JPH0373817A - 温度計測方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は産業機械等の温度計測装置に係わり、特に、半
導体製造装置としてのＣＶＤ装置における温度測定、高
精度の温度管理及び自動制御等に用いる高精度の温度計
測装置に関する。

［従来の技術１ 一般に、産業関連の温度計測においては各種熱電対が広
く活用されている９周知のように熱電対（よ、それぞれ
が均質で相互に成分を異にする２種類の金属線を接合し
て再接合点間に温度差を設けると、ゼーベック効果によ
って生じる起電力によって電流が流れるという機能を用
いている。

即ち、両投合点の温度をそれぞれ’ｒｔ　、’ｒ２とす
るとゼーベック効果に基づく起電力Ｅは次式によって表
される。

Ｅ”’ａ（Ｔｔ　　　Ｔ２）　　　ｂ（Ｔ１２−Ｔ２２
）１−たたし−１式において、ａ、ｂは二種類の金属の
組み会わせて決まる定数であってａ、ｂのデイメンジョ
ンはそれぞれ（ｍＶ／’Ｃ）、〔ｍＶ／°ｃ２〕である
。

ｂ′（つで、片方の接合点を測温点、もう一方の接合点
を基準接合点とし、基準接合点の温度管理を行うととも
に測温点と基準接合点との温度差を計測することによっ
て測温点の温度を知ることができる。

従来、基準接合点の温度管理は、第４図＜Ａ）・〜（Ｄ
）に示すような方法が行われている。

第４図（Ａ＞において、４１は第１の金属線、４２は第
２の金属線であって両金属線の接合点である４点は測温
点で、Ｋ点は基準接合点、４５．４６はリード線であっ
て５ｏは該リード線によって導かれる測温出力値を処理
し表示する該温度計測装置の表示部である。

４７はに点を摂氏零度に維持するための摂氏零度維持装
置であって、例えばベルチェ効果と水の氷点を活用して
摂氏零度に維持する装置である。

第４図（Ｂ）は前記第４図（Ａ＞と同じであるが、４８
は基準接合点の温度を室温よりも若干高く一定の温度に
維持するための恒温槽である。

第４図（Ｃ）においては、４１は第１の金属線４２は第
２の金属線であって、両金属線の接合点である。１点が
測温点である。４３．４４は測温点と基準温度を設定出
来る場所との間の距離が長い場合等に用いられる補償導
線であって、それぞれ前記４１．４２と類似の特性を持
つ金属線である。

第１の金属線４１と第２の金属線４２をそれぞれ補償導
線４３及び４４によって延長して基準接合点であるに点
を設けている。該に点において基準温度を設ける手段は
、前述した（Ａ）図または（Ｂ）図と同様であって、摂
氏零度または所定の温度に維持するための装置、例えば
（Ａ）図と同様の摂氏零度に維持するための摂氏零度維
持装置４７を設けている。４５，４６は前述と同様にリ
ード線であって、５０は該リード線によって導かれる測
温出力値を処理し表示する該温度計測装置の表示部であ
る。

第４図（Ｄ）図において、４１は第１の金属線４２は第
２の金属線であって、両金属線の接合点である４点は測
温点で、４５．４６はリード線である。また、４９は基
準接合点に部に設けた補償回路である。該補償回路は、
環境温度に於ける基準接合点の起電力に相当する電圧を
発生させる働きを有している回路であって、例えば基準
接合点に部に測温抵抗体を配設し、該測温抵抗体の抵抗
値から該基準接合点に部の温度を検知して所定の電圧を
発生させている。また、半導体の温度特性を活用したり
ニアライズ特性を持った温度補償用ＩＣによって補償を
行っている。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した従来の基準接合点の温度制御方法または装置に
よると、一応の温度計測には有効であるがその得られる
計測温度精度に限度があって、各種産業界において計測
温度精度を高める必要が生じてきている現状においては
問題を生じてきている。

即ち、前述した第４図（Ａ）の例における摂氏零度の基
準温度は±０．０３℃の安定精度であって、第４図（Ｂ
）の例における基準温度の制御幅は±０．０５°Ｃであ
るといわれている。

また第４図（Ｄ）の例に於ける抵抗測温体をもちいた温
度計測装置によると室温の測定に於ける測定精度が０．
１％程度の精度であって、半導体＄制御装置としてのＣ
ＶＤ装置に必要な温度計測精度である１０乃至１１００
ｐｐを得ることができない。

