JPH04101338A - 表面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置 - Google Patents
表面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置Info
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- JPH04101338A JPH04101338A JP2266532A JP26653290A JPH04101338A JP H04101338 A JPH04101338 A JP H04101338A JP 2266532 A JP2266532 A JP 2266532A JP 26653290 A JP26653290 A JP 26653290A JP H04101338 A JPH04101338 A JP H04101338A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 17
- 238000007599 discharging Methods 0.000 title 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 20
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 241000973497 Siphonognathus argyrophanes Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
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- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
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- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
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- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置、と
くに、但し限定されるものではなし）力（、高エネルギ
電子ビーム発生装置に関する。
くに、但し限定されるものではなし）力（、高エネルギ
電子ビーム発生装置に関する。
たとえば、ガスレーザを予備イオン化するためＸ線を発
生する、広域電子ビーム発生装置は公知である。公知の
装置の一型式は、接地金属ライナを有する絶縁誘電管を
使用するコロナプラズマ陰極である。金属ワイヤが管の
周りにりに巻かれ、接地陽極がワイヤ列に密接してただ
し離して設けられ、全体は真空コンテナに収容される。
生する、広域電子ビーム発生装置は公知である。公知の
装置の一型式は、接地金属ライナを有する絶縁誘電管を
使用するコロナプラズマ陰極である。金属ワイヤが管の
周りにりに巻かれ、接地陽極がワイヤ列に密接してただ
し離して設けられ、全体は真空コンテナに収容される。
この公知の装置の作用において、高い負のパルス電圧が
ワイヤ列に加えられ、ガスのイオン化がワイヤー誘電体
−真空インタフェイスに起こる。このインタフェイスは
容量的に金属ライナに安定化され、プラズマは誘電管面
上に拡散する。電子ビームはプラズマから陰極に加えら
れた電場の作用によって陽極に駆動される。陽極−陰極
間隙における加速電圧は誘電管における加速電圧と同じ
である。
ワイヤ列に加えられ、ガスのイオン化がワイヤー誘電体
−真空インタフェイスに起こる。このインタフェイスは
容量的に金属ライナに安定化され、プラズマは誘電管面
上に拡散する。電子ビームはプラズマから陰極に加えら
れた電場の作用によって陽極に駆動される。陽極−陰極
間隙における加速電圧は誘電管における加速電圧と同じ
である。
そのような形式の公知の装置はいくつかの欠点を有する
。第１の欠点は、誘電管の周りに巻かれたワイヤ列が腐
食により破断し、破断した端部が誘電管から跳ね返り残
ったワイヤＳ線が緩みそのため装置が破損する傾向があ
ることである。そのようなワイヤ列の破断は装置の短時
間の作用の後発生して装置の寿命を短縮する。第２の欠
点は、誘電管口体、７０にｅＶ以上の電子ビームエネル
