JPH0349907A - スライシング装置 - Google Patents
スライシング装置Info
- Publication number
- JPH0349907A JPH0349907A JP18505889A JP18505889A JPH0349907A JP H0349907 A JPH0349907 A JP H0349907A JP 18505889 A JP18505889 A JP 18505889A JP 18505889 A JP18505889 A JP 18505889A JP H0349907 A JPH0349907 A JP H0349907A
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- JP
- Japan
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- blade
- cutting
- cutting position
- displacement
- workpiece
- Prior art date
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- Granted
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、シリコンインゴット等のワークを薄く切断し
てシリコンウェハ等を切出すスライシング装置の改良に
関するものである。
てシリコンウェハ等を切出すスライシング装置の改良に
関するものである。
（従来の技術）
従来、例えば特開昭６１−４７６４４号公報に示される
ように、円形状の内周刃が設けられたブレードを有する
切断工具を回転駆動させつつ、この切断工具もしくはワ
ークを切断工具の軸と直角方向に送り移動させることに
より、ワークを薄く切断するスライシング装置が知られ
ている。このスライシング装置は、上記内周刃が設けら
れたブレードが切断時に撓み変形を生じ易く、これによ
ってワークの切断位置がずれ、切断面の真直度が悪くな
るという問題点が指摘されている。このため上記従来装
置では、ブレードに境みが生じた場合、その板面に空気
流もしくは磁界を作用させることにより、ブレードの撓
みを修正するようにしている。
ように、円形状の内周刃が設けられたブレードを有する
切断工具を回転駆動させつつ、この切断工具もしくはワ
ークを切断工具の軸と直角方向に送り移動させることに
より、ワークを薄く切断するスライシング装置が知られ
ている。このスライシング装置は、上記内周刃が設けら
れたブレードが切断時に撓み変形を生じ易く、これによ
ってワークの切断位置がずれ、切断面の真直度が悪くな
るという問題点が指摘されている。このため上記従来装
置では、ブレードに境みが生じた場合、その板面に空気
流もしくは磁界を作用させることにより、ブレードの撓
みを修正するようにしている。
上記従来装置では、空気流もしくは磁界がブレードの板
面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し易
く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を一
定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直度
の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命が
短くなるという問題がある。
面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し易
く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を一
定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直度
の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命が
短くなるという問題がある。
また、実開昭６２−７０９０４号公報に示されるように
、内周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合
に、切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が
有する復元力によって切断位置のずれを修正することが
行なわれている。この構成によれば、ブレードの撓み変
形を均一に修正することができるという利点を有する反
面、上記復元力によって切断位置のずれが修正されるま
でに時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生
産性の関係上、ワークの切込み速度をあまり遅くするこ
とができないため、上記切断位置のずれを修正する効果
に限界があるという問題があった。
、内周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合
に、切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が