また、上述した従来の熱電対による温度測定手段に於け
る基準接合点の管理手段によると、ｔｆ４戒が複雑で調
整が難しく温度、時間に対する安定性も良くなかった。

また、基準接合点に関する温度補償回路の他にリニアラ
イザが必要な場合があるという問題点があった。

本発明は上記従来の問題点に着目し、調整箇所が少なく
、安定で精度の良い、またリニアライザも必要としない
温度計測装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段１ 上記問題を解決するために本発明に基づく温度計測方法
においては、熱電対による温度計測手段において、熱電
対の基準接合点部に配設した機械電気振動子の温度によ
る物理的変数を計測し、該計測値と熱電対の測温出力値
とから該熱電対の測温点の温度を算出するようにし、前
記機械電気振動子には水晶振動子を用いるようにした。

また、算出手段では、前記機械電気振動子の物理的変数
を第１のデジタル量によって得、前記熱電対の測温出力
を第２のデジタル量で得、第１のデジタル量と第２のデ
ジタル量との差から熱電対の測温点の温度を算出するよ
うにした。

また、熱電対による温度計測装置において、熱電対の基
準接合点部に配設した機械電気振動子と、該機械電気振
動子の温度による物理的変数の計測装置と、該計測値と
熱電対の測温出力値とから該熱電対の測温点の温度を算
出する演算装置とから構成するようにし、前記機械電気
振動子には水晶振動子を用いるようにした。また、熱電
対による温度計測装置において、熱電対の基準接合点部
に配設した機械電気振動子と、該機械電気振動子を構成
要素とする発振回路と、該発振回路の発振周波数を計数
する計数回路と、熱電対の測温点の熱起電力をデジタル
値に変換するアナログデジタル変換回路と、前記計数回
路の出力値と前記デジタル化された熱電対の測温点の測
温出力値から前記機械電気振動子を構成要素とする発振
回路と熱電対の測温点の測温出力値との相対温度特性か
ら作成した演算式によって該熱電対の測温点の温度を算
出する演算装置とから構成するようにし、前記機械電気
振動子には水晶振動子を用いるようにした。また、演算
装置には、前記計数回路の出力値と前記デジタル化され
た熱電対の測温点の測温出力値との差を算出する減算回
路を設けた。

［作用］ 本発明によれば、基準接合点の温度計測に機械電気振動
子を配設し、該機械電気振動子の計測値と熱電対の測温
出力値とから、該機械電気振動子の温度変化特性を活用
して熱電対の測温点の温度を算出するようにし、前記機
械電気振動子の温度変化特性を活用する手段としては水
晶発振回路を用いるようにした。水晶発振回路は水晶振
動子の直列共振点と並列共振点との間の狭いインダクタ
ンス成分を活用した発振回路であるので非常に安定な発
振器が得られ、従って安定な基準接合点の温度計測値が
えられる。また、演算回路には機械電気振動子を構成要
素とする発振回路と熱電対の測温点の測温出力値との相
対温度特性から作成した演算式によって該熱電対の測温
点の温度を算出するようにし、また、減算回路を用いる
ようにしたのでリニアライザを不要にすることが出来た
。

従って、調整箇所が少なく、安定で高精度な温度計測方
法と温度計測装置を提供することができる。

［実施例］ 本発明の実施例を図によって詳細に説明する。

第１図は本発明に基づく一実施例の回路図であり、第２
図は別の実施例の回路図である。

第３図には本発明の実施例に用いる水晶振動子について
の説明図を示している。

第３図（Ａ＞は水晶振動子の等価回路図であって、第３
図（Ｂ）図は該等価回路に基づく特性図である。

第３図（Ａ）においてＲＱは水晶振動子のもつ等価抵抗
、Ｌは水晶振動子の持つ等価インダクタンス、ＣＯは水
晶振動子の持つ等価キャパシタンスであって、Ｃｍは該
水晶振動子の両端に於ける電極間の等価キャパシタンス
である。

本等価回路による特性は第３図（Ｂ）に示すように直列
共振点ＦＳと並列共振点Ｆｐが存在し、水晶の振動は機
械的であって損失成分が少ないのでＲＯが小さく、従っ
て非常に大きなＱを得ることかでき、また、Ｃ１ｎの大
きさに比べてｃＯの大きさが極度に小さいので二つの共
振点は非常に接近している。従って、第３図（Ｂ）図に
示す直列共振点ＦＳと並列共振点Ｆｐの間のインダクタ
ンス成分を活かした発振回路を構成すると非常に安定な
発振器を得ることができる。

