JPH0395319U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例の縦断面図、第２
図は同実施例の作用説明図、第３図は本考案の第
２実施例の縦断面図、第４図は同実施例の横断面
図、第５図は従来の超微粒子搬送管装置の縦断面
図、第６図は同装置の横断面図である。 １……超微粒子製造装置、２……原料、３……
搬送用気体、４……混合気体、５，５Ａ，５Ｂ…
…搬送管、６……混合気体通路、７……後流設備
、８……付着超微粒子、９Ａ……複数の細孔を有
する管、９Ｂ……多孔質焼結金属管、１０……細
孔、１１……チヤンバ、１２……付着防止用気体
、１３……付着防止用気体供給設備、１４……調
整弁、１５……差圧計、１６Ｖ……内管、１６Ｗ
……外管、１６Ｘ……内管、１６Ｙ……外管、１
７……付着防止用気体導入管、１８……Ｏリング
、１９……フランジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 搬送管の内部において気体によつて超微粒子を
   搬送する超微粒子搬送管装置において、多数の微
   細孔を有する材料を用いて作られた内管と同内管
   の外側に間隔を保つて設けられた外管とによつて
   搬送管が構成され、かつ、外部から前記気体とは
   別の気体を前記内管と外管との間の空間に導入し
   同内管の微細孔を経由してその内側へ噴出させる
   装置を有することを特徴とする超微粒子搬送管装
   置。