JPH01143347U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143347U JPH01143347U JP3865388U JP3865388U JPH01143347U JP H01143347 U JPH01143347 U JP H01143347U JP 3865388 U JP3865388 U JP 3865388U JP 3865388 U JP3865388 U JP 3865388U JP H01143347 U JPH01143347 U JP H01143347U
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- JP
- Japan
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- foamable material
- polishing holder
- liquid
- introduction path
- holder
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第
２図ａ及びｂは従来の研磨ホルダの一例を示す一
部断面斜視図及び縦断面図である。 １……ホルダ、２，７……ウエハマウンテイン
グアセンブリ、３……穴、４……導入路、５……
ウエハ、６……ホルダ、２１，７１……テンプレ
ート、２２，７２……マウンテイングマテリアル
、２３，７３……粘着シート。
２図ａ及びｂは従来の研磨ホルダの一例を示す一
部断面斜視図及び縦断面図である。 １……ホルダ、２，７……ウエハマウンテイン
グアセンブリ、３……穴、４……導入路、５……
ウエハ、６……ホルダ、２１，７１……テンプレ
ート、２２，７２……マウンテイングマテリアル
、２３，７３……粘着シート。
Claims (1)
- 発泡性材料に含ませた液体の表面張力を利用し
て被研磨物を保持する研磨ホルダにおいて、発泡
性材料内に気体又は液体を注入するための導入路
を備えたことを特徴とする研磨ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3865388U JPH01143347U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3865388U JPH01143347U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143347U true JPH01143347U (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=31265199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3865388U Pending JPH01143347U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143347U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018183848A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | チャック装置 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP3865388U patent/JPH01143347U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018183848A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | チャック装置 |