JPH0365920A - スポット検出機構を備えた走査光学装置 - Google Patents

スポット検出機構を備えた走査光学装置

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JPH0365920A
JPH0365920A JP1202383A JP20238389A JPH0365920A JP H0365920 A JPH0365920 A JP H0365920A JP 1202383 A JP1202383 A JP 1202383A JP 20238389 A JP20238389 A JP 20238389A JP H0365920 A JPH0365920 A JP H0365920A
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spot
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scanning
focusing
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星野 脩
Kazuo Isaka
井阪 和夫
Masayuki Suzuki
雅之 鈴木
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野J 本発明は、レーザー等からのフライングスポットを感光
体等の被照射体上に走査する走査光学装置に関し、特に
被照射体上のスポットの集光状態を!I整する機能を有
する走査光学装置に関する。 [従来の技術] 従来、電子写真感光体や銀塩写真感光体等を用いたレー
ザービームプリンタにおいては、感光体上に結ばれたビ
ームスポットの集光状態のn測は、レーザー走査線上の
一部に配置された反射ミラーを介してビームを光電変換
素子に導くことにより行なわれているが、観測点は一個
所のみであるのが普通であった(例えば特開昭61−2
75868号公報、特開昭60−100113号公報、
特開昭62−81873号公報参照)。 [発明が解決しようとする課B] 従来の装置では、記録密度は400dpiから600d
pi程度で、感光体上のスポット形状はφ80μm乃至
φlOOμml度であり被写界深度も2mm程度あるの
で、前述の様に走査線の1個所の部分を疑似的に観測す
るのみでも左程問題はなかった。 しかし、近年のデスクトップパブリッシングの急速な普
及に伴い、1200dpiや2soodptといった更
なる高精度記録を目指すと、例えばスポット径は25μ
m程度で被写界深度は0.2mm位となり、従来の様に
走査線の1個所のみで疑似的にamを行なっていたので
は、温度や湿度によるデフォーカス、良像面と感光体面
の傾き、走査レンズなどの像面湾曲に起因するデフォー
カス等による感光体面のスポット形状の乱れを調整する
ことは不可能となる。 従って、本発明の目的は、上記課題に鑑み、フォーカシ
ング(焦点合わ電)、良像面と被照射体面の傾きの補正
、スポットサイズの補正等を可能として高精細なスポッ
トを実現する構成を有する走査光学装置を提供すること
にある。 【課題を解決する為の手段】 上記目的を達成する本発明においては、光源からの光束
を被照射体上に走査する走査光学装置で、被照射体上の
走査光束のスポットの集光状態を少なくとも2個所で観
測し、光検出手段で検出している。 光検出手段は1つであったり、a測個所の数に応じた数
であったりする。 また、検出手段の出力信号に応じては、走査光束ないし
フライングスポットのフォーカシングを制御したり、フ
ライングスポットの姿勢すなわち良像面の姿勢を、走査
光学系や被照射体を深度方向に前進後退させて行なった
りする。 [作用1 上記構成の本発明においては、被照射体上のスポットを
1(lll所において疑似的に検出するのではなく被照
射体のスポットの集光状態を複数個所において直接的に
観測しているので、スポットのフォーカシングを制御で
きるのみでなく良像面と被照射体面の精緻な一致なども
達成でき、400dpiから600dpi程度の解像力
の限界を突き破って1200dptや2500dpiと
いった高精細なスポット形状の調整も可能となっている
。また、?lIl個所の観測を1つの検出手段で行なう
場合、構成も簡単となる。 [実施例] 第1図は本発明の第1実施例の構成を示す、同図におい
て、lは半導体レーザな含むレーザユニット、2はレー
ザユニット1からの光束を集光するコリメータレンズ、
3はコリメータレンズ2を光軸方向に前後動させるため
のアクチュエーター、4は不図示のモータにより矢印5
方向に高速で回転されるポリゴンミラー、6は必要に応
じてトーリックレンズ等が用いられるf・θレンズであ
る。 ここにおいて、アクチュエーター3としては、ボイスコ
イル、ヘリコイドと回転モーターの組合わせ、板バネを
ピエゾ素子で駆動するもの、CDプレーヤのピックアッ
