JPH0348721A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH0348721A JPH0348721A JP18628089A JP18628089A JPH0348721A JP H0348721 A JPH0348721 A JP H0348721A JP 18628089 A JP18628089 A JP 18628089A JP 18628089 A JP18628089 A JP 18628089A JP H0348721 A JPH0348721 A JP H0348721A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はアクチュエータなどの駆動用あるいは制御用モ
ータの速度および位置を検出する磁気エンコーダに関す
る。
ータの速度および位置を検出する磁気エンコーダに関す
る。
[従来の技術]
ロボットやマニピュレータの需要が増大し、これらの機
器に組み込まれて回転あるいは直線運動を行うアクチュ
エータの位置および速度を瞬時的に正確に測定し得る検
出器が要求されている。
器に組み込まれて回転あるいは直線運動を行うアクチュ
エータの位置および速度を瞬時的に正確に測定し得る検
出器が要求されている。
このような検出器としては従来、光電式のものが多く用
いられてきた。この光電式検出器はガラス円板に金属膜
を蒸着しフォトリソにより作られた光学スリットと、発
光ダイオードおよび受光素子としてのフォトダイオード
から構成されているため、ガラス円板が衝撃に弱いこと
や、発光素子、受光素子を配置するために薄肉化が不可
能であるうえ、80℃以上の高温では使えないという欠
点があった。
いられてきた。この光電式検出器はガラス円板に金属膜
を蒸着しフォトリソにより作られた光学スリットと、発
光ダイオードおよび受光素子としてのフォトダイオード
から構成されているため、ガラス円板が衝撃に弱いこと
や、発光素子、受光素子を配置するために薄肉化が不可
能であるうえ、80℃以上の高温では使えないという欠
点があった。
近年、ロボットやマニピュレータの小形化に伴い、検出
器の耐熱性向上や小形高分解能化の必要性が高まってき
た。このような要求に応じた検出器として、磁化パター
ンが書き込まれた基体と磁気抵抗効果素子(以下、MR
素子と略す)を組み合わせた磁気エンコーダが提案され
ている。
器の耐熱性向上や小形高分解能化の必要性が高まってき
た。このような要求に応じた検出器として、磁化パター
ンが書き込まれた基体と磁気抵抗効果素子(以下、MR
素子と略す)を組み合わせた磁気エンコーダが提案され
ている。
(特開昭54−115257)
この磁気エンコーダは、回転軸と連動して回転しピッチ
p’′c−磁化パターンが書き込まれた磁気記録媒体を
有する回転体と、この磁化パターンから漏洩する周期的
磁場分布を検出するMR素子から構成されており、MR
素子のストライプ長さ方向は磁界の方向と直角に、また
ストライプ幅方向は磁界の方向と平行になっている。こ
のような構成において磁気記録媒体からの磁界HIIX
がMR素子に印加されたときMR素子に入る磁界H*
r tは、反磁界をH6とすると H−r r −H□−Ha となる。(特開昭57−197−885)ここで、MR
素子のストライプ幅をW1膜厚さをt、MR素子の飽和
磁界をIsとすると、反磁界H6は H,=4πI8・t/W であるから、磁界H* r rは H−t r = H、−4πl5−t/wとなる。
p’′c−磁化パターンが書き込まれた磁気記録媒体を
有する回転体と、この磁化パターンから漏洩する周期的
磁場分布を検出するMR素子から構成されており、MR
素子のストライプ長さ方向は磁界の方向と直角に、また
ストライプ幅方向は磁界の方向と平行になっている。こ
のような構成において磁気記録媒体からの磁界HIIX
がMR素子に印加されたときMR素子に入る磁界H*
r tは、反磁界をH6とすると H−r r −H□−Ha となる。(特開昭57−197−885)ここで、MR
素子のストライプ幅をW1膜厚さをt、MR素子の飽和
磁界をIsとすると、反磁界H6は H,=4πI8・t/W であるから、磁界H* r rは H−t r = H、−4πl5−t/wとなる。
