JPH039713B2 - - Google Patents
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- JPH039713B2 JPH039713B2 JP60060451A JP6045185A JPH039713B2 JP H039713 B2 JPH039713 B2 JP H039713B2 JP 60060451 A JP60060451 A JP 60060451A JP 6045185 A JP6045185 A JP 6045185A JP H039713 B2 JPH039713 B2 JP H039713B2
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- piezoelectric drive
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は微動装置に関し、詳しくは超微細加工
時の位置合せや、真空トンネル顕微鏡における試
料あるいは探針の移動に用いるのに好適な微動装
置に関する。
時の位置合せや、真空トンネル顕微鏡における試
料あるいは探針の移動に用いるのに好適な微動装
置に関する。
［従来技術］
真空トンネル顕微鏡は超高真空中に置かれた金
属等の導電性物質の表面構造を原子的な尺度で観
測する装置として知られている。このような真空
トンネル顕微鏡は、真空中に載置された金属と先
端の径が1nｍ程度の極細金属探針との間に1V程
度の電圧を加えてこの探針の先端をを金属表面か
ら1nｍ程度にまで近づけると、真空トンネル効
果によつて1μA程度の電流が流れることを応用し
たもので、このような真空トンネル効果において
は0.1nｍの距離変化に対しトンネル電流が１桁づ
つ敏感に変化するので、この感度を利用して表面
から探針先端までの距離が一定に保たれるように
なして面内を走査すれば、表面の凹凸などの構造
を原子の尺度で測定できる。
属等の導電性物質の表面構造を原子的な尺度で観
測する装置として知られている。このような真空
トンネル顕微鏡は、真空中に載置された金属と先
端の径が1nｍ程度の極細金属探針との間に1V程
度の電圧を加えてこの探針の先端をを金属表面か
ら1nｍ程度にまで近づけると、真空トンネル効
果によつて1μA程度の電流が流れることを応用し
たもので、このような真空トンネル効果において
は0.1nｍの距離変化に対しトンネル電流が１桁づ
つ敏感に変化するので、この感度を利用して表面
から探針先端までの距離が一定に保たれるように
なして面内を走査すれば、表面の凹凸などの構造
を原子の尺度で測定できる。
ただしそのためには探針の先端が原子尺度で劣
つていること、物体面と探針との間の相対的振動
振幅が原子尺度以下に抑えられることおよび熱膨
張による歪みを避けるために極度に安定した温度
環境のもとで測定されるべきことなどの条件が必
要である。
つていること、物体面と探針との間の相対的振動
振幅が原子尺度以下に抑えられることおよび熱膨
張による歪みを避けるために極度に安定した温度
環境のもとで測定されるべきことなどの条件が必
要である。
ところで物体面と探針との間の距離を一定に保
たせための移動、および面内走査には駆動装置が
必要であるが、そのためには、探針を物体面に垂
直な方向と面内の二方向との三軸方向にそれぞれ
独立した原子尺度で移動させる必要がある。
たせための移動、および面内走査には駆動装置が
必要であるが、そのためには、探針を物体面に垂
直な方向と面内の二方向との三軸方向にそれぞれ
独立した原子尺度で移動させる必要がある。
そこで、従来は、第３図に示すような圧電駆動
体が用いられてきた。すなわち、１は直方体の形
状に切出された圧電駆動部材であり、圧電駆動部
材１の対向する二面に金属電極２が設けられ、そ
の両極間に駆動電圧VDを印加するように構成さ
れている。しかして電極２間に電圧VDを印加す
ると電極２を有する二面間の距離Ｗが電圧の極性
と圧電駆動部材１の有する圧電定数とに応じて伸
延または収縮し、同時に他の２組の対応する面間
の距離が上述した距離Ｗの伸縮とは反対方向の収
縮、伸延をするのでこのような圧電駆動部材の一
方向のみの伸縮が利用されてきた。
体が用いられてきた。すなわち、１は直方体の形
状に切出された圧電駆動部材であり、圧電駆動部
材１の対向する二面に金属電極２が設けられ、そ
