JPH0380584A - 炭酸ガスレーザの発振装置 - Google Patents
炭酸ガスレーザの発振装置Info
- Publication number
- JPH0380584A JPH0380584A JP21597389A JP21597389A JPH0380584A JP H0380584 A JPH0380584 A JP H0380584A JP 21597389 A JP21597389 A JP 21597389A JP 21597389 A JP21597389 A JP 21597389A JP H0380584 A JPH0380584 A JP H0380584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- laser
- waveform
- carbon dioxide
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims abstract description 28
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 22
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 title claims description 11
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 title claims description 11
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 21
- 238000009499 grossing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、加工機、医療器械などに搭載される炭酸ガス
レーザの発振装置の改良に関する。
レーザの発振装置の改良に関する。
〈従来の技術〉
従来のレーザ発振装置について、第６図。
第７図に示す。両図に示される技術は、マイクロ波を照
射することによって、放電管内のガスをマイクロ波放電
させ、レーザ発振のためのガスの励起を行うレーザ発振
装置に関するものであり、第６図は特開昭６１−２２０
４８６号、第７図は特開昭６１−２２０４８７号に示さ
れている。
射することによって、放電管内のガスをマイクロ波放電
させ、レーザ発振のためのガスの励起を行うレーザ発振
装置に関するものであり、第６図は特開昭６１−２２０
４８６号、第７図は特開昭６１−２２０４８７号に示さ
れている。
第６図に示すように電源１０６からマイクロ波発生器１
０８に電力を供給して、マイクロ波１０７を出力させろ
と、このマイクロ波１０７は導波管１０９Ａ、１０９Ｂ
を経由して、空胴共振器１０１Ａ、ｌ０ＩＢに導かれる
。この空胴共振１ｉｘｏｌＡ、ｌ０ＩＢには放電管１０
２が貫通しており、この放電管１０２内にはレーザ媒質
ガス１０３が封入されている。このレーザ媒質ガス１０
３はマイクロ波１０７の印加によりマイクロ放電を起こ
し、これにより、全反射鏡１１１と部分反射鏡１１２と
の間でレーザ発振が生起し、レーザ光１１３として取り
出される。
０８に電力を供給して、マイクロ波１０７を出力させろ
と、このマイクロ波１０７は導波管１０９Ａ、１０９Ｂ
を経由して、空胴共振器１０１Ａ、ｌ０ＩＢに導かれる
。この空胴共振１ｉｘｏｌＡ、ｌ０ＩＢには放電管１０
２が貫通しており、この放電管１０２内にはレーザ媒質
ガス１０３が封入されている。このレーザ媒質ガス１０
３はマイクロ波１０７の印加によりマイクロ放電を起こ
し、これにより、全反射鏡１１１と部分反射鏡１１２と
の間でレーザ発振が生起し、レーザ光１１３として取り
出される。
第６図では、空胴共振器１０１Ａ、ｌ０ＩＢ。
放ｆｌ管１０２の組合せを１系統用い、これらを直列に
ｉ！ｉｉｌ！置した例を示したものであるが、第７図で
は、単一の空胴共振器１０１内に２個の放電管１０２Ａ
、１０２Ｂを並列に配置したものである。
ｉ！ｉｉｌ！置した例を示したものであるが、第７図で
は、単一の空胴共振器１０１内に２個の放電管１０２Ａ
、１０２Ｂを並列に配置したものである。
〈発明が解決しようとする課題〉
前述の従来法は、ガスレーザ全般に適用できる旨、記載
されているが、ガスレーザの種類は多数あり、放電発振
特性はガスの種類・組成で大巾に異なるため、効率良く