また、水晶はカットの仕方によって各種の温度特性を持
った性能のものを得ることができるが、いずれにしても
安定な特性を持っているので、温度による前記発振器の
発振周波数の変化特性を計測しておくと、該発振器の発
振周波数を計測することによって、該水晶振動子部の温
度を検知することができる。

第１図は上述した水晶発振器の温度特性を活かした本発
明に基づく温度計測装置の実施例を示している。

第１図において、１ａとｌｂは均質で相互に成分を異に
する２種類の金属線であり、Ｊは両金属線を接合した接
合点である。ｌａ、１ｂ両金属線と接合点によって熱電
対ｌの測温部を構成していて、該接合点Ｊを測定すべき
対象位置に配設する。

金属線ｔａと１ｂは筐体２の内部に設けた基準接合点２
１においてリード線に接合し、前記二種の前押金属線の
二個所の接合点間の温度差によって得られる測温出力値
は、リード線７ａと７ｂによって導いて増幅回路３に入
力し、所定の電圧まで増幅した後、アナログデジタル変
換回路（以下ＡＤＣと記す）４によってデジタル値に変
換してコンピュータ１０の入力回路１３に入力する。

２２は発振回路２３を構成する水晶振動子であって、該
発振回路２３の発振周波数はカウンタ５によって計測し
た後、コンピュータ１０の入力回路１３に入力される。

コンピュータ１０には前記二つのデジタル入力値から測
温点の温度を算出するための演算処理プログラムと定数
を記録したメモリ１２とコンピュータ本体く以下ＣＰＵ
と記す）１１が含まれていて、ＣＰＵＩＩに於ける演算
結果は表示部６に表示される。

次に上記の回路における回路動作を説明する。

均質で相互に成分を異にする２種類の金属線、１ａと１
ｂは接合点Ｊと２１において接合しているのでゼーベッ
ク効果に基づく前接合点の温度差による起電力はリード
線７ａと７ｂの間に出力される。リード線７ａと７ｂは
増幅回路３に結合されているので、該起電力値は増幅回
路３に設定されている増幅機能によって所定の振幅まで
増幅した後、ＡＤＣ４によって所定の条件にしたがった
デジタル値に変換してコンピュータ１０の入力回路１３
に入力している。

上記の回路において２種類の金属線１ａと１ｂの接合点
Ｊは測温点に配設されているので、基準接合点２１の温
度が明確に管理されれば、測温点Ｊの温度を正しく知る
ことが出来る。

基準接合点２１はリード線と接合する為の端子板に構成
されていて、該端子板は空気の流れを押さえて断熱し密
閉した筐体２の内部に装着されている。また、基準点２
１を設けた端子板には水晶振動子２２を発振要素とする
発振回路２３を該水晶振動子２２と端子板との間の温度
抵抗を高めない構造で装着している。

従って、水晶振動子２２は基準接合点２１と同一温度に
安定に維持されているので、水晶振動子２２を発振要素
とする発振回路２３の発振周波数は基準接合点２１の温
度によって一義的に定められている。水晶振動子２２を
発振要素とする発振回路２３の発振周波数をカウンタ５
に入力すると、カウンタ５においては、予め定めた所定
の時間毎に開閉して前記発振回路２３からの入力信号を
入り切りするゲート回路とカウンタがあって、該ゲート
回路が開いている間に該ゲート回路を通過する前記発振
回路２３からの入力信号の波の数をカウンタでカウント
する。従って、該発振回路２３の発振周波数はデジタル
値に変換され、カウンタ５の出力信号としてコンピュー
タ１０の入力回路１３に入力している。

コンピュータ１０の内部に設けたメモリ１２には、２種
類の金属線１ａと１ｂによって構成される熱電対ｌの温
度特性と、水晶振動子２２を発振要素とする発振回路の
温度特性、および、その他の回路条件から定まる演算式
と関係する定数が、演算プログラムとして記憶させてい
る。

