JPH0366731B2 - - Google Patents

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JPH0366731B2
JPH0366731B2 JP60077304A JP7730485A JPH0366731B2 JP H0366731 B2 JPH0366731 B2 JP H0366731B2 JP 60077304 A JP60077304 A JP 60077304A JP 7730485 A JP7730485 A JP 7730485A JP H0366731 B2 JPH0366731 B2 JP H0366731B2
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JP
Japan
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thin film
protective layer
group
metal
magnetic recording
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JP60077304A
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JPS61236017A (en
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Supika Ootsubo
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Canon Anelva Corp
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Anelva Corp
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Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

(産業上の利用分野) 本発明は磁性金属薄膜を磁気記録層として備え
てなる磁気記録媒体の構成に関するものである。 (従来技術とその問題点) 近年、情報処理分野で記録媒体の高記録密度化
が要求されている。高記録密度媒体としては、金
属薄膜から成る磁性層を有する金属薄膜型磁気記
録媒体が有望視されている。特に最近は、金属薄
膜を用いた垂直磁気記録方式がその高密度記録性
のため注目されている。 しかしながら、この金属薄膜型磁気記録媒体
は、未だに実用上いくつかの問題点を抱えてい
る。例えば、磁性層表面の耐磨耗性および耐蝕性
を向上させるため、従来の磁性層表面にはプラス
チツク、セラミツク等から成る薄膜保護層が形成
されているが、これらの保護層は潤滑性に欠けた
り磁性層との密着性が悪かつたりしていづれも充
分なものとは言えなかつた。 そこで、脂肪酸やフツ素化炭化水素等の潤滑剤
により潤滑・保護層を形成することが試みられて
いる。そして、フツ素系潤滑剤特にパーフルオロ
ポリエーテル(クライトツクス<商品名、デユポ
ン社製>、ホンブリン<商品名、モンテカーニ・
エデイソン社製>等)は、これが潤滑保護層とし
て用いられた場合、耐蝕性、潤滑性等に優れた性
質を示すことが知られている。しかしながら、パ
ーフルオロポリエーテルは、金属薄膜上つまり磁
性層表面に塗布されると金属表面ではじかれてし
まい。磁性層表面に均一に塗布することが難かし
いという欠点を有している。最近は、パーフルオ
ロポリエーテル分子の末端に、水酸基(−OH)、
カルボキシル基(−COOH)等の極性基をそな
えたタイプのものが潤滑保護層として用いられる
ようになつて、金属表面へのなじみはかなり向上
したが、未だに均一性の充分な保護層は得られて
いない。一般に潤滑剤は、均一に塗布されていな
いと上記の折角の優れた性質を充分に発揮するこ
とができないため、これが問題となつている。 また、上述した様な液体潤滑剤からなる保護層
は、記録再生時のヘツドと媒体が接触摺動する厳
しい境界摩擦条件下では、媒体の磁性層表面の磨
耗や損傷を防ぎきれない弱さをもつている。その
ため、プラスチツク、セラミツク等から成る薄膜
保護層を磁性層表面に先ず形成し、さらにその上
に潤滑剤を塗布する方法も検討されているが、や
はり潤滑剤を均一に密着性良く塗布することは困
難である。 (発明の目的) この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、
その目的は潤滑性、耐磨耗性、耐蝕性に優れた潤
滑保護層を有する金属薄膜型磁気記録媒体を提供
することにある。 (発明の構成) 本発明の上記の目的は、非磁性基体上に設けら
れた金属薄膜磁性層上に、周期律表第族に属す
る金属又は非金属の元素の薄膜から成る薄膜保護
層を置き、さらにその上に極性基を持つ弗素系潤
滑剤から成る潤滑層を積層する構成の潤滑保護層
を設けることで達成される。 (実施例) 次に本発明の概略を示す。まず、例えばポリエ
チレンテレフタレートフイルムの基体(ベースフ
イルム)が用意される。次に例えばスパツタ法に
よつてベースフイルム上に金属薄膜から成る磁性
層が形成される。この磁性層は例えばCo−Cr合
金で形成される。そしてこの磁性層表面上に、
Arガス雰囲気中でSiをスパツタすることにより、
例えば厚さ500ÅのSi保護層が形成される。次に
このSi保護層表面に、パーフルオロポリエーテル
を含む溶液が塗布されて潤滑層が形成される。上
記溶液の組成は例えば以下のようである。 パーフルオロポリエーテル(末端にカルボン基を
もつもの) 1ml トリクロロトリフロロエタン 1ml 以上の工程により本発明の実施例としての潤滑
保護層をそなえた金属薄膜型磁気記録媒体が生産
される。 次には、その評価について記述する。 (A)Si保護層の形成されていない磁性層表面、(B)
Si保護層の形成されていない磁性層表面に上記溶
液を塗布して形成された潤滑層の表面、(C)Si保護
層の形成された磁性層表面、(D)Si保護層の形成さ
れた磁性層上に上記溶液を塗布して形成された潤
滑層の表面、(E)SiO2薄膜を磁性層上に形成して
保護層とした保護層表面、および、(F)SiO2保護
層の形成された表面に上記溶液を塗布して形成さ
れた潤滑層の表面、(A)〜(F)の6種類の表面に対し
て行つた実験結果を以下に示す。前述の実施例は
(D)に該当する。
(Industrial Application Field) The present invention relates to the structure of a magnetic recording medium comprising a magnetic metal thin film as a magnetic recording layer. (Prior art and its problems) In recent years, there has been a demand for higher recording densities in recording media in the information processing field. As a high recording density medium, a metal thin film type magnetic recording medium having a magnetic layer made of a metal thin film is considered to be promising. Particularly