JPH0385664U - - Google Patents
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- JPH0385664U JPH0385664U JP14807289U JP14807289U JPH0385664U JP H0385664 U JPH0385664 U JP H0385664U JP 14807289 U JP14807289 U JP 14807289U JP 14807289 U JP14807289 U JP 14807289U JP H0385664 U JPH0385664 U JP H0385664U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving element
- light
- protective film
- light receiving
- glass substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
第1図は作製工程を示す断面図、第2図は実施
例2を示す図であり、aは上面図、bは断面図、
cは断面図、第3図は実施例3を示す図、第4図
は実施例4を示す図である。 1……ガラス基板、2……透明電極、3……半
導体薄膜、4……金属電極、5……保護膜。
例2を示す図であり、aは上面図、bは断面図、
cは断面図、第3図は実施例3を示す図、第4図
は実施例4を示す図である。 1……ガラス基板、2……透明電極、3……半
導体薄膜、4……金属電極、5……保護膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ガラス基板上に非晶質半導体薄膜から成る分割
された受光素子が形成され、 該受光素子上に保護膜が形成され、 該保護膜の一部に開口部が設けられて上記受光
素子の電極が露出していることを特徴とする分割
測光型受光装置部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14807289U JPH0385664U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14807289U JPH0385664U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0385664U true JPH0385664U (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=31694538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14807289U Pending JPH0385664U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0385664U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5972184A (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | Nippon Denso Co Ltd | 光電変換装置 |
JPS59148372A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 感光装置 |
JPH01246877A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |
-
1989
- 1989-12-22 JP JP14807289U patent/JPH0385664U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5972184A (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | Nippon Denso Co Ltd | 光電変換装置 |
JPS59148372A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 感光装置 |
JPH01246877A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-02 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |