JPH0398303A - Hybrid crystal oscillator - Google Patents

Hybrid crystal oscillator

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JPH0398303A
JPH0398303A JP23478789A JP23478789A JPH0398303A JP H0398303 A JPH0398303 A JP H0398303A JP 23478789 A JP23478789 A JP 23478789A JP 23478789 A JP23478789 A JP 23478789A JP H0398303 A JPH0398303 A JP H0398303A
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JP
Japan
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capacitor
crystal oscillator
crystal resonator
crystal
thin film
Prior art date
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Pending
Application number
JP23478789A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihito Kudo
工藤 明仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0398303A publication Critical patent/JPH0398303A/en
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a crystal oscillator with high accuracy through the use of an existing crystal resonator by arranging a crystal resonator and a semiconductor element connected with each other electrically onto a thin film printed circuit board having a capacitor comprising a thin film circuit and varying the capacitance of the capacitor while vibrating the crystal resonator so as to adjust the frequency. CONSTITUTION:A crystal resonator 4 and a semiconductor element 5 connected with each other electrically are arranged onto a thin film printed circuit board 3 having a capacitor 2 comprising a thin film circuit and the capacitance of the capacitor 2 is varied while vibrating the crystal resonator 4 via the semiconductor element 5 so as to adjust the frequency, then a metallic lead terminal and the thin film circuit board 3 are connected electrically and the entire components are enclosed in a package. When the correction of the oscillated frequency is required, a laser beam L irradiates to the capacitor 2 to decrease the area shown in hatched lines thereby varying the capacitance of the capacitor 2 and varying the oscillating frequency. Thus, the existing crystal resonator is employed to obtain a hybrid crystal oscillator with high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、水晶発振器に係り、特に、製造工程において
周波数調整を行なう高精度ハイブリッド水晶発振器に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a crystal oscillator, and particularly to a high-precision hybrid crystal oscillator whose frequency is adjusted during the manufacturing process.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の水晶発振器は、パッケージに一度封入すると周波
数調整が不可能な金属性シリンダタイプ水晶振動子と、
半導体素子の組み合わせにより構成されていた。
Conventional crystal oscillators consist of a metallic cylinder-type crystal oscillator whose frequency cannot be adjusted once it is sealed in a package.
It was composed of a combination of semiconductor elements.

このように、水晶振動子自体の周波数は、一度調整する
と、固定されてしまう。そして、半導体素子の容量バラ
ツキが大きいため、発振器としての周波数のバラツキも
大きくなり、高精度の発振器を得ることが難しかった。
In this way, once the frequency of the crystal resonator itself is adjusted, it becomes fixed. Furthermore, since the capacitance of the semiconductor element has large variations, the frequency of the oscillator also has large variations, making it difficult to obtain a highly accurate oscillator.

この問題を解決するための従来技術としては、実願昭6
3−81411号明細書および図面に記載のものがある
As a conventional technique to solve this problem,
There are those described in the specification and drawings of No. 3-81411.

すなわち、硝子面を有する角形のケース内に錘を付着さ
せた水晶片を封入して作った水晶振動子を用いて水晶発
振器を構成し、発振装置の製造工程上で振動子により発
振を起こさせながら、硝子ケース内の水晶片の錘を、一
部分、レーザ光により除去し、振動子の振動数を変化さ
せることにより、水晶発振器の周波数を調整して、その
後、パッケージに封入するものである。
In other words, a crystal oscillator is constructed using a crystal resonator made by enclosing a crystal piece with a weight attached inside a square case with a glass surface, and the resonator causes oscillation during the manufacturing process of the oscillation device. However, the frequency of the crystal oscillator is adjusted by partially removing the weight of the crystal piece inside the glass case using a laser beam and changing the frequency of the vibrator, and then the crystal piece is sealed in a package.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従来の技術においては、水晶振動子自体の周波数は、一
度調整すると、固定されてしまう。そして、半導体素子
の容量バラツキが大きいため、発振器としての周波数の
パラツキも大きくなり、高精度の発振器を得ることが難
しかった。
In conventional technology, the frequency of the crystal resonator itself is fixed once it is adjusted. Furthermore, since the capacitance of semiconductor elements is large, the frequency of the oscillator also has large variations, making it difficult to obtain a highly accurate oscillator.