つまり、MR素子のストライプ幅Wが小さくなると反磁
界H,が大きくなり、磁界Hm r tが小さくなるの
でMR素子の出力低下がおこる。普通、ストライプ幅W
の2倍が位置読取単位と考えられており、上記のような
構造ではストライプ幅lOμmが限界なので、20μm
が位置読取単位となる。しかし高分解能化により要求さ
れている分解能は数μmなので、この構造では不可能で
ある。
界H,が大きくなり、磁界Hm r tが小さくなるの
でMR素子の出力低下がおこる。普通、ストライプ幅W
の2倍が位置読取単位と考えられており、上記のような
構造ではストライプ幅lOμmが限界なので、20μm
が位置読取単位となる。しかし高分解能化により要求さ
れている分解能は数μmなので、この構造では不可能で
ある。
また、MR素子と磁気記録媒体の距離を数十μmにしな
ければならないので、磁気エンコーダの組み立て時にM
R素子と磁気記録媒体が接触してMR素子を破壊するこ
とがあった。
ければならないので、磁気エンコーダの組み立て時にM
R素子と磁気記録媒体が接触してMR素子を破壊するこ
とがあった。
そこで、本発明者はこの点を解決できる磁気エンコーダ
を発明した(特開昭62−39178゜特i[62−3
9180)。この磁気エンコーダは第11図に示すよう
に、要求される位置読取精度に応じて周期的磁場を発生
するように、ピッチpで少なくとも1つの磁化パターン
列(図では2列)が書き込まれた磁気記録媒体3からの
周期的磁場を、磁気記録媒体3に近接させた磁気ヘッド
4にそなえられ前記磁化パターン列に対向するストライ
プ状のMR素子6により出力変換させ、前記磁気記録媒
体3の磁化の強さが1つのピッチル内で異なり、前記M
R素子のストライプ長さをQ1磁気記録媒体とMR素子
の最近接距離をgとしたときに、MR素子の面と磁気記
録媒体表面とのなす角度αがtan−’ (2(Q+g
)/ p )度から90度の範囲にあり、ストライプ幅
方向に磁化パターンからの磁界が印加されるようにして
いる。
を発明した(特開昭62−39178゜特i[62−3
9180)。この磁気エンコーダは第11図に示すよう
に、要求される位置読取精度に応じて周期的磁場を発生
するように、ピッチpで少なくとも1つの磁化パターン
列(図では2列)が書き込まれた磁気記録媒体3からの
周期的磁場を、磁気記録媒体3に近接させた磁気ヘッド
4にそなえられ前記磁化パターン列に対向するストライ
プ状のMR素子6により出力変換させ、前記磁気記録媒
体3の磁化の強さが1つのピッチル内で異なり、前記M
R素子のストライプ長さをQ1磁気記録媒体とMR素子
の最近接距離をgとしたときに、MR素子の面と磁気記
録媒体表面とのなす角度αがtan−’ (2(Q+g
)/ p )度から90度の範囲にあり、ストライプ幅
方向に磁化パターンからの磁界が印加されるようにして
いる。
なお、アブソリュート磁気エンコーダとして構成した例
を第12図に、磁化の方向が磁気記録媒体の厚さ方向と
等しい垂直磁化膜を用いた場合を第13図に示しており
、第ti図と同じ部分に同一の符号を付しである。
を第12図に、磁化の方向が磁気記録媒体の厚さ方向と
等しい垂直磁化膜を用いた場合を第13図に示しており
、第ti図と同じ部分に同一の符号を付しである。
[本発明が解決しようとする課題1
ところが、高分解能が要求され磁化パターン列の着磁ピ
ッチが小さくなると、各着磁部においてパターン列方向
の寸法に対するパターン幅方向の寸法比が低分解能の場
合に比べて大きくなり、着磁部の磁極面間距離が長くな
る。
ッチが小さくなると、各着磁部においてパターン列方向
の寸法に対するパターン幅方向の寸法比が低分解能の場
合に比べて大きくなり、着磁部の磁極面間距離が長くな
る。
第14図に示すように、磁石の磁極面間の距離・ L[
m]・幅λ[m]、厚さt「m]とし、この磁石の中心
からr[ml離れた点PにおけるS極による磁界をHs
SN極による磁界をHn、磁極の強さをmCWb]とす
ると、 4πμo「3′ 4πμo (r”+(L/2)”) [A/m]
”(1)1(n 4□□。酉・ 4yrμo(r”+(L/2)’) [−A/m]
”(2)ただし、μ。は真空の透磁率 であり、点Pにおいて磁石の長さ方向に作用する磁界1
−1 yは )−1,y−(Hs+Hn) cosθL 4πμ。(r’+(L/ 2)”) ’ [A/m]
