JPH0377082A - 多チャンネル超電導磁力計 - Google Patents

多チャンネル超電導磁力計

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JPH0377082A
JPH0377082A JP21321289A JP21321289A JPH0377082A JP H0377082 A JPH0377082 A JP H0377082A JP 21321289 A JP21321289 A JP 21321289A JP 21321289 A JP21321289 A JP 21321289A JP H0377082 A JPH0377082 A JP H0377082A
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JP
Japan
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superconducting
magnetometer
magnetic
circuits
sqids
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JP21321289A
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English (en)
Inventor
Kunio Ookawa
大川 訓生
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は高感度な磁気センサである超電導量子干渉素
子(S upereondueting Quantu
m I nter−ferenca D avice、
略して5QUIDと呼ぶ)を用いた多チャンネル超電導
磁力計のチャンネル間クロストークの低減に関するもの
である。
〔従来の技術〕
第4図は従来の多チャンネル超電導磁力計の一実施例を
示すブロック図である。−例として2個の超電導磁力計
により構成した場合を示す。図中。
(11、(21は超電導磁力計、 (3]、(41はS
 Q U I D 、(51,(6)は超電導リング、
 +71 、 +81は超電導リング(5)中に設けた
ジJセフソン素子、 (9] 、 (1(Itは超電導
リング(6)中に設けたジpセフソン素子、 C11>
 、 @はそれぞれ超電導リング(5)、(6)に磁気
的に結合した変調帰還コイルである。■はS Q U 
I D (31と変調帰還コイル01)に接続した磁力
測定回路、(4)はS Q U I D (41と変調
帰還コイル■に接続した磁力測定回路である。
第5図と第6図はそれぞれ磁力測定回路0刃、(ロ)の
構成を示すブロック図である。図中、 Oり 、 (N
は直流電流源、(17)、(aは前置増幅器、■、■は
発振器。
(21) 、 (22)は移相器、 (23) 、 (
24)は掛算器、 (25) 、 (2B>は積分器、
 (27) 、 (28)は積分増幅器、 (29) 
、 (30)は積分コンデンサ、 (31) 、 (3
2)は積分器スイッチ、 (33) 。
(34)は帰還抵抗、 (35) 、 (36)は増幅
器、Sは参照信号、Hは変調信号である。磁力測定回路
Q3)、(14)は一般にF L L (F lux 
−L ockad L oop)駆動回路と呼ばれる公
知のものであり、その基本的な動作は一例として、 R
eview of 5cientific In5tr
u+nentVo1.55.1984年の第952頁〜
第957頁等に詳細な説明が記載されている。
次に動作について説明する。超電導磁力計(1)。
(2)の動作は同じなので、超電導磁力計(1)の動作
についてのみ説明する。
S Q U I D (31を冷却し、N電導状態に転
移させる。超電導リング(5)におけるフラクソイドの
量子化条件と、2つのジョセフソン素子+71 、 (
81における直流ジョセフソン効果とにより、超電導転
移後に5QUID(31に流すことのできる超電導電流
の最大値IIlは超電導リング(5)を貫く検知磁束φ
の関数となる。超電導リング(5)のインダクタンスL
sの値をLs=0とみなすとImpよ■式のようになり
、 Iaiばφ。全周期として変化する。
1m= 2 re l cosπ(φ/φ。)1 ・・
・・・・・ ・・ ■ここで、Ieはジョセフソン素子
(71、(81それぞれの臨界電流である。また、φ。
は磁束量子であり、その値は2.07X 10−”wb
テある。実際にはL sg” 0であるため、Inとφ
の関係は■式からずれ、Iaiの最小値は0とはならな
いが、この場合にもI■はφ0を周期として変化する。
上記のようなI+oの変化に対応し1”5QUID(3
1(7)電流−電圧(I−V)特性モマた。検知磁束φ
に対して磁束量子φ。を周期として変化する。第7図(
a)はS Q U I D (31のI−V特性を示し
たものであり、φ=nφ。、φ=(n+$4)φ。
の時にそれ、ぞれ曲線A2曲線Bのようになり、φの値
に対応してこの間を連続的に変化する。ただし、nは整
数であり、 Imp、 I+i4はそれぞれφ=nφ。
。 φ=(n+H)φ0の時に5QUID(31に電位差を
生じることなく流すことの出来る超電導電流の最大値で
ある。そこで、直流電流源09から例えばrb=1、1
1mt程度)i< イア :1.電流■bヲ流j、、5
QUID(3)に発生する電位差Vをφに対して測定す
ると。
第7図(b)のようにVはφ。全周期として変化する。