レーザ発振させるためには、ガスレーザの種類毎に適正
な発振条件を探索した上でレーザを動作させる必要があ
る。
されているが、ガスレーザの種類は多数あり、放電発振
特性はガスの種類・組成で大巾に異なるため、効率良く
レーザ発振させるためには、ガスレーザの種類毎に適正
な発振条件を探索した上でレーザを動作させる必要があ
る。
そこで、本発明者らは、マイクロ波を用いてレーザ発振
させる方法を炭酸ガスレーザに適用した場合に、大巾に
発振効率が向上する発振条件について種々実験を重ねた
ところ、次のような興味ある発見があった。
させる方法を炭酸ガスレーザに適用した場合に、大巾に
発振効率が向上する発振条件について種々実験を重ねた
ところ、次のような興味ある発見があった。
即ち、マイクロ波発振器は、家庭用電子レンジ、工業用
加熱炉として２４５０ＭＨｚ帯のものが多用されている
が、装置を簡単にしコストを下げる必要から、普通５０
又は６０サイクルの交流を両波整流し、１００Ｈｚ又は
１２０）ｆｚのパルス状電流をマグネトロンに供給する
のが一般的と思われる。このため発生するマイクロ波の
波形は、第５図（ｅ）のような間隔を置いた、先鋭化し
たパルス状となる。
加熱炉として２４５０ＭＨｚ帯のものが多用されている
が、装置を簡単にしコストを下げる必要から、普通５０
又は６０サイクルの交流を両波整流し、１００Ｈｚ又は
１２０）ｆｚのパルス状電流をマグネトロンに供給する
のが一般的と思われる。このため発生するマイクロ波の
波形は、第５図（ｅ）のような間隔を置いた、先鋭化し
たパルス状となる。
このような波形を有するマイクロ波を炭酸ガスレーザの
励起に用いると、レーザガス媒体に吸収はされても、レ
ーザ発振に有効でないことが判った。その理由は、炭酸
ガスレーザでの媒体ガスは、通常ヘリウムガスを希釈ガ
スとして、Ｃｏ、＋Ｎ、＋Ｈｅの混合ガスが用いられて
いるため、これに第５図（ｅ）の波形を有するマイクロ
波による放電では、直流放電に比較して著しく鳥の振動
温度が上昇していることが確認され、同時にレーザ出力
も上がらなくなるからである。
励起に用いると、レーザガス媒体に吸収はされても、レ
ーザ発振に有効でないことが判った。その理由は、炭酸
ガスレーザでの媒体ガスは、通常ヘリウムガスを希釈ガ
スとして、Ｃｏ、＋Ｎ、＋Ｈｅの混合ガスが用いられて
いるため、これに第５図（ｅ）の波形を有するマイクロ
波による放電では、直流放電に比較して著しく鳥の振動
温度が上昇していることが確認され、同時にレーザ出力
も上がらなくなるからである。
炭酸ガスレーザが発振に至るには、放電によって生じて
いる電子のエネルギー分布が適正な範囲に入ることが必
要であるが、前述のような先鋭化したパルス波形の場合
、マイクロ波が形成する電界がゼロから始まってピーク
値に達し、再びゼロに戻る際、電界強度のしきい値Ｅ１
以下では発振せず、またピーク値近傍では電界強度がＥ
２以下となり強過ぎて過度の励起が生じる。その結果発
振に適正な電界強度（Ｅ１以上、Ｅ２以下）の接続時間
が短かくなると共に、過度の励起はレーザガスの温度上
昇をもたらし、レーザ発振が妨害されるものと予想され
る。
いる電子のエネルギー分布が適正な範囲に入ることが必
要であるが、前述のような先鋭化したパルス波形の場合
、マイクロ波が形成する電界がゼロから始まってピーク
値に達し、再びゼロに戻る際、電界強度のしきい値Ｅ１
以下では発振せず、またピーク値近傍では電界強度がＥ
２以下となり強過ぎて過度の励起が生じる。その結果発
振に適正な電界強度（Ｅ１以上、Ｅ２以下）の接続時間
が短かくなると共に、過度の励起はレーザガスの温度上
昇をもたらし、レーザ発振が妨害されるものと予想され
る。
本発明は、上記発見に基づいて完成されたものであり、
マイクロ波を用いてレーザ発振させる方法において、炭
酸ガスレーザを効率よく発振させる装置を提供すること
を目的とするものである。
マイクロ波を用いてレーザ発振させる方法において、炭
酸ガスレーザを効率よく発振させる装置を提供すること
を目的とするものである。
〈課題を解決するための手段〉
斯かる目的を達成するための本発明の第１の構成として
は、マイクロ波の波形を第５図（Ｃ）の先鋭化したパル
ス状から、同図（＆）に示す連続波にすることにより、
マイクロ波が形成する電界強度がほぼ一定となるように
したものである。このためには、例えばマグネトロンに
