JPH04115870A - 遊離複合砥粒噴射式加工装置 - Google Patents
遊離複合砥粒噴射式加工装置Info
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- JPH04115870A JPH04115870A JP2233324A JP23332490A JPH04115870A JP H04115870 A JPH04115870 A JP H04115870A JP 2233324 A JP2233324 A JP 2233324A JP 23332490 A JP23332490 A JP 23332490A JP H04115870 A JPH04115870 A JP H04115870A
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- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 22
- 230000005514 two-phase flow Effects 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 26
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 12
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、遊離複合砥粒噴射式加工装置に係り、特に遊
離複合砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射してそ
の加工、即ちラップ仕上（ｌａｐｐｉｎｇ）やポリッシ
ング（ｐｏｌ ｉｓｈ ｉｎｇ）を行うようにした加工
装置に関する。
離複合砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射してそ
の加工、即ちラップ仕上（ｌａｐｐｉｎｇ）やポリッシ
ング（ｐｏｌ ｉｓｈ ｉｎｇ）を行うようにした加工
装置に関する。
遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆した遊離複合砥
粒と高圧の気体とからなる固気２相流を被加工物に噴射
して、この被加工物を加工するようにした事により、加
工効率を向上し、容易に鏡面仕上げが可能な加工装置を
提供する。
粒と高圧の気体とからなる固気２相流を被加工物に噴射
して、この被加工物を加工するようにした事により、加
工効率を向上し、容易に鏡面仕上げが可能な加工装置を
提供する。
〔従来の技術］
従来、ラップ仕上では、数μｍ〜数１０μｍの粗い砥粒
を使い、工具として鋳鉄等の硬い金属が使用されていた
ので、被加工物の加工面は光沢のない梨地面になった。
を使い、工具として鋳鉄等の硬い金属が使用されていた
ので、被加工物の加工面は光沢のない梨地面になった。
ポリッシングでは、１μｍ以下の微細砥粒を使い、ポリ
ラシャとして軟質の工具を用いて、被加工物の加工面を
鏡面仕上げをしていた。
ラシャとして軟質の工具を用いて、被加工物の加工面を
鏡面仕上げをしていた。
これらの従来のラップ仕上やポリッシングによる加工で
は、その段取りが大変であり、加工時間が掛かるという
問題点があった。そして、その加工後の洗浄や乾燥にも
多くの時間を必要としていた。
は、その段取りが大変であり、加工時間が掛かるという
問題点があった。そして、その加工後の洗浄や乾燥にも
多くの時間を必要としていた。
しかも、加工面の端面がダレる問題点があり、曲面や非
球面の加工が大変で、微細加工に適していないという問
題点があった。
球面の加工が大変で、微細加工に適していないという問
題点があった。
本発明は、従来のこのような問題点を解決するためにな
されたものであって、 遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆した遊離複合砥
粒と高圧の気体とからなる固気２相流を被加工物に噴射
して、この被加工物を加工、即ちラップ仕上やポリッシ
ングするようにした事により、加工効率を向上し、容易
に鏡面仕上げや微細加工が可能な加工装置を提供する事
を課題する。
されたものであって、 遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆した遊離複合砥
粒と高圧の気体とからなる固気２相流を被加工物に噴射
して、この被加工物を加工、即ちラップ仕上やポリッシ
ングするようにした事により、加工効率を向上し、容易
に鏡面仕上げや微細加工が可能な加工装置を提供する事
を課題する。
本発明は、遊離複合砥粒と気体の固気２相流を被加工物
に噴射してその加工を行うようにした装置、即ち遊離複
合砥粒噴射式加工装置において、前記遊離複合砥粒とし
ては、遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆したもの
を用いる。
に噴射してその加工を行うようにした装置、即ち遊離複
合砥粒噴射式加工装置において、前記遊離複合砥粒とし