の両極間に駆動電圧VDを印加するように構成さ
れている。しかして電極２間に電圧VDを印加す
ると電極２を有する二面間の距離Ｗが電圧の極性
と圧電駆動部材１の有する圧電定数とに応じて伸
延または収縮し、同時に他の２組の対応する面間
の距離が上述した距離Ｗの伸縮とは反対方向の収
縮、伸延をするのでこのような圧電駆動部材の一
方向のみの伸縮が利用されてきた。
なお、圧電性部材１は、その材料が単結晶の場
合、結晶軸に固有な圧電定数を有するもので、そ
の定数はテンソン量で表わされる。また、セラミ
クスの場合は成形焼結後電極２の両端に電圧を印
加して昇温し圧電性を具えるための分極化が行わ
れる。
合、結晶軸に固有な圧電定数を有するもので、そ
の定数はテンソン量で表わされる。また、セラミ
クスの場合は成形焼結後電極２の両端に電圧を印
加して昇温し圧電性を具えるための分極化が行わ
れる。
かくして従来、三軸方向の移動や位置合わせを
必要とする微動装置には、上記のような一方向圧
電駆動体を三個以上互いに接着剤で接合させて用
いられてきた。
必要とする微動装置には、上記のような一方向圧
電駆動体を三個以上互いに接着剤で接合させて用
いられてきた。
しかしながら、このように構成された従来の圧
電駆動体にあつては同じ材料によつて構成されて
も個々の部材１が少しづつ異なる性能を持ち、特
に接着した部分が圧電性材料と弾性が異なるため
に、駆動時に原子尺度のずれが生ずるなどの問題
点があり、ドリフトや三軸移動の独立性が保てな
いという欠点があつた。
電駆動体にあつては同じ材料によつて構成されて
も個々の部材１が少しづつ異なる性能を持ち、特
に接着した部分が圧電性材料と弾性が異なるため
に、駆動時に原子尺度のずれが生ずるなどの問題
点があり、ドリフトや三軸移動の独立性が保てな
いという欠点があつた。
［発明の目的］
本発明は、上記の欠点を解消するためになされ
たもので、ジルコン酸チタン酸鉛等のセラミクス
あるいは水晶等の単結晶の圧電性材料を用いて駆
動体を形成し、超微細加工、顕微鏡等における試
料や探針等の移動、位置決め、および固定等に対
し、正確で信頼性の高い微動装置を提供すること
を目的とするものである。
たもので、ジルコン酸チタン酸鉛等のセラミクス
あるいは水晶等の単結晶の圧電性材料を用いて駆
動体を形成し、超微細加工、顕微鏡等における試
料や探針等の移動、位置決め、および固定等に対
し、正確で信頼性の高い微動装置を提供すること
を目的とするものである。
［発明の概要］
すなわち、本発明は、直方体形状の圧電駆動部
材に対向電極を設け、対向電極に電圧を印加する
ことにより電圧の印加方向とは直角な方向に変位
を発生させ、その変位により圧電駆動部材の変位
方向の移動が制御される微動装置において、１つ
の頂点から互いに直交する３つ方向に向けてそれ
ぞれ延在された３つの直方体形状をなす圧電部と
３つの圧電部と一体的に形成され、圧電部の延在
された側の端部がそれぞれ固定される壁部とを有
し、個々の圧電部に設けた電極に延在された方向
と直角をなす方向に電圧の印加が可能な圧電駆動
部材と、３つの圧電部に供給する電圧の発生手段
と、圧電部の１つの電圧が印加されたときに、圧
電部の延在方向に直角な他の２つの方向の変位を
補正する手段とを具えたことを特徴とするもので
ある。
材に対向電極を設け、対向電極に電圧を印加する
ことにより電圧の印加方向とは直角な方向に変位
を発生させ、その変位により圧電駆動部材の変位
方向の移動が制御される微動装置において、１つ
の頂点から互いに直交する３つ方向に向けてそれ
ぞれ延在された３つの直方体形状をなす圧電部と
３つの圧電部と一体的に形成され、圧電部の延在
された側の端部がそれぞれ固定される壁部とを有
し、個々の圧電部に設けた電極に延在された方向
と直角をなす方向に電圧の印加が可能な圧電駆動
部材と、３つの圧電部に供給する電圧の発生手段
と、圧電部の１つの電圧が印加されたときに、圧
電部の延在方向に直角な他の２つの方向の変位を
補正する手段とを具えたことを特徴とするもので
ある。
［実施例］
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細
かつ具体的に説明する。
かつ具体的に説明する。
第１図は本発明の原理的構成を示すもので、こ
こで、１０は圧電性材料によつて形成した駆動体
（以下で駆動部材という）であり、本例ではその
外形が正六面体をなす駆動部材１０に切欠き部１