ギが必要な、連続した反復作用によって比較的短期間に
故障することである。そのような誘電管の故障は連続し
た反復作用によって発生した応力から生し、そのため装
置の好ましくない使用寿命の短縮を生ずる。
。第１の欠点は、誘電管の周りに巻かれたワイヤ列が腐
食により破断し、破断した端部が誘電管から跳ね返り残
ったワイヤＳ線が緩みそのため装置が破損する傾向があ
ることである。そのようなワイヤ列の破断は装置の短時
間の作用の後発生して装置の寿命を短縮する。第２の欠
点は、誘電管口体、７０にｅＶ以上の電子ビームエネル
ギが必要な、連続した反復作用によって比較的短期間に
故障することである。そのような誘電管の故障は連続し
た反復作用によって発生した応力から生し、そのため装
置の好ましくない使用寿命の短縮を生ずる。
本発明の目的の一つは、作用寿命が延長され、好ましく
は連続した反復作用状態における機能が改善された、表
面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置を提供すること
にある。
は連続した反復作用状態における機能が改善された、表
面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置を提供すること
にある。
このおよび他の目的および利点は好ましい実施例を説明
する下記の記載から一層明らかになるであろう。
する下記の記載から一層明らかになるであろう。
本発明によれば、は−一定の第１ｔ位に維持しうる陽極
、第１導電部材を有する陰極装置、前記第１部材を少く
とも部分的に囲む誘電部材、および前記第１部材からも
つとも離れた誘電部材の表面に設けられかつ前記第１部
材から絶縁された導電装置；高電圧源および前記第１導
電部材を前記第１ｉ位とは異なる第２１１位に維持しか
つ前記導電装置を前記第１および第２電位に対して負の
高い第３電圧に維持する容量分割回路を有し、陽極およ
び陰極装置に電源から供給される全電圧の小部分だけが
誘電部材を通して供給されガスをイオン化しプラズマを
陽極と導電装置の間隙に発生し前記間隙における全電位
差は前記間隙に電子ビームを発生しかつ加速する、表面
放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置が提供される。
、第１導電部材を有する陰極装置、前記第１部材を少く
とも部分的に囲む誘電部材、および前記第１部材からも
つとも離れた誘電部材の表面に設けられかつ前記第１部
材から絶縁された導電装置；高電圧源および前記第１導
電部材を前記第１ｉ位とは異なる第２１１位に維持しか
つ前記導電装置を前記第１および第２電位に対して負の
高い第３電圧に維持する容量分割回路を有し、陽極およ
び陰極装置に電源から供給される全電圧の小部分だけが
誘電部材を通して供給されガスをイオン化しプラズマを
陽極と導電装置の間隙に発生し前記間隙における全電位
差は前記間隙に電子ビームを発生しかつ加速する、表面
放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置が提供される。
容量分割回路は第１導電部材を負の第２電位に維持する
ように作用するのが有利である。
ように作用するのが有利である。
容量分割回路は陽極を接地電位である第１電位に保持す
るように作用するのが好ましい。
るように作用するのが好ましい。
誘電部材は、石英、ガラス、アルミナまたはサファイア
のような耐蝕性誘電材料から作られた長い管とするのが
便利である。
のような耐蝕性誘電材料から作られた長い管とするのが
便利である。
導電装置は、好ましくは接着剤によって、誘電部材の外
面に取付けられた銅のような、金属条片の形式とするの
が有利である。
面に取付けられた銅のような、金属条片の形式とするの
が有利である。
金属条片は誘電部材に離れて、は−平行に横に並んで、
誘電部材の縦軸線の横方向に、少くとも部分的に囲んで
延びるように取付けられるのが好ましい。
誘電部材の縦軸線の横方向に、少くとも部分的に囲んで
延びるように取付けられるのが好ましい。
そうでなければ、金属条片は誘電部材に離れて、ほゞ平
行に横に並んでほゞ誘電部材の縦軸線の方向に誘電部材
の外面に沿って延びるように取付けられるのが有利であ
る。
行に横に並んでほゞ誘電部材の縦軸線の方向に誘電部材
の外面に沿って延びるように取付けられるのが有利であ
る。
導電装置は、金属から作られ金属条片を囲みかつその外
