JPH0353791U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353791U JPH0353791U JP11377589U JP11377589U JPH0353791U JP H0353791 U JPH0353791 U JP H0353791U JP 11377589 U JP11377589 U JP 11377589U JP 11377589 U JP11377589 U JP 11377589U JP H0353791 U JPH0353791 U JP H0353791U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite heater
- crucible
- base
- fixed
- sectional
- Prior art date
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- Granted
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
第１図は本考案の固定構造を採用したときの黒
鉛ヒータと固定部材間との接合状態を示す第３図
の−線部の部分拡大断面図、第２図は第１図
の−線に沿つてみた横断面図、第３図はシリ
コン単結晶引上装置の概略構成を示す断面図、第
４図〜第７図のそれぞれは従来の固定構造を示す
第１図に対応した部分拡大断面図、第８図は第７
図の−線に沿つてみた横断面図である。 符号の説明、１０……黒鉛ヒータ、１１……下
端、１２……固定部材、１３……接着層、１４…
…取付ボルト、２０……シリコン単結晶引上装置
、２１……ルツボ、２５……基台。
鉛ヒータと固定部材間との接合状態を示す第３図
の−線部の部分拡大断面図、第２図は第１図
の−線に沿つてみた横断面図、第３図はシリ
コン単結晶引上装置の概略構成を示す断面図、第
４図〜第７図のそれぞれは従来の固定構造を示す
第１図に対応した部分拡大断面図、第８図は第７
図の−線に沿つてみた横断面図である。 符号の説明、１０……黒鉛ヒータ、１１……下
端、１２……固定部材、１３……接着層、１４…
…取付ボルト、２０……シリコン単結晶引上装置
、２１……ルツボ、２５……基台。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基台に対して回転されるルツボの周囲に配置さ
れて、ルツボを加熱する黒鉛ヒータにおいて、 この黒鉛ヒータの下端を、前記基台上側に固定
される固定部材上に、炭素化または黒鉛化した接
着層を介して固定したことを特徴とする黒鉛ヒー
タの固定構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11377589U JPH077328Y2 (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | 黒鉛ヒータの固定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11377589U JPH077328Y2 (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | 黒鉛ヒータの固定構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353791U true JPH0353791U (ja) | 1991-05-24 |
| JPH077328Y2 JPH077328Y2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=31662178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11377589U Expired - Lifetime JPH077328Y2 (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | 黒鉛ヒータの固定構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077328Y2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006116464A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Paradise Resort Kk | ウォータージュエリーを総合的に作るためのファウンティンジュエリー装置、及び、その制御方法 |
| JP2013220954A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Ibiden Co Ltd | 黒鉛ヒータ |
| JP2014080314A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Ibiden Co Ltd | 黒鉛構造体、黒鉛ヒータ、黒鉛構造体の製造方法および黒鉛ヒータの製造方法 |
| WO2015016070A1 (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | イビデン株式会社 | 黒鉛構造体、黒鉛ヒータ、黒鉛構造体の製造方法および黒鉛ヒータの製造方法 |
| JP6014237B1 (ja) * | 2015-12-25 | 2016-10-25 | 並木精密宝石株式会社 | サファイア単結晶部材製造装置 |
-
1989
- 1989-09-28 JP JP11377589U patent/JPH077328Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006116464A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Paradise Resort Kk | ウォータージュエリーを総合的に作るためのファウンティンジュエリー装置、及び、その制御方法 |
| JP2013220954A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Ibiden Co Ltd | 黒鉛ヒータ |
| JP2014080314A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Ibiden Co Ltd | 黒鉛構造体、黒鉛ヒータ、黒鉛構造体の製造方法および黒鉛ヒータの製造方法 |
| WO2015016070A1 (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | イビデン株式会社 | 黒鉛構造体、黒鉛ヒータ、黒鉛構造体の製造方法および黒鉛ヒータの製造方法 |
| JP2015030626A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | イビデン株式会社 | 黒鉛構造体、黒鉛ヒータ、黒鉛構造体の製造方法および黒鉛ヒータの製造方法 |
| JP6014237B1 (ja) * | 2015-12-25 | 2016-10-25 | 並木精密宝石株式会社 | サファイア単結晶部材製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077328Y2 (ja) | 1995-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |