JPH0364842A - 負イオン源 - Google Patents
負イオン源Info
- Publication number
- JPH0364842A JPH0364842A JP1199404A JP19940489A JPH0364842A JP H0364842 A JPH0364842 A JP H0364842A JP 1199404 A JP1199404 A JP 1199404A JP 19940489 A JP19940489 A JP 19940489A JP H0364842 A JPH0364842 A JP H0364842A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ion source
- cooling water
- permanent magnet
- negative ion
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、イオン源の電極構造に係り、特に、負イオン
源の引き出し電極に好適な負イオン源に関する。
源の引き出し電極に好適な負イオン源に関する。
従来の負イオン源用引き出し電極としては、厚板の両面
に永久磁石挿入用、及び、冷却パイプ挿入用の溝を加工
し、この冷却パイプ挿入用溝にパイプをロー付けし、永
久磁石の挿入側に、永久磁石押えの蓋を仮り付けし、ビ
ーム引き出し孔をあけ、その後、蓋を外し永久磁石を挿
入した後、再度、蓋を組み込んで電極板とするものがあ
る。
に永久磁石挿入用、及び、冷却パイプ挿入用の溝を加工
し、この冷却パイプ挿入用溝にパイプをロー付けし、永
久磁石の挿入側に、永久磁石押えの蓋を仮り付けし、ビ
ーム引き出し孔をあけ、その後、蓋を外し永久磁石を挿
入した後、再度、蓋を組み込んで電極板とするものがあ
る。
尚、イオン源に関しては、特開昭６３−７９９５７号公
報、特開昭６３−７２０３５号公報、特開昭６２−２４
５３７号公報等に開示されている。
報、特開昭６３−７２０３５号公報、特開昭６２−２４
５３７号公報等に開示されている。
上記従来技術は、下記の点について考慮がなされておら
ず問題であった。
ず問題であった。
（１）すなわち、加工上の寸法上の制限から、最適パー
ビアンスを保った状態で、電極の透明度を上げることが
困難である。すなわち、透明度を上げようとすれば、発
散が悪くなり、発散角を良く保とうとすれば透明度が下
がる難点があった。（透明度と発散角はイオン源の命で
ある）（２）ロー付は面が電界印加面にあるため、ロー
付は面の精度が電界の均一度を左右し、これが発散角に
大きな影響を与え、均一な性能を出せない。
ビアンスを保った状態で、電極の透明度を上げることが
困難である。すなわち、透明度を上げようとすれば、発
散が悪くなり、発散角を良く保とうとすれば透明度が下
がる難点があった。（透明度と発散角はイオン源の命で
ある）（２）ロー付は面が電界印加面にあるため、ロー
付は面の精度が電界の均一度を左右し、これが発散角に
大きな影響を与え、均一な性能を出せない。
（３）ロー付は場所が多く、工数がかかり、更に、ロー
付けによる材料（Ｃｕ）の結晶粒が戒長し、材料が脆く
なり冷却パイプからの水漏れの可能性が大きくなる。
付けによる材料（Ｃｕ）の結晶粒が戒長し、材料が脆く
なり冷却パイプからの水漏れの可能性が大きくなる。
（４）機械加工の工数が多く高価である。
本発明の目的は、発散角を保ちつつ電極の透明度を上げ
、電界印加面にロー付は面をなくし、放電破壊と発散角
を保ち、ロー付けによる材料劣化に起因するトラブルの
原因を事前に除き工数を低減して安価に引き出し電極を
製作することができる負イオン源を提供することにある
。
、電界印加面にロー付は面をなくし、放電破壊と発散角
を保ち、ロー付けによる材料劣化に起因するトラブルの
原因を事前に除き工数を低減して安価に引き出し電極を
製作することができる負イオン源を提供することにある
。
上記目的は、永久磁石組込み用、及び、電極冷却水流路
の穴を持つ角形パイプを多数組合せて、引き出し電極を
構成することにより遠戚される。
の穴を持つ角形パイプを多数組合せて、引き出し電極を
構成することにより遠戚される。
永久磁石組込用及び冷却水流路用の穴を持つ角形パイプ
を用いることにより、 ■冷却水用パイプを電極板の表面にロー付けする必要が
なくなり、電界印加面に凹凸を生じる事がなくなり、放
電破壊の発生を大巾に低減することができ、イオン源の
信頼性を上げることが出来る。
を用いることにより、 ■冷却水用パイプを電極板の表面にロー付けする必要が
なくなり、電界印加面に凹凸を生じる事がなくなり、放
電破壊の発生を大巾に低減することができ、イオン源の
信頼性を上げることが出来る。
■冷却水用パイプをロー付けする必要がないため、ロー
付けによる材料劣化に起因する水漏れ、真空リーク等の
トラブルを除去でき、イオン源の信頼性を上げることが
出来る。
付けによる材料劣化に起因する水漏れ、真空リーク等の
トラブルを除去でき、イオン源の信頼性を上げることが
出来る。
■永久磁石組入用、及び、冷却水流路用穴が材料自体に
あるため、平板材のように溝切りの機械加工が不必要な
ため、工数を大巾に低減することが出来るため、安価に
引き出し電極を製作することが出来る。
あるため、平板材のように溝切りの機械加工が不必要な
ため、工数を大巾に低減することが出来るため、安価に
引き出し電極を製作することが出来る。
