JPH0372271U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0372271U JPH0372271U JP13153689U JP13153689U JPH0372271U JP H0372271 U JPH0372271 U JP H0372271U JP 13153689 U JP13153689 U JP 13153689U JP 13153689 U JP13153689 U JP 13153689U JP H0372271 U JPH0372271 U JP H0372271U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerant gas
- cold head
- gas supply
- refrigerator
- compressor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 11
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
図面は本考案を適用した半導体材料分析装置の
概略構成図である。 １……圧縮機、２……コールドヘツド、３……
冷凍機、１４……冷凍ガス供給口、１５……冷媒
ガス戻し口、１６……冷媒ガス給排路。
概略構成図である。 １……圧縮機、２……コールドヘツド、３……
冷凍機、１４……冷凍ガス供給口、１５……冷媒
ガス戻し口、１６……冷媒ガス給排路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 冷媒ガスを冷凍機３の圧縮機１とコールドヘツ
ド２の間で循環させ、圧縮した冷媒ガスをコール
ドヘツド２内で膨張させることにより極低温を得
るようにした極低温冷凍機において コールドヘツド２へ圧縮冷媒ガスを供給する冷
媒ガス供給口１４と膨張後の冷媒ガスを圧縮機１
に戻す冷媒ガス戻し口１５をコールドヘツド２の
相反する周側面に配置するとともに、この冷媒ガ
ス供給口１４と冷媒ガス戻し口１５に接続する冷
媒ガス給排路１６をスパイラルに形成したメタル
製フレキシブルホースで形成したことを特徴とす
る極低温冷凍機の防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13153689U JPH0372271U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13153689U JPH0372271U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0372271U true JPH0372271U (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=31679037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13153689U Pending JPH0372271U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0372271U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018507531A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-03-15 | アットキューブ システムズ アーゲー | テーブル |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155151A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | Piping device for air conditioner |
| JPS6357987A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-12 | 日立電線株式会社 | コンプレツサ−接続用フレキシブル管 |
| JPS6370053A (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-30 | 株式会社日立製作所 | 冷凍機による冷却方法 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13153689U patent/JPH0372271U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155151A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | Piping device for air conditioner |
| JPS6357987A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-12 | 日立電線株式会社 | コンプレツサ−接続用フレキシブル管 |
| JPS6370053A (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-30 | 株式会社日立製作所 | 冷凍機による冷却方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018507531A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-03-15 | アットキューブ システムズ アーゲー | テーブル |