JPH0389481A - 気密端子の封着方法 - Google Patents
気密端子の封着方法Info
- Publication number
- JPH0389481A JPH0389481A JP1226738A JP22673889A JPH0389481A JP H0389481 A JPH0389481 A JP H0389481A JP 1226738 A JP1226738 A JP 1226738A JP 22673889 A JP22673889 A JP 22673889A JP H0389481 A JPH0389481 A JP H0389481A
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- terminals
- terminal
- jig
- sealing
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- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 21
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 8
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Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は気密端子の封着方法、特に赤外線検出器デユ
ア等の金属外筒の内側でL字形に曲がった(/○端子の
封着方法に関するものである。
ア等の金属外筒の内側でL字形に曲がった(/○端子の
封着方法に関するものである。
[従来の技術]
一般に赤外線検出器は、第7図に示すようにステム(1
)、赤外線透過材料であるウィンドウ〈2〉をシールガ
ラス(3)で端面に接着した外筒<4〉、赤外線検出素
子(5〉を搭載したパッケージ(6)を上端部に設置し
た内筒<7〉等でデーワ構造の容器を構成している。ま
た、赤外線検出素子の信号は、IJ−ド線(8)を通し
てシールガラス(9)で気密封止された端子(/O〉か
ら外部に取り出すことができる。ガラス封着体の製造方
法として、 特公昭62−53458号公報に、また、
気密端子の製造方法として、特公昭55−34584号
公報に示されているが、高感度及び高解像度を達成する
ために赤外線検出素子が多素子化されると、素子数に対
応して多数のインナーリード線、さらには多数のI/O
端子が必要にねる。
)、赤外線透過材料であるウィンドウ〈2〉をシールガ
ラス(3)で端面に接着した外筒<4〉、赤外線検出素
子(5〉を搭載したパッケージ(6)を上端部に設置し
た内筒<7〉等でデーワ構造の容器を構成している。ま
た、赤外線検出素子の信号は、IJ−ド線(8)を通し
てシールガラス(9)で気密封止された端子(/O〉か
ら外部に取り出すことができる。ガラス封着体の製造方
法として、 特公昭62−53458号公報に、また、
気密端子の製造方法として、特公昭55−34584号
公報に示されているが、高感度及び高解像度を達成する
ために赤外線検出素子が多素子化されると、素子数に対
応して多数のインナーリード線、さらには多数のI/O
端子が必要にねる。
[発明が解決しようとする課題コ
赤外線検出器の主な利用箇所として人工衛星、ミサイル
及び航空機等の制限された容積空間に電子機器を高密度
に搭載するシステムがある。従来の気密端子の封着方法
は上記のように構成されているので、このようねシステ
ムに搭載される場合、赤外線検出器は寸法、または形状
の制限を受けるため、 I/O端子をステムの側面部か
ら横出しすることが不可欠ね場合があり、このとき、
I/O端子はステムの内側でL字形に曲げられた形状と
ねる。構造上、端子を封着後に曲げることができねい横
出しハーメチック端子の製作においては、治具を使用せ
ずガラスペーストを塗布して封着を行ったとき、端子の
安定が悪く斜めに傾いたり、穴の中心位置からずれて気
密漏れや絶縁不良が起こるねどの課題があった。
及び航空機等の制限された容積空間に電子機器を高密度
に搭載するシステムがある。従来の気密端子の封着方法
は上記のように構成されているので、このようねシステ
ムに搭載される場合、赤外線検出器は寸法、または形状
の制限を受けるため、 I/O端子をステムの側面部か
ら横出しすることが不可欠ね場合があり、このとき、
I/O端子はステムの内側でL字形に曲げられた形状と
ねる。構造上、端子を封着後に曲げることができねい横
出しハーメチック端子の製作においては、治具を使用せ
ずガラスペーストを塗布して封着を行ったとき、端子の