■発散角の良好な状態のまま、透明率をあげることが出
来る。
来る。
以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は、角パイプを組合せて構成した引き出し電極の構造
図である。角形パイプ１は、永久磁石組入用角穴２と冷
却水流路となる穴３の二個の穴を長さ方向に設けてあり
、更に、角パイプを相互に組合せるためのフィン４及び
溝５を設けである。このような異径パイプは型を用いて
引き抜きで製作するため、型を精度良く作っておけば。
図は、角パイプを組合せて構成した引き出し電極の構造
図である。角形パイプ１は、永久磁石組入用角穴２と冷
却水流路となる穴３の二個の穴を長さ方向に設けてあり
、更に、角パイプを相互に組合せるためのフィン４及び
溝５を設けである。このような異径パイプは型を用いて
引き抜きで製作するため、型を精度良く作っておけば。
必要な精度を保つことが出来る。第２図に角形パイプ２
の端部断面を示す。冷却水流路となる穴３のまわりには
、切り込み６を設けである。外部からの冷却水導入パイ
プ７と冷却水流路との接続は、電子ビーム溶接で行なえ
る。電極の構成は角パイプ１のフィン４と溝５を各々組
合せる事により平板を構威し、更に永久磁石組入範囲外
の領域で全体を通しボルトで締付け、その後、ビーム引
き出し孔をあける。なお、通しボルトは組み込んだ永久
磁石の移動防止の働きもする。
の端部断面を示す。冷却水流路となる穴３のまわりには
、切り込み６を設けである。外部からの冷却水導入パイ
プ７と冷却水流路との接続は、電子ビーム溶接で行なえ
る。電極の構成は角パイプ１のフィン４と溝５を各々組
合せる事により平板を構威し、更に永久磁石組入範囲外
の領域で全体を通しボルトで締付け、その後、ビーム引
き出し孔をあける。なお、通しボルトは組み込んだ永久
磁石の移動防止の働きもする。
本実施例によれば、電極の加工工数を大巾に低減可能で
あり、更に、トラブルの原因を事前に除去できるため、
イオン源の信頼性を大巾に上げることが出来る。
あり、更に、トラブルの原因を事前に除去できるため、
イオン源の信頼性を大巾に上げることが出来る。
本発明によれば、工数が大巾に低減されるため安価に製
作することができ、発散角を保ちつつ透明率をあげるこ
とができる。
作することができ、発散角を保ちつつ透明率をあげるこ
とができる。
第１図は、本発明の一実施例の電極の斜視図、第２図は
本発明の電極を構成する角パイプの端部断面図である。
本発明の電極を構成する角パイプの端部断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、アーク放電・高周波放電等で生成されたプラズマを
一たん閉じ込めて保持するアークチエンバと、前記アー
クチエンバ内に保持されたプラズマ中から負イオン粒子
をビーム状のイオン粒子として外部に引き出すための、
加速電極群を備えた負イオン源において。 前記プラズマ中から前記負イオンと共に引き出された電
子を前記負イオンから分離除去するための永久磁石を内
蔵する引き出し電極を、永久磁石組込用及び電極冷却水
流路用の穴を持つ角形パイプを多数組合せて構成するこ
とを特徴とする負イオン源。 ２、特許請求の範囲第１項において、 前記角形パイプに、組合せ用フィンと、溝を設けたこと
を特徴とする負イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1199404A JPH0364842A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 負イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1199404A JPH0364842A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 負イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0364842A true JPH0364842A (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=16407231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1199404A Pending JPH0364842A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 負イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0364842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014179230A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-08-02 JP JP1199404A patent/JPH0364842A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014179230A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
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