JPH0399372U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0399372U JPH0399372U JP775890U JP775890U JPH0399372U JP H0399372 U JPH0399372 U JP H0399372U JP 775890 U JP775890 U JP 775890U JP 775890 U JP775890 U JP 775890U JP H0399372 U JPH0399372 U JP H0399372U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- load
- measured
- arm
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
第1図は本考案に係る表面抵抗測定装置の実施
例を示す斜視図、第2図は本考案の実施例で使用
する荷重印加機構を示す斜視図、第3図は同荷重
印加機構を示す正面図、第4図は同荷重印加機構
を示す右側面図、第5図は同荷重印加機構を示す
左側面図、第6図a〜cは本考案の実施例で使用
するプローブの形状例を示す図、第7図は本考案
の実施例によつて被測定子とプローブとの相対運
動をさせる様子を説明するための図、第8図は第
7図に示す相対運動により得られた測定データの
特性例を示す波形図、第9図a〜dは本考案の実
施例によつて被測定子とプローブとの相対運動を
させる他の例を示す説明図、第10図は従来の表
面抵抗測定装置を示す原理図である。 100……荷重接慴動装置、101……被測定
子、102……プローブ、111……基台、11
2……X方向送り機構(第二の機構)、114…
…Y方向送り機構(第二の機構)、115……載
置台、120……Z方向送り機構(第一の機構)
、130……荷重印加機構、131……支柱、1
32……軸受、133……軸、134……腕、1
35,136……重り、137……軸、138…
…軸受、139……プローブチヤツク、143…
…補助腕、200……計測制御処理装置、300
……配線。
例を示す斜視図、第2図は本考案の実施例で使用
する荷重印加機構を示す斜視図、第3図は同荷重
印加機構を示す正面図、第4図は同荷重印加機構
を示す右側面図、第5図は同荷重印加機構を示す
左側面図、第6図a〜cは本考案の実施例で使用
するプローブの形状例を示す図、第7図は本考案
の実施例によつて被測定子とプローブとの相対運
動をさせる様子を説明するための図、第8図は第
7図に示す相対運動により得られた測定データの
特性例を示す波形図、第9図a〜dは本考案の実
施例によつて被測定子とプローブとの相対運動を
させる他の例を示す説明図、第10図は従来の表
面抵抗測定装置を示す原理図である。 100……荷重接慴動装置、101……被測定
子、102……プローブ、111……基台、11
2……X方向送り機構(第二の機構)、114…
…Y方向送り機構(第二の機構)、115……載
置台、120……Z方向送り機構(第一の機構)
、130……荷重印加機構、131……支柱、1
32……軸受、133……軸、134……腕、1
35,136……重り、137……軸、138…
…軸受、139……プローブチヤツク、143…
…補助腕、200……計測制御処理装置、300
……配線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被測定子を載置し固定できる載置台と、 前記被測定子に接触するプローブに対して垂直
方向に一定の荷重を印加させる荷重印加機構を含
み、当該荷重印加機構による荷重印加状態で測定
用プローブを前記被測定子に当接させ得る第一の
機構と、 前記載置台と前記第一の機構とを水平方向に相
対運動させる第二の機構とを備え、 前記第一の機構の荷重印加機構は、短棹状の腕
を前記第一機構により移動する支柱に回動可能に
固定し、前記腕の一方の端部にプローブの着脱可
能なプローブチヤツクを回動可能に固定し、前記
プローブチヤツクの上に荷重印加用の分銅を載置
可能にし、かつ前記支柱とプローブチヤツクとの
間に前記腕とは一定の距離を離して補助腕を回動
可能に配設してなることを特徴とする表面抵抗測
定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP775890U JP2501216Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 表面抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP775890U JP2501216Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 表面抵抗測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0399372U true JPH0399372U (ja) | 1991-10-17 |
JP2501216Y2 JP2501216Y2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=31511411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP775890U Expired - Lifetime JP2501216Y2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 表面抵抗測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2501216Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012043423A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | ユニ・チャーム株式会社 | 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法 |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP775890U patent/JP2501216Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012043423A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | ユニ・チャーム株式会社 | 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法 |
JP2012093346A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-05-17 | Uni Charm Corp | 状態量分布測定装置、及び試料の状態量分布を測定する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2501216Y2 (ja) | 1996-06-12 |
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