JPH0395410A - 電気的信号測定値の論理判定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 本発明は電気的信号測定値の論理判定方法に関し、測定
された複数の絶対値が不定な電気的信号測定値に対して
有効な閾値を設定して論理判断を正確に行うことを目的
とし、 変動する電気的信号測定値を高レベル部分と低レベル部
分とに区分して論理判定を行う方法において、 （１〉測定された全ての信号値を或る可変閾値γで区分
し、該閾値γ以上当該信号測定値を有する第１の測定値
グループ１と該閾値ｒ以下の当該信号測定値を有する第
２の測定値グループ２とに分けること （２）当該各グループにおいて各グループ内の電気的信
号測定値についてその平均値Ｖａｖ（ｒ）と各グループ
内の電気的信号測定値と該平均値Ｖａｖ　（γ）との差
分の二乗和Ｖｃｓｑ（ｒ）とを求めること、 （３）各グループの当該信号測、定値の平均値の差分δ
（δ＝　ｌ　ＶａｖＨｒ）　一Ｖａｖ２（ｒ）　　ｌ　
）と当該信号測定値の差分の二乗和の和で表わされる閾
値評価量Ｄｓ（ｒ）（Ｄｓ（ｒ）　一Ｖｃｓｑｌ　（ｒ
）　＋Ｖｃｓｑ２（ｒ））とを求めること、 （４〉該信号測定値の差分の二乗和の和Ｄｓ（ｒ）と当
該信号測定値の平均値の差分δとからＤｓ（γ）が極小
となる閾値（γ）であってかつδが最大となるγの値を
２値化の閾値（Ｔ７）として採用すること （５）該闇値（γ，）において第１の測定値グループ１
と第２の測定値グループ２の各平均値の差分δを信号測
定値分解能εで割った値を（α＝δ／ε）とする時α＞
α１である時は上記閾値（γ，）で２値化可能と判断し
該閾値（γＴ）を正式の閾値として採用し、又α〈α２
である時は信号測定値に時間的変化はないと判断ずるこ
と〈ここでα１とα２はそれぞれ予め定められる値であ
るα１　＞α２の関係にあるものとする）の各工程とか
ら構或される。

（３） （４） 〔産業上の利用分野〕 本発明は絶対値が不明で変動する電気的信号による測定
値から有効な閾値を容易に設定し正確かつ高精度の論理
判定を行いうる論理判定方法に関するものでありより具
体的には例えば電子ビームを用いてＬＳＩ内部配線の診
断を行う電子ビーム（ＥＢ）プローバ、或いは、レーザ
ーを用いてＬＳＩ内部配線の診断を行うレーザープロー
バを用いて測定される電圧に関する電気的信号測定値か
ら論理判定を行う方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来例えばＬＳＩ等の高密度集積回路における所定配線
部位の電位を測定する方法として電子ビームプローブ技
術が採角されており、かかる技術では、回路内の所定の
配線部分に電子ビームを照射しそこから発生される２次
電子の量を測定してチップ上の電位の分布や信号の時間
軸における変化を調べるものである。然しなからかかる
方法によって検出される電位に関する信号は相対値であ
って絶対値ではないため、２値化して論理判断ずるため
には有効な閾値を決定する必要があった。

従来、かかる方法においては、電気的信号測定値からＬ
ＳＩ内部配線の論理状態を判定するに際しては第５図に
示すようにある閾値電圧（γ）で分離される各々のグル
ープ内の電圧測定値（Ｖ（ｉ））とその平均値（Ｖａｖ
）の差分の二乗和Ｖ　ｖ　１　，　Ｖ　ｙ　２の和Ｄｓ
（ｒ）（Ｖｖ　＝ＶＶｌ＋ＶＶ２　：これを閾値評価量
と称する）を求め上記閾値評価量Ｄｓ（γ）が最小値を
取る閾値電圧（第５図におけるＸの領域でその中央部Ｘ
ｃを最適値として採用する）を実際の論理判定レベルと
して論理判定を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

