JPH0376355U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案に係るイオン源の引出し電
極系周りの具体的な構造の例を部分的に示す拡大
断面図である。第２図は、イオン源の基本的な構
成例を示す概略図である。第３図は、第２図のイ
オン源の引出し電極系周りの具体的な構造の従来
例を部分的に示す拡大断面図である。 ２……プラズマソース部、１０……引出し電極
系、１２……正電極、１３……負電極、１４……
接地電極、１６……イオンビーム、２０……高圧
フランジ、２４……接地フランジ、２６……電流
導入端子、２８……接続線、３２……支持枠、３
４……絶縁管、３６，３８……カバー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. プラズマを作るプラズマソース部と、このプラ
   ズマソース部からイオンビームを引き出すもので
   あつて、正電位にされる正電極、負電位にされる
   負電極および接地電位にされる接地電極を有する
   引出し電極系とを備え、前記正電極を、正の高電
   圧が印加される高圧フランジに取り付け、前記接
   地電極を、金属製の支持枠によつて、接地電位に
   される接地フランジから支持し、かつこの接地フ
   ランジに電流導入端子を通してそれと前記負電極
   とを接続線で接続した構造のイオン源において、
   前記支持枠の側壁部内に絶縁管を通し、この絶縁
   管内に前記接続線を通し、かつ前記負電極の周縁
   部に、少なくとも同負電極と前記接続線との接続
   部の近傍を覆う金属製のカバーを取り付けている
   ことを特徴とするイオン源。