安定が悪く斜めに傾いたり、穴の中心位置からずれて気
密漏れや絶縁不良が起こるねどの課題があった。
この発明は上記のようね課題を解消するためになされた
もので、ハーメチック端子を所定の位置に気密、かつ電
気的に絶縁して封着することを目的とする。
もので、ハーメチック端子を所定の位置に気密、かつ電
気的に絶縁して封着することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
この発明に係る気密端子の封着方法は、外筒壁面部に設
けた貫通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレットを
介してI/O端子を貫通させて、これを放射状に高密度
に配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを電
気炉中で加熱融着した気密性、かつ、絶縁性の封着気密
端子で、上記端子が上記金属外賄の内側でL字形に屈曲
しているものである。
けた貫通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレットを
介してI/O端子を貫通させて、これを放射状に高密度
に配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを電
気炉中で加熱融着した気密性、かつ、絶縁性の封着気密
端子で、上記端子が上記金属外賄の内側でL字形に屈曲
しているものである。
[作 用コ
この発明における気密端子の封着方法は、外筒壁面部に
設けた貫通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレット
を介して1/O端子を貫通させて、これを放射状に高密
度に配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを
電気炉中で加熱融着した気密性、かつ絶縁性の封着気密
端子で、上記端子が上記金属外箱の内側でし字形に屈曲
しているため、ハーメチック端子を所定の位置に気密、
かつ、電気的に絶縁して封着することができる。
設けた貫通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレット
を介して1/O端子を貫通させて、これを放射状に高密
度に配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを
電気炉中で加熱融着した気密性、かつ絶縁性の封着気密
端子で、上記端子が上記金属外箱の内側でし字形に屈曲
しているため、ハーメチック端子を所定の位置に気密、
かつ、電気的に絶縁して封着することができる。
[実施例]
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
実施例1
第1図はこの発明の一実施例である封着前の組み立て状
態を示す断面図。第2図(a)(b)(c)はそれぞれ
組立治具の斜視図である。赤外線検出器において、L字
形に曲がったI/O端子を側面に取iJ付け、封着した
構造のステムを製作する場合、ステム<1)は直径40
mmのコバール棒(例えばKV−2,住良特殊金属製)
を長さ14.5mmに切断し、中をくりぬき肉厚2mm
の円筒とし、側面円周上に直径 1 、7 mmの穴を
19個あけことによって製作する。また、 I/O端子
(lO〉は同じコバール製で直i0.43mmのワイヤ
ーを22mmに切断し、端から/Ommのところで直角
に曲げることによって製作する。更にあらかじめコパー
ル封着用ガラス(例えばT436. 音域硝子製)を
外径 1.5mm、内i/O.5mmのパイプ状に成形
し、これを約2mmに切断したちの〈11〉に上記り字
形端子(/O〉を通し、端子の端から5mmのところに
、上記ガラスタブレッ1−(11)をセットする。次に
第2図(C)に示したカーボン製の環状治具り12)の
上面部に設けた溝(12n)にI/O端子(/O)を嵌
め込むようにしてステム〈1〉を七ツトシ、底面に19
個の溝(13a)を設けたカーボン製治具(13〉を上
からかぶせる、更に上記治具(13〉の上部穴の周辺に
設けられた溝<13b)に端子を嵌め込み、蓋状治具(
14〉をかぶせて第1図のように組み立てる。次にこの
ようにセットしたものを電気炉中で450°Cに加熱し
て/O分間保持し、320°Cでアニールを行い室温ま
で冷却することによって、クラックもなく所定の位置で
気密封止されたI/O端子を製作する。
態を示す断面図。第2図(a)(b)(c)はそれぞれ
組立治具の斜視図である。赤外線検出器において、L字
形に曲がったI/O端子を側面に取iJ付け、封着した
構造のステムを製作する場合、ステム<1)は直径40
mmのコバール棒(例えばKV−2,住良特殊金属製)
を長さ14.5mmに切断し、中をくりぬき肉厚2mm
の円筒とし、側面円周上に直径 1 、7 mmの穴を
19個あけことによって製作する。また、 I/O端子
(lO〉は同じコバール製で直i0.43mmのワイヤ
ーを22mmに切断し、端から/Ommのところで直角
に曲げることによって製作する。更にあらかじめコパー
ル封着用ガラス(例えばT436. 音域硝子製)を
外径 1.5mm、内i/O.5mmのパイプ状に成形
し、これを約2mmに切断したちの〈11〉に上記り字
形端子(/O〉を通し、端子の端から5mmのところに
、上記ガラスタブレッ1−(11)をセットする。次に
第2図(C)に示したカーボン製の環状治具り12)の
上面部に設けた溝(12n)にI/O端子(/O)を嵌
め込むようにしてステム〈1〉を七ツトシ、底面に19
個の溝(13a)を設けたカーボン製治具(13〉を上
からかぶせる、更に上記治具(13〉の上部穴の周辺に
設けられた溝<13b)に端子を嵌め込み、蓋状治具(
14〉をかぶせて第1図のように組み立てる。次にこの
ようにセットしたものを電気炉中で450°Cに加熱し
て/O分間保持し、320°Cでアニールを行い室温ま
で冷却することによって、クラックもなく所定の位置で
気密封止されたI/O端子を製作する。
実施例2
実施例1と同様にして、ガラスタブレ−)l(11)ヲ
嵌めたL字形のコバール製I/O端子(/O)をコバー
ル製ステム(1)の側面の穴に通し、放射状にセットシ
たものを第4図(a)に示すように逆さにして円筒状の
カーボン治具(15〉にかぶせ、治具の上面部から内側
にかけて設けられた溝(15Q)にL字形端子(lO)
を合わせ、下から凸形のカーボン治具〈16〉を挿入し
て押さえる。これを電気炉中で実施例1と同様の温度条
件で封着することによって、クラックがねく所定の位置
で気密封止されたI/O端子を製作する。
嵌めたL字形のコバール製I/O端子(/O)をコバー
ル製ステム(1)の側面の穴に通し、放射状にセットシ
たものを第4図(a)に示すように逆さにして円筒状の
カーボン治具(15〉にかぶせ、治具の上面部から内側
にかけて設けられた溝(15Q)にL字形端子(lO)
を合わせ、下から凸形のカーボン治具〈16〉を挿入し
て押さえる。これを電気炉中で実施例1と同様の温度条
件で封着することによって、クラックがねく所定の位置
で気密封止されたI/O端子を製作する。
実施列3
実施例1と同様にして、ガラスタブレッI−<11)を
嵌めた1字形のコバール製I/O端子</O)をコバー
ル製ステム(1〉の側面部の穴に通し、放射状に七−)
1・したものを逆さにし、第6図に示したカーボン製治
具(17)の貫通穴<17a)に1/O端子をすべて通
し、さらに下部にカーボン治具(18〉を嵌めて第5図
のように組み立てる。これお電気炉中で実施例1と同様
の温度条件で封着することによって、クラックがkく、
所定の位置で気密封止されたI/O端子を製作する。
嵌めた1字形のコバール製I/O端子</O)をコバー
ル製ステム(1〉の側面部の穴に通し、放射状に七−)
1・したものを逆さにし、第6図に示したカーボン製治
具(17)の貫通穴<17a)に1/O端子をすべて通
し、さらに下部にカーボン治具(18〉を嵌めて第5図
のように組み立てる。これお電気炉中で実施例1と同様
の温度条件で封着することによって、クラックがkく、
所定の位置で気密封止されたI/O端子を製作する。
[発明の効果コ
以上のように、この発明によれば外筒壁面部に設けた貫
通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレ・))・を介
してI/O端子を貫通させて、これを放射状に高密度に
配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを電気
炉中で加熱融着した気密性、かつ、絶縁性の封着気密端
子で、上記端子が上記金属外筒の内側で1字形に屈曲し
ているように構成したので、多数の端子を所定の位置に
気密、かつ絶縁的に封着できる効果がある。
通穴に、パイプ状に成形したガラスタブレ・))・を介
してI/O端子を貫通させて、これを放射状に高密度に
配置し、封着治具とともに組み立て、上記ガラスを電気
炉中で加熱融着した気密性、かつ、絶縁性の封着気密端
子で、上記端子が上記金属外筒の内側で1字形に屈曲し
ているように構成したので、多数の端子を所定の位置に
気密、かつ絶縁的に封着できる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による封着治具を用いて製