recently, perpendicular magnetic recording systems using metal thin films have been attracting attention because of their high-density recording properties. However, this metal thin film magnetic recording medium still has some practical problems. For example, in order to improve the abrasion resistance and corrosion resistance of the magnetic layer surface, a thin film protective layer made of plastic, ceramic, etc. is conventionally formed on the magnetic layer surface, but these protective layers lack lubricity. However, the adhesion with the magnetic layer was poor, and none of them could be said to be satisfactory. Therefore, attempts have been made to form a lubricating and protective layer using lubricants such as fatty acids and fluorinated hydrocarbons. Fluorine-based lubricants, especially perfluoropolyethers (Krytx (trade name, manufactured by DuPont), Homblin (trade name, Montecani),
(manufactured by Edison Co., Ltd.) is known to exhibit excellent properties such as corrosion resistance and lubricity when used as a lubricating protective layer. However, when perfluoropolyether is applied onto a thin metal film, that is, the surface of a magnetic layer, it is repelled by the metal surface. It has the disadvantage that it is difficult to apply it uniformly to the surface of the magnetic layer. Recently, hydroxyl group (-OH),
Types with polar groups such as carboxyl groups (-COOH) have come to be used as lubricating protective layers, and their adhesion to metal surfaces has improved considerably, but it is still not possible to obtain a protective layer with sufficient uniformity. Not yet. Generally, lubricants cannot fully exhibit the above-mentioned excellent properties unless they are applied uniformly, which is a problem. In addition, the protective layer made of liquid lubricant as described above is weak and cannot prevent wear and damage to the surface of the magnetic layer of the medium under severe boundary friction conditions when the head and medium contact and slide during recording and reproduction. I have it too. For this reason, a method of first forming a thin film protective layer made of plastic, ceramic, etc. on the surface of the magnetic layer and then applying a lubricant on top of that is being considered, but it is still difficult to apply the lubricant uniformly and with good adhesion. Have difficulty. (Object of the invention) This invention was made in view of the above points,
The purpose is to provide a metal thin film type magnetic recording medium having a lubricating protective layer with excellent lubricity, abrasion resistance, and corrosion resistance. (Structure of the Invention) The above-mentioned object of the present invention is to provide a thin film protective layer made of a thin film of a metal or non-metallic element belonging to Group Group of the Periodic Table on a metal thin film magnetic layer provided on a non-magnetic substrate. This is achieved by providing a lubricating protective layer having a structure in which a lubricating layer made of a fluorine-based lubricant having a polar group is further laminated thereon. (Example) Next, an outline of the present invention will be shown. First, a base film of, for example, polyethylene terephthalate film is prepared. Next, a magnetic layer made of a thin metal film is formed on the base film by, for example, a sputtering method. This magnetic layer is made of, for example, a Co-Cr alloy. And on the surface of this magnetic layer,