有する復元力によって切断位置のずれを修正することが
行なわれている。この構成によれば、ブレードの撓み変
形を均一に修正することができるという利点を有する反
面、上記復元力によって切断位置のずれが修正されるま
でに時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生
産性の関係上、ワークの切込み速度をあまり遅くするこ
とができないため、上記切断位置のずれを修正する効果
に限界があるという問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修正
し、切断面の真直度を向上させることができるスライシ
ング装置を提供するものである。
あり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修正
し、切断面の真直度を向上させることができるスライシ
ング装置を提供するものである。
（課題を解決するための手段〕
本発明は、円形状の内周刃が設けられたブレードを有す
る切断工具を回転させつつ、この切断工具もしくはワー
クを切断工具の軸と直角方向に送り移動させてワークを
切断するスライシング装置において、上記切断工具をそ
の軸方向に移動させる移動手段と、ワークの切断時にお
ける切断工具の変位量を検出する検出手段と、この検出
手段によって検出されたブレードの軸方向の変位量に応
じ、ブレードをその軸方向に移動させて切断位置の変位
を修正する修正信号を上記移動手段に出力する制御学説
を設けたものである。
る切断工具を回転させつつ、この切断工具もしくはワー
クを切断工具の軸と直角方向に送り移動させてワークを
切断するスライシング装置において、上記切断工具をそ
の軸方向に移動させる移動手段と、ワークの切断時にお
ける切断工具の変位量を検出する検出手段と、この検出
手段によって検出されたブレードの軸方向の変位量に応
じ、ブレードをその軸方向に移動させて切断位置の変位
を修正する修正信号を上記移動手段に出力する制御学説
を設けたものである。
上記構成の本発明によれば、ワークの切断時にブレード
に撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制御
手段から移動手段に出力される制御信号に応じ、切断工
具がその軸方向に切断位置の変位量に対応する距離だけ
移動し、切断工具によるワークの切断位置のずれが修正
される。
に撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制御
手段から移動手段に出力される制御信号に応じ、切断工
具がその軸方向に切断位置の変位量に対応する距離だけ
移動し、切断工具によるワークの切断位置のずれが修正
される。
第１図は、本発明に係るスライシング装置の実施例を示
している。このスライシング装置は、基台１上に設置さ
れたガイドレール２と、このガイドレール２に沿ってス
ライド自在に支持されたスライドテーブル３と、このス
ライドテーブル３に対向して上記基台１上に設置された
主軸台４とを備えている。
している。このスライシング装置は、基台１上に設置さ
れたガイドレール２と、このガイドレール２に沿ってス
ライド自在に支持されたスライドテーブル３と、このス
ライドテーブル３に対向して上記基台１上に設置された
主軸台４とを備えている。
この主軸台４には、先端部に切断工具５が取付けられた
主軸６が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動機
構７によって主軸６を回転駆動する駆動モータ８が取付
けられている。上記切断工具５は、主軸６の先端部に固
着されたテンションディスク９と、このテンションディ
スク９に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板からな
るブレード１０と、このブレード１０の内周部に固着さ
れたダイヤモンド粒子等からなる内周刃１１とにより構
成されている。また、上記主軸台４は、基台１上に設置
されたガイドレール１２に沿って主軸６の軸方向にスラ
イド自在に支持され、かつボールねじ１３と、このボー
ルねじ１３を回転駆動する駆動モータ１４とを有する移
動手段１５により、スライド駆動されるようになってい
る 上記スライドテーブル３は、ボールねじ１６と、このボ
ールねじ１６を回転駆動する駆動モータ１７とを有する
切込み送り手段１８により、上記ガイドレール２に沿っ
て主軸６と直角方向に送り移動されるように構成されて
いる。また、スライドテーブル３上には、シリコンイン
ゴット等からなるワーク１９を保持する保持部材２０が
載置され、この保持部材２０は、ボールねじ２１と、こ
のボールねじ２１を回転駆動する駆動モータ２２とを有
する割出し送り手段２３により、上記主軸６の軸方向に
スライド駆動されることにより、ワーク１９の先端部を
切断工具５のブレード１０内に所定量搬入するように構
成されている。
主軸６が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動機
構７によって主軸６を回転駆動する駆動モータ８が取付
けられている。上記切断工具５は、主軸６の先端部に固
着されたテンションディスク９と、このテンションディ
スク９に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板からな
るブレード１０と、このブレード１０の内周部に固着さ
れたダイヤモンド粒子等からなる内周刃１１とにより構
成されている。また、上記主軸台４は、基台１上に設置
されたガイドレール１２に沿って主軸６の軸方向にスラ
イド自在に支持され、かつボールねじ１３と、このボー
ルねじ１３を回転駆動する駆動モータ１４とを有する移
動手段１５により、スライド駆動されるようになってい
る 上記スライドテーブル３は、ボールねじ１６と、このボ
ールねじ１６を回転駆動する駆動モータ１７とを有する
切込み送り手段１８により、上記ガイドレール２に沿っ
て主軸６と直角方向に送り移動されるように構成されて
いる。また、スライドテーブル３上には、シリコンイン
ゴット等からなるワーク１９を保持する保持部材２０が
載置され、この保持部材２０は、ボールねじ２１と、こ
のボールねじ２１を回転駆動する駆動モータ２２とを有
する割出し送り手段２３により、上記主軸６の軸方向に
スライド駆動されることにより、ワーク１９の先端部を
切断工具５のブレード１０内に所定量搬入するように構
成されている。
上記ブレード１０の近傍には、第２図に示すように、ワ
ーク１９の切断時にブレード１０の撓み変形を検出する
磁気センサ等からなる非接触型のセンサ２４が設けられ
ている。そして、このセンサ２４の検出値は切断位置の
変位量を読出す読出手段２５に入力され、この読出手段
２５において、ブレード１０が撓み変形することにより
生じたワーク切断位置の変位量が読出される。つまり上
記センサ２４と、読出手段２５とにより、ワーク１９の
切断時に発生する切断位置の変位量を検出する検出手段
２６が構成されている。また、上記検出手段２６により
求められた切断位置の変位量はＩＩＪ’ｌ１手段２７に
入力され、この変位量に応じて制御手段２７から上記移
動手段１５の駆動モータ１４に、切断工具５を切断位置
のずれと逆向きに移動させて切断位置のずれを修正する
修正信号が出力されるようになっている。
ーク１９の切断時にブレード１０の撓み変形を検出する
磁気センサ等からなる非接触型のセンサ２４が設けられ
ている。そして、このセンサ２４の検出値は切断位置の
変位量を読出す読出手段２５に入力され、この読出手段
２５において、ブレード１０が撓み変形することにより
生じたワーク切断位置の変位量が読出される。つまり上
記センサ２４と、読出手段２５とにより、ワーク１９の
切断時に発生する切断位置の変位量を検出する検出手段
２６が構成されている。また、上記検出手段２６により
求められた切断位置の変位量はＩＩＪ’ｌ１手段２７に
入力され、この変位量に応じて制御手段２７から上記移
動手段１５の駆動モータ１４に、切断工具５を切断位置
のずれと逆向きに移動させて切断位置のずれを修正する
修正信号が出力されるようになっている。
上記構成のスライシング装置の作用について以下に説明
する。まず、スライドテーブル３の保持部材２０にワー
ク１９を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ８
を作動させて主軸６および切断工具５を所定の回転速度
で回転させるとともに、割出し送り手段２３によりワー
ク１９の先端部を切断工具５のブレード１０内に搬入す
る。次に、切り込み送り手段１８の駆動モータ１７を作
動させてワーク１９を主軸６と直角方向に送り移動させ
ることにより、ワーク１９を切断工具５の内周刃１１に
接触させて切断する。
する。まず、スライドテーブル３の保持部材２０にワー
ク１９を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ８
を作動させて主軸６および切断工具５を所定の回転速度
で回転させるとともに、割出し送り手段２３によりワー
ク１９の先端部を切断工具５のブレード１０内に搬入す
る。次に、切り込み送り手段１８の駆動モータ１７を作
動させてワーク１９を主軸６と直角方向に送り移動させ
ることにより、ワーク１９を切断工具５の内周刃１１に
接触させて切断する。
上記ワーク１９の切断時に、ワーク１９と内周刃１１と
の間に作用する切断抵抗等に起因してブレード１０が撓
み、切断工具５によるワーク１９の切断位置が軸方向に
変位すると、その変位量が検出手段２６によって検出さ
れる。そして、この変位が検出された時点で、上記制御
手段２７から移動手段１５の駆動モータ１４に出力され
る修正信号に応じ、上記切断位置のずれを修正する方向
に切断工具５が移動手段１５によってスライド駆動され
る。例えば、第３図に示すように、内周刃１１がセンサ
２４に接近する方・向にブレード１０が変形することに
より、ブレード１０とセンサ２４との間の距離がＡから
８に変化し、切断位置が距離Ａと８との差に相当する距
離Ｃだけセンサ２４側に変位したことが確認された場合
には、第４図に示すように上記ブレード１０をセンサ２
４から離間させる方向に移動させることにより、上記切
断位置の変位を修正する制御が実行される。そして、上
記ブレード１ｏとセンサ２４との距離Ｂが変形前の距離
Ａと等しくなったことが確認されるまで上記修正制御を
繰返すことにより、切断位置のずれを確実に修正するこ
とができる。
の間に作用する切断抵抗等に起因してブレード１０が撓
み、切断工具５によるワーク１９の切断位置が軸方向に
変位すると、その変位量が検出手段２６によって検出さ
れる。そして、この変位が検出された時点で、上記制御
手段２７から移動手段１５の駆動モータ１４に出力され
る修正信号に応じ、上記切断位置のずれを修正する方向
に切断工具５が移動手段１５によってスライド駆動され
る。例えば、第３図に示すように、内周刃１１がセンサ
２４に接近する方・向にブレード１０が変形することに
より、ブレード１０とセンサ２４との間の距離がＡから
８に変化し、切断位置が距離Ａと８との差に相当する距
離Ｃだけセンサ２４側に変位したことが確認された場合
には、第４図に示すように上記ブレード１０をセンサ２
４から離間させる方向に移動させることにより、上記切
断位置の変位を修正する制御が実行される。そして、上
記ブレード１ｏとセンサ２４との距離Ｂが変形前の距離
Ａと等しくなったことが確認されるまで上記修正制御を
繰返すことにより、切断位置のずれを確実に修正するこ
とができる。
このように上記検出手段２６によってワーク１つの切断
時に切断位置が変位したことが確認された場合に、その
変位量に応じて切断工具５を切断位置の変位方向と逆向
きに移動させるように構成したため、切断位置のずれを
迅速かつ効果的に修正することができる。すなわち、従
来装置ではブレードが変形した場合にその板面に空気流
等を部分的に作用させて上記変形を修正するようにして
いたため、上記空気流によってブレードが波状に撓むと
いう問題があったのに対し、本発明ではブレード１０の
全体を切断位置の変位方向と逆向きに移動させるように
構成したため、上記波状の撓み等を生じることなく、切
断位置のずれを修正することができる。また、切断工具
の切込み速度を低下させてブレード自体が有する復元力
により、切断位置のずれを修正するようにした従来装置
に比べ、切断位置の修正に要する時間を大幅に短縮する
ことができる。
時に切断位置が変位したことが確認された場合に、その
変位量に応じて切断工具５を切断位置の変位方向と逆向
きに移動させるように構成したため、切断位置のずれを
迅速かつ効果的に修正することができる。すなわち、従
来装置ではブレードが変形した場合にその板面に空気流
等を部分的に作用させて上記変形を修正するようにして
いたため、上記空気流によってブレードが波状に撓むと
いう問題があったのに対し、本発明ではブレード１０の
全体を切断位置の変位方向と逆向きに移動させるように
構成したため、上記波状の撓み等を生じることなく、切
断位置のずれを修正することができる。また、切断工具
の切込み速度を低下させてブレード自体が有する復元力
により、切断位置のずれを修正するようにした従来装置
に比べ、切断位置の修正に要する時間を大幅に短縮する
ことができる。
なお、上記のように切断工具５を切断位置の変位方向と
逆向きに移動させる代わりに、第３図に示す状態から、
ワーク１９を切断位置の変位方向と同じ向きに移動させ
ることによっても切断位置のずれを修正することができ
るが、この場合には切断位置を修正するとめに、ワーク
１つの理想の切断位置を常に計算してその位置を内周刃
１１がトレースするように、ブレード１０の弾性変位量
をワーク１９の移動量で得られるようにコントロールす
る学習制御が必要となり、その制御系が複雑となる。こ
のため上記のようにブレード１０によって切断位置を修
正するほうが一段と有利である。
逆向きに移動させる代わりに、第３図に示す状態から、
ワーク１９を切断位置の変位方向と同じ向きに移動させ
ることによっても切断位置のずれを修正することができ
るが、この場合には切断位置を修正するとめに、ワーク
１つの理想の切断位置を常に計算してその位置を内周刃
１１がトレースするように、ブレード１０の弾性変位量
をワーク１９の移動量で得られるようにコントロールす
る学習制御が必要となり、その制御系が複雑となる。こ
のため上記のようにブレード１０によって切断位置を修
正するほうが一段と有利である。
上記実施例では、切込み送り手段１８によってワーク１
９をその軸と直角方向に送り移動させることにより、ワ
ーク１９の切込みを行なうようしているが、主軸台４を
主軸６と直角方向に移動させることにより、ワーク１９
の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構造としても
よい。
９をその軸と直角方向に送り移動させることにより、ワ
ーク１９の切込みを行なうようしているが、主軸台４を
主軸６と直角方向に移動させることにより、ワーク１９
の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構造としても
よい。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明は、円形状の内周刃が設け
られた切断工具によりワークを切断する際に、切断工具
のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位した
ことが検出手段により検出された場合に、その変位量に
応じて切断工具を移動手段により、ブレードの変位方向
と逆向きに移動させるように構成したため、切断位置を
元の位置に迅速かつ効果的に復帰させることができる。
られた切断工具によりワークを切断する際に、切断工具
のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位した
ことが検出手段により検出された場合に、その変位量に
応じて切断工具を移動手段により、ブレードの変位方向
と逆向きに移動させるように構成したため、切断位置を
元の位置に迅速かつ効果的に復帰させることができる。
したがって、スライシング装置の生産性を低下させるこ
となく、簡単な構成でワークの切断面の真直度を向上さ
せることができる等の利点がある。
となく、簡単な構成でワークの切断面の真直度を向上さ
せることができる等の利点がある。
第１図は本発明の実施例を示す全体概略図、第２図は第
１図のｎ−１［１断面図、第３図は切断位置の変位状態
を示す説明図、第４図は切断位置の変位を修正した状態
を示す説明図である。 ５・・・切断工具、６・・・主軸、１１・・・内周刃、
１５・・・作動手段、２６・・・検出手段、２７・・・
制御手段。
１図のｎ−１［１断面図、第３図は切断位置の変位状態
を示す説明図、第４図は切断位置の変位を修正した状態
を示す説明図である。 ５・・・切断工具、６・・・主軸、１１・・・内周刃、
１５・・・作動手段、２６・・・検出手段、２７・・・
制御手段。
Claims (1)
- １、円形状の内周刃が設けられたブレードを有する切断
工具を回転させつつ、この切断工具もしくはワークを切
断工具の軸と直角方向に送り移動させてワークを切断す
るスライシング装置において、上記切断工具をその軸方
向に移動させる移動手段と、ワークの切断時におけるブ
レードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検
出手段によつて検出されたブレードの変位量に応じ、切
断工具をその軸方向に移動させて切断位置の変位を修正
する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段を設け
たことを特徴とするスライシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185058A JPH0818331B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185058A JPH0818331B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349907A true JPH0349907A (ja) | 1991-03-04 |
| JPH0818331B2 JPH0818331B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=16164070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1185058A Expired - Fee Related JPH0818331B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818331B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9265519B2 (en) | 2004-03-05 | 2016-02-23 | Depuy Mitek, Llc | Tunnel notcher and guidewire delivery device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61122811U (ja) * | 1985-01-19 | 1986-08-02 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1185058A patent/JPH0818331B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61122811U (ja) * | 1985-01-19 | 1986-08-02 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9265519B2 (en) | 2004-03-05 | 2016-02-23 | Depuy Mitek, Llc | Tunnel notcher and guidewire delivery device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0818331B2 (ja) | 1996-02-28 |
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