１を設け、この切欠き部１１によつて、１つの頂
点１２を形成している３つの面にそれぞれ正方形
の切欠き孔が得られるようにする。
こで、１０は圧電性材料によつて形成した駆動体
（以下で駆動部材という）であり、本例ではその
外形が正六面体をなす駆動部材１０に切欠き部１
１を設け、この切欠き部１１によつて、１つの頂
点１２を形成している３つの面にそれぞれ正方形
の切欠き孔が得られるようにする。
しかして、この切欠き部１１と個々の切欠き孔
とによつて頂点１２に紆合されるようにした腕部
形状をなすＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の圧電駆
動部１３，１４および１５を形成し、これらの圧
電駆動部１３，１４および１５を細長に形成する
と共に、これらの圧電駆動部１３，１４および１
５の付け根側にそれぞれＸ方向、Ｙ方向およびＺ
方向の十分な厚さの壁部１６，１７および１８が
形成されるようにする。
とによつて頂点１２に紆合されるようにした腕部
形状をなすＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の圧電駆
動部１３，１４および１５を形成し、これらの圧
電駆動部１３，１４および１５を細長に形成する
と共に、これらの圧電駆動部１３，１４および１
５の付け根側にそれぞれＸ方向、Ｙ方向およびＺ
方向の十分な厚さの壁部１６，１７および１８が
形成されるようにする。
かくして、圧電駆動部１３，１４および１５の
それぞれ斜線を施して示した面と図示されないそ
の切欠き部１１側の対向面との双方に電極１３
Ａ，１４Ａおよび１５Ａを設け、これらの電極１
３Ａ，１４Ａおよび１５ＡをＸ方向駆動電圧発生
回路１９、Ｙ方向駆動電圧発生回路２０およびＺ
方向駆動電圧発生回路２１に信号線１９Ａ，２０
Ａおよび２１Ａで接続する。
それぞれ斜線を施して示した面と図示されないそ
の切欠き部１１側の対向面との双方に電極１３
Ａ，１４Ａおよび１５Ａを設け、これらの電極１
３Ａ，１４Ａおよび１５ＡをＸ方向駆動電圧発生
回路１９、Ｙ方向駆動電圧発生回路２０およびＺ
方向駆動電圧発生回路２１に信号線１９Ａ，２０
Ａおよび２１Ａで接続する。
なお、２２，２３および２４はＸ方向、Ｙ方向
およびＺ方向の駆動信号を駆動電圧発生回路１
９，２０および２１にそれぞれ供給する入力端子
であり、２５は１方向の変位動作に対して他方向
の変位の影響が発生しないように後述するような
補正信号が出力される補正回路である。
およびＺ方向の駆動信号を駆動電圧発生回路１
９，２０および２１にそれぞれ供給する入力端子
であり、２５は１方向の変位動作に対して他方向
の変位の影響が発生しないように後述するような
補正信号が出力される補正回路である。
続いて、このように構成した駆動部材１０およ
びその駆動回路による微動装置における頂点１２
の変位動作について述べることとする。
びその駆動回路による微動装置における頂点１２
の変位動作について述べることとする。
まず三箇所の圧電駆動部１３，１４および１５
が結合される頂点１２において、Ｘ方向の位置移
動すなわち変位のみを起こさせる作用を説明す
る。
が結合される頂点１２において、Ｘ方向の位置移
動すなわち変位のみを起こさせる作用を説明す
る。
この場合、駆動信号を入力端子２２に印加して
Ｘ方向駆動電圧を駆動電圧発生回路１９に発生さ
せ、これを信号線１９Ａによつて電極１３Ａに印
加すると、圧電駆動部１３は主にＸ方向に延伸ま
たは収縮する。しかしてこの場合、厚い壁部１６
は動作の影響を受けない固定壁の役割を果たす。
Ｘ方向駆動電圧を駆動電圧発生回路１９に発生さ
せ、これを信号線１９Ａによつて電極１３Ａに印
加すると、圧電駆動部１３は主にＸ方向に延伸ま
たは収縮する。しかしてこの場合、厚い壁部１６
は動作の影響を受けない固定壁の役割を果たす。
しかしながら、圧電駆動部１３は頂点１２を介
して他の圧電駆動部１４および１５に結合されて
いるため、その自由なＸ方向の伸縮が妨げられる
と共に、他の圧電駆動部１４および１５をも伸縮
させる影響を与えるので、結局頂点１２は、Ｘ方
向のみならずＹ方向とＺ方向とにも変位する。
して他の圧電駆動部１４および１５に結合されて
いるため、その自由なＸ方向の伸縮が妨げられる
と共に、他の圧電駆動部１４および１５をも伸縮
させる影響を与えるので、結局頂点１２は、Ｘ方
向のみならずＹ方向とＺ方向とにも変位する。