入力回路１３はＣＰＵ１１と外部入力回路とのインタフ
ェースとしての機能を有しているので、入力回路１３に
入力したＡＤＣ４からの入力値とカウンタ５からの入力
値はＣＰＵＩＩが演算処理をするに適した条件に変換処
理されてＣＰＵ１１に入力し、ＣＰＵＩＩにおいては前
記演算プログラムによって演算される。従って、ＣＰＵ
ＩＩの出力端子からは測温点Ｊの温度が正しく算出され
て出力する。出力回路１４は、ＣＰＵ１１の出力端子と
外部回路との間のインタフェースとして、ＣＰＵ１１の
出力端子から得られる出力信号をあらかじめ定められた
設計条件にしたがって外部回路に結合出来るように構成
されているので、前記ＣＰＵ１１からの温度情報は出力
回路１４において表示装置６に入力するに適した信号に
変換処理されて表示装置６に入力する０表示装置６には
ラッチ回路と表示回路及び表示回路の為の増幅回路が含
まれる。したがって前記ＣＰＵ１１からの温度情報はラ
ッチ回路に入力し、該ラッチ回路は新しい温度情報がＣ
ＰＵＩＩから供給されるまでの間該ラッチ回路のラッチ
している値を増幅回路で増幅し、表示回路で表示する。

上述の回路においてカウンタ５は、所定の時間毎にカウ
ンタ内部に含まれるゲートを開閉し、ゲートを通過する
水晶振動子２２を発振要素とする発振回路２３の発振周
波数の波の数をカウンタでカウントすると記したが、ゲ
ートを通過する水晶振動子２２を発振要素とする発振回
路の発振波の波と波の間、即ち該発振波の１サイクルの
周期を時間とするゲート信号を作成し、別に設けた安定
な高周波パルス発振器からのパルス信号が該ゲート信号
を通過する数をカウントするようにしても良い、またそ
の他の周波数デジタル変換回路を使用することができる
。

上述した変換回路のうちいずれの変換回路を用いるかは
、水晶振動子２２を発振要素とする発振回路２３の発振
周波数及び必要とする演算精度、及びＣＰＵの性能によ
って任意に定めることが出来る。

また、機械電気振動子として水晶振動子を用いるように
説明したが、水晶振動子の代わりにセラミック振動子を
用いても良い、またチュウニングフォークによる発振器
を用いることも出来る。どの様な機械電気振動子を用い
るかは必要な温度の計測精度及びその他条件によって選
択すれば良い。

また、水晶振動子を発振要素とする発振回路は、最近は
ＩＣとして水晶振動子を含んだ発振器が市販されている
ので、水晶振動子とともに発振回路も基準接合点を装着
した端子板に装着することが可能であり、また望ましい
が、条件によっては、水晶発振回路の特性からみて大き
な影響が無いので′９．振回路を端子板から離して装着
しても良い。

また、コンピュータ１０の内部に設けたメモリ１２には
、２種類の金属線１ａと１ｂによって構成される熱電対
としての温度特性と、水晶振動子２２を発振要素とする
発振回路の温度特性、及びその他の回路条件から定まる
演算式と関係する定数が演算プログラムとして記憶させ
ている、と記したが、熱電対の温度特性と水晶振動子を
発振要素とする発振回路の温度特性、及びその他の回路
条件から定まる演算式と関係する定数は、数式を基にし
て演算プログラムとして作成し記憶させて使用しても良
いが、熱電対の温度特性と水晶振動子を発振要素とする
発振回路の温度特性、及びその池の回路条件から定まる
関係を熱電対の温度と水晶振動子を発振要素とする発振
回路の発振周波数と熱電対の起電力とから該熱電対の測
温点の温度を検出する三次元の数表として、または複数
の数表として記憶させ、熱電対の起電力値と発振回路の
発振周波数の計測値に対応して該数表から索引し、数表
に表示されていない中間値に対しては比例計算で補正す
るようにして熱電対の測温点の温度を算出することもで
きる。

また、必要とする計測温度の範囲がせまく、前述した各
要素間の関係温度特性が直線であると見做し得る場合に
おいては、ＣＰＵ１１に記憶させる前立プログラムを熱
電対の起電力値と発振回路の発振周波数の計測値との差
を求める減算式とすることができる。この場合は熱電対
の起電力値と発振回姉の発振周波数の計測値との関係を
合わせるためにＡＤＣ４のアナログデジタル変換条件を
適切に設定しておくかＣｌ）　ｔＪ　１１の中にデジタ
ル化された熱電対の起電力値と発振回路の発振周波数の
計測値との関係を合わせるための処理プログラブ、が必
要である。

