JPH038965Y2 - - Google Patents
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- JPH038965Y2 JPH038965Y2 JP2327785U JP2327785U JPH038965Y2 JP H038965 Y2 JPH038965 Y2 JP H038965Y2 JP 2327785 U JP2327785 U JP 2327785U JP 2327785 U JP2327785 U JP 2327785U JP H038965 Y2 JPH038965 Y2 JP H038965Y2
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- Japan
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- insulator
- capacitance
- measured
- electrodes
- air
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- Expired
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 51
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は磁器コンデンサの容量媒体に用いられ
るグリーンシート等のシート状絶縁物の誘電特性
測定装置に関し、特にシート状の絶縁物に接触す
ることなく絶縁物の誘電特性が測定できる誘電特
性測定装置に関する。
るグリーンシート等のシート状絶縁物の誘電特性
測定装置に関し、特にシート状の絶縁物に接触す
ることなく絶縁物の誘電特性が測定できる誘電特
性測定装置に関する。
絶縁物の誘電特性値を計測するためには試料の
厚さを正確に測定する必要がある。この厚さの測
定は一般にダイヤルゲージ等の厚さ測定器により
絶縁物に測定端子を接触させる方法により行なわ
れている。この接触測定により脆いシート状の絶
縁物の厚さを測定する場合、接触面にキズを付け
る恐れがある。そこで、絶縁物に測定端子を接触
させることなく、誘電特性を測定することができ
る誘電特性測定装置が必要とされていた。
厚さを正確に測定する必要がある。この厚さの測
定は一般にダイヤルゲージ等の厚さ測定器により
絶縁物に測定端子を接触させる方法により行なわ
れている。この接触測定により脆いシート状の絶
縁物の厚さを測定する場合、接触面にキズを付け
る恐れがある。そこで、絶縁物に測定端子を接触
させることなく、誘電特性を測定することができ
る誘電特性測定装置が必要とされていた。
〔従来の技術〕
第４図は従来のシート状絶縁物の誘電特性測定
を示す模式図である。図において、ダイアルゲー
ジ２の測定端子を絶縁物１の両面に当接して絶縁
物１の厚さｔの測定が行なわれる。一方、絶縁物
１の静電容量Ｃは、電極３を絶縁物１の両面に当
接し、電極３に接続された静電容量計４により計
測される。この計測された静電容量Ｃと、絶縁物
１の厚さｔと、電極３の断面積Ａとより絶縁物１
の誘電率εはＣ×ｔ／Ａより計算して求めてい
る。
を示す模式図である。図において、ダイアルゲー
ジ２の測定端子を絶縁物１の両面に当接して絶縁
物１の厚さｔの測定が行なわれる。一方、絶縁物
１の静電容量Ｃは、電極３を絶縁物１の両面に当
接し、電極３に接続された静電容量計４により計
測される。この計測された静電容量Ｃと、絶縁物
１の厚さｔと、電極３の断面積Ａとより絶縁物１
の誘電率εはＣ×ｔ／Ａより計算して求めてい
る。
このように、絶縁物の静電容量Ｃと、厚さｔ
と、誘電率εをロツトごとに測定し、測定値より
絶縁物の重要特性である密度分布や厚さの良，否
を判定している。
と、誘電率εをロツトごとに測定し、測定値より
絶縁物の重要特性である密度分布や厚さの良，否
を判定している。
上記の測定方法においては、厚さの測定にダイ
アルゲージの測定端子を、また容量の測定に電極
をそれぞれ絶縁物の両面に当接する必要があり、
それがために、絶縁物にキズを付ける恐れがあ
る。そこで、絶縁物に測定端子を当接することな
く絶縁物の厚さや、静電容量の測定ができる測定
装置が必要となつた。
アルゲージの測定端子を、また容量の測定に電極
をそれぞれ絶縁物の両面に当接する必要があり、
それがために、絶縁物にキズを付ける恐れがあ
る。そこで、絶縁物に測定端子を当接することな
く絶縁物の厚さや、静電容量の測定ができる測定
装置が必要となつた。
本考案は上記問題点を解消したシート状絶縁物
の誘電特性測定装置を提供するもので、その手段
は、所定の間隔を持つてシート状絶縁物を挟んで
対向する１対の同軸状電極と、前記絶縁物に前記
各同軸状の電極間から空気を放射して前記絶縁物
を浮上静止せしめる空気放射機構と、前記放射空
気の背圧より前記各電極と前記絶縁物の表面間の
距離を計測する距離計測手段と、前記対向する両
電極間の静電容量を計測する静電容量計測手段を