そこで、このようなＹ方向とＺ方向への変位を
消去補正するために、Ｘ方向駆動電圧発生回路１
９の出力波形を信号線１９Ｂによつて補正回路２
５に供給し、ここで圧電駆動部１４および１５の
剛性の強さならびに圧電定数の符号と大ささ等に
応じて反転、増幅、減衰または他の必要な変換等
を行い、信号線２６Ｙおよび２６Ｚを通じて、Ｙ
方向駆動電圧発生回路２０およびＺ方向駆動電圧
発生回路２１に供給し、更にこれらからそれぞれ
信号線２０Ａおよび２１Ａを介して補正電圧を電
極１４Ａおよび１５Ａに印加することにより、補
正作用を行う。
消去補正するために、Ｘ方向駆動電圧発生回路１
９の出力波形を信号線１９Ｂによつて補正回路２
５に供給し、ここで圧電駆動部１４および１５の
剛性の強さならびに圧電定数の符号と大ささ等に
応じて反転、増幅、減衰または他の必要な変換等
を行い、信号線２６Ｙおよび２６Ｚを通じて、Ｙ
方向駆動電圧発生回路２０およびＺ方向駆動電圧
発生回路２１に供給し、更にこれらからそれぞれ
信号線２０Ａおよび２１Ａを介して補正電圧を電
極１４Ａおよび１５Ａに印加することにより、補
正作用を行う。
Ｙ方向やＺ方向の変位を発生させる場合につい
ても同様にして独立に駆動することができる。す
なわち、第１図において、信号線２０Ｂまたは２
１Ｂにより補正回路２５に入力された出力波形信
号に対して必要な変換が行われ、それぞれ信号線
２７Ｘおよび２７Ｚまたは２８Ｘおよび２８Ｙに
よつて出力されることにより補正作用が行われ
る。
ても同様にして独立に駆動することができる。す
なわち、第１図において、信号線２０Ｂまたは２
１Ｂにより補正回路２５に入力された出力波形信
号に対して必要な変換が行われ、それぞれ信号線
２７Ｘおよび２７Ｚまたは２８Ｘおよび２８Ｙに
よつて出力されることにより補正作用が行われ
る。
なお、腕部形状をなす圧電駆動部１３，１４お
よび１５は頂点１２において互いに結合されてお
り、腕部としての自由端を有しないために、個々
の腕部のゆれ振動（リード型振動）に対し剛性が
強く、通常の使用時における外部振動に対して極
めて顕著な除振効果が得られる。
よび１５は頂点１２において互いに結合されてお
り、腕部としての自由端を有しないために、個々
の腕部のゆれ振動（リード型振動）に対し剛性が
強く、通常の使用時における外部振動に対して極
めて顕著な除振効果が得られる。
なお、本願人は第２図に示すような寸法の三次
元微動機構用圧電駆動部材を試作し、微動装置と
しての有効性を確認した。ここで、１０はチタン
酸ジルコ酸鉛を圧電性材料として使用し形成した
駆動部材であり、その寸法をmm単位で示す。単体
の第３図で示したような圧電駆動の場合、対向電
極２間の距離すなわち幅をＷ、長い辺の方向の長
さをｌ、電源の電圧をVDとすれば、駆動電圧を
印加したことによる長さ方向の延びはd31lVD／Ｗ
で表わされる。なおここでd31は横方向圧電定数
と呼ばれ、0.01〜0.3nｍ／Ｖの程度であつて、本
実験ではd31＝0.22nｍ／Ｖのチタン酸ジルコン酸
鉛セラミクス圧電性材料を用いた。
元微動機構用圧電駆動部材を試作し、微動装置と
しての有効性を確認した。ここで、１０はチタン
酸ジルコ酸鉛を圧電性材料として使用し形成した
駆動部材であり、その寸法をmm単位で示す。単体
の第３図で示したような圧電駆動の場合、対向電
極２間の距離すなわち幅をＷ、長い辺の方向の長
さをｌ、電源の電圧をVDとすれば、駆動電圧を
印加したことによる長さ方向の延びはd31lVD／Ｗ
で表わされる。なおここでd31は横方向圧電定数
と呼ばれ、0.01〜0.3nｍ／Ｖの程度であつて、本
実験ではd31＝0.22nｍ／Ｖのチタン酸ジルコン酸
鉛セラミクス圧電性材料を用いた。
その結果補正後のＸ方向の変位は１ボルト当り
1.62nｍとなり実効的横方向圧電定数は0.18nｍ／
Ｖとなつた。すなわち、上記の単体の場合に比べ
第２図に示した駆動部材１０では圧電駆動部１
３，１４および１５が頂点１２で拘束された影響
があるが、Ｘ方向に30nｍ変位するとき補正前の
Ｙ方向およびＺ方向の変位がそれぞれ2.5nｍあつ
たのに対し補正後は上述したように測定限界0.2n
ｍ以下になつた。
1.62nｍとなり実効的横方向圧電定数は0.18nｍ／
Ｖとなつた。すなわち、上記の単体の場合に比べ
第２図に示した駆動部材１０では圧電駆動部１
３，１４および１５が頂点１２で拘束された影響