さらに、実願昭63−81411号明細書および図面に
記載の水晶発振器は、硝子面を有する角形のケース内に
錘を付着させた水晶片を封入して作った水晶振動子を用
いており、特殊な水晶振動子を使用することによって実
現されるため、通常の水晶振動子には適用できず、新た
な水晶振動子製造技術を必要とした。
Furthermore, the crystal oscillator described in the specification and drawings of Utility Model Application No. 63-81411 uses a crystal oscillator made by enclosing a crystal piece with a weight attached inside a square case with a glass surface. Because it was realized by using a special crystal resonator, it could not be applied to ordinary crystal resonators and required new crystal resonator manufacturing technology.

本発明の目的は、これら従来技術の課題を解決し、既存
の水晶振動子を用いた高精度なハイブリッド水晶発振器
を提供することである。
An object of the present invention is to solve the problems of these conventional techniques and provide a highly accurate hybrid crystal oscillator using an existing crystal resonator.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

=3 上記目的を達威するため、本発明のハイブリッド水晶発
振器は、水晶振動子と、この水晶振動子を振動させる半
導体素子、そして、この半導体素子の金属リード端子の
1部を含んで樹脂成形されるハイブリッド水晶発振器に
おいて、この水晶発振器を、薄膜回路によるコンデンサ
を有する薄膜回路基板上に、水晶振動子および半導体素
子を電気的に接続した状態で配置した製造工程上で、水
晶振動子を半導体素子を介して振動させながらコンデン
サの容量を変化させて周波数調整を行い、その後に、金
属リード端子と薄膜回路基板を電気的に接続し、パッケ
ージングすることを特徴とする。
=3 In order to achieve the above object, the hybrid crystal oscillator of the present invention includes a crystal resonator, a semiconductor element for vibrating the crystal resonator, and a part of the metal lead terminal of this semiconductor element, and is molded with resin. In the hybrid crystal oscillator, the crystal oscillator is placed on a thin film circuit board with a thin film circuit capacitor, with the crystal resonator and semiconductor element electrically connected. It is characterized by adjusting the frequency by changing the capacitance of the capacitor while vibrating it through the element, and then electrically connecting the metal lead terminal and the thin film circuit board and packaging.

〔作用〕[Effect]

本発明において、水晶発振器は、パッケージングされる
前の製造工程において、半導体素子を介して水晶振動子
を振動させる。
In the present invention, the crystal oscillator vibrates the crystal resonator via the semiconductor element in a manufacturing process before packaging.

この水晶振動子の振動と半導体素子により、水晶発振器
としての発振を得、この発振の周波数を測定する。もし
、規定の周波数からはずれている4 場合には、基板上の薄膜回路によるコンデンサを、例え
ば、レーザ光線により削除する等の方法により加工して
、その容量を変化させる。
The vibration of the crystal resonator and the semiconductor element produce oscillation as a crystal oscillator, and the frequency of this oscillation is measured. If the frequency deviates from the specified frequency, the capacitor formed by the thin film circuit on the substrate is processed, for example, by removing it with a laser beam, to change its capacitance.

このコンデンサは、水晶振動子に接続されているので、
水晶振動子の振動と半導体素子による発振の周波数は、
変化する。
This capacitor is connected to the crystal, so
The frequencies of the vibration of the crystal resonator and the oscillation of the semiconductor element are
Change.