備えてなるシート状絶縁物の誘電特性測定装置に
よつてなされる。
の誘電特性測定装置を提供するもので、その手段
は、所定の間隔を持つてシート状絶縁物を挟んで
対向する１対の同軸状電極と、前記絶縁物に前記
各同軸状の電極間から空気を放射して前記絶縁物
を浮上静止せしめる空気放射機構と、前記放射空
気の背圧より前記各電極と前記絶縁物の表面間の
距離を計測する距離計測手段と、前記対向する両
電極間の静電容量を計測する静電容量計測手段を
備えてなるシート状絶縁物の誘電特性測定装置に
よつてなされる。
上記の誘電特性測定装置は、所定の間隔を持つ
て被測定絶縁物を挟んで１対の同軸状電極を設
け、空気放射機構により空気を各同軸電極の電極
間を通して放射し、この放射空気圧によつて絶縁
物を両電極間に浮上せしめ、浮上した絶縁物が静
止する放射空気の背圧をエアーマイクロメータで
測定する。この背圧測定値より、各電極と絶縁物
の表面間の距離を算出し、算出した距離を前記の
電極間の所定間隔より減算して絶縁物の厚さを算
出する。
て被測定絶縁物を挟んで１対の同軸状電極を設
け、空気放射機構により空気を各同軸電極の電極
間を通して放射し、この放射空気圧によつて絶縁
物を両電極間に浮上せしめ、浮上した絶縁物が静
止する放射空気の背圧をエアーマイクロメータで
測定する。この背圧測定値より、各電極と絶縁物
の表面間の距離を算出し、算出した距離を前記の
電極間の所定間隔より減算して絶縁物の厚さを算
出する。
また、被測定絶縁物を挟んだ１対の電極間には
静電容量計が接続され、電極間の静電容量の測定
を行う。この測定容量値と、上記の各電極と絶縁
物の表面間の距離，絶縁物の厚さとより絶縁物の
静電容量および誘電率を算出する。
静電容量計が接続され、電極間の静電容量の測定
を行う。この測定容量値と、上記の各電極と絶縁
物の表面間の距離，絶縁物の厚さとより絶縁物の
静電容量および誘電率を算出する。
以下、図面を参照して本考案の誘電特性測定装
置の実施例を詳細に説明する。
置の実施例を詳細に説明する。
第１図は本考案の一実施例の誘電特性測定装置
の模式図、第２図は誘電特性測定装置の要部模式
図、第３図は静電容量測定を説明するための原理
図であり、全図を通して同一符号は同一部位を示
している。
の模式図、第２図は誘電特性測定装置の要部模式
図、第３図は静電容量測定を説明するための原理
図であり、全図を通して同一符号は同一部位を示
している。
第１図に示すように、一実施例の誘電特性測定
装置は、信号電極５１とアース側電極５２とが同
軸状に形成され、その一端が密閉され、他の一端
が中空となる状態となり、所定の間隔Ｌを持つて
シート状の被測定絶縁板１を挟んで中空端が対向
して設けられた１対の測定端子５と、測定端子５
に接続され測定端子５の中空端を通して被測定絶
縁物１の両面に風を放射する送風パイプ６２およ
び送風機６１とよりなる送風機構６と、両送風パ
イプ６２のそれぞれに接続されて被測定絶縁板１
の両面のそれぞれに放射される風の背圧を測定す
るエアーマイクロメータ７１，７２と、両測定電
極５１に接続されて両測定電極５１間の静電容量
を測定する容量計４とより構成されている。
装置は、信号電極５１とアース側電極５２とが同
軸状に形成され、その一端が密閉され、他の一端
が中空となる状態となり、所定の間隔Ｌを持つて
シート状の被測定絶縁板１を挟んで中空端が対向
して設けられた１対の測定端子５と、測定端子５
に接続され測定端子５の中空端を通して被測定絶
縁物１の両面に風を放射する送風パイプ６２およ
び送風機６１とよりなる送風機構６と、両送風パ
イプ６２のそれぞれに接続されて被測定絶縁板１
の両面のそれぞれに放射される風の背圧を測定す
るエアーマイクロメータ７１，７２と、両測定電
極５１に接続されて両測定電極５１間の静電容量
を測定する容量計４とより構成されている。
送風機６１より送られた風は矢印に示すように
両送風パイプ６２および測定端子５の中空部を通
つて測定端子の中空端より被測定絶縁物１の両面
に放射される。
両送風パイプ６２および測定端子５の中空部を通
つて測定端子の中空端より被測定絶縁物１の両面
に放射される。
次に、第２図に示すように、被測定絶縁物１は
放射された風圧によつて両測定端子５間に浮上し
て静止する状態となる。この浮上して静止した状
態の背圧をエアーマイクロメータ７１および７２
で測定し、被測定絶縁物１の両面と該両面に対向
する測定端子５間の距離H1およびH2を計測し、
計測した距離H1，H2を両測定端子５の間隔Ｌよ
り減算して被測定絶縁物１の厚さｔを算出てい
る。
放射された風圧によつて両測定端子５間に浮上し
て静止する状態となる。この浮上して静止した状
態の背圧をエアーマイクロメータ７１および７２
で測定し、被測定絶縁物１の両面と該両面に対向
する測定端子５間の距離H1およびH2を計測し、
計測した距離H1，H2を両測定端子５の間隔Ｌよ
り減算して被測定絶縁物１の厚さｔを算出てい
る。
第３図に示すように、断面積Ａ持つた信号電極
５１間に被測定絶縁物１を挿入した場合の各静電
容量は、C1＝Ａ×ε0（真空誘電率）／H2，C2＝