造する場合の組み立て状態を示す断面図、第2図(a)
(bXc)は第1図の組み立てに用いられるそれぞれの
治具の斜視図、第3図はこの発明の他の実施例の封着治
具を用いて気密端子を製造する場合の組み立て状態を示
す断面図。第4図(a)(b)(c)は第3図の組み立
てに用いられるそれぞれの封着治具の斜視図、第5図は
二の発明の他の実施列の封着治具を用いて気密端子を製
造する場合の組み立て状態を示す断面図、第6図<a>
(b)は第5図の組み立てに用いられるそれぞれの封着
治具の斜視図、第7図は従来の赤外線検出器の構造を示
す断面図である。 図において、(1〉はステム、<4〉は外筒、り/O)
は/O端子、(11)+!ガラスタブレー)1・、<1
2>(13)<14)05バ16)(17>(18)は
治具、(17a)は貫通穴を示す。 ねお、図中同一符号は同一 又は相当部分を示す。
造する場合の組み立て状態を示す断面図、第2図(a)
(bXc)は第1図の組み立てに用いられるそれぞれの
治具の斜視図、第3図はこの発明の他の実施例の封着治
具を用いて気密端子を製造する場合の組み立て状態を示
す断面図。第4図(a)(b)(c)は第3図の組み立
てに用いられるそれぞれの封着治具の斜視図、第5図は
二の発明の他の実施列の封着治具を用いて気密端子を製
造する場合の組み立て状態を示す断面図、第6図<a>
(b)は第5図の組み立てに用いられるそれぞれの封着
治具の斜視図、第7図は従来の赤外線検出器の構造を示
す断面図である。 図において、(1〉はステム、<4〉は外筒、り/O)
は/O端子、(11)+!ガラスタブレー)1・、<1
2>(13)<14)05バ16)(17>(18)は
治具、(17a)は貫通穴を示す。 ねお、図中同一符号は同一 又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 金属外筒を持つ気密電子管の気密端子の封着方法におい
て、上記外筒壁面部に設けた貫通穴に、パイプ状に成形
したガラスタブレットを介してI/O端子を貫通させて
、これを放射状に高密度に配置し、封着治具とともに組
み立て、上記ガラスを電気炉中で加熱融着した気密性、
かつ絶縁性の封着気密端子で、上記端子が上記金属外筒
の内側でL字形に屈曲していることを特徴とする気密端
子の封着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1226738A JPH0389481A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 気密端子の封着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1226738A JPH0389481A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 気密端子の封着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0389481A true JPH0389481A (ja) | 1991-04-15 |
Family
ID=16849834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1226738A Pending JPH0389481A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 気密端子の封着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0389481A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010506370A (ja) * | 2006-10-10 | 2010-02-25 | エレクトロヴァック アクチエンゲゼルシャフト | とりわけ圧力適用のための電気ブッシング、ならびにブッシングの製造方法 |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP1226738A patent/JPH0389481A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010506370A (ja) * | 2006-10-10 | 2010-02-25 | エレクトロヴァック アクチエンゲゼルシャフト | とりわけ圧力適用のための電気ブッシング、ならびにブッシングの製造方法 |
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