このようなφとVとの関係を有する5QUID(3)に
対して発振器(+!Dから変調帰還コイル01〉を介し
て変調磁束を加える。−例として、この変調磁束は振幅
側φ。(p−pL周波数f = 100K Hzの正弦
波である。この時点で検知磁束φがφ=nφ。またばφ
=(n+H)φ。であれば5QUIDの動作点は第7図
(b)の0点またはD点、すなわち極小または極大の位
置にあり、5QUID(31に発生する電圧の周波数f
の成分+、1零である。検知磁束φが増加して動作点が
移動すると周波数fの成分が生じ、E点。
すなわちφ=(n+H)φ。において最大になる。また
、逆にF点、すなわちφ−(n−11)φ0においても
周波数fの成分は最大になるが、その位相はE点に対し
て逆相になる。このような5QUID(3)の出力電圧
を前置増幅器面で増幅した後、掛算器(23)において
周波数fの参照信号と掛は合わせて位相検波する。tこ
だし2発振器(ゆが発生した参照信号Sは、移相N(2
1)により適当な位相に位相シフトされた後、掛算11
 (23)に入力される。次に積分器スイッチ(31)
を開くと掛算器(23)の出力は積分器(25)により
積分された後、変調帰還コイルo1)を流れる帰還電流
Iflとして負帰還され、5QUrD(3)の動作点を
φ=nφ。またはφ= (n 十$4)φ。
の位置に固定(磁束ロック)する。磁束ロック後にφが
変化すると、いったん固定した動作点を維持するように
 φの変化量に比例した帰還電流If□が変調帰還コイ
ルODに供給される。帰還型l*ff、が流れることに
より帰還抵抗(33)に生じる電位差を増幅器(35)
により検出し、φの変化量に比例した電圧を磁力測定回
sOのから出力する。
超電導磁力計(2)の動作も同様である。5QUID(
4)の検知磁束の変化量に比例した帰還電流If。
が流れることにより帰還抵抗(34)に生じる電位差を
増幅器(36)により検出し、磁力測定回1i@(ロ)
から出力する。
泉上のようにして、複数の超電導磁力計を用いて複数の
信号磁界を検出する。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の多チャンネル超電導磁力計は上記のように複数の
超電導磁力計から構成され、各超電導磁力計の内部に検
知磁束の変化量に比例した帰還電流が流れる。
このため、帰還電流が作り出す磁界が他のチャンネルに
干渉し、測定誤差を生じるという課題があった。これを
第4図に示した従来の一実施例について説明すると、帰
還電流If1が作る磁界がSQU I D (41に干
渉し、また逆に、帰還電流If2が作る磁界がs Q 
U r D (3)に干渉し測定誤差を生じるという課
題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、他のチャンネルの帰還電流が作り出す磁界の影
響を排除し複数の信号磁界を精度よく検出することので
きる多チャンネル超電導磁力計を得ることを目的とする
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る多チャンネル超電導磁力計は。
多チャンネル超電導磁力計を構成する各超電導磁力計の
出力のそれぞれに接続して設けたA/D変換器と、上記
A/D変換器のそれぞれに接続し。
他のチャンネルのA/D変換器とも接続したクロストー
ク補正回路を備えたものである。
〔作 用〕
乙の発明に係る多チャンネル超電導磁力計は。
多チャンネル超電導磁力計を構成する各超電導磁力計の
出力電圧をA/D変換器がA/D変換し。
次に他チャンネルからの干渉磁界に相当する量の計測値
をクロストーク補正回路が差し引いて補正を加える。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例について説明する。
第1図はこの発明の一実施例である多チャンネル超電導
磁力計を示すブロック図である。−例として2個の超電
導磁力計(37)、 (38)から構成した場合を示す
。図中、(3)〜(6)は従来と同じものである。
(39) 、 (40)は磁力測定回路、 (41) 
、 (42)はA/D変換器、 (43) 、 (44
)はクロストーク補正回路である。
次に磁力測定回路(39) 、 (40)の構成図を第
2図、第3図にそれぞれ示す。図中、 (Is)〜(3
6)は従来と同じものである。(45) 、 (4B)
はスイッチ、 (47)、(48)は電流注入端子であ
る。上記実施例では2個の超電導磁力計(37) 、 
(38)にそれぞれ発振器(1,(ホ)を備えた場合を
示したが2発振器は1個にして共用してもよい。
次にこの発明による多チャンネル超電導磁力計の動作に
ついて説明する。まずS Q U I D [31,(
4)を冷却して超電導状態に転移させ、直流電源(IQ
 、 (1)から それぞれS Q U I D (3
1,(4)へバイアス電流を流す。次に発振器(+9)
 、(至)から それぞれ5QUID(31、(41へ
変調信号を、またそれぞれ移相WI(21) 、 (2
2)へ参照信号を加える。
次に クロストーク補正回路(43) 、 (44)の
補正係数△Vl、ΔV2.△V3.Δv4 を測定によ
り求める。測定は一例として以下のように行う。
まず積分器スイッチ(31) 、 (32) 、スイッ
チ(45) 。
(46)を全て閉じる。次に積分器スイッチ(32)を
開き、5QUID(4)を磁束ロックする。次にスイッ
チ(45)を開き、その状態で電流注入端子(47)か
ら帰還抵抗(33)を通して変調帰還コイルODへと信