プや光磁気記録装置の光ピツクアップで用いられている
もの等が広く適用され、要素l、2.3゜4.6はフレ
ーム7に取り付けられており、このフレーム7は回動中
心8(ポリゴンミラー4による光束の偏向中心点)を中
心として矢印9の方向に回動可能となっている。 更に、10は本体機枠と一体的に構成された不動の機枠
の一部、11はこの機枠の一部10に取り付けられたパ
ルスモータ、12はパルスモータ11の回動方向によっ
て前後進するシャフトであり、シャフト12はフレーム
7を回動方向9aに押している。また、13はシャフト
12と並行してフレーム7を回動方向9bに引張ってい
る引張りコイルバネであり、これによりパルスモータ1
1の回動によりフレーム7の回動方向9の回動が実現さ
れる。 14はフォトダイオードから成るビームディテクタ、1
5は折り曲げミラーであって、これによりレーザースキ
ャンの1走査における開始端が光学的に検出されて画像
の書き込みタイミングが決定される。また% 16は感
光体であり、ドラム状に形成された電子写真感光体や、
ドラム状に巻き付けられた銀塩写真感光体等が用いられ
る。 次に、感光体16上の走査光束のスポットの集光状態や
姿勢を検出する検出機構を説明する。 この検出機構では、画像書き込み開始端側のスポットか
らの反射光がレンズ17でコリメートされ、折り曲げミ
ラー18によって結像レンズ19に導かれ、2次元撮像
素子20にスポット形状を結像している。更に、画像書
き込み終端側のスポットからの反射光はレンズ21によ
りコリメートされ、ハーフミラ−22によって反射され
て結像レンズ19に導かれ、2次元撮像素子20にスポ
ット形状を結像している。 以上の構成に基づいて第1実施例の動作を説明する。 第1図では、温度、湿度、経時変化等によって長機面2
3が感光体16の面に対して傾いている状態が示されて
いる。即ち、画像開始端24では走査光束は適正に集光
して正確なスポット形状となっているが、画像終端25
(lllでは感光体16の面より奥に長機が形成される
状態で感光体16上ではデフォーカス像が形成されてい
る。 この様な状態のとき、撮像素子20に入る情報は第2図
の様になる。同図において、26はビームディテクタ1
4に入る信号を示し、各走査毎に、走査光束が画像開始
端24に達する直前に信号27が検出される。28は撮
像素子20かも信号を掃き出す為のカウンタを示し、書
き込み開始端のトリガー29はビームディテクタ14の
信号27の立上がりからの一定遅延時間T、にょって決
定される、この遅延時間T、は折り曲げミラー15の位
置と結像レンズ17の位置と走査速度によって機械設計
時に一義的に決定される。 書き込み終端側のトリガー30も同様に、折り曲げミラ
ー15の位置と結像レンズ21の位置と走査速度によっ
て、機械設計時に遅延時間T、が一義的に決定されるこ
とにより決定される。 以上より、ビームディテクタ14の信号27からT、時
間後にトリガー29により撮像素子20の信号を読み出
すことによって、書き込み開始端24のスポット形状3
1が検出され、78時間後にトリガー30によって撮像
素子20の信号を読み出すことにより、書き込み終端2
5のスポット形状32が検出される。 こうして、感光体16上のフライングスポットの望まし
い形状は予め分かつているので、スポット形状31が望
ましい形状に一致しており、スポット形状32がデフォ
ーカスしていることが知られる。 この検出結果から、第1図に示す様に、良倣面23が傾
いていることが分かる。 この検出結果に基づいて長機面23の傾きを補正する方
法の例を第3図によって説明する。この場合、フレーム
7を回動することで上記の傾きが補正されると判断され
て、パルスモータ11のシャフト13が後退させられフ
レーム7が矢印9b方向に回動させられる、これにより
、第3図の如く長機面23が感光体16の面と平行にさ
れる。 ここで再び、光束が走査され、このときのスポットの集
光状態が撮像素子20で検出される。第4図にこの撮像
情報を示す、ここでは、開始端24のスポット形状31
と終端25のスポット形状32は共に理想形状より大き
い、即ちデフォーカスしているが1両者は同一形状であ
るから長機面・23は感光体16に平行であることが知
られる。 従って、この結果に基づいてコリメータレンズ2を光軸
方向に動かしてフォーカシングを行なえばよいと判断さ
れる。第5図はこのフォーカシング方法の1例を示す、
ここでは、撮像素子20による情報に基づいてアクチュ
ーター3が動作せしめられてコリメーターレンズ2が前
後進させられ、長機面23と感光体16面とが全走査領
域において一致させられ、正しい焦点合わせが行なわれ
る。 即ち、光束が走査されてスポットの集光状態が撮像素子
20で検出され、第6図に示す撮像情報に基づいて、開
始端のスポット形状31と終端のスポット形状32が所
望の設計値になる様に、第5図の如くコリメーターレン