規定の周波数を得たならば、モールドしたときの接続端
子となる金属リード端子と、この水晶発振子を設けた薄
膜回路基板とを電気的に接続し、パッケージシグする。
Once the specified frequency is obtained, the metal lead terminals that will serve as connection terminals when molded are electrically connected to the thin film circuit board on which the crystal oscillator is provided, and packaged.

このようにして、水晶発振器の発振周波数の調整を製造
工程上で容易に行うことができる。
In this way, the oscillation frequency of the crystal oscillator can be easily adjusted during the manufacturing process.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明の実施例を、図面により詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は、本発明を施した水晶発振器の内部構成を示す
平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing the internal structure of a crystal oscillator according to the present invention.

導体、誘電体、導体の順に積層し、薄膜回路で作られた
コンデンサ2と,導体により形成された電極パターン1
とを備えているセラミック基板3上には、水晶振動子4
と半導体素子5とを設けている。
A capacitor 2 made of a thin film circuit in which a conductor, a dielectric, and a conductor are laminated in this order, and an electrode pattern 1 formed of the conductor.
A crystal resonator 4 is mounted on a ceramic substrate 3 having
and a semiconductor element 5 are provided.

そして、ワイヤ6により、セラミック基板3上の電極パ
ターン1を介して、水晶振動子4と半導体素子5とを電
気的に接続している。
The crystal resonator 4 and the semiconductor element 5 are electrically connected by wires 6 through the electrode pattern 1 on the ceramic substrate 3.

さらに、半導体素子5に外部電源8により電気的エネル
ギーを与え、水晶振動子4を発振させるための電源端子
11,12、および、出力端子10aと10bをセラミ
ック基板3に有している。
Furthermore, the ceramic substrate 3 has power supply terminals 11 and 12 and output terminals 10a and 10b for applying electrical energy to the semiconductor element 5 from an external power supply 8 and causing the crystal resonator 4 to oscillate.

このような構成の水晶発振器の、その製造工程において
、以下の処理を行う。
In the manufacturing process of the crystal oscillator having such a configuration, the following processing is performed.

まず、電源端子11、12を通して電圧を加えることに
より、水晶振動子4を発振させる。尚、この発振方法に
関しては、一般的に知られているものであり、説明は省
略する。
First, by applying a voltage through the power supply terminals 11 and 12, the crystal resonator 4 is caused to oscillate. It should be noted that this oscillation method is generally known, so a description thereof will be omitted.

出力端子10aと10bにプローブ7aと7bを立てて
、カウンタ9を接続して、その発振周波数を読み取る。
Probes 7a and 7b are set up at output terminals 10a and 10b, and counter 9 is connected to read the oscillation frequency.

この発振周波数を修正する必要がある場合には、この状
態において、コンデンサ2にレーザ光(L)を照射し、
面積(斜線の部分)を小さくする。このようにして、コ
ンデンサ2の容量を変化させることにより、発振周波数
を変化させ、規定の値に合わせる。
If it is necessary to modify this oscillation frequency, in this state, irradiate the capacitor 2 with laser light (L),
Reduce the area (shaded area). In this way, by changing the capacitance of the capacitor 2, the oscillation frequency is changed and adjusted to a specified value.

第2図は、第1図におけるセラミック基板3の構成を示
す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing the structure of the ceramic substrate 3 in FIG. 1.

積層方式パターニング技術を応用し、セラミック基板3
上にコンデンサ2を形成してある。さらに、導体により
形成された電極パターンlが備えられている。尚、コン
デンサ2の形成方法は、既に公知であるため説明は省略
する。
Applying layered patterning technology, ceramic substrate 3
A capacitor 2 is formed thereon. Furthermore, an electrode pattern l formed of a conductor is provided. It should be noted that the method for forming the capacitor 2 is already well known, so a description thereof will be omitted.

このようにして構成されたセラミック基板3上に、第1
図に示される各部品が設けられ、水晶発振器の機能を持
つものである。
On the ceramic substrate 3 configured in this way, the first
Each component shown in the figure is provided and has the function of a crystal oscillator.

第3図は、第1図における水晶発振器の内部構成の断面
図である。
FIG. 3 is a sectional view of the internal structure of the crystal oscillator in FIG. 1.

セラミック基板3上には、コンデンサ2と水晶振動子4
、そして、ワイヤ6および電極パターン1により水晶振
動子4と電気的に接続された半導体素子5が設けられて
いる。そして、コンデンサ−7− 2の一部分(斜線部分)が、レーザ光(L)の照射によ
り、消滅した様子を示している。
A capacitor 2 and a crystal resonator 4 are mounted on the ceramic substrate 3.
, and a semiconductor element 5 electrically connected to the crystal resonator 4 through the wire 6 and the electrode pattern 1. A portion of the capacitor 7-2 (hatched portion) is shown to have disappeared due to the laser beam (L) irradiation.

第4図は、第1図における水晶発振器を、樹脂によりモ
ールドして完成させた状態を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a completed state in which the crystal oscillator in FIG. 1 is molded with resin.

完成された水晶発振器13と他の回路との電気的接続を
取るため、リードフレーム14と、セラミック基板3の
電極パターン1、そして、ワイヤ15を設けている。
In order to electrically connect the completed crystal oscillator 13 to other circuits, a lead frame 14, an electrode pattern 1 of the ceramic substrate 3, and a wire 15 are provided.

このように水晶発振器をモールド化することで、他の回
路との接続が容易となり、かつ、信頼性の高いハイブリ
ッド水晶発振器が得られる。
By molding the crystal oscillator in this way, a hybrid crystal oscillator that can be easily connected to other circuits and has high reliability can be obtained.

尚、リードフレーム14は、モールドされるまでは、図
示されないタイバーにより一連になっており、それぞれ
が脱落しない構造になっている。
Incidentally, until the lead frame 14 is molded, it is connected in a series by tie bars (not shown), so that each lead frame 14 does not fall off.

そして、モールド後に初めて、樹脂より外側において、
リードフレームl4は金型等により切断され、各水晶発
振器は単体品となる。このモールド技術は、既に公知の
ものであるため、詳しい説明は省略する。
Then, for the first time after molding, on the outside of the resin,
The lead frame l4 is cut using a mold or the like, and each crystal oscillator becomes a single product. Since this molding technique is already known, detailed explanation will be omitted.

以上、本実施例の水晶発振器は、積層方式パタニング技
術(薄膜回路技術)を応用して、セラミック基板3上に
コンデンサ2と電極パターン1を形或1し、さらに、水
晶振動子4と半導体素子5を装着して構威する。そして
、これら水晶振動子4と半導体素子5を、セラミック基
板3上で、ワイヤ6により電気的に接続し、セラミック
基板3を介して外部より電気的エネルギーを与えて水晶
発振器を発振させる。その発振中に、セラミック基板3
上のコンデンサ2をトリミングして、発振周波数を調整
し、その後、パッケージングする。
As described above, in the crystal oscillator of this embodiment, the capacitor 2 and the electrode pattern 1 are formed on the ceramic substrate 3 by applying the laminated patterning technology (thin film circuit technology), and the crystal oscillator 4 and the semiconductor element are formed on the ceramic substrate 3. 5 and set up. The crystal resonator 4 and the semiconductor element 5 are electrically connected on the ceramic substrate 3 by a wire 6, and electrical energy is applied from the outside via the ceramic substrate 3 to cause the crystal oscillator to oscillate. During the oscillation, the ceramic substrate 3
The upper capacitor 2 is trimmed to adjust the oscillation frequency, and then packaged.