Ａ×ε0×ε1（被測定絶縁物１の誘電率）／ｔ，C3
＝C1＝Ａ×ε0／H1，となる。
５１間に被測定絶縁物１を挿入した場合の各静電
容量は、C1＝Ａ×ε0（真空誘電率）／H2，C2＝
Ａ×ε0×ε1（被測定絶縁物１の誘電率）／ｔ，C3
＝C1＝Ａ×ε0／H1，となる。
Cab＝１／（１／C1＋１／C2＋１／C3）＝Ａ×
ε0／Ｌ−ｔ（１−１／ε1）となる。
ε0／Ｌ−ｔ（１−１／ε1）となる。
上記の各容量算出式に容量計４により計測され
たCabの静電容量値と、測定電極間隔Ｌと、測定
電極断面積Ａと、被測定絶縁物１の厚さｔを代入
して被測定絶縁物１の静電容量C1と、誘電率ε1
を算出している。
たCabの静電容量値と、測定電極間隔Ｌと、測定
電極断面積Ａと、被測定絶縁物１の厚さｔを代入
して被測定絶縁物１の静電容量C1と、誘電率ε1
を算出している。
なお、Cabの静電容量は算出式に示すように被
測定絶縁物１の両面と各測定電極５１との間隔
H1，H2に影響されないため正確な誘電率ε1を算
出することができる。
測定絶縁物１の両面と各測定電極５１との間隔
H1，H2に影響されないため正確な誘電率ε1を算
出することができる。
以上説明したように本考案によれば、同軸状電
極間を通して空気をシート状絶縁物の両面に放射
し、両電極間に絶縁物を浮上した状態で絶縁物の
誘電特性を測定することにより、従来の測定方法
での絶縁物に測定端子を当接することによる絶縁
物のキズの発生がなくなる。
極間を通して空気をシート状絶縁物の両面に放射
し、両電極間に絶縁物を浮上した状態で絶縁物の
誘電特性を測定することにより、従来の測定方法
での絶縁物に測定端子を当接することによる絶縁
物のキズの発生がなくなる。
第１図は本考案の一実施例の誘電特性測定装置
の模式図、第２図は誘電特性測定装置の要部模式
図、第３図は静電容量測定を説明するための原理
図、第４図は従来のシート状絶縁物の誘電特性測
定を示す模式図である。 図において、１は被測定絶縁物、２はダイアル
ゲージ、３は電極、４は容量計、５は測定端子、
５１は信号電極、５２はアース側電極、６は送風
機構、６１は送風機、６２は送風パイプ、７１，
７２はエアーマイクロメータをそれぞれ示してい
る。
の模式図、第２図は誘電特性測定装置の要部模式
図、第３図は静電容量測定を説明するための原理
図、第４図は従来のシート状絶縁物の誘電特性測
定を示す模式図である。 図において、１は被測定絶縁物、２はダイアル
ゲージ、３は電極、４は容量計、５は測定端子、
５１は信号電極、５２はアース側電極、６は送風
機構、６１は送風機、６２は送風パイプ、７１，
７２はエアーマイクロメータをそれぞれ示してい
る。
Claims (1)
- 所定の間隔を持つてシート状絶縁物を挟んで対
向する１対の同軸状電極と、前記絶縁物に前記各
同軸状の電極間から空気を放射して前記絶縁物を
浮上静止せしめる空気放射機構と、前記放射空気
の背圧より前記各電極と前記絶縁物の表面間の距
離を計測する距離計測手段と、前記対向する両電
極間の静電容量を計測する静電容量計測手段を備
えてなることを特徴とするシート状絶縁物の誘電
特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2327785U JPH038965Y2 (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2327785U JPH038965Y2 (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61155711U JPS61155711U (ja) | 1986-09-27 |
| JPH038965Y2 true JPH038965Y2 (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=30516369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2327785U Expired JPH038965Y2 (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038965Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7094513B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2022-07-04 | ユニパルス株式会社 | 厚み測定装置 |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP2327785U patent/JPH038965Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61155711U (ja) | 1986-09-27 |
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