があるが、Ｘ方向に30nｍ変位するとき補正前の
Ｙ方向およびＺ方向の変位がそれぞれ2.5nｍあつ
たのに対し補正後は上述したように測定限界0.2n
ｍ以下になつた。
かくして、本実線により三軸の微動を完全な独
立系として制御することの可能なことが確認でき
た。更にまた、共振周波数特性については、上記
駆動部材１０と同じ寸法の細い腕部形状をした単
体の圧電駆動体を、その一端のみを固定した状態
でゆれ（リード型）振動の剛性を比較実験した結
果、上記の駆動部材１０のように、頂点１２で拘
束されているときの剛性が単体の駆動体の場合の
50倍以上であることが確認された。なお、駆動部
１３，１４および１５の長さと厚い壁部１６，１
７および１８との厚さとの比は２対１ないし１対
１程度としたときに、動かない壁部としては好適
であつた。
立系として制御することの可能なことが確認でき
た。更にまた、共振周波数特性については、上記
駆動部材１０と同じ寸法の細い腕部形状をした単
体の圧電駆動体を、その一端のみを固定した状態
でゆれ（リード型）振動の剛性を比較実験した結
果、上記の駆動部材１０のように、頂点１２で拘
束されているときの剛性が単体の駆動体の場合の
50倍以上であることが確認された。なお、駆動部
１３，１４および１５の長さと厚い壁部１６，１
７および１８との厚さとの比は２対１ないし１対
１程度としたときに、動かない壁部としては好適
であつた。
［効果］
以上説明したように、本発明によれば、互いに
直交する３軸方向に圧電駆動部を設けて、個々の
駆動部を３つの方向にそれぞれ独立して駆動させ
るようになすとともに１つの駆動部の駆動時に他
の駆動部による変位の影響を補正させるるように
したので、任意の圧電定数を有する圧電性部材に
よつて三軸の微動を完全な独立系として電圧で制
御することが可能となり、更にまた、３つの圧電
駆動部の一端を一頂点で結合すると共にそれぞれ
の他端部を強固な壁部に固定させるようにしたの
で、単一の腕部状駆動体と比較して剛性が高くな
り振動除去の効果をもたらすことができる。
直交する３軸方向に圧電駆動部を設けて、個々の
駆動部を３つの方向にそれぞれ独立して駆動させ
るようになすとともに１つの駆動部の駆動時に他
の駆動部による変位の影響を補正させるるように
したので、任意の圧電定数を有する圧電性部材に
よつて三軸の微動を完全な独立系として電圧で制
御することが可能となり、更にまた、３つの圧電
駆動部の一端を一頂点で結合すると共にそれぞれ
の他端部を強固な壁部に固定させるようにしたの
で、単一の腕部状駆動体と比較して剛性が高くな
り振動除去の効果をもたらすことができる。
第１図は本発明微動装置の原理的構成をその圧
電駆動部材の斜視図と共に示すブロツク図、第２
図は実験のために試作した本実験にかかる圧電駆
動部材の寸法を説明するための斜視図、第３図は
従来の圧電駆動体の原理的構成を一例として示す
斜視図である。 １……圧電性部材、２……金属電極、１０……
駆動部材、１１……切欠き部、１２……頂点、１
３，１４，１５……圧電駆動部、１３Ａ，１４
Ａ，１５Ａ……電極、１６，１７，１８……壁
部、１９，２０，２１……駆動電圧発生回路、１
９Ａ，１９Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ，２１Ａ，２１Ｂ
……信号線、２２，２３，２４……入力端子、２
５……補正回路、２６Ｙ，２６Ｚ，２７Ｘ，２７
Ｚ，２８Ｘ，２８Ｙ……信号線。
電駆動部材の斜視図と共に示すブロツク図、第２
図は実験のために試作した本実験にかかる圧電駆
動部材の寸法を説明するための斜視図、第３図は
従来の圧電駆動体の原理的構成を一例として示す
斜視図である。 １……圧電性部材、２……金属電極、１０……
駆動部材、１１……切欠き部、１２……頂点、１
３，１４，１５……圧電駆動部、１３Ａ，１４
Ａ，１５Ａ……電極、１６，１７，１８……壁
部、１９，２０，２１……駆動電圧発生回路、１
９Ａ，１９Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ，２１Ａ，２１Ｂ
……信号線、２２，２３，２４……入力端子、２
５……補正回路、２６Ｙ，２６Ｚ，２７Ｘ，２７
Ｚ，２８Ｘ，２８Ｙ……信号線。
Claims (1)
- １ 直方体形状の圧電駆動部材に対向電極を設
け、該対向電極に電圧を印加することにより電圧
の印加方向とは直角な方向に変位を発生させ、そ
