシュにおいては、付勢す
るばねの押圧力も磁気ヘッドの場合より大きくするのが
通常である。

［本発明が解決しようとする問題点］ しかし、上記従来の素子やセンサを使用するグライドテ
ストでは、素子やセンサの大きさ、種類、またはその取
り付は方等によって出力の波形や大きさが非常に変化し
、同じ磁気記録媒体をテストしても素子やセンサ毎に結
果が異なるという問題があった。この問題に対処するた
めに、予め各々の出力感度を測定したり、感度調整した
りすることが行なわれるが、常に同じ感度を維持するの
は極めて困難である。また、テストの際には、グライド
ヘッドと磁気記録媒体間に形成される空気膜割性の乱れ
によってグライドヘッドが振動して、実際にはグライド
ヘッドが磁気記録媒体表面に接触していなくても、接触
したような波形を出力することがあり、測定の精度や信
頼性の点で大きな問題となることがある。このため、取
扱や信頼性に優れたグライドテスト方法の実現が望まれ
ていた。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上記要望に応えるべく成されたものであり、
特にグライドヘッドと磁気記録媒体間に電圧を印加し、
両者間の導通状態を調べることにより磁気記録媒体表面
上の突起物を検出することを特徴とするものである。

また、前記のような微小突起の検知を行うために本発明
は、磁気記録用磁性膜を有する磁気記録媒体、この磁気
記録媒体を保持し回転駆動する駆動手段、前記磁気記録
媒体面に対向して配置される浮上面を有するスライダー
部をもつグライドヘッド、前記磁気記録媒体に電気的に
接続される検出端子と前記グライドヘッドのスライダー
部に電気的に接続される検出端子とをもつ導通検知手段
を有し、磁気記録媒体が回転駆動されているときのグラ
イドヘッドと磁気記録媒体との間の導通状態を検知する
ように構成したことを特徴とするものである。

［作用］ すなわち本発明は、グライドヘッドと磁気記録媒体間の
通電状態を調べることによって記録媒体表面の平滑性を
測定するようにしているため、磁気ヘッドが記録媒体に
接触しておらず両者間に導通が無い場合には、仮りに空
気剛性膜の乱れによってグライドヘッドが振動したとし
ても出力に変化は生ぜず、磁気ヘッドが磁気記録媒体表
面上の微小突起に接触しているときのみに導通するだけ
であるから、常に同じ感度で簡単に、しかも高精度でグ
ライドテストできるのである。

［実施例］ 以下、本発明を実施例により詳述する。ただし、本発明
は以下に示す実施例の構成のみに限定されるものでない
ことは言うまでもない。

第１図は本発明によるグライドテスターの一実施例にお
ける電気回路の構成説明図である。直流電源７の一端は
磁気記録媒体８に接続され、他端は抵抗９を介してグラ
イドヘッド１０に接続されるように構成し、電気抵抗９
の両端の電圧■１を測定できるようにした。グライドヘ
ッドおよび磁気記録媒体間への電気的接続の仕方の具体
的な例を第２図に示す。磁気記録媒体８を導電性治具１
１および１２で回転軸１３に固定した。導電性治具１１
の頂点にはくぼみを設けてあり、そのくぼみに鋼球１４
をはめ込み、更にリード線１５が接／６ 続された銅板吋で鋼球の頂点を抑圧保持するようにした
。グライドヘッド側は、バネ性を有するシンバル４の先
端部にスライダーを取り付けてあ１７、ジ、／７鋺。一
部４．：ｌＪ−ＦＭ７毒を接続、え。

このような構成のグライドヘッドにより、実際に測定し
たところ、記録媒体が高速回転してグライドヘッドが浮
上している時は電圧■１は零であり、電気回路が開いた
状態になっていることが確認出来た。次いで、磁気記録
媒体の回転速度を減少させ浮上量を下げていったときに
は■□に第３図のような変化が観られ、磁気ヘッドが記
録媒体表面上の微小な突起に接触して瞬間的に回路が閉
じたことが確認できた。すなわち、グライドヘッドを＆
浮上量Ｈ−で浮上させるとともに、ヘッドを磁気記録媒
体の半径方向へ移動させて電圧■１の変化する回数を測
定すれば記録媒体表面上に存在するＨ−以上の高さの微
小突起の個数を測定できること、更に異なる浮上量で磁
気ヘッドを浮上させ上記の測定を行えば、記録媒体表面
上の微小突起の分布状態すなわちグライド特性を測定で
きることが確認された。

