JPH0393064U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0393064U JPH0393064U JP15209189U JP15209189U JPH0393064U JP H0393064 U JPH0393064 U JP H0393064U JP 15209189 U JP15209189 U JP 15209189U JP 15209189 U JP15209189 U JP 15209189U JP H0393064 U JPH0393064 U JP H0393064U
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- Japan
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- polished
- polishing
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例に係る研磨装置の一
部破断斜視図、第2図は第1図I−I線に沿つた
断面図、第3図は同実施例の研磨装置を用いた被
研磨物の被研磨面の研磨状態を示す要部拡大図、
第4図はFDD用磁気ヘツド装置の概略説明図、
第5図は従来の研磨装置の斜視図である。 100……被研磨物(FDD用磁気ヘツド)、
3……被研磨面(ヘツド面)、10……研磨シー
ト、11……保持体、12……張力付与部。
部破断斜視図、第2図は第1図I−I線に沿つた
断面図、第3図は同実施例の研磨装置を用いた被
研磨物の被研磨面の研磨状態を示す要部拡大図、
第4図はFDD用磁気ヘツド装置の概略説明図、
第5図は従来の研磨装置の斜視図である。 100……被研磨物(FDD用磁気ヘツド)、
3……被研磨面(ヘツド面)、10……研磨シー
ト、11……保持体、12……張力付与部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被研磨物を回転させながら被研磨面を研磨する
研磨装置であつて、 可撓性を有した研磨シートを保持する回転自在
の保持体と、該保持体に保持された上記研磨シー
トに張力を与える張力付与部とよりなることを特
徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15209189U JPH0393064U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15209189U JPH0393064U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0393064U true JPH0393064U (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=31698367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15209189U Pending JPH0393064U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0393064U (ja) |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP15209189U patent/JPH0393064U/ja active Pending