JPH034989U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH034989U JPH034989U JP6504989U JP6504989U JPH034989U JP H034989 U JPH034989 U JP H034989U JP 6504989 U JP6504989 U JP 6504989U JP 6504989 U JP6504989 U JP 6504989U JP H034989 U JPH034989 U JP H034989U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- sealing surface
- vacuum valve
- metal
- high vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
第１図は一例としての高真空バルブの要部断面
図。第２図は密封構造を示す第１図の要部拡大図
。第３図は動作状態を示す要部拡大図。第４図は
他実施例を示す要部断面図。第５図は従来例を示
す密封構造の拡大図。 ２……第１密封面、４……第２密封面、６……
密封体、７……ベローズ。
図。第２図は密封構造を示す第１図の要部拡大図
。第３図は動作状態を示す要部拡大図。第４図は
他実施例を示す要部断面図。第５図は従来例を示
す密封構造の拡大図。 ２……第１密封面、４……第２密封面、６……
密封体、７……ベローズ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 第１密封面と該第１密封面と同軸の第２密封
面を有し、これらの密封面が互いに隔てられて軸
方向に移動可能で且つ両密封面間には架橋状に密
封体が設けられた高真空バルブ等の金属製密封装
置において、前記密封体の一端部が一方の密封面
と接触し、その他端部が他方の密封面に密封可能
に接触すべく小アールに形成され、しかも前記一
方の密封面を密封すべく該密封面側と前記密封体
間には密封用弾性体が架設されてなることを特徴
とする高真空バルブ等の金属製密封装置。 ２ 前記密封用弾性体がベローズであることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の高
真空バルブ等の金属製密封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6504989U JPH034989U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6504989U JPH034989U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034989U true JPH034989U (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=31596532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6504989U Pending JPH034989U (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034989U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5694085A (en) * | 1979-11-26 | 1981-07-30 | Vat Ag | Metallic sealing device for high vacuum valve or the like |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP6504989U patent/JPH034989U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5694085A (en) * | 1979-11-26 | 1981-07-30 | Vat Ag | Metallic sealing device for high vacuum valve or the like |