JPH0347751U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0347751U JPH0347751U JP11024889U JP11024889U JPH0347751U JP H0347751 U JPH0347751 U JP H0347751U JP 11024889 U JP11024889 U JP 11024889U JP 11024889 U JP11024889 U JP 11024889U JP H0347751 U JPH0347751 U JP H0347751U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- polishing
- workpiece
- holds
- polishing pad
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
同実施例に備えた研磨用パツドの縦断面図、第３
図は同実施例の研磨加工状態の説明図、第４図は
従来例の研磨加工状態の説明図である。 １……被加工部材、３……回転主軸、５……研
磨用パツド、６……パツド部、７……固定部、１
０……自動調心玉軸受。
同実施例に備えた研磨用パツドの縦断面図、第３
図は同実施例の研磨加工状態の説明図、第４図は
従来例の研磨加工状態の説明図である。 １……被加工部材、３……回転主軸、５……研
磨用パツド、６……パツド部、７……固定部、１
０……自動調心玉軸受。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被加工部材を保持して回転させる回転主軸と、
前記被加工部材を研磨加工する研磨用パツドと、
を備えてなるものにおいて、 前記研磨用パツドを、パツド部と、該パツド部
を保持してテーブルに固定された固定部等、から
形成すると共に、 前記パツド部と前記固定部との間に、自動調心
玉軸受を介設したことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024889U JPH0347751U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024889U JPH0347751U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0347751U true JPH0347751U (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=31658796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11024889U Pending JPH0347751U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0347751U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009113852A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Taguchi Kasei:Kk | 袋体および袋体の製造方法 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP11024889U patent/JPH0347751U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009113852A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Taguchi Kasei:Kk | 袋体および袋体の製造方法 |
| JP4590448B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2010-12-01 | 有限会社田口化成 | 袋体および袋体の製造方法 |
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