JPH0399372U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0399372U
JPH0399372U JP775890U JP775890U JPH0399372U JP H0399372 U JPH0399372 U JP H0399372U JP 775890 U JP775890 U JP 775890U JP 775890 U JP775890 U JP 775890U JP H0399372 U JPH0399372 U JP H0399372U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
load
measured
arm
chuck
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP775890U
Other languages
English (en)
Other versions
JP2501216Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP775890U priority Critical patent/JP2501216Y2/ja
Publication of JPH0399372U publication Critical patent/JPH0399372U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2501216Y2 publication Critical patent/JP2501216Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る表面抵抗測定装置の実施
例を示す斜視図、第２図は本考案の実施例で使用
する荷重印加機構を示す斜視図、第３図は同荷重
印加機構を示す正面図、第４図は同荷重印加機構
を示す右側面図、第５図は同荷重印加機構を示す
左側面図、第６図ａ〜ｃは本考案の実施例で使用
するプローブの形状例を示す図、第７図は本考案
の実施例によつて被測定子とプローブとの相対運
動をさせる様子を説明するための図、第８図は第
７図に示す相対運動により得られた測定データの
特性例を示す波形図、第９図ａ〜ｄは本考案の実
施例によつて被測定子とプローブとの相対運動を
させる他の例を示す説明図、第１０図は従来の表
面抵抗測定装置を示す原理図である。 １００……荷重接慴動装置、１０１……被測定
子、１０２……プローブ、１１１……基台、１１
２……Ｘ方向送り機構（第二の機構）、１１４…
…Ｙ方向送り機構（第二の機構）、１１５……載
置台、１２０……Ｚ方向送り機構（第一の機構）
、１３０……荷重印加機構、１３１……支柱、１
３２……軸受、１３３……軸、１３４……腕、１
３５，１３６……重り、１３７……軸、１３８…
…軸受、１３９……プローブチヤツク、１４３…
…補助腕、２００……計測制御処理装置、３００
……配線。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被測定子を載置し固定できる載置台と、 前記被測定子に接触するプローブに対して垂直
    方向に一定の荷重を印加させる荷重印加機構を含
    み、当該荷重印加機構による荷重印加状態で測定
    用プローブを前記被測定子に当接させ得る第一の
    機構と、 前記載置台と前記第一の機構とを水平方向に相
    対運動させる第二の機構とを備え、 前記第一の機構の荷重印加機構は、短棹状の腕
    を前記第一機構により移動する支柱に回動可能に
    固定し、前記腕の一方の端部にプローブの着脱可
    能なプローブチヤツクを回動可能に固定し、前記
    プローブチヤツクの上に荷重印加用の分銅を載置
    可能にし、かつ前記支柱とプローブチヤツクとの
    間に前記腕とは一定の距離を離して補助腕を回動
    可能に配設してなることを特徴とする表面抵抗測
    定装置。
JP775890U 1990-01-29 1990-01-29 表面抵抗測定装置 Expired - Lifetime JP2501216Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP775890U JP2501216Y2 (ja) 1990-01-29 1990-01-29 表面抵抗測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP775890U JP2501216Y2 (ja) 1990-01-29 1990-01-29 表面抵抗測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0399372U true JPH0399372U (ja) 1991-10-17
JP2501216Y2 JP2501216Y2 (ja) 1996-06-12

Family

ID=31511411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP775890U Expired - Lifetime JP2501216Y2 (ja) 1990-01-29 1990-01-29 表面抵抗測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2501216Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012043423A1 (ja) * 2010-09-29 2012-04-05 ユニ・チャーム株式会社 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012043423A1 (ja) * 2010-09-29 2012-04-05 ユニ・チャーム株式会社 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法
JP2012093346A (ja) * 2010-09-29 2012-05-17 Uni Charm Corp 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2501216Y2 (ja) 1996-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0399372U (ja)
JPH0544722Y2 (ja)
JPH0626841Y2 (ja) 薄膜の強度測定装置
JPH03107126U (ja)
JPH032216U (ja)
JPH0339013U (ja)
JPH0187264U (ja)
JPS6410610U (ja)
JPH02144710U (ja)
JPS5830166Y2 (ja) 鉄道線路における建築限界とトンネル壁面間との余裕量測定器
JPS58148607U (ja) 円筒状製品の偏肉度検査装置
JPH0336941U (ja)
JPH0360003U (ja)
JPH02129851U (ja)
JPH01151202U (ja)
JPS6355103U (ja)
JPH0418304U (ja)
JPS6396478U (ja)
JPS62156815U (ja)
JPH01175149U (ja)
JPH01140114U (ja)
JPH043308U (ja)
JPS63161225U (ja)
JPH0187263U (ja)
JPH03108494U (ja)