”(3)で表される。
m]・幅λ[m]、厚さt「m]とし、この磁石の中心
からr[ml離れた点PにおけるS極による磁界をHs
SN極による磁界をHn、磁極の強さをmCWb]とす
ると、 4πμo「3′ 4πμo (r”+(L/2)”) [A/m]
”(1)1(n 4□□。酉・ 4yrμo(r”+(L/2)’) [−A/m]
”(2)ただし、μ。は真空の透磁率 であり、点Pにおいて磁石の長さ方向に作用する磁界1
−1 yは )−1,y−(Hs+Hn) cosθL 4πμ。(r’+(L/ 2)”) ’ [A/m]
”(3)で表される。
(3)式でしに注目すると、Lが大きくなると■Iyは
小さくなり、M R素子の領域における磁束密度が小さ
くなる。そのために出力が小さくなるので高分解能化に
限界があった。
小さくなり、M R素子の領域における磁束密度が小さ
くなる。そのために出力が小さくなるので高分解能化に
限界があった。
C課題を解決するための手段]
上記の問題を解決するために、本発明の磁気エンコーダ
は、1つの磁化パターン列の中の各着磁部が磁化パター
ン列の幅方向に分割され、分割されたそれぞれの着磁部
からの漏洩磁界のMR素素子スト9プ1 隣り合うように形成しである。
は、1つの磁化パターン列の中の各着磁部が磁化パター
ン列の幅方向に分割され、分割されたそれぞれの着磁部
からの漏洩磁界のMR素素子スト9プ1 隣り合うように形成しである。
[作用]
このように、1つの着磁部を複数に分割することにより
各着磁部における磁極面間距離を短くすることができ、
MRR子ストライプに印加される磁束密度が大きくなる
。さらに隣り合う着磁部からの漏洩磁界のMR素素子ス
ト9プ1 互いに相反する向きに着磁することにより、隣り合う着
磁部の一方の磁石からでた磁束は他方の磁束と反発して
隣りへ流れる磁束がなくなり、磁束通路が上方にふくら
み、MRR子ストライプの磁石から遠い部分での磁束密
度が増大して出力が大きくなるという2つの効果によっ
て、着磁ビブチが小さくなっても出力が低下せず、高分
解能化が可能になる。
各着磁部における磁極面間距離を短くすることができ、
MRR子ストライプに印加される磁束密度が大きくなる
。さらに隣り合う着磁部からの漏洩磁界のMR素素子ス
ト9プ1 互いに相反する向きに着磁することにより、隣り合う着
磁部の一方の磁石からでた磁束は他方の磁束と反発して
隣りへ流れる磁束がなくなり、磁束通路が上方にふくら
み、MRR子ストライプの磁石から遠い部分での磁束密
度が増大して出力が大きくなるという2つの効果によっ
て、着磁ビブチが小さくなっても出力が低下せず、高分
解能化が可能になる。
[実施例]
実施例!
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明のインクリメンタル磁気エンコーダの一
実施例を示す概略図、第2図は第1図の実施例における
磁化パターンとMR素子の詳細図、第3図、第4図は第
1図の実施例における出力の′波形図である。
実施例を示す概略図、第2図は第1図の実施例における
磁化パターンとMR素子の詳細図、第3図、第4図は第
1図の実施例における出力の′波形図である。
この実施例は、回転軸lに固定されたドラム状のアルミ
合金製基体2と、その外周部に形成されたco−P磁気
記録媒体3と、ガラス屑仮5上に81Ni−Fe膜で形
成したMRR子6およびAU膜で形成した端子7をそな
えた検出ヘッド4と、この端子7に接続されたリード線
8および駆動検出回路9よりなる。磁気記録媒体3に記
されている矢印は磁化の強さの程度と磁化方向をあられ
し、第5図に示(またようにリングヘッドIOを用いコ
イル11に電流を流して着磁を行った。磁化の強さは第
1図矢印で示すように1つのピッチル内で変化している
。
合金製基体2と、その外周部に形成されたco−P磁気
記録媒体3と、ガラス屑仮5上に81Ni−Fe膜で形
成したMRR子6およびAU膜で形成した端子7をそな
えた検出ヘッド4と、この端子7に接続されたリード線
8および駆動検出回路9よりなる。磁気記録媒体3に記
されている矢印は磁化の強さの程度と磁化方向をあられ
し、第5図に示(またようにリングヘッドIOを用いコ
イル11に電流を流して着磁を行った。磁化の強さは第
1図矢印で示すように1つのピッチル内で変化している
。
1つの磁化パターン列を着磁する際、まずパターン列の
半分の幅を着磁したのち、リングヘッド10を基体2の
幅方向に平行移動して、残りの半分はコイル電流の極性
を逆にして着磁する。こうすることによって1つの磁化
パターン列において各ピッチ内の着磁部がパターン列の
幅方向に分割され、分割された着磁部は互いに隣り合う
着磁部が相反する方向に磁化される。
半分の幅を着磁したのち、リングヘッド10を基体2の
幅方向に平行移動して、残りの半分はコイル電流の極性
を逆にして着磁する。こうすることによって1つの磁化
パターン列において各ピッチ内の着磁部がパターン列の
幅方向に分割され、分割された着磁部は互いに隣り合う
着磁部が相反する方向に磁化される。
このような構成において、磁気記録媒体3から漏れる磁
界の強さに応じてMR素子6の抵抗変化がおこり、第3
図に示すような三角波杉をもつ出力信号が得られた。こ
の信号の中央値をしきい値としてパルス化すると第4図
に示すようになり、位置検出器として使用できる。この
ような構成では反磁界Hdの影響を受けるのはMR素子
6のストライプ幅W方向であり、ピッチpによる制限は
ない。
界の強さに応じてMR素子6の抵抗変化がおこり、第3
図に示すような三角波杉をもつ出力信号が得られた。こ
の信号の中央値をしきい値としてパルス化すると第4図
に示すようになり、位置検出器として使用できる。この
ような構成では反磁界Hdの影響を受けるのはMR素子
6のストライプ幅W方向であり、ピッチpによる制限は
ない。
第6図は本実施例におけるピッチpに対する出力信号a
を、磁化パターンが分割されていない従来例の出力信号
すと比較して示す特性図である。
を、磁化パターンが分割されていない従来例の出力信号
すと比較して示す特性図である。
この特性図からも明らかなように、出力電圧も大きくな
り、従来例の限界である10μmピッチ以下でも、本発
明による出力電圧はノイズレベルより十分大きく、高分
解能化が可能であることがわかる。
り、従来例の限界である10μmピッチ以下でも、本発
明による出力電圧はノイズレベルより十分大きく、高分
解能化が可能であることがわかる。
なお、1つのピッチル内の磁化の強さの分布が、従来と
同じように三角波や正弦波状でも同じ効果が得られるこ
とは明らかである。
同じように三角波や正弦波状でも同じ効果が得られるこ
とは明らかである。
第7図は1つのピッチル内のパターン幅方向の分割数を
3つにした実施例における磁化パターンを示しており、
前述の実施例と同様に作用するので詳細な説明を省略す
る。分割数を−3つ以上にしても、同様の効果が得られ
る。
3つにした実施例における磁化パターンを示しており、
前述の実施例と同様に作用するので詳細な説明を省略す
る。分割数を−3つ以上にしても、同様の効果が得られ
る。
また、直線連動をする場合にも適用できることは当然で
ある。
ある。
実施例2
第8図は本発明によるアブソリュート磁気エンコーダの
実施例を示す概略斜視図、第9図は二の実施例における
出力電圧とピッチとの関係を従来例と比較して示す特性
図である。
実施例を示す概略斜視図、第9図は二の実施例における
出力電圧とピッチとの関係を従来例と比較して示す特性
図である。
本実施例は、回転軸1に固定されたドラム状基体2と、
その外周面に形成された磁気記録媒体3と、ガラス基板
5上に形成されたMR素子6および導体端子7よりなる
検出ヘッド4と、導体端子7に接続されたリード線8お
よび外部への出力端子を有する駆動検出回路9とよりな
る。磁気記録媒体3には矢印で示したように、それぞれ
幅方向に2つに分割され反対方向に着磁された5本の磁
化パターン列n、〜n、が書き込まれており、これらの
磁化パターン列n1−n5から漏れる磁界がそれぞれ対
応するMR素子6に作用する。つまり、磁気記録媒体3
からの漏れ磁界は、MR素子パターンに流れるセンス電
流と直交することにより磁化パターン列n 1 + n
t r n 3・・・に対しそれぞれ位置に応じて電
圧の変化を生じる。この変化を組み合わせて基体2の絶
対位置を検出する。
その外周面に形成された磁気記録媒体3と、ガラス基板
5上に形成されたMR素子6および導体端子7よりなる
検出ヘッド4と、導体端子7に接続されたリード線8お
よび外部への出力端子を有する駆動検出回路9とよりな
る。磁気記録媒体3には矢印で示したように、それぞれ
幅方向に2つに分割され反対方向に着磁された5本の磁
化パターン列n、〜n、が書き込まれており、これらの
磁化パターン列n1−n5から漏れる磁界がそれぞれ対
応するMR素子6に作用する。つまり、磁気記録媒体3
からの漏れ磁界は、MR素子パターンに流れるセンス電
流と直交することにより磁化パターン列n 1 + n
t r n 3・・・に対しそれぞれ位置に応じて電
圧の変化を生じる。この変化を組み合わせて基体2の絶
対位置を検出する。
ここでMR素子6のストライプ長さをQ1磁気記録媒体
3とMR素子5の最近接距離をg、位置読取単位をtと
したとき、MR素子6のストライプ面と最近接部での基
体2表面とのなす角度αがtan−1(2(N+g)/
p )度から90度の範囲にあるようにし、ストライ
プ幅方向が磁化パターン列01〜n、の方向と平行にし
ておけば、ストライプ幅方向に磁化パターンnl”nl
からの磁界が印加される。
3とMR素子5の最近接距離をg、位置読取単位をtと
したとき、MR素子6のストライプ面と最近接部での基
体2表面とのなす角度αがtan−1(2(N+g)/
p )度から90度の範囲にあるようにし、ストライ
プ幅方向が磁化パターン列01〜n、の方向と平行にし
ておけば、ストライプ幅方向に磁化パターンnl”nl
からの磁界が印加される。
第9図はこの実施例におけるピッチpに対する出力信号
aを、第12図に示した従来例の出力信号すと比較して
示す特性図であり、出力電圧が大きくなっているだけで
なく、従来例の限界である20μmピッチ以下でも出力
電圧はノイズレベルより十分大きいので高分解能化が可
能であることがわかる。
aを、第12図に示した従来例の出力信号すと比較して
示す特性図であり、出力電圧が大きくなっているだけで
なく、従来例の限界である20μmピッチ以下でも出力
電圧はノイズレベルより十分大きいので高分解能化が可
能であることがわかる。
また第10図に示すように、磁化の方向が磁気記録媒体
の厚さ方向と等しい垂直磁化膜を用いた場合にも同様の
効果が得られることは明らかである。
の厚さ方向と等しい垂直磁化膜を用いた場合にも同様の
効果が得られることは明らかである。
[本発明の効果]
以上説明したように1つの磁化パターン列をバターン列
の幅方向に分割し、分割されたそれぞれの着磁部からの
漏洩磁界のストライプ幅方向成分の磁界の向きが互いに
相反するように隣り合わせることにより、着磁ピッチを
小さくしても出力変化を大きくすることができ、高分解
能の磁気エンコーダを得られる効果がある。
の幅方向に分割し、分割されたそれぞれの着磁部からの
漏洩磁界のストライプ幅方向成分の磁界の向きが互いに
相反するように隣り合わせることにより、着磁ピッチを
小さくしても出力変化を大きくすることができ、高分解
能の磁気エンコーダを得られる効果がある。
第1図は本発明の実施例を示す概略斜視図、第2図は磁
化パターンとMR素子の関係を示す詳細図、第3図およ
び第4図は第1図の実施例にお6ノる出力の波形図、第
5図は磁化パターンを形成する方法を示V説明図、第6
図は第1図の実施例におけるピッチpに対する出力電圧
の関係を従来例と比較して示す特性図、第7図は他の実
施例を示す概略斜視図、第8図は本発明によるアブソリ
ュート磁気エンコーダの例を示す概略斜視図、第9図は
第8図の実施例におけるピッチpに対する出力電圧の関
係を従来例と比較して示す特性図、第1O図は垂直磁化
膜を用いた実施例を示す概略斜視図、第11図、第12
図、第13図は従来の磁気エンコーダを示す概略斜視図
である。 1は回転軸、2は基体、3は磁気記録媒体、4は磁気ヘ
ッド、5はガラス基板、6は磁気抵抗効果素子(M R
素子)、7は端子、8はリード線、9は駆動検出回路、
lOはリングヘッド、11はコイルである。
化パターンとMR素子の関係を示す詳細図、第3図およ
び第4図は第1図の実施例にお6ノる出力の波形図、第
5図は磁化パターンを形成する方法を示V説明図、第6
図は第1図の実施例におけるピッチpに対する出力電圧
の関係を従来例と比較して示す特性図、第7図は他の実
施例を示す概略斜視図、第8図は本発明によるアブソリ
ュート磁気エンコーダの例を示す概略斜視図、第9図は
第8図の実施例におけるピッチpに対する出力電圧の関
係を従来例と比較して示す特性図、第1O図は垂直磁化
膜を用いた実施例を示す概略斜視図、第11図、第12
図、第13図は従来の磁気エンコーダを示す概略斜視図
である。 1は回転軸、2は基体、3は磁気記録媒体、4は磁気ヘ
ッド、5はガラス基板、6は磁気抵抗効果素子(M R
素子)、7は端子、8はリード線、9は駆動検出回路、
lOはリングヘッド、11はコイルである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 要求される位置読取精度に応じて周期的磁場を発生
する磁化パターンがピッチpで書き込まれた少なくとも
1つの磁化パターン列を有する磁気記録媒体をそなえた
基体と、この磁気記録媒体に近接して設け、磁化パター
ン列からの周期的磁場を検出して出力変換する少なくと
も1つのストライプ状の磁気抵抗効果素子を設けた磁気
ヘッドとをそなえ、前記磁気記録媒体の磁場の強さが1
つのピッチp内で列方向に異なり、磁気抵抗効果素子の
ストライプ長さをl、磁気記録媒体と磁気抵抗効果素子
の最も近接した距離をgとしたときに、磁気抵抗効果素
子の面と磁気記録媒体表面とのなす角度αがtan^−
^1{2(l+g)/p}度から90度の範囲であって
、ストライプ幅方向に磁化パターンからの磁界が印加さ
れるようにした磁気エンコーダにおいて、 1つの磁化パターン列内の着磁部が、磁化パターン列の
幅方向に分割され、前記分割されたそれぞれの着磁部か
らの漏洩磁界の磁気抵抗効果素子ストライプ幅方向成分
が、互いに相反する方向に隣り合うようにしたことを特
徴とする磁気エンコーダ。 2 前記1つのピッチ内の磁化の強さの分布が正弦波状
である特許請求の範囲第1項記載の磁気エンコーダ。 3 前記1つのピッチ内の磁化の強さの分布が三角波状
である特許請求の範囲第1項記載の磁気エンコーダ。 4 要求される位置読取精度に応じた磁化パターン列を
少なくとも2列有する磁気記録媒体をそなえた基体と、
前記基体の磁気記録媒体に近接して磁気記録媒体から漏
洩する磁界を検出するため各磁化パターン列ごとに配置
されたストライプ状の磁気抵抗効果素子をそなえた磁気
ヘッドとを設け、前記磁気抵抗効果素子の出力信号の組
み合わせにより前記基体の絶対位置を読み出すようにし
、前記磁気抵抗効果素子のストライプ長さをl、磁気記
録媒体と磁気抵抗効果素子の最近接距離をg、位置読取
単位をpとしたとき、磁気抵抗効果素子のストライプ面
と磁気記録媒体表面とのなす角度αがtan^−^1{
2(l+g)/p}度から90度の範囲であって、スト
ライプ幅方向に磁化パターンからの磁界が印加されるよ
うにした磁気エンコーダにおいて、 各磁化パターン列の着磁部が、磁化パターン列の幅方向
に分割され、分割されたそれぞれの着磁部からの漏洩磁
界の磁気抵抗効果素子ストライプ幅方向成分が、互いに
相反する方向に隣り合うようにしたことを特徴とする磁
気エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18628089A JPH0348721A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18628089A JPH0348721A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0348721A true JPH0348721A (ja) | 1991-03-01 |
Family
ID=16185541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18628089A Pending JPH0348721A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0348721A (ja) |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP18628089A patent/JPH0348721A/ja active Pending
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