このように、本実施例の水晶発振器によれば、通常の水
晶振動子を用いて、同一パッケージ内の発振により水晶
発振子4の周波数を調整できるため、製造工程において
、容易に高精度で信頼性の高いハイブリッド水晶発振器
を得ることができ、合わせ込み精度の高い水晶発振器を
歩留まり良く、かつ、安価に製造することが可能である
As described above, according to the crystal oscillator of this embodiment, the frequency of the crystal oscillator 4 can be adjusted by oscillation within the same package using a normal crystal oscillator, so that it is possible to easily achieve high precision and reliability in the manufacturing process. It is possible to obtain a hybrid crystal oscillator with high performance, and it is possible to manufacture a crystal oscillator with high tuning accuracy at a high yield and at low cost.

また、樹脂によりモールドされるため、高信頼性を保ち
、特に、水晶振動子の端子を外部に取り出す必要が無い
ため、湿度による端子間ショートに起因する発振停止の
問題もない。
Furthermore, since it is molded with resin, it maintains high reliability, and in particular, since there is no need to take out the terminals of the crystal resonator to the outside, there is no problem of oscillation stopping due to short circuit between the terminals due to humidity.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、既存の水晶振動子を用いた高精度なハ
イブリッド水晶発振器を容易に実現することが可能であ
る。
According to the present invention, it is possible to easily realize a highly accurate hybrid crystal oscillator using an existing crystal resonator.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面は本発明の実施例を示し、第1図は本発明を施した
水晶発振器の内部構成を示す平面図、第2図は第1図に
おけるセラミック基板の構成を示す平面図、第3図は第
1図における水晶発振器の内部構成の断面図、第4図は
第1図における水晶発振器をモールドして完成させた状
態を示す平面図である。 1:電極パターン,2:コンデンサ,3;セラミック基
板,4:水晶振動子,5:半導体素子,6:ワイヤ,7
:プローブ,8:外部電源,9カウンタ,10:出力端
子,11.12・電源端子,13:水晶発振器,14・
リードフレーム,15:ワイヤ。
The drawings show embodiments of the present invention; FIG. 1 is a plan view showing the internal structure of a crystal oscillator to which the invention is applied; FIG. 2 is a plan view showing the structure of the ceramic substrate in FIG. 1; FIG. FIG. 1 is a sectional view of the internal structure of the crystal oscillator, and FIG. 4 is a plan view showing the crystal oscillator in FIG. 1 in a molded and completed state. 1: Electrode pattern, 2: Capacitor, 3: Ceramic substrate, 4: Crystal resonator, 5: Semiconductor element, 6: Wire, 7
: Probe, 8: External power supply, 9 Counter, 10: Output terminal, 11.12・Power supply terminal, 13: Crystal oscillator, 14・
Lead frame, 15: wire.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)水晶振動子、該水晶振動子を振動させる半導体素
子、および、該半導体素子からの金属リード端子の1部
を含んで樹脂成形される水晶発振器において、該水晶発
振器を、薄膜回路によるコンデンサを有する薄膜回路基
板上に、上記水晶振動子および上記半導体素子を電気的
に接続した状態で配置した製造工程上で、該水晶振動子
を該半導体素子を介して振動させながら上記コンデンサ
の容量を変化させて周波数調整を行い、その後に、上記
金属リード端子と上記薄膜回路基板とを電気的に接続し
、パッケージングすることを特徴とするハイブリッド水
晶発振器。
(1) In a crystal oscillator that is resin-molded and includes a crystal resonator, a semiconductor element that vibrates the crystal resonator, and a part of a metal lead terminal from the semiconductor element, the crystal oscillator is connected to a capacitor using a thin film circuit. In a manufacturing process in which the crystal resonator and the semiconductor element are arranged in an electrically connected state on a thin film circuit board having a A hybrid crystal oscillator characterized in that the frequency is adjusted by changing the frequency, and then the metal lead terminal and the thin film circuit board are electrically connected and packaged.
JP23478789A 1989-09-12 1989-09-12 Hybrid crystal oscillator Pending JPH0398303A (en)

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JP23478789A JPH0398303A (en) 1989-09-12 1989-09-12 Hybrid crystal oscillator

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