面に接触するは一円筒形の、縦方向に切目のあるクラン
プまたはシールドを存し、クランプまたはシールドの切
目は陽極の方向に開いている。
面に接触するは一円筒形の、縦方向に切目のあるクラン
プまたはシールドを存し、クランプまたはシールドの切
目は陽極の方向に開いている。
そうでなければ、導電装置は金属から作られ誘電部材を
囲みかつその外面に接触するは一円筒形の、縦方向に切
目のあるシールドを有し、シールドの切目は陰極の方向
に開いている。
囲みかつその外面に接触するは一円筒形の、縦方向に切
目のあるシールドを有し、シールドの切目は陰極の方向
に開いている。
切目を画定しかつ境界するシールドの縦方向端部は延長
され誘電部材の外面にほゞ直角に突出するウィングを形
成するのが便利である。
され誘電部材の外面にほゞ直角に突出するウィングを形
成するのが便利である。
容量分割回路は一方では陽極と第１導電部材の間に他方
では導電装置との間に接続された第１容量を有し、また
第１容量に直列にそれと導電装置の間に接続された第２
容量を有し、第１導電部材は第１および第２容量の間の
点において第１および第２容量を接続する導体に接続さ
れるのが有利である。
では導電装置との間に接続された第１容量を有し、また
第１容量に直列にそれと導電装置の間に接続された第２
容量を有し、第１導電部材は第１および第２容量の間の
点において第１および第２容量を接続する導体に接続さ
れるのが有利である。
本発明を一層よく理解しかつそれがどのように実施され
るかを示すため、図面に基づいて本発明の詳細な説明す
る。
るかを示すため、図面に基づいて本発明の詳細な説明す
る。
本発明の第１実施例による表面放電プラズマ陰極電子ビ
ーム発生装置は第１図および第３図に示されている。装
置１は金属のような適宜の導電性材料から作られた好ま
しくは第１図および第３図に示すシート状の陽極２を有
し、陽極２はは一一定の第１電位ｖ０に維持される。ま
た装置１はまた第３図に全体的に３で示した陰極装置を
有し、陰極装置は第１２１［１ｉ部材４、少くとも部分
的に第１部材４を囲む誘電部材５および第１導電部材４
からもつとも離れたかつ部材４から絶縁された導電部材
６を有する。
ーム発生装置は第１図および第３図に示されている。装
置１は金属のような適宜の導電性材料から作られた好ま
しくは第１図および第３図に示すシート状の陽極２を有
し、陽極２はは一一定の第１電位ｖ０に維持される。ま
た装置１はまた第３図に全体的に３で示した陰極装置を
有し、陰極装置は第１２１［１ｉ部材４、少くとも部分
的に第１部材４を囲む誘電部材５および第１導電部材４
からもつとも離れたかつ部材４から絶縁された導電部材
６を有する。
また装置１は図示しない高電圧源、および第１導電部材
４を第１電位とは異なる第２電位■２に維持しまた導電
装置６を第１および第２電位に対して負の高い第３電位
■、に維持する容量分割回路７を有する。第２１ｉｔ位
■、は負のパルス電圧であるのが好ましい。このように
して電源から陽極２および陰極３に供給される全電圧の
ごく一部分だけが誘電部材５を通して不活性ガスに加え
られガスをイオン化し陽極２と導電装置６との間隙８に
プラズマを発生し、間隙８を通る全電位は間隙８に電子
ビームを発生しかつそれを加速するのに使用される。
４を第１電位とは異なる第２電位■２に維持しまた導電
装置６を第１および第２電位に対して負の高い第３電位
■、に維持する容量分割回路７を有する。第２１ｉｔ位
■、は負のパルス電圧であるのが好ましい。このように
して電源から陽極２および陰極３に供給される全電圧の
ごく一部分だけが誘電部材５を通して不活性ガスに加え
られガスをイオン化し陽極２と導電装置６との間隙８に
プラズマを発生し、間隙８を通る全電位は間隙８に電子
ビームを発生しかつそれを加速するのに使用される。
容量分割回路７は陽極第１電位を接地電位に保持する。
第１導電部材４は金属の長い管である。
通常管状の第１導電部材４は入口装置９および出口装置
１０を有し、水のような冷媒は第１部材内部を流通し装
置１の過熱を防止する。
１０を有し、水のような冷媒は第１部材内部を流通し装
置１の過熱を防止する。
誘電部材５は石英、ガラス、アルミナまたはサファイア
のような耐蝕性硬質誘電材料から作られた長い管とする
のが好ましい、−形式において、導電部材６は、誘電部
材５のもつとも外側の面に取付けられた、銅のような金
属の条片６ａである。
のような耐蝕性硬質誘電材料から作られた長い管とする
のが好ましい、−形式において、導電部材６は、誘電部
材５のもつとも外側の面に取付けられた、銅のような金
属の条片６ａである。
たとえば、第１図に示す実施例において、金属条片６ａ
は誘電部材５に離れては一平行に横に並んで延び少くと
も部分的にその外周の周りをその縦軸線に沿って延びる
ように取付けられる。
は誘電部材５に離れては一平行に横に並んで延び少くと
も部分的にその外周の周りをその縦軸線に沿って延びる
ように取付けられる。
そうでなければ、第２図に部分的に示された実施例にお
いて、金属条片６ｂは誘電部材５に離れては一゛平行に
横に並んで延び少くとも部分的にその外面にはソその縦
軸線の方向に延びるように取付けられる。金属条片６ａ
、６ｂは誘電部材５に接着剤によるような便利な方法で
取付けることができる。第１図の実施例において、条片
６ａは幅が５ｆｉまたはそれ以下で、厚さが１０〜１０
０μの範囲で、３〜４個離されるのが便利である。
いて、金属条片６ｂは誘電部材５に離れては一゛平行に
横に並んで延び少くとも部分的にその外面にはソその縦
軸線の方向に延びるように取付けられる。金属条片６ａ
、６ｂは誘電部材５に接着剤によるような便利な方法で
取付けることができる。第１図の実施例において、条片
６ａは幅が５ｆｉまたはそれ以下で、厚さが１０〜１０
０μの範囲で、３〜４個離されるのが便利である。
ワイヤを誘電部材の周りに巻いた前記公知の装置におい
て、ワイヤ列は破断し、破断した端部が誘電部材５から
陰極装置が陽極に短絡するように跳ね返ることがあった
。これは公知の装置の寿命の比較的早期に生じ、そのよ
うな公知の装置の寿命を短縮する。反対に、本発明装置
１における金属条片６ａ、６ｂの使用は、誘電部材５に
はるかに多量の金属を使用し、はるかに多量の金属がワ
イロヤの場合より腐食することを意味している。
て、ワイヤ列は破断し、破断した端部が誘電部材５から
陰極装置が陽極に短絡するように跳ね返ることがあった
。これは公知の装置の寿命の比較的早期に生じ、そのよ
うな公知の装置の寿命を短縮する。反対に、本発明装置
１における金属条片６ａ、６ｂの使用は、誘電部材５に
はるかに多量の金属を使用し、はるかに多量の金属がワ
イロヤの場合より腐食することを意味している。
条片６ａ、６ｂは、腐食しかつ破損しても接着剤による
誘電部材５への接着のため、誘電部材から跳ね返ること
はない。破損しても、条片６ａ、６ｂは装置の機能に悪
影響を及ぼすことはない。
誘電部材５への接着のため、誘電部材から跳ね返ること
はない。破損しても、条片６ａ、６ｂは装置の機能に悪
影響を及ぼすことはない。
したがって、腐食前の条片６ａ、６ｂの長い作用寿命は
破壊まで続き、接着剤の使用は条片の端部が誘電部材５
から跳ね返り陽極を短絡することを阻止し、装置１の寿
命を延長する。
破壊まで続き、接着剤の使用は条片の端部が誘電部材５
から跳ね返り陽極を短絡することを阻止し、装置１の寿
命を延長する。
さらに、部材５に対する硬質誘電材料の使用はこの部材
のプラズマによる腐食を減少し、これも装置１の長い作
用寿命に貢献する。
のプラズマによる腐食を減少し、これも装置１の長い作
用寿命に貢献する。
本発明袋Ｗ１の作用寿命に対する付加的貢献として、条
片６ａ、６ｂは誘電部材５に対して、接着剤を使用しま
たは使用せずに、装置６の一部を構成する周りのクラン
プまたはシールド１１によって保持することができる。
片６ａ、６ｂは誘電部材５に対して、接着剤を使用しま
たは使用せずに、装置６の一部を構成する周りのクラン
プまたはシールド１１によって保持することができる。
そのようなシールドを使用するときは、シールドは装置
６の面にほゞ直角に延びるシールドウィングｌｌａを備
えるのが好ましく、ウィングは金属条片の範囲を侵害し
ないで、直接陰極装置３と陽極２の間の間隙８を隔てる
。クランプまたはシールドエ１は導電材料たとえば銅の
ような金属から作られる。
６の面にほゞ直角に延びるシールドウィングｌｌａを備
えるのが好ましく、ウィングは金属条片の範囲を侵害し
ないで、直接陰極装置３と陽極２の間の間隙８を隔てる
。クランプまたはシールドエ１は導電材料たとえば銅の
ような金属から作られる。
クランプまたはシールド１１はほゞ゛円筒形で縦方向に
ＩＩＣにおいて切れており、金属条片６ａ、６ｂを囲み
その外面に接触している。クランプまたはシールドの切
目１１ｃは陽極２の方向に間隙８において開いている。
ＩＩＣにおいて切れており、金属条片６ａ、６ｂを囲み
その外面に接触している。クランプまたはシールドの切
