JPH0397951U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0397951U JPH0397951U JP586990U JP586990U JPH0397951U JP H0397951 U JPH0397951 U JP H0397951U JP 586990 U JP586990 U JP 586990U JP 586990 U JP586990 U JP 586990U JP H0397951 U JPH0397951 U JP H0397951U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding member
- laser tube
- laser
- main body
- body case
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
第１図および第２図はレーザ干渉装置に適用し
た本考案の一実施例を示す構成図で、第１図は全
体の概略図、第２図は第１図におけるレーザ管の
取付部分の詳細断面図を示し、第３図はガイド部
材の外周面に対して全てのレーザ管の光軸を同一
にセツテイングするための芯出調整用治具の一例
を示している。 １……本体ケース、２……レーザ管、３……ガ
イド部材、４……保持部材、５……固定部材、６
……レーザ導入光学系。
た本考案の一実施例を示す構成図で、第１図は全
体の概略図、第２図は第１図におけるレーザ管の
取付部分の詳細断面図を示し、第３図はガイド部
材の外周面に対して全てのレーザ管の光軸を同一
にセツテイングするための芯出調整用治具の一例
を示している。 １……本体ケース、２……レーザ管、３……ガ
イド部材、４……保持部材、５……固定部材、６
……レーザ導入光学系。
Claims (1)
- 中心部にレーザ管が挿通される挿通孔を有し、
外周部に嵌合面を有し前記レーザ管の出射側端部
が挿着されるガイド部材と、一端には少なくとも
レーザ導入光学系を収納する本体ケースの外壁に
取付けられる取付部を有し、中心部には前記ガイ
ド部材が着脱自在にはめ込まれる案内面を有する
保持部材と、前記保持部材の取付部と反対側の外
周面に係止され前記ガイド部材を前記保持部材に
押圧して固定する固定部材とを有し、前記保持部
材はその中心軸が前記本体ケース内のレーザ導入
光学系の光軸と一致させて前記本体ケースの外壁
に取付けられ、前記レーザ管が挿着されたガイド
部材を前記保持部材にはめ込むことにより前記レ
ーザ管の光軸が前記レーザ導入光学系の光軸と一
致するように設けられたレーザ管の取付構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP586990U JPH0397951U (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | |
| US07/642,451 US5127734A (en) | 1990-01-24 | 1991-01-17 | Laser interferometer for inspecting the surface of a specimen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP586990U JPH0397951U (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397951U true JPH0397951U (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=31509559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP586990U Pending JPH0397951U (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397951U (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP586990U patent/JPH0397951U/ja active Pending