ズ2が前後進させられれば良い、この合焦状態への収束
方法としては、近年知られているオートフォーカスカメ
ラにおける収束方法などを用いれば良い。 以上の様に、第1実施例では1つの検出手段で複数個所
のスポット形状を観測して像面の傾き、フォーカシング
等が補正され所望のスポットを全走査領域で得ることが
できる。 第7図は第2実施例を示す、第2実施例では、感光体1
6の支持ドラム33がガラス等の透明体で構成され、コ
リメーターレンズ17、折り曲げミラー18、結像レン
ズ19、撮像素子20.コリメーターレンズ21%ハー
フミラ−22が支持ドラム33の内部に配置され、更に
、第3のコリメーターレンズ34、第3の折り曲げミラ
ー(八−フミラー)35を配することにより、スポット
形状を3個所で測定する様になっている。 第8図に撮像素子20による撮像情報を示す0両端部の
スポット形状31.32に加えて中央部のスポット形状
36を知ることにより、この検出結果に基づいて像面湾
曲やデイストーシヨンをも加味した補正ができる。従っ
て、より精密なスポットの集光状態の制御が可能となる
。 向、像面湾曲やデイストーシヨンの補正はf・θレンズ
6などを制御することにより行なえば良い。 以上の実施例では撮像素子を1つ設けるのみで、複数開
所の検出を行なっていたが、第9図に示す様に、各検出
個所に対応して撮像素子を設□けてもよい。 第9図において、117は開始a:24からの光を撮像
素子118に結像する結像レンズであり、119は終端
25からの光を撮像素子120に結像する結像レンズで
ある。第9図の第3実施例では撮像素子の数が増えるの
でその点第1実施例と比べて構成が複雑となるが、反面
、ミラー18.22などが不要となる。 その他の点、動作については第1実施例と実質的に同じ
である。 同様に、第7図に示す第2実施例についても、各観測個
所に対応して撮像素子を設ける構成としても良い。 ところで、上記実施例において、検出機構を作動させて
スポットの集光状態を調整することは、適宜の間隔を置
いて間欠的に行なったり、或は、温度センサなどを設け
て温度などが一定値以上になったことが検出されたとき
などに行なったりすれば良い。 また、検出機構の検出結果に基づいて長機面、フォーカ
シング、更には像面湾曲などの制御を行なう方法は、上
記例はあくまで1例であって、公知の方法を適当に用い
れば良い[発明の効果] 以上の本発明の構成によれば、感光体などの被照射体上
のスポットの状態が2個所以上でaimされる為、像面
の傾きや、フォーカシングなどが正確に補正され、従っ
て長機面を被照射体に正確に一致させることができる。 よって、従来技術では達成できなかった高4゜ 密度画像形成などが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の構成図、第2図は撮像素
子に入る情報を説明する図、第3図は像面の傾きの補正
を行なう方法を説明する図、第4図は像面傾き補正を行
なった後に撮像素子に入る情報を説明する図、第5図は
フォーカシングを行なう方法を説明する図、第6図はフ
ォーカシングを行なった後に撮像素子に入る情報を説明
する図、第7図は本発明の第2実施例を説明する図、第
8図は第2実施例の場合において撮像素子に入る情報を
説明する図、第9図は第3実施例を説明する図である。 l・・・・・レーザーユニット、2・・・・・コリメー
ターレンズ%3・・・・・アクチュエータ、4・・・・
・ポリゴンミラー、6・・・・・f・θレンズ、7・・
・・・フレーム、11・・・・・パルスモータ、13・
・・・・コイルバネ、14・・・・・ビームディテクタ
、16・・ 117.119・・・ 118.120・・ ・・・・・長機面 ・・・感光体、19、 ・・結像レンズ、20 ・・・撮像素子、23

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光源からの光束を被照射体上に走査する走査光学装
    置において、被照射体上の走査光束のスポットの集光状
    態を少なくとも2個所で観測して検出する為の検出手段
    を備えることを特徴とする走査光学装置。 2、前記検出手段は1つである請求項1記載の走査光学
    装置。 3、前記検出手段は複数の観測個所に対応して複数設け
    られている請求項1記載の走査光学装置。 4、前記検出手段の出力に基づいて、走査光束のスポッ
    トのフォーカシングが制御される請求項1記載の走査光
    学装置。 5、前記検出手段の出力に基づいて、走査光束の良像面
    の被照射体に対する姿勢が制御される請求項1記載の走
    査光学装置。 6、前記観測個所は少なくとも3個所であり、前記検出
    手段の出力に基づいて、被照射体上の像面湾曲、デイス
    トーシヨンが補正される請求項1記載の走査光学装置。
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