ては、遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆したもの
を用いる。
このような遊離複合砥粒と気体の固気２相流を被加工物
に噴射してその加工を行うようにした装置の遊離複合砥
粒として、遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆した
ものを用いる事により、被加工物の表面粗さを向上した
ラップ仕上やポリッシング等の加工を容易にする事が出
来る。
に噴射してその加工を行うようにした装置の遊離複合砥
粒として、遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆した
ものを用いる事により、被加工物の表面粗さを向上した
ラップ仕上やポリッシング等の加工を容易にする事が出
来る。
（実施例〕
以下、本発明の遊離複合砥粒噴射式加工装置の一実施例
を第１図乃至第３図を参照して説明する。
を第１図乃至第３図を参照して説明する。
第１図は本発明の遊離複合砥粒噴射式加工装置の断面図
、第２図は第１図の装置に用いられる遊離複合砥粒の拡
大断面図であり、そして第３図は第１図の噴射ノズルの
部分拡大断面図である。
、第２図は第１図の装置に用いられる遊離複合砥粒の拡
大断面図であり、そして第３図は第１図の噴射ノズルの
部分拡大断面図である。
本発明の装置は、第１図に示すように、遊離複合砥粒１
と高圧の気体２とからなる固気２相流３を被加工物４に
噴射して、この被加工物４のラップ仕上やポリッシング
等の加工をするようにした遊離複合砥粒噴射式加工装置
である。
と高圧の気体２とからなる固気２相流３を被加工物４に
噴射して、この被加工物４のラップ仕上やポリッシング
等の加工をするようにした遊離複合砥粒噴射式加工装置
である。
この第１図において、１１は遊離複合砥粒供給管、１２
は高圧気体供給管、１３は吸引ノズル、１４は固気２相
混合管、そして、１５は噴射ノズルを示す。
は高圧気体供給管、１３は吸引ノズル、１４は固気２相
混合管、そして、１５は噴射ノズルを示す。
遊離複合砥粒１が遊離複合砥粒供給管１１から吸引ノズ
ル１３の近傍に供給され、窒素や空気等の高圧の気体２
が高圧気体供給管１２から吸引ノズル１３の中に供給さ
れる。この吸引ノズル１３の近傍において、供給された
遊離複合砥粒１は、高圧の気体２の中に吸引される。即
ち、高圧の気体２が吸引ノズル１３の中を高速で流れる
ため、吸引ノズル１３の近傍では、負圧が発生し、遊離
複合砥粒１が高圧の気体２の中に吸引され、固気２相流
３となる。
ル１３の近傍に供給され、窒素や空気等の高圧の気体２
が高圧気体供給管１２から吸引ノズル１３の中に供給さ
れる。この吸引ノズル１３の近傍において、供給された
遊離複合砥粒１は、高圧の気体２の中に吸引される。即
ち、高圧の気体２が吸引ノズル１３の中を高速で流れる
ため、吸引ノズル１３の近傍では、負圧が発生し、遊離
複合砥粒１が高圧の気体２の中に吸引され、固気２相流
３となる。
固気２相流３は固気２相混合管１４の中を流れる。
固気２相混合管１４を流れた固気２相流３は噴射ノズル
１５により、更に加速され、被加工物４に噴射され、被
加工物４のラップ仕上やポリッシング等の加工をする。
１５により、更に加速され、被加工物４に噴射され、被
加工物４のラップ仕上やポリッシング等の加工をする。
本発明の装置の特徴は、この装置に用いられる遊離複合
砥粒１が、第２図に示すように、遊離粒子１ａの表面に
多数の微細砥粒１ｂを被覆した砥粒からなる点にある。
砥粒１が、第２図に示すように、遊離粒子１ａの表面に
多数の微細砥粒１ｂを被覆した砥粒からなる点にある。
遊離粒子１ａは軟質材からなる。
即ち、遊離粒子１ａと微細砥粒１ｂは第１表のような材
質と粒径のものを使用する。
質と粒径のものを使用する。
第１表
第３図は第１図に示した噴射ノズルの部分拡大断面図で
、遊離複合砥粒１として、第１表に示したような、１〜
５０μｍの粒径の軟質材からなる遊離粒子１ａの表面に
０．０１〜１８ｍの粒径の微細砥粒１ｂを被覆させ、こ
の遊離複合砥粒１と高圧の気体２の混合流である高速な
固気２相流３（流速はＬｏｏｍ／ｓｅｃ程度）を被加工
物４に噴射し、この被加工物４のラップ仕上やポリッシ
ング等の加工をする。ラップ仕上やポリッシング等の加
工の後の被加工物４の表面粗さは、微細砥粒１ｂの粒径
の１／１０〜１／１００の鏡面仕上げが可能である。
、遊離複合砥粒１として、第１表に示したような、１〜
５０μｍの粒径の軟質材からなる遊離粒子１ａの表面に
０．０１〜１８ｍの粒径の微細砥粒１ｂを被覆させ、こ
の遊離複合砥粒１と高圧の気体２の混合流である高速な
固気２相流３（流速はＬｏｏｍ／ｓｅｃ程度）を被加工
物４に噴射し、この被加工物４のラップ仕上やポリッシ
ング等の加工をする。ラップ仕上やポリッシング等の加
工の後の被加工物４の表面粗さは、微細砥粒１ｂの粒径
の１／１０〜１／１００の鏡面仕上げが可能である。
微細砥粒１ｂの粒径の１／１０〜１／１００の表面粗さ
に加工後の被加工物４の面がなる理由を説明する。
に加工後の被加工物４の面がなる理由を説明する。
遊離粒子１ａが例えばナイロン球で、その表面に例えば