By sputtering Si in an Ar gas atmosphere,
For example, a Si protective layer with a thickness of 500 Å is formed. Next, a solution containing perfluoropolyether is applied to the surface of this Si protective layer to form a lubricating layer. The composition of the above solution is, for example, as follows. Perfluoropolyether (having a carboxyl group at the end) 1 ml Trichlorotrifluoroethane 1 ml Through the above steps, a metal thin film type magnetic recording medium provided with a lubricating protective layer as an embodiment of the present invention is produced. Next, I will describe the evaluation. (A) Magnetic layer surface without Si protective layer, (B)
The surface of the lubricating layer formed by applying the above solution to the surface of the magnetic layer on which no Si protective layer is formed, (C) The surface of the magnetic layer on which the Si protective layer is formed, (D) The surface of the magnetic layer on which the Si protective layer is formed. The surface of the lubricating layer formed by applying the above solution on the magnetic layer, the surface of the protective layer formed by forming (E) a SiO 2 thin film on the magnetic layer, and the surface of the (F) SiO 2 protective layer. The results of experiments conducted on six types of surfaces (A) to (F), which are the surfaces of lubricant layers formed by applying the above solution to the formed surfaces, are shown below. The above example is
(D) applies.

【表】【table】

【表】 表1は上記表面および水の接触角を、表2は各
表面の摩擦係数を、それぞれ示している。 以上の実験結果から(D)即ちSi保護層の形成され
た磁性層表面に更に上記溶液を塗布して形成され
た潤滑保護層をもつ本発明の磁気記憶媒体の表面
は、水の接触角が大きく、また摩擦係数が最も小
さいことがわかる。 水の接触角が大きいということは、表面のぬれ
性が悪く、水の侵入が防止できることを意味し、
腐蝕しにくいこと示している。また摩擦係数が小
さいということは、潤滑性および耐磨耗性に優れ
ていることを示している。以上のことから本発明
の磁気記録媒体においては、磁性層表面に上記溶
液が極めて均一に塗布されており、これによつて
パーフルオロポリエーテルの優れた性質が充分に
発揮されていることがわかる。 次にはより具体的な実施例によつて本発明を更
に詳しく説明する。 (具体的な実施例) 厚さ50μのポリエスエチレ
ンテレフタレートのベースフイルムに、高周波マ
グネトロンスパツタ装置を用いて厚さ0.5μmの
Co−Cr薄膜を作成した。組成はCrを17wt%とし
残余の83wt%がCoで構成されるものとした。次
いで上記のCo−Cr薄膜上に、前記と同様に、高
周波マグネトロンスパツタ装置を用いて厚さ300
ÅのSi薄膜を形成したのち、これを円板状に打ち
抜いて磁気記録デイスクとした。次にこれをクラ
イトツクス157FSL<カルボキシル基を分子端に
そなえたパーフルオロポリエーテルの商品名、デ
ユポン社製>1部とトリクロロトリフロロエタン
1000部からなる潤滑剤溶液中に浸漬し、引き上げ
後放置自然乾燥して潤滑層を形成した。 比較例 1 実施例と同様にして作成したCo−Cr薄膜を円
板状に打ち抜いて磁気記録デイスクとし、直接
Co−Cr薄膜上に(具体的な実施例)と同様にし
て潤滑層を形成した。 比較例 2 (具体的な実施例)と同様にして、Co−Cr薄
膜上に厚さ300ÅのSi保護層を形成したのち円板
状に打ち抜き磁気記録デイスクとした。 比較例 3 (具体的な実施例)におけるSi薄膜のかわりに
厚さ300ÅのSiO2薄膜を形成したのち(具体的な
実施例)と同様にして潤滑層を形成した。 上記の(具体的な実施例)及び(比較例1〜
3)の磁気デイスクをいずれも市販の磁気記録デ
イスク汚れ防止用ジヤケツトに挿入し、記録再生
装置に装填し、毎分300回転で録再ヘツドに接触
させて走行させ、出力が初期の80%以下になるま
での総回転数と限界記録密度を測定した。又、媒
体を100万回回転させたときの磨耗、損傷の状態
を評価した。得られた結果を表3に示す。
[Table] Table 1 shows the contact angle of the above surfaces and water, and Table 2 shows the friction coefficient of each surface. From the above experimental results (D), that is, the surface of the magnetic storage medium of the present invention, which has a lubricating protective layer formed by further applying the above solution on the magnetic layer surface on which the Si protective layer is formed, has a water contact angle. It can be seen that the coefficient of friction is the smallest. A large water contact angle means that the surface has poor wettability and water can be prevented from entering.
This shows that it is resistant to corrosion. Furthermore, a small coefficient of friction indicates excellent lubricity and wear resistance. From the above, it can be seen that in the magnetic recording medium of the present invention, the above-mentioned solution is applied extremely uniformly to the surface of the magnetic layer, thereby fully demonstrating the excellent properties of perfluoropolyether. . Next, the present invention will be explained in more detail with reference to more specific examples. (Specific Example) A 50μ thick polyester ethylene terephthalate base film is coated with a 0.5 μm thick base film using a high frequency magnetron sputtering device.
A Co-Cr thin film was created. The composition was 17 wt% Cr and the remaining 83 wt% Co. Next, the above Co-Cr thin film was coated with a thickness of 300 mm using a high-frequency magnetron sputtering device in the same manner as described above.
After forming a Si thin film with a thickness of 1.5 Å, this was punched out into a disk shape to form a magnetic recording disk. Next, this was mixed with 1 part of Krytx 157FSL (trade name of perfluoropolyether with a carboxyl group at the end of the molecule, manufactured by DuPont) and trichlorotrifluoroethane.
It was immersed in a lubricant solution consisting of 1000 parts, pulled up, and left to air dry to form a lubricant layer. Comparative Example 1 A Co-Cr thin film prepared in the same manner as in Example was punched out into a disk shape to form a magnetic recording disk, and then directly
A lubricating layer was formed on the Co--Cr thin film in the same manner as in (Specific Example). Comparative Example 2 In the same manner as in the specific example, a Si protective layer with a thickness of 300 Å was formed on a Co--Cr thin film and then punched out into a disk shape to obtain a magnetic recording disk. Comparative Example 3 After forming a SiO 2 thin film with a thickness of 300 Å instead of the Si thin film in (Specific Example), a lubricating layer was formed in the same manner as in (Specific Example). Above (specific examples) and (comparative examples 1-
Insert each of the magnetic disks in 3) into a commercially available magnetic recording disk dirt prevention jacket, load it into a recording/playback device, and run it in contact with the recording/playback head at 300 revolutions per minute until the output is 80% or less of the initial level. The total number of rotations and the critical recording density were measured. We also evaluated the state of wear and damage when the media was rotated 1 million times. The results obtained are shown in Table 3.

【表】 この表3によつて、(具体的な実施例)によれ
ば、金属薄膜型磁気記録媒体の高密度性をほとん
ど損わずに、媒体の耐久性を飛躍的に向上しうる
ことがわかる。これは、発明の磁気記録媒体の潤
滑保護層が、充分な均一性を有しかつ特に潤滑層
の密着性に優れていることを示している。 尚、上述の実施例は、この発明を説明するため
のもので、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば、Si保護層の代わりに周期律表
第族に属する他の元素、例えばGe薄膜を保護
層としても良い。また、例えば上記溶液の組成、
濃度も実施例に限定されることなく必要に応じて
変更することができる。更にまた、上記実施例は
Co−Cr合金の金属薄膜で形成された磁性層と、
ポリエチレンテレフタレートから成るベースフイ
ルムとを有する金属薄膜型磁気記録媒体を示した
が、本発明は、他の組合せ、例えばCo−P合金
の薄膜で形成された磁性層とポリエステルから成
るベースフイルムとを有する金属薄膜型磁気記録
媒体にもこれを適用することができる。更に薄膜
保護層、潤滑層の形成方法も必要に応じて変更可
能である。本発明で用いられる磁性層の金属薄膜
の形成方法も、スパツタ法に限らず、真空蒸着
法、メツキ法、イオンプレーテイング法等を用い
たものも可能である。 (発明の効果) 以上詳述したような本発明の構成によれば、極
性基をもつ弗素系潤滑剤溶液が磁性層上に均一か
つ密着性良く塗布される為、耐蝕性、潤滑性およ
び耐磨耗性に優れた潤滑保護層を有する金属薄膜
型磁気記録媒体が得られる。
[Table] According to this Table 3, according to (specific examples), the durability of the metal thin film magnetic recording medium can be dramatically improved without substantially impairing the high density properties of the medium. I understand. This indicates that the lubricating protective layer of the magnetic recording medium of the invention has sufficient uniformity and is particularly excellent in adhesion of the lubricating layer. Note that the above-mentioned embodiments are for explaining the present invention, and the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments. For example, instead of the Si protective layer, another element belonging to Group 3 of the periodic table, such as a Ge thin film, may be used as the protective layer. In addition, for example, the composition of the above solution,
The concentration is also not limited to the examples and can be changed as necessary. Furthermore, the above embodiment
A magnetic layer formed of a metal thin film of Co-Cr alloy,
Although a metal thin film type magnetic recording medium having a base film made of polyethylene terephthalate has been shown, the present invention has other combinations, for example, a magnetic layer made of a thin film of Co-P alloy and a base film made of polyester. This can also be applied to metal thin film magnetic recording media. Furthermore, the method of forming the thin protective layer and the lubricating layer can be changed as necessary. The method for forming the metal thin film of the magnetic layer used in the present invention is not limited to the sputtering method, but also methods using a vacuum evaporation method, plating method, ion plating method, etc. are also possible. (Effects of the Invention) According to the configuration of the present invention as detailed above, a fluorine-based lubricant solution having a polar group is uniformly applied onto the magnetic layer with good adhesion, thereby improving corrosion resistance, lubricity, and resistance. A metal thin film magnetic recording medium having a lubricating protective layer with excellent abrasion resistance can be obtained.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 非磁性基体上に設けられた金属薄膜磁性層上
に、周期律表第族に属する金属又は非金属の元
素の薄膜から成る薄膜保護層を置き、さらにその
上に極性基を持つ弗素系潤滑剤から成る潤滑層を
積層する構成の潤滑保護層を有することを特徴と
する金属薄膜型磁気記録媒体。 2 前記薄膜保護層が、周期律表第族に属する
金属又は非金属の元素をターゲツトとする不活性
ガス雰囲気中のスパツタにより作成された薄膜で
あり、その厚さが50Å以上500Å以下であり、不
純物としての酸化物、窒化物の該薄膜における含
有率が1重量%以下であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の金属薄膜型磁気記録媒
体。 3 前記の極性基を持つ弗素系潤滑剤が、末端に
極性基を有するパーフルオロポリエーラルであ
り、その極性基が水酸基(−OH)あるいはカル
ボキシル基(−COOH)のどちらかもしくはそ
の両方の組み合せであることを特徴とする特許請
求の範囲第1項および第2項記載の金属薄膜型磁
気記録媒体。
[Scope of Claims] 1. A thin film protective layer made of a thin film of a metal or nonmetallic element belonging to group 3 of the periodic table is placed on a metal thin film magnetic layer provided on a nonmagnetic substrate, and a polar 1. A metal thin film type magnetic recording medium characterized by having a lubricating protective layer having a structure in which lubricating layers made of a fluorine-based lubricant having a base are laminated. 2. The thin film protective layer is a thin film created by sputtering in an inert gas atmosphere targeting a metal or nonmetal element belonging to Group Group of the Periodic Table, and has a thickness of 50 Å or more and 500 Å or less, 2. The metal thin film magnetic recording medium according to claim 1, wherein the content of oxides and nitrides as impurities in the thin film is 1% by weight or less. 3. The above-mentioned fluorine-based lubricant having a polar group is a perfluoropolyether having a polar group at the terminal, and the polar group is either a hydroxyl group (-OH) or a carboxyl group (-COOH), or both. The metal thin film magnetic recording medium according to claims 1 and 2, characterized in that it is a combination.
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