１例として５０にΩの電気抵抗、３ｖｏｌｔの直流電源
を用いて第１図に示したような回路を構成し、次のよう
なグライドテストを行った。０゜１５〜０．０５１ＩＭ
の範囲で段階的にヘッドの浮上量を変え、記録媒体表面
上の微小突起の個数を測定した。前述の第３図はヘッド
の浮上量を０．１２−としたときに、媒体表面上の１箇
所で観察された電圧■１の変化を示したものであるが、
この例では、電圧■、の値に対して０．３ｖｏｌｔのし
きい値を設定し、この値以上の電圧変化を計数した。第
４図は媒８表面当りの突起の分布状態を示している、０
印が本発明による測定結果、Δ印が従来の圧電素子を用
いたグライドヘッドを使用して測定した比較例である。

両者の結果は詳細には異なるものの大略的には同様の傾
向を示しており、本実施例がグライド特性の測定に有効
であることがわかる。

この実施例による測定結果では、突起の個数が比較例の
結果より少なくなっているが、これは、グライドヘッド
と磁気記録媒体間の空気膜剛性の乱れによって生じたヘ
ッド振動が、比較例では余分に検出されたためと考えら
れる。また、同じ磁気記録媒体について、そのグライド
特性を繰返し測定したところ、本発明による方が従来の
手法に比べて非常によい再現性が得られた。なお本発明
においては、磁気記録媒体とグライドヘッド間の導通を
調べるため瞬間的に電流が流れると考えられるが通常ス
ライダーには高抵抗のセラミック材料が使用されるため
か、繰返し測定を行っても記録媒体を変質させたり、損
傷させることは全くなかった。

なお、上記実施例では、グライドヘッドと磁気記録媒体
間の通電状態を調べるのに電気抵抗両端の電圧変化を測
定するという手段をとったが、その他の手段として磁気
ヘッド・磁気記録媒体間の電圧値や電流値の変化を直接
測定してもよい。

［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によればグε ライドヘッドあ磁気記録媒体間に電圧をかけ、両各間の
通電状態を調べることによって磁気記録媒体表面上の突
起物を検出するために、空気膜剛性の乱れに影響されず
、また常に同じ感度で測定でき、従来の手法よりも高い
信頼性で簡単にグライドテストが出来るという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における電気回路の構成説明
図、第２図は本発明におけるグライドヘッドおよび磁気
記録媒体への電気的接続方法の具体的構成の一例を示す
概略構成説明図、第３図は本発明の一実施例における測
定出力の例を示す図、第４図は本発明による測定結果と
従来例の測定結果との比較説明図、具体的に示したもの
である。 また、第５図および第６図は従来のグライドテスト方法
の構成説明図、第７図は従来例における検知出力波形の
例を示す図である。 １．８：磁気記録媒体、２：磁気ヘッド、３ニスライダ
ー、４ニシンパル、５：突起センサ、６゜ｌＯニゲライ
ドヘッド、７：直流電源、９：抵抗体、１１，１２：導
電性治具、１３：回転軸、１４：鋼球、 １５゜ 井＃：リード線、 １６：銅板。 第 図 第 図 第 図 第 図 硫気ヘッド（グライドヘラ目）のシ寥上、ｔ（Ｐｆｆｌ
）Φ 図 第 図 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）グライドヘッドと磁気記録媒体間の導通状態を検
   知することによって、磁気記録媒体表面の微小突起物の
   存在を検査することを特徴とするグライドテスト方法。
2. （２）磁気記録用磁性膜を有する磁気記録媒体、この磁
   気記録媒体を保持し回転駆動する駆動手段、前記磁気記
   録媒体面に対向して配置される浮上面を有するスライダ
   ー部をもつグライドヘッド、前記磁気記録媒体に電気的
   に接続される検出端子と前記グライドヘッドのスライダ
   ー部に電気的に接続される検出端子とをもつ導通検知手
   段を有し、磁気記録媒体が回転駆動されているときのグ
   ライドヘッドと磁気記録媒体との間の導通状態を検知す
   るように構成したことを特徴とするグライドテスター。
3. （３）前記グライドヘッドと磁気記録媒体間の導通状態
   を、電圧の変化、電流の変化、または電気回路中に設け
   られた抵抗器両端の電圧変化により検出することを特徴
   とする請求項（２）に記載のグライドテスター。