ＳｉＣの微細砥粒１ｂが被覆され、遊離複合砥粒１とな
っている。遊離複合砥粒１と高圧の気体２との混合流で
ある固気２相流３が被加工物４に噴射され、被加工物４
のランプ仕上やポリッシング等の加工をして鏡面仕上げ
が可能なのであるが、高圧の気体に微細砥粒１ｂのみが
一粒、−粒ばらばらに、−様に分散化され、これらの微
細砥粒１ｂの１個、１個がそれぞれ別々に被加工物４に
当たる場合、微細砥粒１ｂが細かすぎて速度エネルギー
がないため、時間を掛ければ別であるが、微細砥粒１ｂ
の粒径程度の表面粗さを出すのがやっとであった。
ＳｉＣの微細砥粒１ｂが被覆され、遊離複合砥粒１とな
っている。遊離複合砥粒１と高圧の気体２との混合流で
ある固気２相流３が被加工物４に噴射され、被加工物４
のランプ仕上やポリッシング等の加工をして鏡面仕上げ
が可能なのであるが、高圧の気体に微細砥粒１ｂのみが
一粒、−粒ばらばらに、−様に分散化され、これらの微
細砥粒１ｂの１個、１個がそれぞれ別々に被加工物４に
当たる場合、微細砥粒１ｂが細かすぎて速度エネルギー
がないため、時間を掛ければ別であるが、微細砥粒１ｂ
の粒径程度の表面粗さを出すのがやっとであった。
遊離複合砥粒１が何回も、即ち遊離粒子１ａに被覆した
微細砥粒１ｂが何回も被加工面４のある一定の面に当た
るのである。遊離複合砥粒１、即ち微細砥粒１ｂの塊が
大きな速度エネルギーを持って、被加工物４に衝突する
。従って、微細砥粒１ｂの粒径の１／１０〜１／１００
の表面粗さの鏡面に被加工物４を加工する事が出来る。
微細砥粒１ｂが何回も被加工面４のある一定の面に当た
るのである。遊離複合砥粒１、即ち微細砥粒１ｂの塊が
大きな速度エネルギーを持って、被加工物４に衝突する
。従って、微細砥粒１ｂの粒径の１／１０〜１／１００
の表面粗さの鏡面に被加工物４を加工する事が出来る。
しかも、固気２相流３の流速は非常に高速なため、加工
する速度が早い。
する速度が早い。
即ち加工の効率が良い。
遊離複合粒子１の粒径は、遊離粒子１ａ（１〜５０μｍ
）やその表面に被覆した微細砥粒１ｂ （０，０１〜１
μｍ）の粒径から理解できるように非常に微細である。
）やその表面に被覆した微細砥粒１ｂ （０，０１〜１
μｍ）の粒径から理解できるように非常に微細である。
従って、この遊離複合粒子１を使った加工は、微細な加
工に適している事はいうまでもない。
工に適している事はいうまでもない。
次に、第１図に戻り、装置のその他の部分を説明する。
第１図において、２１は回収フード、２２は回収ジャバ
ラ、２３は回収タンク、そして、２４は回収管である。
ラ、２３は回収タンク、そして、２４は回収管である。
非加工物４は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動可能なワークテ
ーブル２５に取り付けられている。被加工物４に噴射さ
れた固気２相流３は回収フード２１と回収ジャバラ２２
により外部に漏れる事なく、回収タンク２３に集まり、
回収管２４を通り、図示していない送風機により、回収
装置によって、遊離複合砥粒１が回収される。
ーブル２５に取り付けられている。被加工物４に噴射さ
れた固気２相流３は回収フード２１と回収ジャバラ２２
により外部に漏れる事なく、回収タンク２３に集まり、
回収管２４を通り、図示していない送風機により、回収
装置によって、遊離複合砥粒１が回収される。
遊離複合砥粒１は、遊離粒子１ａから微細砥粒１ｂが剥
離していないので、何回も使用する事が可能である。
離していないので、何回も使用する事が可能である。
被加工物４に衝突した後の遊離複合砥粒１は、遊離粒子
１ａがナイロン等の軟質材であるので、流れの乱れが生
ずる事なく回収タンク２３の方へ流れでる。そのため、
噴射ノズル１５から噴射する固気２相流３と、被加工物
４の面に衝突した流れとが互いに衝突する事を最小限度
に防止出来るため、噴射ノズル１５より噴射される固気
２相流３の速度エネルギーを最大限利用して、ラップ仕
上やポリッシング等の加工をする事が出来る。
１ａがナイロン等の軟質材であるので、流れの乱れが生
ずる事なく回収タンク２３の方へ流れでる。そのため、
噴射ノズル１５から噴射する固気２相流３と、被加工物
４の面に衝突した流れとが互いに衝突する事を最小限度
に防止出来るため、噴射ノズル１５より噴射される固気
２相流３の速度エネルギーを最大限利用して、ラップ仕
上やポリッシング等の加工をする事が出来る。
遊離粒子１ａがナイロン等の軟質材であるので、更に一
層、仕上げ面を鏡面にする事ができる。
層、仕上げ面を鏡面にする事ができる。
しかも、従来の技術で説明したポリンシャとして軟質の
工具を使用したものと異なり、端面がダレる問題が生じ
ない。従って曲面や非球面の加工も容易である。
工具を使用したものと異なり、端面がダレる問題が生じ
ない。従って曲面や非球面の加工も容易である。
以上のように、本発明は、遊離複合砥粒と気体の固気２
相流を被加工物に噴射し、てその加工を行うようにした
装置、即ち遊離複合砥粒噴射式加工装置において、 遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆したものを遊離
複合砥粒として用いる事により、段取りが楽になり、加
工時間や加工後の洗浄や乾燥時間の短縮、即ち加工効率
の向上が可能となる。しかも、被加工物の表面粗さの向
上、加工面の端面のダレ防止、従って、曲面や非球面の
加工が可能な微細加工に適したランプ仕上やポリッシン
グ等の加工をする事が出来る。
相流を被加工物に噴射し、てその加工を行うようにした
装置、即ち遊離複合砥粒噴射式加工装置において、 遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆したものを遊離
複合砥粒として用いる事により、段取りが楽になり、加
工時間や加工後の洗浄や乾燥時間の短縮、即ち加工効率
の向上が可能となる。しかも、被加工物の表面粗さの向
上、加工面の端面のダレ防止、従って、曲面や非球面の
加工が可能な微細加工に適したランプ仕上やポリッシン
グ等の加工をする事が出来る。
第１図は本発明の遊離複合砥粒噴射式加工装置の断面図
、第２図は第１図の装置に用いられる遊離複合砥粒の拡
大断面図であり、そして、第３図は第１図の噴射ノズル
の部分拡大断面図である。
、第２図は第１図の装置に用いられる遊離複合砥粒の拡
大断面図であり、そして、第３図は第１図の噴射ノズル
の部分拡大断面図である。
Claims (1)
- 遊離複合砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射して
その加工を行うようにした装置において、前記遊離複合
砥粒は遊離粒子の表面に多数の微細砥粒を被覆してなる
事を特徴とする遊離複合砥粒噴射式加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2233324A JPH04115870A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 遊離複合砥粒噴射式加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2233324A JPH04115870A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 遊離複合砥粒噴射式加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04115870A true JPH04115870A (ja) | 1992-04-16 |
Family
ID=16953358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2233324A Pending JPH04115870A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 遊離複合砥粒噴射式加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04115870A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004001231A (ja) * | 2003-08-19 | 2004-01-08 | Kamei Tekkosho:Kk | 砥材 |
| US7033643B2 (en) | 2003-06-13 | 2006-04-25 | Osg Corporation | Process of manufacturing a coated body |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227970A (ja) * | 1983-06-10 | 1984-12-21 | Toshiba Corp | 研磨材 |
| JPH0197858U (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-29 |
-
1990
- 1990-09-05 JP JP2233324A patent/JPH04115870A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227970A (ja) * | 1983-06-10 | 1984-12-21 | Toshiba Corp | 研磨材 |
| JPH0197858U (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-29 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7033643B2 (en) | 2003-06-13 | 2006-04-25 | Osg Corporation | Process of manufacturing a coated body |
| JP2004001231A (ja) * | 2003-08-19 | 2004-01-08 | Kamei Tekkosho:Kk | 砥材 |
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