JPS6410610U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の構成を示す一部を切
り欠いた右側面図、第２図は同実施例の平面図、
第３図は同じく正面から見た部分断面図、第４図
は同実施例におけるウエーハを搭載した状態の旋
回台および三点支持ボールベアリング座の断面図
、第５図は同じく三点支持ボール・ベアリング座
の平面図、第６図はウエーハの測定点を示す図、
第７図に従来例を示す側面図および平面図、第８
図は他の従来例を示す側面図および平面図である
。 ２Ａ……上部取付部、２Ｂ……下部取付部、３
……ピニオン、４……ラツク、５……旋回台、６
ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ……案内部、７……中空部
、８……軌道溝、９……移動台、１０……三点支
持ボール・ベアリング座、１１……軌道溝、１２
……基台、１３……案内レール、１５……旋回台
ガイド、２１……定盤、２２……ウエーハ、２３
……ストツパ、２４……三球座、２５……上部変
位センサ、２６……下部変位センサ、２７……ボ
ール。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上下方向で対向した一対の変位センサを有
   し、これら一対の変位センサの間にウエーハを置
   いてウエーハに接触することなく前記一対の変位
   センサによりウエーハの各点で厚さ測定を行う装
   置において、 それぞれ取付手段によつて支持された一対の変
   位センサと、 その変位センサにより厚さ測定を行う各種のサ
   イズのウエーハを置くための前記ウエーハの周辺
   部を支持するための複数案内部を設けた回転可能
   な旋回手段と、 前記旋回手段を載せて平面上を直線状に移動可
   能な直線移動手段と、 前記直線移動手段をスライドさせて支持するた
   めの案内手段を設けた基台と を具備することを特徴としたウエーハの厚さ測定
   台。 (2) 前記一対の変位センサの取付手段が、 ピニオンとラツクとを噛合わせたものであつて
   、前記ピニオンを回転し調整することによつて、
   それぞれの変位センサを上下方向に摺動できるも
   のである実用新案登録請求の範囲第１項記載のウ
   エーハの厚さ測定台。 (3) 前記旋回台が、 段差状に設けた同心円状の複数の案内部を有す
   るものである実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のウエーハの厚さ測定台。 (4) 前記旋回台が、 三点支持ボール・ベアリングによつて支持され
   るものである実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のウエーハの厚さ測定台。