このような従来の方法において、得られる測定電圧信号
が高レベルのグループと低レベルとのグループにある一
定の比率で分散分布している場合は問題が生じないが高
レベルのステート数と低レベルのステート数が大きく偏
った場合は、閾値レベルを誤って設定するという問題点
があった。第（５） （６） ６図（ａ）は２５００ステートの電圧波形の測定値の度
数分布、第６図（ｂ）は該度数分布から求めた闇値評価
量である。低レベルステートの状態数が２４９９で高レ
ベルステート状態数が１と大きく異なるために、閾値評
価量が低レペルステートの分布の中心（Ｙ）で最小とな
り２値化の闇値設定を誤ってしまう。

つまり閾値評価量Ｖｖが最小の処が最適な閾値であると
決定することは特に一方のレベルに測定値が傾り他のレ
ベルに僅かな数の測定値が存在しているような電気的信
号測定値の母集団に対しては、閾値評価量Ｖｖが第６図
（２）のＹに示すように低レベルの中心に設定されてし
まうためここを閾値とすることは論理判定を誤り極めて
危険である。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記従来技術の欠点を解決し、いかなる電気的
信号測定値の分布状態をもった母数団に対しても有効な
閾値を適格にかつ容易に設定でき、その電気的信号測定
値に対する正確でかつ精度の高い論理判定を行いうる方
法を提供しようとするものである。

本発明は上記した目的を達戊するために次のような各ス
テップからなる技術構或を採用するものである。即ち変
動する電気的信号測定値を高レベル部分と低レベル部分
とに区分して論理判定を行う方法において、 （１）測定された全ての信号値を或る可変閾値Ｔで区分
し、該閾値γ以上当該信号測定値を有する第１の測定値
グループ１と該閾値γ以下の当該信号測定値を有する第
２の測定値グループ２とに分けること （２）当該各グループにおいて各グループ内の電気的信
号測定値についてその平均値Ｖａｖ（Ｔ）と各グループ
内の電気的信号測定値と該平均値Ｖａｖ（ｒ）との差分
の二乗和Ｖｃｓｑ（γ）とを求めること、 （３）各グループの当該信号測定値の平均値の差分δ（
δ一　Ｖａｖ↓（ｒ）　−Ｖａｖ２（ｒ）　　）と当（
７） （８） 該信号測定値の差分の二乗和の和で表わされる閾値評価
量Ｄｓ（ｒ）（Ｄｓ（ｒ）　＝Ｖｃｓｑｌ　（ｒ）　＋
ＶＣＳＱ２（Ｔ〉〉とを求めること、 （４）該信号測定値の差分の二乗和の和Ｄｓ（γ〉と当
該信号測定値の平均値の差分δとからＤｓ（γ）が極小
となる閾値（γ）であってかつδが最大となるγの値を
２値化の閾値（γＴ）として採用すること （５）該閾値（γ，）において第１の測定値グループ１
と第２の測定値グループ２の各平均値の差分δを信号測
定値分解能εで割った値を（α＝δ／ε）とする時α＞
α１である時は上記閾値（ｒ，〉で２値化可能と判断し
該閾値（γＴ）を正式の閾値として採用し、又α＜α２
である時は信号測定値に時間的変化はないと判断するこ
と（ここでα１とα２はそれぞれ予め定められる値であ
りα１　＞α２の関係にあるものとする）の各工程とか
ら構或されている電気的信号測定値の論理判定方法であ
る。

本発明における論理判定方法は電子ビームプローブを用
いたＬＳＩ等の電位測定のみに限るものではなく、絶対
値が不定で変動する電気的信号化されて得られる電圧値
、電流値、抵抗値、その他の形で表わされる特性値デー
ターを論理判定する分野に適用しうるちのである。

〔作　用〕

本発明は上記したような技術構或を採用していることに
よって、閾値の決定に複数の判定手法を導入し、有効な
闇値を正確にかつ迅速に決定出来、それによって論理判
断を正確にかつ高精度に実施することが出来る。