号電流を流す。この時、信号電流が帰還抵抗(33)を
流れることによる電圧降下により増幅#I(35)の出
力電圧が変化する。この出力電圧の変化分Δv1を測定
する。一方、信号電流が流れることにより発生する磁界
を5QUID(41が検知し、超電導磁力計(37)か
ら超電導磁力計(38)への干渉磁界の大きさに比例し
た電圧の変化が増幅器(36)に出力される。この出力
電圧の変化△■2を測定する。
次に再び積分器スイッチ(31) 、 (32) 、ス
イッチ(45) 、 (46)を全て閉じ今度は積分器
スイッチ(31)を開いて5QUID(31を磁束ロッ
クする。次にスイッチ(46)を開き、電流注入端子(
48)から信号電流を流し、増幅器(35)の出力電圧
の変化分Δv3と増幅器(36)の出力電圧の変化分△
V4とを測定する。
以上のように クロストーク補正回路(43) 、 (
44)の補正係数ΔVl、ΔV2.△V3.ΔV4 を
測定する。超電導磁力計(37)と(38)との空間的
な位置関係が変わらなければ、これらの係数の値は測定
後時間的に変化はしない。
次に、複数の信号磁界の測定を行う。再び積分器スイッ
チ(31) 、 (32) 、スイッチ(45) 、 
(46)を全て閉じる。次に積分器スイッチ(31) 
、 (t2)を開いてS Q U I D (3)、(
4)を磁束ロックし、測定を開始すると磁力測定回路(
39) 、 (40)にはお互いの干渉を含んだ電圧V
l、V2がそれぞれ出力される。vlには超電導磁力計
(38)からの干渉磁界に相当する電圧V2・(ΔV3
/△V4)、V2には超電導磁力計(37)からの干渉
磁界に相当する電圧V1・ (△V2/△Vl)がそれ
ぞれ加わっている。そこでVl、V2をA/D変換器(
41) 、 (42) テA / D変換した後、クロ
ストーク補正回路(43) 、 (44)に送り。
■、■式に従って演算処理を行う。V、、、V。2はク
ロストーク補正口′RI(43) 、 (44)の出力
である。
Vo、=V 1−V 2 ・(ΔV 3/△V 4 )
 −■V02=V 2−V 1 、 (ΔV 2/△V
 1 )   ■以上のようにして他のチャンネルから
の干渉磁界の影響を取り除き、W、数の信号磁界を精度
良く検出する。
上記実施例では一例として多チャンネル超電導磁力計が
2個の超電導磁力計から構成される場合を示したが、一
般にn個の磁力計により構成される場合にはn個のA/
D変換器とそれら、に接続したn個のクロストーク補正
回路とを設け、各クロストーク補正回路がn個のA/D
変換器の出力を得られるように構成すればよい。
さらに、上記実施例では、超電導リング中に2個のジョ
セフソン素子を含み直流バイアス電流を注入して駆動す
るDC−3QUIDを5QUID(3) 、 (41と
して使用するとして説明したが、超電導リング中に1個
のジョセフソン素子を含み交流電流で駆動するRF−3
QUIDを使用する場合にも検知磁束の変化量に比例し
た帰還電流が流れるため、上記のようなりロストーク補
正回路を設ければチャンネル間の干渉の影響を排除し、
複数の信号磁界を精度良く検出することの出来る超電導
磁力計を得ることが出来る。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、複数の超電導磁力計
のそれぞれにA/D変換器とクロストーク補正回路を設
け、他チャンネルからの干渉磁界に相当する量の計測値
をクロストーク補正回路が差し引くように構成したため
、他のチャンネルの帰還電流が作る磁界の干渉を受けず
に複数の信号磁界を精度良く検出出来る多チャンネル超
電導磁力計が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の一実施例である多チャンネル超電導
磁力計の構成を示すブロック図、第2図と第3図はそれ
ぞれ第1図中の磁力測定回1 (39) 。 (40)の構成を示すブロック図、第4図は従来の多チ
ャンネル超電導磁力計の一実施例の構成を示すブロック
図、第5図と第6図はそれぞれ第4図中の磁力測定回路
(2)、(ロ)の構成を示すブロック図、第7図は5Q
UIDの素子特性図である。 図ニオイア[3L(411;t S Q U I D 
、 (11>、Q211;i’変TA帰還コイル、 (
37) 、 (38)は超電導磁力計、 (39) 、
 (40)は磁力測定回路、 (41) 、 (42)
はA/D変換器、 (43) 、 (44)はクロスト
ーク補正回路である。 図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 超電導量子干渉素子と、上記超電導量子干渉素子に磁気
    的に結合した変調帰還コイルと、上記超電導量子干渉素
    子と上記変調帰還コイルに接続した磁力測定回路とを備
    えた超電導磁力計を複数備えた多チャンネル超電導磁力
    計において、各超電導磁力計の磁力測定回路の出力端に
    接続されたA/D変換器と、上記A/D変換器の出力端
    に接続され、対応する上記超電導磁力計の出力電圧を、
    他チャンネルからの干渉磁界に相当する量の計測値を差
    し引くクロストーク補正回路とを具備したことを特徴と
    する多チャンネル超電導磁力計。
JP21321289A 1989-08-19 1989-08-19 多チャンネル超電導磁力計 Pending JPH0377082A (ja)

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