JPH0348847U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0348847U JPH0348847U JP10901589U JP10901589U JPH0348847U JP H0348847 U JPH0348847 U JP H0348847U JP 10901589 U JP10901589 U JP 10901589U JP 10901589 U JP10901589 U JP 10901589U JP H0348847 U JPH0348847 U JP H0348847U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- coil
- amplifier
- reference voltage
- comprised
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第1図、図2図は本案の一実施例であり、第1
図は電気的効果の説明図、第2図は電子顕微鏡お
よびレンズコイルの説明図、第3図は従来技術の
電気的説明図である。 2……制御素子、3……レンズ電流、4……レ
ンズコイル、5……基準電圧、6……増幅器。
図は電気的効果の説明図、第2図は電子顕微鏡お
よびレンズコイルの説明図、第3図は従来技術の
電気的説明図である。 2……制御素子、3……レンズ電流、4……レ
ンズコイル、5……基準電圧、6……増幅器。
Claims (1)
- 制御素子、レンズコイル、基準電圧、増幅器よ
り成るレンズ電流制御方式において、レンズコイ
ルをレンズ電流の検出抵抗としても兼用させるこ
とを特徴とした電子顕微鏡等のレンズ電流制御方
式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10901589U JPH0348847U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10901589U JPH0348847U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0348847U true JPH0348847U (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=31657619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10901589U Pending JPH0348847U (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0348847U (ja) |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP10901589U patent/JPH0348847U/ja active Pending