〔実施例〕

本発明に係る電気的信号測定値の論理判定方法について
以下に具体的に説明する。

本発明の原理は、従来における閾値決定方法が単に閾値
評価量Ｖｖにおける極小値点のみをもって最適閾値と決
定していたのに対し、かかる閾値評価量の極小点が１個
だけ出現する場合の他第６（９） （１０） 図に示すよう１′−複数個出現する場合も考慮して、仮
に決定した閾値γにより区別した各グループにおける平
均値の差分δが最大となる方の極小値、具体的にδの値
が大きい方の極小値を２値化の閾値と決定するとともに
、更に、このようにして決定した２値化閾値が有効かど
うかの判断を別に行うものであり、そのために、各グル
ープの平均値の差分δと分解能εとの比α（α＝δ／ε
）を導入するものであり、αが所定の値αより大であれ
ばその閾値は有効なものとして採用し、所定の値α２（
但しα１　＞α２）より小であれば、その測定値は時間
的に変動しておらずほぼ固定されたものであると判断し
、その閾値で２値化することは不可能と判断することに
している。尚αがα１　＞α＞α２である時は闇値とし
ての有効性が判断しえないとし、更にデーターの分析を
当該判断が可能となるまで繰り返すものである。ここで
分解能εとは、電気的信号測定値の各グループにおける
分布の幅の２分の１に相当するものであって通常は３σ
とする。

この関係をもう少し詳細に説明すると、第７図に示すよ
うに、例えば 電子ビームプローバ（ＥＢプローバ）、レーザープロー
バ等を用いて測定して得られる、複数のＬＳＩ動作タイ
ミングにおける絶対値が不定なＬＳＩ内部配線の電圧測
定値（電圧波形）を高レベル部分と低レベル部分に論理
判定する方式において、 ＬＳＩの配線電圧をＥＢプローバで測定した電圧波形の
電圧測定値の度数分布は、配線電圧が高レベルあるいは
低レベルに固定されている場合は第７図（ａ）に示すよ
うに１つのピークを持ち２６程度の幅に広がるガウス分
布で近似され、配線電圧が高レベルと低レベルの２つの
ステートで変化する場合は第７図（ｂ）に示すように広
がりが２ε程度で各々のステートの状態数に比例した面
積を持つ２つのガウス分布の重ね合わせで近似される。

次に本発明に係る２値化閾値の設定方法と２値化閾値の
有効性の判定方式について第１図の原理（１１〉 （１２） 図を参照しながら説明する。

尚以下の具体例は電気的信号測定値としてＥＢブローバ
により得られる電圧値を取り扱う場合について説明する
が、本発明はこれに限定されるものではないことは前述
した通りである。

即ち、本発明においてはまずｎ個のステートからなる電
圧信号Ｖ（ｉ）（ｉ＝１．　　２．＝・，ｎ）が得られ
、かつ、その′度数分布は第１図（’ａ）のようであっ
たとすると、Ｖｉの最大値Ｖｍａｘと最小値Ｖｍｉｎと
の間の適宜な電圧値を仮の閾値γとして定め（Ｖｍｉｎ
　＜　７　＜　ＶｍａＸ）、その時の閾値ＴによりＶ（
１〉　を２値化し高レベルのグループ１と低レベルのグ
ループ２とに区分し、次で各グループ毎にグループ内の
測定値数ｎ、平均値Ｖａｖ　（γ）及び各グループの平
均値からの差分の二乗和Ｖｃｓｑ（γ）とを求める。

つまり高レベルグループ１においては高レベルグループ
１の個数ｎ１、高レベルグループ１の電圧平均値Ｖａｖ
１（γ）と高レベルグループｌの平均値からの差分の二
乗和Ｖｃｓｑｌ　（ｒ）は次のようになる。

ｎｌ＝Σ１（１） １−１（ＶＨ）　　　） ＶａｖＨｒ）一ΣＶ（ｉ）　　／ｎ　１　　　　　　　
　　（２）１−１（ｖ（Ｌ）　　　） Ｖｃｓｑｌ　（ｒ）　＝”，ｑ，（Ｖ，（占−ＶａｖＨ
ｒ））’　（３）又同様に、低レベルグループ２の個数
ｎ２、低レベルグループ２の電圧平均値Ｖａｖ２（γ）
と低レベルグループ２の平均値からの差分の二乗和ＶＣ
ＳＱ２（γ）は次のようになる。

Ｔ１２＝Σ１（４） １−１　（Ｖ（１）＜　　） Ｖａｖ２（ｒ）　＝ΣＶ（ｉ）　／ｎ　２　　　　　　
　　（５）１−１（Ｖ（１）＜　） Ｖｃｓｑ２　（ｒ）　＝”，５，５．３（，ｉ＞　，−
Ｖａｖ２（ｒ））２（６）本発明では上記に示す各パラ
メーターをＴの値をＶｍｉｎからＶｍａｘの間の全域に
ついてそれぞれ算定し適宜のメモリーに記憶する。

次にかくして得たパラメーターより、下記に示す閾値評
価量Ｄｓ（γ）を計算し、該閾値評価量（１３） （１４） Ｄｓ（γ〉が極小となるＴの値を求める。

閾値評価量Ｄｓ（ｒ）　＝Ｖｃｓｑｌ　（ｒ）　＋Ｖｃ
ｓｑ２　（ｒ）（７） 即ち該閾値評価量Ｄｓ（ｒ）は各グループ１と２の各測
定値と平均値との差の２乗和の和を示すものであって、
分布の拡がりの程度を表わす値であり、この値が小さい
ことは各々のグループの測定値の分布がコンパクトにま
とまっていることを示すものである。第１図（ｂ）は第
１図（ａ）の度数分布をもつ測定値に対してγをＶｍｉ
ｎからＶｍａｘの間に亘って変化させた時に得られるＤ
ｓ（γ）のグラフであり極小値が闇値評価量グラフＤｓ
（γ）のＷ点と同Ｚ域の２ケ所に出現していることが判
る。

そこで前者をγ２、後者の中心部Ｚｃをγ１とする。勿
論この閾値評価量Ｄｓ（ｒ）は第５図（ａ）の度数分布
を持つ測定値について適用した場合には第５図（ｂ）に
示すものと同様のグラフが得られることは当然であり、
この際は極小値は１個しか出現しないので、２値化閾値
を誤って判断することはない。然しながら前記のように
閾値評価量Ｄｓ（γ）の極小値が複数個処に出現した時
にはいづれの極小値を２値化閾値として採用するかは重
要な問題であり、本発明では次のようにして選択する。

即ちＤｓ（ｒ）が極小となるγが複数個存在する場合は
、上記Ｔのうち各グループ１及び２における平均値の差
δ、δ−Ｖａｖ１（γ）　一Ｖａｖ２（ｒ）が最大とな
るＴを２値化闇値とする。このように、２値化閾値の設
定をＤｓ（γ）とＶａｖ１（γ）　一Ｖａｖ２　（Ｔ）
を併用して行うことにより、Ｄｓ（γ）のみを用いた判
定では、闇値設定を誤ってしまう場合であっても正しく
閾値を設定可能である。

つまり本発明においては、各グループの平均電圧値Ｖａ
ｖ１とＶａｖ２との差が最も大きくなるようなＴの値を
極小値として選択するものであり具体的には、複数の極
小値が出現した時にはＴの値が大きい方の極小値を２値
化閾値として選択しようとするものである。この場合γ
１（第１図（ｂ）中２１点）を最適閾値として採用する
ものである。

第１図｛ａ）と（ｂ）について更に説明すると、第１図
（ａ）は第６図（ａ）と同じような度数分く１５） （１６） 布をもった測定値が得られたものであり、１個の測定値
のみが他のグループと離れて高電圧レベルを有した状況
となっている。

第１図（ａ）中Ｖｌａｖ（ｒ２）は２値化閾値Ｔとして
低電圧グループ２のほぼ平均値に近い値Ｔ２に設定して
みた時の低レベルグループ２の平均電圧でありＶ　ｈａ
ｖ　（γ２）は同じ条件での高電圧グループ１の平均電
圧を示す。

又Ｖｌａｖ（γ１）は２値化閾値Ｔとして両グループの
ほぼ中間に近い電圧値Ｔ１　に設定してみた時の低レベ
ルグループ２の平均電圧でありＶｈａｖ（γ１）は同じ
条件での高電圧グループ１の平均電圧である。

本発明においては係る選定方式のみでは両グループの分
布が重り合っている場合もあってその場合には２値化閾
値としては十分な有効性を発揮しないおそれもあるため
、上記の選定方法に加えて以下のような２値化閾値Ｔの
有効性判定を取り入れるものである。

即ち選定しようとする２値化閾値をＴとした時、前述の
各グループの平均電圧値の差δ即ちδ＝Ｖａｖｌ（γ）
−Ｖａｖ２（ｒ） と電圧測定値の電圧分解能ε　〈３σ値〉の比αを用い
る事により、電圧測定値の度数分布のピーク数を判定す
る。

ａ一（Ｖａｖ１（γ）　−Ｖａｖ２（ｒ＞）／　Ｅ　　
　　　（８）つまり上記判定を行うことによって、各グ
ループの測定値の分布が、分解能に対して十分分離され
ているか否かを識別するものであって、実験で確認した
結果１つの具体例としてα〉３．８である場合にはその
閾値Ｔは有効で高レベルグループ１と低レベルグループ
２とを確実に分離し論理判定を正確に行うことが出来る
ことが判った。又αが１．２以下である場合にはその配
線においては論理レベルが固定されていて闇値電圧を設
けることは無効であることを示すものである。つまりα
く１．２であれば、分布のヒストグラムは１つのガウス
分布のみで（単一のピークしかない）あってその中心を
しきい値として切ってはまずいケースであることを示す
ものである。

この場合には２値化閾値を設定しないという判（１７） （１８） 断を行うことになる。

又１．２≦α≦３．８の状態では電圧分解能εが低いた
めに２つのピークの分布が重なり有って分離できない場
合であり、電圧信号値を２値化するには測定を更にくり
返してｓ　／　ｎを向上する必要がある場合である。

勿論本発明においてα１の値とα２の値は適宜変化しう
るものである。次に本発明を実施する方法の具体例を、
第２図の回路ブロック図と第３図及び第４図のフローチ
ャートに従って説明する。第２図は本発明の方法を実施
するための回路構戊の概略を説明するブロックダイアグ
ラムである。

第２図において電子ビーム鏡筒１内に電子銃４、電子ビ
ームパルスゲー｝　（ＥＢパルスゲート）５、該電子ビ
ーム鏡筒１内の試料室３に被検査用ＩＣ２が設けられ、
電子銃４から発生させた電子ビーム６　　（ＥＢ）をＥ
Ｂパルスゲートドライバ７により駆動されるＥＢパルス
ゲート５の走査によりパルス化し被検査用ＩＣ２の所望
の部位に照射せしめる。一方該被検査用ＩＣは電子ビー
ム鏡筒ｌに外部に設けたＩＣドライバ１０により所望の
部位の電位を適宜変化せしめられるので、ＥＢが照射さ
れた場合その部位の電位に応じた量の二次電子（Ｅ）が
放出され検出器８でその量を検出し、二次電子信号ＤＨ
として信号処理回路９に送られる。

かかるシステムでは二次電子の検出量がＩＣのその時の
電位に比例するという前提で処理される。

信号処理回路９で例えば電圧値に変換された信号は制御
用計算機１３に送られ上記した処理を行い、２値化閾値
を決定し論理判定を行いその結果又は必要に応じ処理工
程の途中結果ＯＰを表示装置１４に表示する。

一方ＥＢパルスゲートドライバ７はＥＢパルストリガ発
生回路１２から発生されるＥＢパルスを適宜の遅延回路
１１を介して入力されるストローブ信号ＳＴにより制御
される。

又借号処理回路９とＥＢパルストリガ発生回路１２とは
ＩＣドライバ１０からクロック信号ＣＫと周期トリガ信
号によりＩＣドライバ１０と周期して作動する。尚信号
処理回路９には遅延回路からのスト（１９） （２０） ローブ信号Ｓ，も入力されており二次電子信号の検出タ
イミングをこれに同期させている。

上記の如き回路を用いて本発明を実行するための具体的
手順の１例を第３図のフローチャートに沿って説明する
。

まず被検出用ＩＣの所望の部位が選択されそこにＩＣド
ライバー１０より“Ｈ”か“′Ｌ″のいづれかの電位を
付与し、次でＥＢパルスゲートドライバー７が作動して
その選択されたＩＣの部位に電子ビームＥＢが照射され
、二次電子Ｅが放出される。

放出された二次電子を検出器８で検出しその量から所定
の関係式を用いて電圧値に変換される。そこでスタート
　（ステップ（ａ））に際し後述の検出された電圧値を
加算平均するため加算平均回路を初期化しておく。（ス
テップ（ｂ））この場合初期値として予め定めた適宜の
値を入力しておくことも出来る。

次に制御用計算機（以下ＣＰＵと云う）１３より測定回
路を起動させ検出回路を介して電圧波形をうる（ステッ
プ（Ｃ）〉。次に測定装置からの電圧値を読み込み加算
平均を行う（ステップ（ｄ）〉。これは電圧値の時間的
変化を見るためのものである。

次で加算平均した電圧値の電圧分解能εを算出する。　
（ステップ（ｅ）） このεは出来るだけ小さいことが好ましい。次に上記の
ように加算平均した電圧値の度数分布を求め（ステップ
（ｆ））、更に度数分布から２値化閾値評価量Ｄｓ（ｒ
）を求める。（ステップ（ｇ））。

その後該Ｄｓ（γ）が極小値をとり、かつ、高レベルグ
ループ１と低レベルグループ２の平均値電圧差δが最大
となるような２値化閾値ｒを設定ずるくステップ（ｈ）
）。

その後両グループの平均電圧の差δと電圧分解能εとの
比α（α一δ／ε）を計算しくステップ（ｌ）〉、予め
定めたαの値α１とα２（ここでα＞α２とする）を用
意しておき、まず得られたαがα１より大であるかを判
断しくステップ（］）〉ＮＯであれば次にαがα２より
小であるかを判断する（ステップ（ｋ））。もしステッ
プ（ｋ）でＮ○であれば、測定データは高レベルグルー
プと（２１） （２２〉 低レベルグループとが重り合っていて２値化閾値を判断
しえないか、データの数が少く変動が多すぎる状態にあ
るため更に測定データを増しＳ／Ｎ比を向上させるため
ステップ（Ｃ）に戻って上記各ステップを繰返す。この
工程はＥＢビームをストロボ式に照射することによって
実施される。

ステップ（ｊ）でＹＥＳであればその時のγを閾値とし
て選択し電圧値を２値化して論理判定を行い（ステップ
（ｌ））その工程を終了する。一方ステップ（ｋ）でＹ
ＥＳの場合には配線電圧の時間的変化は無く配線電圧は
高レベル又は低レベルのいづれか一方に固定されている
と判断し、２値化操作は行わず（ステップ（ｍ））ｉＰ
，％了する。

又測定装置自体の動作シークエンスの例を第４図に示し
ておく。

まず、制御ＣＰ［Ｉ　１３から起動要求があるか否かを
判断する（ステップ（ｂ））。

起動要求があれば（ステップ（ｂ）でＹＥＳ）検出器は
２次電子信号を取り入れ（ステップ（Ｃ））、その２次
電子信号にもとづき信号処理回路で電圧値に換算し適宜
のメモリーに記憶しておく　（ステップ（ｄ））。

次に制御ＣＰＵから電圧値の読出し要求があるか否かを
判定しくステップ（ｅ）〉、読み出し要求があれば制御
ＣＰＵに測定電圧値を送り出すくステップ（ｆ）＞（制
御ＣＰＵでは前述のフローチャートに従って処理が行わ
れる。） 次で制御ＣＰＵから終了要求が来ているか否かを判断し
くステップ（ｇ））、ＹＥＳであれば終了し、ＮＯであ
ればステップ（ｂ）に戻って上記各ステップを繰り返す
。

〔効　果〕

本発明の方法を使用することによって、絶対値が不明な
変動する電気的信号による測定値から有効な２値化闇値
を効率よく設定することが出来るので論理判定を正確に
かつ高精度に実施することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明の論理判定方法の原理を説明す（２３） （２４） る図である。 第２図は本発明の論理判定方法を実施するための装置の
１例を示すブロック図である。 第３図は本発明における論理判定方法を実行するための
手順の一例を示すフローチャートである。 第４図は本発明における測定回路の操作シークエンスの
一例を示すフローチャートである。 第５図は従来の方式における論理判定の例を説明する図
である。 第６図は従来の方式での論理判定における問題点を説明
する図である。 第７図は測定値の度数分布と分解能との関係を説明する
図である。 １・・・電子ビーム筒鏡、２・・・被検出ＩＣ，３・・
・試料室、　　　　４・・・電子銃、５・・・電子ビー
ムパルスゲート、 ６・・・電子ビーム、 ７・・・電子ビームパルスゲートドライバ、８・・・検
出器、　　　　９・・・信号処理回路、１０・・・ＩＣ
ドライバ、１１・・・遅延回路、１２・・・電子ビーム
パルス｝　ＩＪガ発生回路、１３・・・制御用計算機（
ＣＰ［Ｉ）、１４・・・表示装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、時間的に変化する電気的信号測定値を高レベル部分
   と低レベル部分とに区別して論理判定を行う方法におい
   て、 （１）測定された全ての信号値を或る可変閾値γで区別
   し、該閾値γ以上の当該信号測定値を有する第１の測定
   値グループ１と該閾値γ以下の当該信号測定値を有する
   第２の測定値グループ２とに分けること （２）当該各グループにおいて各グループ内の電気的信
   号測定値についてその平均値Ｖａｖ（γ）と各グループ
   内の電気的信号測定値と該平均値Ｖａｖ（γ）との差分
   の二乗和Ｖｃｓｑ（γ）とを求めること、 （３）各グループの当該信号測定値の平均値の差分δ（
   δ＝｜Ｖａｖ１（γ）−Ｖａｖ２（γ）｜）と当該信号
   測定値の差分の二乗和の和で表わされる閾値評価量Ｄｓ
   （γ）（Ｄｓ（γ）＝Ｖｃｓｑ１（γ）＋Ｖｃｓｑ２（
   γ））とを求めること、 （４）該信号測定値の差分の二乗和の和Ｄｓ（γ）と当
   該信号測定値の平均値の差分δとからＤｓ（γ）が極小
   となる閾値（γ）であってかつδが最大となるγの値を
   ２値化の閾値（γ＿Ｔ）として採用すること （５）該閾値（γ＿Ｔ）において第１の測定値グループ
   １と第２の測定値グループ２の各平均値の差分δを信号
   測定値分解能εで割った値を（α＝δ／ε）とする時α
   ＞α＿１である時は上記閾値（γ＿Ｔ）で２値化可能と
   判断し該閾値（γ＿Ｔ）を正式の閾値として採用し、又
   α＜α＿２である時は信号測定値に時間的変化はないと
   判断すること（ここでα＿１とα＿２はそれぞれ予め定
   められる値でありα＿１＞α＿２の関係にあるものとす
   る）の各工程とから構成されていることを特徴とする電
   気的信号測定値の論理判定方法。