連結する電源に平滑化回路を組み込めばよい。連続波の
波形は、第５図（ａ）に示すように発振可能な電界強度
（Ｅ１以上、Ｅ２以下）であれば、若干の変動があって
もよく、実験によれば±１０％程度のリップル（脈Ｗｈ
）があっても何んら差し障わりはなかった。
は、マイクロ波の波形を第５図（Ｃ）の先鋭化したパル
ス状から、同図（＆）に示す連続波にすることにより、
マイクロ波が形成する電界強度がほぼ一定となるように
したものである。このためには、例えばマグネトロンに
連結する電源に平滑化回路を組み込めばよい。連続波の
波形は、第５図（ａ）に示すように発振可能な電界強度
（Ｅ１以上、Ｅ２以下）であれば、若干の変動があって
もよく、実験によれば±１０％程度のリップル（脈Ｗｈ
）があっても何んら差し障わりはなかった。
また、上記目的を達成するための本発明の第２の構成と
しては、マイクロ波の波形を第５図（ｂ）に示すように
矩形波とするものである。
しては、マイクロ波の波形を第５図（ｂ）に示すように
矩形波とするものである。
そのためには、例えば電源に平滑化回路のほかにスイッ
チング回路を組み込むようにすると良い。矩形波であっ
ても、上記連続波と同様に、発振可能な電界強度（Ｅ、
以上、Ｅ２以下）であれば効率よく発振することになる
。
チング回路を組み込むようにすると良い。矩形波であっ
ても、上記連続波と同様に、発振可能な電界強度（Ｅ、
以上、Ｅ２以下）であれば効率よく発振することになる
。
く作 用〉
マイクロ波の波形を第５図（ａ） （ｂ）に示すような
連続波又は矩形波とすることにより、マイクロ波照射中
において、マイクロ波の形成する電界強度が時間的に一
定かつ適正値に保たれることになる。その結果、当該電
界印加下での放電で形成される電子エネルギ分布も、発
振に有効なレベルの励起に対して適正値が維持されるよ
うになった。
連続波又は矩形波とすることにより、マイクロ波照射中
において、マイクロ波の形成する電界強度が時間的に一
定かつ適正値に保たれることになる。その結果、当該電
界印加下での放電で形成される電子エネルギ分布も、発
振に有効なレベルの励起に対して適正値が維持されるよ
うになった。
く実 施 例〉
以下、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図に本発明の第１の実癲例にかかる炭酸ガスレーザ
の発振装置を示す。同図に示す実施例は、空胴共振器４
の内部に放電管５を配置した例である。即ち、空胴共振
器４には導波Ｉｖｔ３を介してマイクロ波発生器２が接
続され、このマイクロ波発生器２は平滑化回路を有する
電源１からの電力供給により作動するようになっている
。空胴共振器４の内部には、無水石英ガラス製の放電管
５が貫通して配置され、その中にはレーザ媒質ガス１０
Ａ。
の発振装置を示す。同図に示す実施例は、空胴共振器４
の内部に放電管５を配置した例である。即ち、空胴共振
器４には導波Ｉｖｔ３を介してマイクロ波発生器２が接
続され、このマイクロ波発生器２は平滑化回路を有する
電源１からの電力供給により作動するようになっている
。空胴共振器４の内部には、無水石英ガラス製の放電管
５が貫通して配置され、その中にはレーザ媒質ガス１０
Ａ。
１０Ｂが流下するようになっている。放電管５の両端に
は、ブリュースター窓８が傾斜して取り付けられ、更に
、その外側には全反射鏡６．半透過ｆｌ！７が配置され
て、レーザ光の共振系が構成されている。
は、ブリュースター窓８が傾斜して取り付けられ、更に
、その外側には全反射鏡６．半透過ｆｌ！７が配置され
て、レーザ光の共振系が構成されている。
また、空胴共振器４の両端からマイクロ波が漏洩しない
よう、そこには放電管５とほぼ同径のマイクロ波漏洩防
止筒１３が設けられている。
よう、そこには放電管５とほぼ同径のマイクロ波漏洩防
止筒１３が設けられている。
従って、電源１からマイクロ波発生器２に電力を供給し
連続波としてのマイクロ波９を発生させ、このマイクロ
波９を導波管３を経由して空胴共振器４に導くと、放電
管中を流れるレーザ媒質ガスＩＯＡ、ＩＯＢがマイクロ
波放電を生起することになる。そして、全反射ｆｌ！６
と半透過＠７との間でレーザ発振が起こり、レーザ光１
１として取り出されることになる。
連続波としてのマイクロ波９を発生させ、このマイクロ
波９を導波管３を経由して空胴共振器４に導くと、放電
管中を流れるレーザ媒質ガスＩＯＡ、ＩＯＢがマイクロ
波放電を生起することになる。そして、全反射ｆｌ！６
と半透過＠７との間でレーザ発振が起こり、レーザ光１
１として取り出されることになる。
ここで、マイクロ波を連続とした本実施例と、パルス状
のマイクロ波を用いる従来技術とを比較した結果を第２
図に示す。第２図から判るように、マイクロ波の波形を
先鋭なパルス状から連続状に変えることで、レーザの発
振性能は著しく改善され、レーザ光出力及び発振効率と
もにｆｉ１桁向上した。尚、実験に用いた放電管は無水
石英製で内径２０．３職。
のマイクロ波を用いる従来技術とを比較した結果を第２
図に示す。第２図から判るように、マイクロ波の波形を
先鋭なパルス状から連続状に変えることで、レーザの発
振性能は著しく改善され、レーザ光出力及び発振効率と
もにｆｉ１桁向上した。尚、実験に用いた放電管は無水
石英製で内径２０．３職。
外径２３．３ｍｍ、長さ７９０１１１１であり、光共振
器長は１．３ｍで全反射鏡は焦点５ｍの凹面鏡。
器長は１．３ｍで全反射鏡は焦点５ｍの凹面鏡。
半透過Ｉ！（出力光）はＺｎ５ａ製で透過率８７％であ
る。レーザ媒質ガスは、常温で供給し、その流量比は、
Ｃｏ、： Ｎ、： Ｈｅに対し０．５： ３： １０（
各単位、Ｎｊ／ｍｉｎ ）とし、放電管内の圧力は５Ｔ
ｏｒｒとした。
る。レーザ媒質ガスは、常温で供給し、その流量比は、
Ｃｏ、： Ｎ、： Ｈｅに対し０．５： ３： １０（
各単位、Ｎｊ／ｍｉｎ ）とし、放電管内の圧力は５Ｔ
ｏｒｒとした。
上記実施例では、空胴共振器４の内部に放電管５を配置
したものであるが、本発明はこれに限るものではない。
したものであるが、本発明はこれに限るものではない。
例えば、第３図（ａ） （ｂ）に示す第２の実施例のよ
うに、導波管３の内部に、これと平行に放電管５を配置
しても良い。また、第４図（ａｔ （ｂｌに示す第３の
実施例のよう客ζ導波管３に放電管５を直角に貫通させ
て配置し、更に導波管３の一端に可動終端１４を取り付
けるようにしても良い。これら第２゜第３の実施例にお
いても、マイクロ波の波形を先鋭なパルス状から連続状
とすることで、第１の実施例のように大巾な性能の向上
が見られた。尚、第２の実施例における実験デー第 １ 表 〈発明の効果〉 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように本発明
は、マイクロ波をレーザ媒質に印加して放電により励起
する方法において、マイクロ波の波形を連続状又は矩形
状とすることで、マイクロ波が誘起する電場の強度なら
びに当該電場で生起される電子エネルギ分布を適正化し
、レーザ発振に有効な媒体ガスの励起を可能にすること
ができる。
うに、導波管３の内部に、これと平行に放電管５を配置
しても良い。また、第４図（ａｔ （ｂｌに示す第３の
実施例のよう客ζ導波管３に放電管５を直角に貫通させ
て配置し、更に導波管３の一端に可動終端１４を取り付
けるようにしても良い。これら第２゜第３の実施例にお
いても、マイクロ波の波形を先鋭なパルス状から連続状
とすることで、第１の実施例のように大巾な性能の向上
が見られた。尚、第２の実施例における実験デー第 １ 表 〈発明の効果〉 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように本発明
は、マイクロ波をレーザ媒質に印加して放電により励起
する方法において、マイクロ波の波形を連続状又は矩形
状とすることで、マイクロ波が誘起する電場の強度なら
びに当該電場で生起される電子エネルギ分布を適正化し
、レーザ発振に有効な媒体ガスの励起を可能にすること
ができる。
第１図は本発明の第１の実施例にかかる構成図、第２図
はマイクロ波注入電力に対するレーザ光出力の変化を示
すグラフ、第３図（ａｌは本発明の第２の実施例にかか
る構成図、第３図（ｂｌは同図（ａｌ中のＡ−Ａ矢視図
、第４図（ａ）は本発明の第３の実施例にかかる構成図
、第４図（ｂｌは同図（ａ）中のＢ−Ｂ矢視図、第５図
ｆａ）は連続波としてのマイクロ波の波形を示すグラフ
、第５図（ｂｌは矩形波としてのマイクロ波の波形を示
すグラフ、第５図（Ｃ）は先鋭的なパルス状のマイクロ
波の波形を示すグラフ、第６図、第７図はそれぞれ従来
のレーザ発振装置の説明図である。 図面中、 １は平滑化回路を有する電源、 ２はマイクロ波発生器、 ３は導液管、 ４は空胴共振器、 ５は放電管、 ６は全反射鏡、 ７は半透過鏡、 ８はブリー−スター窓） ９はマイクロ波、 １０Ａ、ＩＯＢはレーザ媒質ガス、 １１はレーザ光、 １２は無反射終端、 １３はマイクロ波漏洩防止筒、 １４は可動終端である。 特 許 出 願 人 三菱重工業株式会社 代 理 人
はマイクロ波注入電力に対するレーザ光出力の変化を示
すグラフ、第３図（ａｌは本発明の第２の実施例にかか
る構成図、第３図（ｂｌは同図（ａｌ中のＡ−Ａ矢視図
、第４図（ａ）は本発明の第３の実施例にかかる構成図
、第４図（ｂｌは同図（ａ）中のＢ−Ｂ矢視図、第５図
ｆａ）は連続波としてのマイクロ波の波形を示すグラフ
、第５図（ｂｌは矩形波としてのマイクロ波の波形を示
すグラフ、第５図（Ｃ）は先鋭的なパルス状のマイクロ
波の波形を示すグラフ、第６図、第７図はそれぞれ従来
のレーザ発振装置の説明図である。 図面中、 １は平滑化回路を有する電源、 ２はマイクロ波発生器、 ３は導液管、 ４は空胴共振器、 ５は放電管、 ６は全反射鏡、 ７は半透過鏡、 ８はブリー−スター窓） ９はマイクロ波、 １０Ａ、ＩＯＢはレーザ媒質ガス、 １１はレーザ光、 １２は無反射終端、 １３はマイクロ波漏洩防止筒、 １４は可動終端である。 特 許 出 願 人 三菱重工業株式会社 代 理 人
Claims (2)
- （１）放電管に封入されたレーザ媒質にマイクロ波を印
加してマイクロ波放電させる炭酸ガスレーザの発振装置
において、印加するマイクロ波をリップル±１０％以下
の連続波としたことを特徴とする炭酸ガスレーザの発振
装置。 - （２）放電管に封入されたレーザ媒質にマイクロ波を印
加してマイクロ波放電させる炭酸ガスレーザの発振装置
において、印加するマイクロ波をリップル±１０％以下
の連続波を整形して得た矩形波としたことを特徴とする
炭酸ガスレーザの発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597389A JPH0380584A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | 炭酸ガスレーザの発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597389A JPH0380584A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | 炭酸ガスレーザの発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0380584A true JPH0380584A (ja) | 1991-04-05 |
Family
ID=16681307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21597389A Pending JPH0380584A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | 炭酸ガスレーザの発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0380584A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1174097A (ja) * | 1997-04-22 | 1999-03-16 | Applied Materials Inc | 効率が良くコンパクトなリモートマイクロ波プラズマ発生用の装置及び方法 |
| US7752362B2 (en) | 2005-04-04 | 2010-07-06 | Hitachi, Ltd. | Storage system providing stream-oriented performance assurance |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6468988A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Carbonic acid gas laser device |
-
1989
- 1989-08-24 JP JP21597389A patent/JPH0380584A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6468988A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Carbonic acid gas laser device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1174097A (ja) * | 1997-04-22 | 1999-03-16 | Applied Materials Inc | 効率が良くコンパクトなリモートマイクロ波プラズマ発生用の装置及び方法 |
| US7752362B2 (en) | 2005-04-04 | 2010-07-06 | Hitachi, Ltd. | Storage system providing stream-oriented performance assurance |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Hodges et al. | Waveguide laser for the far infrared (FIR) pumped by a CO2 laser | |
| JPH0380584A (ja) | 炭酸ガスレーザの発振装置 | |
| CN115621829B (zh) | 一种射频激励波导co2激光器 | |
| JPH0414272A (ja) | レーザー発振装置 | |
| JP2566583B2 (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 | |
| JPH06291397A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2989296B2 (ja) | レーザーガスのマイクロ波放電励起方法 | |
| JP2792457B2 (ja) | マイクロ波励起ガスレーザ装置 | |
| SU1402190A1 (ru) | Способ генерации мощных СВЧ-колебаний | |
| KR100620539B1 (ko) | 마이크로파를 이용한 기체 레이저 장치 | |
| RU2101745C1 (ru) | Способ преобразования энергии электромагнитного излучения оптического или более низкочастотного диапазона в энергию волновых возбуждений нелинейной среды | |
| RU2164048C1 (ru) | Устройство для свч возбуждения и поддержания генерации газоразрядного лазера при помощи создания плазменной коаксиальной линии | |
| Esarey et al. | Optical guiding and beat wave phase velocity control in the plasma beat wave accelerator | |
| RU2105398C1 (ru) | Импульсно-периодический лазер | |
| RU1440308C (ru) | Лазер с свч-разрядом | |
| JP2871217B2 (ja) | マイクロ波励起気体レーザー装置 | |
| JP2877267B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| JP3221347B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH06140694A (ja) | マイクロ波放電励起レーザ | |
| SU663247A1 (ru) | Электроразр дный газовый лазер | |
| SU266106A1 (ja) | ||
| SU1571711A1 (ru) | Формирователь СВЧ-импульсов | |
| JPS61220486A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JP2001357999A (ja) | プラズマ発生装置 | |
| JPS6471099A (en) | Plasma device |