また、必要とする計測温度の範囲がせまく、前述した各
要素１５１の関係温度１．シ性が直線であると見做しｆ
：）る場合においては、ＣＰＵＩＩをハードウェアによ
って構成した減算回路に置き換えても良い 即ち第２図において、１ａと１ｂは均質で相互に成分を
弄にする２種類の金属線であり１．■は両金属線を接合
した接合点である。ｌａ、ｌｂ両全金属線接合点によっ
て熱電対１の測温部を構成していて、該接合点Ｊを測定
すべき対象位置に配設する。金属線１ａと１ｂは筐体２
の内部に設けたＪ＾準接接合点２１おいてリード線に接
合し、前記棟の５ｚ種金属線の二個所の接合点間の湛度
港によって得られる測温出力値はリード線７ａと７ｂに
よって導いて増幅回路３に入力し、所定の電圧まで増幅
した後、アナログデジタル変換回路（以下ＡＤＣと記す
〉４によってＢＣＤコートのデジタル値に変換して加算
回路１５の入力端子に人力する。２２は発振回路２３を
構成する水漏振動子であって、該発振回路２３の発振周
波数は二進化＋逸コード〈以下ＢＣＤコードと記す〉の
カウンタ５によって計測した後、補数作成回路１６でカ
ウンタ５のカウント値を９の補数値に変換して、前述し
た加算回路１５のＡＤＣ４がらの出力値を人力した入力
端子とは別の入力端子に人力し、加算回路１５の内容は
表示部６に表示される９次に上記の回路における回路動
作を説明する。

均質で相互に成分を異にする２種類の金属線、ｌａとｌ
ｂは接合点、Ｊと２１において接合しているのでゼーベ
ック効果に基づく両接合点の温度差による起電力はリー
ド線７ａと７ｂの間に出力される。リード線７ａと７ｂ
は増幅回！＠３に結合されているので、該起電力値は増
幅回路３に設定されている増幅機能によって所定の振幅
まで増幅した後、ＡＤＣ４によって後述する水晶発振回
路の発振周波数との対応を合わせるために必要な所定の
条件にしたがったＢＣＤコードのデジタル値に変換して
加算回路１５の入力端子に入力する。

上記の回路において２種類の金属線１ａと１１）の接合
点Ｊは測温点に配設されているので、基準接合点２１の
温度が明確に管理されれば、測温点、Ｊｏ）温度を正し
く知ることが出来る。

基準接合点２１はリード線と接合するｌ）の端子板に構
成されていて、該端子板は空気の流れを押さえて断熱し
密閉した筐体２の内部に装着されている。また。基準点
２１を設けた端子板には水晶振動子２２を発振要素とす
る発振回路２３を該水晶振動子２２と端子板との間の温
度抵抗を高めない構造で装着している。

従って、水晶振動子２２は基準接合点２１と同一温度に
安定に維持されているので、水晶振動子２２を発振要素
とする発振回路２３の発振周波数は基準接合点２１の温
度によって一義的に定められている。水晶振動子２２を
発振要素とする発振回路２３の発振周波数をカウンタ５
に入力すると、カウンタ５においては、予め定めた所定
の時間毎に１剤１刀して前記発振回路２３がらの入力信
号を入り切りするゲート回路とカウンタがあって、該ゲ
ート回路が開いている間に該ゲート回路を通過する前記
発振回路２３からの入力信号の波の数を、ＢＣＤコード
のカウンタでカウントする。従って該発振回路２３の発
振周波数はＢＣＤコードのデジタル値に変換される。

該水晶発振回路２３の発振周波数はカウンタ５によって
計ａｌｌした後、補数作成回路１６でカウンタ５のカウ
ント値をＢＣＤコードにおける９の補数値に変換して前
述した加算回路１５のＡＤＣ４からの出力を入力した入
力端子とは別の入力端子に入力する。また、該加算回路
には前記カウンタ５に於けるゲート信号を入力して加算
のスタートストップを行っている。従って、加算回路１
５には加算結果として、熱電対１の測温値をＢＣＤコー
ドで表したデジタル値から水晶発振回路２３の発振周波
数をＢＣＤコードで表したデジタル値を減算した値、す
なわち測温点の正しい温度値が残されている。従って、
該加算回路１５の加算結果を表示装置６に表示すること
によって、測温点の正しい温度値を知ることができる。

上記の説明において、加算回路をＢＣＤコードで表した
デジタル値で計算するように説明したが、必ずしもＢＣ
Ｄコードにとられれること無く、任意のコードによるデ
ジタル処理が実施出来る。また、減算の可能な回路であ
れば上記のような加算回路を用いなくても良い。

また、上記の説明では、機械電気振動子として水晶振動
子を用いるように説明したが、前述した第１図の実施例
と同じく水晶振動子の代わりにセラミック振動子を用い
ても良い、またチュウニングフォークによる発振器を用
いることも出来る。

どの様な機械電気振動子を用いるかは必要な温度の計測
精度及びその他条件によって選択すれば良い。また、水
晶振動子を発振要素とする発振回路は、最近はＩＣとし
て水晶振動子を含んだ発振器が市販されているので、水
晶振動子とともに発振回路も基準接合点を装着した端子
板に装着することが可能であり、また望ましいが、条件
によっては、水晶発振回路の特性からみて大きな影響が
無いので発振回路を端子板から離して装着しても良い また、上述の説明ではデジタル処理で説明したが、発振
回路の発振周波数を周波数アナログ変換を行い、演算増
幅器によってｍ戒した減算回路等によるアナログ処理に
よってもよい。

また、筐体２は断熱構造の密閉した筐体であると説明し
たが、環境条件によっては開放型の端子板のみであって
も良い。

また温度計測結果は、表示装置６に表示するように説明
したが、測定結果を自動温度制御装置等に入力して、各
種自動制御装置に活用することも出来る。

［発明の効果１ 以上説明したように本発明によれば、基準接合点の温度
計測に機械電気振動子を配設し、該機械電気振動子の計
測値と熱電対の起電力とから該熱電対の測温点の温度を
算出するようにしたので、調整箇所が少なく、安定で高
精度な温度計測方法と温度計測装置を提供することがで
きる。また、リニアライザを不要にすることが出来ると
いうすぐれた効果を得ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例の回路ブロック図。 第２図は本発明に係る別の実施例の回路ブロック図。 第３図は第１図、第２図に示した実施例の水晶振動子の
特性図。 第４図は従来の概要回路ブロック図である。 １・・・熱電対 ２・・・基準接合点筐体 ３・・・増幅回路 ４・・・アナログデジタル変換回路 ５・・・カウンタ ６・・・表示装置 ７・・・リード線 １０−・・コンピュータ １１・・・ＣＰＵ １２・・・メモリ １３・・・入力回路 １４・・・出力回路 １５・・・加算回路 １６・・・補数作成回路 １・・・基準接合点 ２・・・水晶振動子 ３・・・発振回路 １．４２・・・金属線 ３．４４・・補償導線 ５．４６・・・リート線 ７・・・摂氏零度維持装置 ８・・・恒温槽 ９・・・温度補償装置 Ｏ・・表示装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、熱電対による温度計測手段において、熱電対の基準
   接合点部に配設した機械電気振動子の温度による物理的
   変数を計測し、該計測値と熱電対の測温出力値とから該
   熱電対の測温点の温度を算出することを特徴とする温度
   計測方法。 ２、機械電気振動子に水晶振動子を用いたことを特徴と
   する請求項１記載の温度計測方法。 ３、前記機械電気振動子の物理的変数を第１のデジタル
   量によって得、前記熱電対の測温出力を第２のデジタル
   量で得、第１のデジタル量と第２のデジタル量との差か
   ら熱電対の測温点の温度を算出することを特徴とする請
   求項１記載の温度計測方法。 ４、熱電対による温度計測装置において、熱電対の基準
   接合点部に配設した機械電気振動子と、該機械電気振動
   子の温度による物理的変数の計測装置と、該計測値と熱
   電対の測温出力値とから該熱電対の測温点の温度を算出
   する演算装置とを含んでいることを特徴とする温度計測
   装置。 ５、機械電気振動子に水晶振動子を用いたことを特徴と
   する請求項４記載の温度計測装置。 ６、熱電対による温度計測装置において、熱電対の基準
   接合点部に配設した機械電気振動子と、該機械電気振動
   子を構成要素とする発振回路と、該発振回路の発振周波
   数を計数する計数回路と、熱電対の測温点の熱起電力を
   デジタル値に変換するアナログデジタル変換回路と、前
   記計数回路の出力値と前記デジタル化された熱電対の測
   温点の測温出力値から前記機械電気振動子を構成要素と
   する発振回路と熱電対の測温点の測温出力値との相対温
   度特性から作成した演算式によつて該熱電対の測温点の
   温度を算出する演算装置とを含むことを特徴とする温度
   計測装置。 ７、機械電気振動子に水晶振動子を用いたことを特徴と
   する請求項６記載の温度計測装置。 ８、前記演算装置が、前記計数回路の出力値と前記デジ
   タル化された熱電対の測温点の測温出力値との差を算出
   する減算回路であることを特徴とする請求項６記載の温
   度計測装置。