目１１ｃは陽極２の方向に間隙８において開いている。
そうでなければ、条片６ａ、６ｂは省略され、導電装置
６はクランプまたはシールド１１のみによって形成され
る。このため図示の実施例においては、クランプまたは
シールド１１は銅のような金属から作られ、導電性で、
鋭利な端部１１ｂがウィングＩｌａの接合部によって作
られ誘電部材５の面は縦方向条片６ｂの同効物を構成す
る。そのような変形は第４図に示され、その第１〜３図
と同じ各要素は同じ符号を付されている。第４図の実施
例において、シールド１１は誘電部材５の外面を囲みか
つそれに接触し、シールドの切目１１ｃは陽極の方向に
間隙８において開いている。
６はクランプまたはシールド１１のみによって形成され
る。このため図示の実施例においては、クランプまたは
シールド１１は銅のような金属から作られ、導電性で、
鋭利な端部１１ｂがウィングＩｌａの接合部によって作
られ誘電部材５の面は縦方向条片６ｂの同効物を構成す
る。そのような変形は第４図に示され、その第１〜３図
と同じ各要素は同じ符号を付されている。第４図の実施
例において、シールド１１は誘電部材５の外面を囲みか
つそれに接触し、シールドの切目１１ｃは陽極の方向に
間隙８において開いている。
切目１１Ｃを限界しかつ境界するシールド１１の縦方向
端部１１ｂは延長され誘電部材５の外面からほゞ直角に
突出するウィングを形成している。
端部１１ｂは延長され誘電部材５の外面からほゞ直角に
突出するウィングを形成している。
容量分割器７は一方では陽極２に他方では第１導電部材
４に接続した第１容量１２（ＣＺ）を有する。回路７は
また容量１２と直列にそれと導電装置５、すなわち条片
６ａ、６ｂまたはシールド１１との間に接続された第２
容量を有する。第１導電部材４は容量１２．１３の間の
点において容量１２．１３を接続する導体１４に接続さ
れている。実際、容量１３（Ｃ，）は導電製Ｗ６と一方
では誘電部材５外側のプラズマとの他方では第１導電部
材４の間の外部の漂遊容量によって形成される０通常Ｃ
１の値は陰極装置３の本質的容量の５００ｐＦである。
４に接続した第１容量１２（ＣＺ）を有する。回路７は
また容量１２と直列にそれと導電装置５、すなわち条片
６ａ、６ｂまたはシールド１１との間に接続された第２
容量を有する。第１導電部材４は容量１２．１３の間の
点において容量１２．１３を接続する導体１４に接続さ
れている。実際、容量１３（Ｃ，）は導電製Ｗ６と一方
では誘電部材５外側のプラズマとの他方では第１導電部
材４の間の外部の漂遊容量によって形成される０通常Ｃ
１の値は陰極装置３の本質的容量の５００ｐＦである。
容量１２（Ｃりは容量１３（Ｃ，）と直列に設置されて
陰極装置３と陽極２との間の容量電圧分割器７を形成す
る。加えられた電圧ＶはＣ１とＣ□との間で、下記の式
に従って分割される。すなわち、 ＣＩ ／ ＣＩ ＝ Ｖ＋ ／ Ｖｚここに、
■、および■２はＣ１およびＣ２の電圧であってＶ、＋
Ｖ、＝Ｖ。であり、またＶ ＋ ＝ Ｃｔ Ｖ。／
（Ｃ，＋Ｃ，）である。
陰極装置３と陽極２との間の容量電圧分割器７を形成す
る。加えられた電圧ＶはＣ１とＣ□との間で、下記の式
に従って分割される。すなわち、 ＣＩ ／ ＣＩ ＝ Ｖ＋ ／ Ｖｚここに、
■、および■２はＣ１およびＣ２の電圧であってＶ、＋
Ｖ、＝Ｖ。であり、またＶ ＋ ＝ Ｃｔ Ｖ。／
（Ｃ，＋Ｃ，）である。
しかして、ｖｏの所要の分数を誘電部材５に加え（すな
わちＶ＋）プラズマを発生するとともに、全電位を陽極
−陰極間隙に加えて電子ビームを加速する。この理由は
誘電部材は厚さに比例する電気的破壊閾値（Ｖｔ）を有
するからである。
わちＶ＋）プラズマを発生するとともに、全電位を陽極
−陰極間隙に加えて電子ビームを加速する。この理由は
誘電部材は厚さに比例する電気的破壊閾値（Ｖｔ）を有
するからである。
このようにして、分割回路７の使用は誘電部材の高い電
圧応力を上記公知の装置において発生するより少なくす
ることにより誘電部材５の寿命を延ばすことができる。
圧応力を上記公知の装置において発生するより少なくす
ることにより誘電部材５の寿命を延ばすことができる。
さらに本発明の装置は単一電源しか必要とせず一定電位
を使用する。したがって、本発明の装置は、Ｉ ＫＨｚ
以上で１０９以上の回数の反復使用が可能である。
を使用する。したがって、本発明の装置は、Ｉ ＫＨｚ
以上で１０９以上の回数の反復使用が可能である。
種々の変形および変更が、特許請求の範囲によって限定
される本発明の範囲内で、上記本発明の実施例に対して
可能である。
される本発明の範囲内で、上記本発明の実施例に対して
可能である。
第１図は本発明の第１実施例による表面放電フラズマ陰
極電子ビーム発生装置の略斜視線図であり、第２図は第
１図の装置の部分の別の構成の斜視図であり、第３図は
第１図による装置の略断面図であり、第４回は第１図の
装置の別の形式の略断面図である。 １−−−一電子ビーム発生装置、２− 陽極、３−
陰極装置、４−導電部材、５−誘電部材、６− 導電
装置、７−容量分割回路、１１−シールド、ｌｌａ・・
−ウィング、１２．１３−容量 図面の浄書（内容に変更なし） 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 平成２年特許願第２６６５３２号 発明の名称 表面放電プラスマ陰極電子ビーム発生装置補正をする者 事件との関係
極電子ビーム発生装置の略斜視線図であり、第２図は第
１図の装置の部分の別の構成の斜視図であり、第３図は
第１図による装置の略断面図であり、第４回は第１図の
装置の別の形式の略断面図である。 １−−−一電子ビーム発生装置、２− 陽極、３−
陰極装置、４−導電部材、５−誘電部材、６− 導電
装置、７−容量分割回路、１１−シールド、ｌｌａ・・
−ウィング、１２．１３−容量 図面の浄書（内容に変更なし） 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 平成２年特許願第２６６５３２号 発明の名称 表面放電プラスマ陰極電子ビーム発生装置補正をする者 事件との関係
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ほゞ一定の第１電位に維持しうる陽極、第１の導電
部材を有する陰極装置、前記第１部材を少くとも部分的
に囲む誘電部材、および前記第１部材からもつとも離れ
た誘電部材の表面に設けられかつ前記第１部冷媒から絶
縁された導電装置；高電圧源、および前記第１導電部材
を前記第１電位とは異なる第２電位に維持しかつ前記導
電装置を前記第１および第２電位に対して負の高い第３
電圧に維持する容量分割回路を有し、陽極および陰極装
置に電源から供給される全電圧の小部分だけが誘電部材
を通して供給されガスをイオン化しプラズマを陽極と導
電装置の間隙に発生し前記間隙における全電位差は前記
間隙に電子ビームを発生しかつ加速する、表面放電プラ
ズマ陰極電子ビーム発生装置。 ２、前記容量分割回路は前記第１導電部材を負の第２パ
ルス電位に維持するように作用しうる、請求項１に記載
の装置。 ３、前記容量分割回路は陽極を接地電位の第１電位に保
持するように作用しうる、請求項１に記載の装置。 ４、前記第１導電部材は長い金属管である、請求項３に
記載の装置。 ５、前記管状第１導電部材は入口および出口装置を有し
冷媒が第１部材内部を通つて流れうる、請求項４に記載
の装置。 ６、前記誘電部材は耐蝕性誘電材料から作られた長い管
である、請求項５に記載の装置。 ７、前記耐蝕性誘電材料は石英、ガラス、アルミナまた
はサファイアである、請求項６に記載の装置。 ８、前記導電装置は誘電部材の外面に取付けられた金属
の条片である、請求項７に記載の装置。 ９、前記金属条片は銅から作られた、請求項８に記載の
装置。 １０、前記金属条片は、離れてほゞ平行に、横に並んで
少くとも部分的に誘電部材の周りを囲み誘電部材の縦軸
の横方向に延びるように、誘電部材に取付けられた、請
求項８または９に記載の装置。 １１、前記金属条片は、離れてほゞ平行に、横に並んで
少くとも部分的に誘電部材の外面に沿つてほゞ誘電部材
の縦軸の方向に、誘電部材に取付けられた請求項８また
は９に記載の装置。 １２、前記金属条片は接着剤によつて誘電部材に取付け
られた、請求項１１記載の装置。 １３、前記導電装置は、陽極方向のクランプまたはシー
ルド切目開口を備えた、金属の条片を囲みかつその外面
に接触する、ほゞ円筒形の、縦方向に切目を有する金属
から作られたクランプまたはシールドを有する、請求項
１２に記載の装置。 １４、導電装置は、陽極方向のシールド切目開口を有す
る金属の条片を囲みかつその外面に接触する、ほゞ円筒
形の形式の、縦方向に切目を有する金属から作られたシ
ールドを備えた、請求項７に記載の装置。 １５、切目を画定しかつ限定するシールドの縦方向端部
は誘電部材の外面に対してほゞ直角に突出するウィング
を形成するように延びる、請求項１３または１４に記載
の装置。 １６、容量分割回路は一方では陽極と導電部材他方では
導電部材との間に接続された第１容量を有し、また第１
容量と直列に接続されそれと導電装置との間に第２容量
を有し、第１および第２容量の間の点において第１導電
部材は第１と第２容量とを接続する導体に接続された、
請求項１５に記載の装置。 １７、前記第２容量は導電装置と一方では誘電部材の外
側のプラズマおよび他方では前記第１導電部材の間に漂
遊容量によつて形成された、請求項１６記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8922602.1 | 1989-10-06 | ||
| GB898922602A GB8922602D0 (en) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | A surface discharge plasma cathode electron beam generating assembly |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101338A true JPH04101338A (ja) | 1992-04-02 |
Family
ID=10664208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2266532A Pending JPH04101338A (ja) | 1989-10-06 | 1990-10-05 | 表面放電プラズマ陰極電子ビーム発生装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5200670A (ja) |
| EP (1) | EP0421648B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04101338A (ja) |
| AU (1) | AU6361390A (ja) |
| CA (1) | CA2027175A1 (ja) |
| DE (1) | DE69020675D1 (ja) |
| GB (1) | GB8922602D0 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2254185B (en) * | 1991-03-26 | 1995-01-18 | British Aerospace | A surface discharge corona plasma cathode assembly |
| GB2260854B (en) * | 1991-10-22 | 1995-04-05 | British Aerospace | Surface discharge corona plasma cathode assembly |
| US5549874A (en) * | 1992-04-23 | 1996-08-27 | Ebara Corporation | Discharge reactor |
| JP3036296B2 (ja) * | 1993-05-25 | 2000-04-24 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイ装置の電源装置 |
| DE19503205C1 (de) * | 1995-02-02 | 1996-07-11 | Muegge Electronic Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3845307A (en) * | 1973-02-22 | 1974-10-29 | Xerox Corp | Combined corona and luminescent discharge |
| US4163172A (en) * | 1977-07-08 | 1979-07-31 | Systems, Science And Software | Sliding spark source cold cathode electron gun and method |
| GB2087312B (en) * | 1977-10-25 | 1983-02-02 | Dennison Mfg Co | Electrostatic printing apparatus |
| US4216518A (en) * | 1978-08-01 | 1980-08-05 | The Simco Company, Inc. | Capacitively coupled static eliminator with high voltage shield |
| NZ198031A (en) * | 1980-08-21 | 1988-11-29 | Dennison Mfg Co | Electrostatic printer: charged particles extracted from glow discharge |
| US4538204A (en) * | 1982-02-16 | 1985-08-27 | Coulter Systems Corporation | Corona producing method and apparatus |
| IL69244A0 (en) * | 1982-08-09 | 1983-11-30 | Helionetics Inc | Plasma cathode system and method for generating an electron beam |
| JPS5944797A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | 増田 閃一 | 物体の静電的処理装置 |
| JPS5981661A (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電子写真帯電装置 |
| JPH0721668B2 (ja) * | 1985-12-14 | 1995-03-08 | キヤノン株式会社 | 除・帯電方法 |
| FR2603428B1 (fr) * | 1986-08-29 | 1992-11-20 | Breton Jacques | Generateur d'ions negatifs en milieu gazeux, de grande puissance, a configuration de champ electrique de haute intensite |
| US4841146A (en) * | 1987-08-03 | 1989-06-20 | Xerox Corporation | Self-cleaning scorotron with focused ion beam |
-
1989
- 1989-10-06 GB GB898922602A patent/GB8922602D0/en active Pending
-
1990
- 1990-09-24 EP EP90310416A patent/EP0421648B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-24 DE DE69020675T patent/DE69020675D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-28 AU AU63613/90A patent/AU6361390A/en not_active Abandoned
- 1990-10-04 US US07/592,048 patent/US5200670A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-05 JP JP2266532A patent/JPH04101338A/ja active Pending
- 1990-10-09 CA CA002027175A patent/CA2027175A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8922602D0 (en) | 1989-11-22 |
| US5200670A (en) | 1993-04-06 |
| CA2027175A1 (en) | 1991-04-07 |
| DE69020675D1 (de) | 1995-08-10 |
| AU6361390A (en) | 1991-04-11 |
| EP0421648A3 (en) | 1991-09-18 |
| EP0421648A2 (en) | 1991-04-10 |
| EP0421648B1 (en) | 1995-07-05 |
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