の変位により前記圧電駆動部材の変位方向の移動
が制御される微動装置において、１つの頂点１２
から互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向
の３つの方向に向けてそれぞれ延在された３つの
直方体形状をなす圧電駆動部１３，１４，１５
と、該３つの圧電駆動部１３，１４，１５の延在
された側の端部がそれぞれ固定される壁部１６，
１７，１８とが切り欠き部１１を設けることで形
成された、前記個々の圧電駆動部１３，１４，１
５に設けた電極１３Ａ，１４Ａ，１５Ａに前記延
在された方向と直角をなす方向に電圧の印加が可
能な圧電駆動部材１０と、前記３つの圧電駆動部
１３，１４，１５に供給する前記電圧の発生手段
１９，２０，２１と、前記圧電駆動部１３，１
４，１５の１つに前記１つの電圧が印加されたと
きに、前記圧電駆動部１３，１４，１５の延在方
向に直角な他の２つの方向の変位を補正する手段
２５とを備えたことを特徴とする微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060451A JPS61219549A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060451A JPS61219549A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219549A JPS61219549A (ja) | 1986-09-29 |
| JPH039713B2 true JPH039713B2 (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=13142648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60060451A Granted JPS61219549A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61219549A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0722876B2 (ja) * | 1987-06-24 | 1995-03-15 | 新技術事業団 | 研削用ワークテーブル装置 |
| JPH01126176A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ用振動子 |
| JPH01126177A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ用振動子 |
| JPH01127903A (ja) * | 1987-11-12 | 1989-05-19 | Jeol Ltd | 試料移動機構を備えた走査トンネル顕微鏡 |
| US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
| JP4895677B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2012-03-14 | パナソニック株式会社 | ３軸工具ユニットおよび加工装置 |
| JP4762194B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2011-08-31 | パナソニック株式会社 | 加工装置、および加工方法 |
| JP5875109B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-02 | 国立大学法人茨城大学 | 多次元発電装置 |
| CN109702500B (zh) * | 2019-01-30 | 2021-03-09 | 宁波大学 | 两转动一平动大行程低厚度大中空并联压电微动平台 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP60060451A patent/JPS61219549A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61219549A (ja) | 1986-09-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |