JPH0345772B2 - - Google Patents
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- JPH0345772B2 JPH0345772B2 JP58091403A JP9140383A JPH0345772B2 JP H0345772 B2 JPH0345772 B2 JP H0345772B2 JP 58091403 A JP58091403 A JP 58091403A JP 9140383 A JP9140383 A JP 9140383A JP H0345772 B2 JPH0345772 B2 JP H0345772B2
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- optical fiber
- measuring device
- photoluminescent material
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- light
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
- G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は一方の境界面が光フアイバの端面から
なり、他方の境界面が該端面に対向した可動体の
表面からなり、光フアイバがフアイバ及び可動体
の各境界面に対して光エネルギを送受するように
配置された少くとも２つの境界面間の動的運動を
測定する光フアイバ測定装置すなわちセンサに関
する。
なり、他方の境界面が該端面に対向した可動体の
表面からなり、光フアイバがフアイバ及び可動体
の各境界面に対して光エネルギを送受するように
配置された少くとも２つの境界面間の動的運動を
測定する光フアイバ測定装置すなわちセンサに関
する。
（従来の技術）
１本のフアイバで装置内の動的運動を測定する
光フアイバセンサは複雑な精密機械素子を正確に
嵌合する必要があり、発光を使用する際の動的範
囲が制約されていた。
光フアイバセンサは複雑な精密機械素子を正確に
嵌合する必要があり、発光を使用する際の動的範
囲が制約されていた。
運動を測定する前記種類の光フアイバセンサ
は、特にスエーデン国特許出願第7713207−４号
（日本国特願昭第144033／78号）、スエーデン国特
許出願第7801965−０号、第7803086−３号、第
7806189−２号、第7806486−２号（日本国特願昭
第67543／79号）、第7811821−３号（米国特許第
4345482号）、スエーデン国特許出願第7903220−
７号、スエーデン国特許出願第7910715−７号
（日本国特願昭第183681／80号）及びスエーデン
国特許出願第8105954−５号に開示されている。
これらの既知の測定装置のいくつかに関して次の
問題の少くとも一つが存在することがある。
は、特にスエーデン国特許出願第7713207−４号
（日本国特願昭第144033／78号）、スエーデン国特
許出願第7801965−０号、第7803086−３号、第
7806189−２号、第7806486−２号（日本国特願昭
第67543／79号）、第7811821−３号（米国特許第
4345482号）、スエーデン国特許出願第7903220−
７号、スエーデン国特許出願第7910715−７号
（日本国特願昭第183681／80号）及びスエーデン
国特許出願第8105954−５号に開示されている。
これらの既知の測定装置のいくつかに関して次の
問題の少くとも一つが存在することがある。
１ 装置は給電及び信号帰還のための２本もしく
はそれ以上のフアイバを必要とする。
はそれ以上のフアイバを必要とする。
２ ガラスと空気間の境界面において反射量が変
化するため装置に光フアイバ接触装置を設ける
ことができない。
化するため装置に光フアイバ接触装置を設ける
ことができない。
３ センサは複数個の機械的素子を有し、それら
は設置時に非常に精密に嵌合しなければならな
い。
は設置時に非常に精密に嵌合しなければならな
い。
４ 動的範囲が制限される（信号／ノイズ比が小
さい。）。
さい。）。
又、上記日本国特願昭第183681／80号において
は測定信号としてホトルミネセンス材からの発光
エネルギを用いているが、、発光エネルギ強度は
弱いため測定信号のＳ／Ｎが悪く精度の良い測定
ができなかつた。特に加速度、振動の測定を精度
良く行えなかつた。
は測定信号としてホトルミネセンス材からの発光
エネルギを用いているが、、発光エネルギ強度は
弱いため測定信号のＳ／Ｎが悪く精度の良い測定
ができなかつた。特に加速度、振動の測定を精度
良く行えなかつた。
（発明の課題及び解決手段）
本発明の目的は上記の従来技術の欠点を除去す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
本発明の他の目的は装置内の動的運動、好まし
くは加速度が振動を精度良く測定しうる光フアイ
バ測定装置を提供することである。
くは加速度が振動を精度良く測定しうる光フアイ
バ測定装置を提供することである。
この様な目的を達成するため、本発明は上記境
界面の少くとも一方に前記光フアイバからの入射
光に対して発光するホトルミネセンス材が設けら
れ、可動体の境界面は光フアイバからの入射光を
反射する反射面を形成し、その反射光エネルギは
両境界面間の相対位置に依存し、更に光反射光フ
アイバを介して伝送されるホトルミネセンス材か
らの発光エネルギと可動体からの反射光エネルギ
とに基づいて両境界面の動的運動を測定するよう
に構成したものである。
界面の少くとも一方に前記光フアイバからの入射
光に対して発光するホトルミネセンス材が設けら
れ、可動体の境界面は光フアイバからの入射光を
反射する反射面を形成し、その反射光エネルギは
両境界面間の相対位置に依存し、更に光反射光フ
アイバを介して伝送されるホトルミネセンス材か
らの発光エネルギと可動体からの反射光エネルギ
とに基づいて両境界面の動的運動を測定するよう
に構成したものである。
こうして、ホトルミネセンス材からの発光エネ
ルギのみならず可動体から反射される光エネルギ
を使用することにより、これらの周波数が異なる
ことから一本の同じフアイバを測定信号及び帰還
信号用の通路に使用することができる。
ルギのみならず可動体から反射される光エネルギ
を使用することにより、これらの周波数が異なる
ことから一本の同じフアイバを測定信号及び帰還
信号用の通路に使用することができる。
更に、ホトルミネセンス材からの発光エネルギ
は可動体の動的運動に無関係に一定となる様構成
することにより、ホトルミネセンスからの発光信
号を補償信号（帰還信号）として使用して、境界
面内例えばフアイバ接合点において変化する反射
光に依存することなくフアイバの送信径路内を伝
達される光の減衰（損失）に対して補償がされ、
従つて反射光信号を使用することにより高いＳ／
Ｎ比が得られる。即ち、ルミネセンス材からの発
光エネルギを用いた帰還回路と組合せて可動体体
からの反射信号を使用することにより、常に高い
信号値が得られ同時に装置はフアイバの光損失及
び接合点や分岐における反射に対して補償がされ
て反射信号はそれらに対して非感応的となる。可
動体の設計時に低コストで高い精度が得られる半
導体技術を使用するのが適切である。
は可動体の動的運動に無関係に一定となる様構成
することにより、ホトルミネセンスからの発光信
号を補償信号（帰還信号）として使用して、境界
面内例えばフアイバ接合点において変化する反射
光に依存することなくフアイバの送信径路内を伝
達される光の減衰（損失）に対して補償がされ、
従つて反射光信号を使用することにより高いＳ／
Ｎ比が得られる。即ち、ルミネセンス材からの発
光エネルギを用いた帰還回路と組合せて可動体体
からの反射信号を使用することにより、常に高い
信号値が得られ同時に装置はフアイバの光損失及
び接合点や分岐における反射に対して補償がされ
て反射信号はそれらに対して非感応的となる。可
動体の設計時に低コストで高い精度が得られる半
導体技術を使用するのが適切である。
好ましくは、可動体は弾性部を有し可動体の端
部をフアイバ端に取りつけることにより、簡単で
実用的に設計できる組立体が得られる。
部をフアイバ端に取りつけることにより、簡単で
実用的に設計できる組立体が得られる。
適応性のある光学及び化学的性質を有する半導
体材料を使用して写真石版術及び食刻技術によ
り、製作経済性の良い一体化された機械的及び光
学的構造を実現することができる。
体材料を使用して写真石版術及び食刻技術によ
り、製作経済性の良い一体化された機械的及び光
学的構造を実現することができる。
（実施例）
第１図は本発明の測定装置の好適実施例を示
す。
す。
発光ダイオード（LED）５はフアイバ分岐３
を介してフアイバ１に光エネルギを供給する。境
界面１５においてはフアイバ１からの入力光エネ
ルギによる反射及び励起による光エネルギが生じ
る。ここで可動体１５は例えばフアイバの境界面
に対して水平に移動可能であり、可動体１５の境
界面は反射面を構成し、ホトルミネセンス材はフ
アイバは可動体の一部に、又はフアイバの境界面
付近に設けられている。反射の光エネルギ及びあ
る場合にはホトルミネセンス材（発光）の光エネ
ルギも境界面１５，１６間の相対位置に依存す
る。反射された光エネルギは分岐３及びさらにも
う一つの分岐４を通過した後２つの測定チヤネル
（仮射光に対する測定チヤネルとホトルミネセン
スに対する測定チヤネル）に分割される。分岐４
の端面に設けられた濾波器１０は反射光エネルギ
が発光エネルギから分離されて除去されるように
設計されている。これは例えば薄層内の干渉を利
用したバンドパス濾波器により達成できる。多く
の場合典型的に発光の光エネルギの割合は全光エ
ネルギのおよそ1/1000に過ぎないため、反射光エ
ネルギに対する測定チヤネルは光濾波器を必要と
しない。
を介してフアイバ１に光エネルギを供給する。境
界面１５においてはフアイバ１からの入力光エネ
ルギによる反射及び励起による光エネルギが生じ
る。ここで可動体１５は例えばフアイバの境界面
に対して水平に移動可能であり、可動体１５の境
界面は反射面を構成し、ホトルミネセンス材はフ
アイバは可動体の一部に、又はフアイバの境界面
付近に設けられている。反射の光エネルギ及びあ
る場合にはホトルミネセンス材（発光）の光エネ
ルギも境界面１５，１６間の相対位置に依存す
る。反射された光エネルギは分岐３及びさらにも
う一つの分岐４を通過した後２つの測定チヤネル
（仮射光に対する測定チヤネルとホトルミネセン
スに対する測定チヤネル）に分割される。分岐４
の端面に設けられた濾波器１０は反射光エネルギ
が発光エネルギから分離されて除去されるように
設計されている。これは例えば薄層内の干渉を利
用したバンドパス濾波器により達成できる。多く
の場合典型的に発光の光エネルギの割合は全光エ
ネルギのおよそ1/1000に過ぎないため、反射光エ
ネルギに対する測定チヤネルは光濾波器を必要と
しない。
両方の測定チヤネルにおいて反射光及びホトル
ミネセンスはそれぞれホトダイオード６，１１に
より電流に変換され、増幅器７，１２において適
正な電圧範囲に増幅される。反射信号は濾波器８
において高域濾波され、従つて装置内例えば分岐
内及びフアイバ接合点における静的反射光（反射
光エネルギのゆるやかな変化成分）を除去する。
これは境界面１５及び１６間の相対位置の非常に
ゆるやかな変化に対してセンサは応答しないこと
を意味する。高域濾波信号はさらにレジスタユニ
ツト９に供給されてさらに信号処理及び／もしく
はドキユメンテーシヨンが行われる。
ミネセンスはそれぞれホトダイオード６，１１に
より電流に変換され、増幅器７，１２において適
正な電圧範囲に増幅される。反射信号は濾波器８
において高域濾波され、従つて装置内例えば分岐
内及びフアイバ接合点における静的反射光（反射
光エネルギのゆるやかな変化成分）を除去する。
これは境界面１５及び１６間の相対位置の非常に
ゆるやかな変化に対してセンサは応答しないこと
を意味する。高域濾波信号はさらにレジスタユニ
ツト９に供給されてさらに信号処理及び／もしく
はドキユメンテーシヨンが行われる。
他方の測定チヤネルでは、LED５及びフイル
タ１３、比較器１４等が帰還ループを形成し、ホ
トルミネセンス信号Ｖは比較器１４で平均化され
て基準信号Vrefと比較されその差分（Ｖ−Vref）
がLED５に負帰還信号として与えられる。従つ
て境界面１５，１６からの反射光及びホトルミネ
センスの光強度が共に入力エネルギに対して線型
であり且つ信号径路が同一であるため、信号径路
の光損失の変動等に対してLEDの発光エネルギ
は非常に良好に補償される。従つて反射光の測定
チヤネルへの入射光強度は常に一定に保たれ正確
な測定を可能とする。
タ１３、比較器１４等が帰還ループを形成し、ホ
トルミネセンス信号Ｖは比較器１４で平均化され
て基準信号Vrefと比較されその差分（Ｖ−Vref）
がLED５に負帰還信号として与えられる。従つ
て境界面１５，１６からの反射光及びホトルミネ
センスの光強度が共に入力エネルギに対して線型
であり且つ信号径路が同一であるため、信号径路
の光損失の変動等に対してLEDの発光エネルギ
は非常に良好に補償される。従つて反射光の測定
チヤネルへの入射光強度は常に一定に保たれ正確
な測定を可能とする。
性能が同等な別の方法は励起されたエネルギを
２つの測定チヤネルからの信号と組合せて一定に
維持することである。即ち、ホトルミネセンス光
エネルギを帰還ループで用いる代りに反射光エネ
ルギと組合わせて特開昭56年101516号に示される
様に両者の商を求め、よつて反射光エネルギを光
損失等に無関係にする。
２つの測定チヤネルからの信号と組合せて一定に
維持することである。即ち、ホトルミネセンス光
エネルギを帰還ループで用いる代りに反射光エネ
ルギと組合わせて特開昭56年101516号に示される
様に両者の商を求め、よつて反射光エネルギを光
損失等に無関係にする。
LEDの非発光時でのホトダイオード内の暗電
流すなわち外乱光線による暗電流の影響を解消す
るには、LEDに脈動駆動信号を与えて駆動信号
が零のときの測定値で反射光の測定チヤネルを較
正するのが適切である。
流すなわち外乱光線による暗電流の影響を解消す
るには、LEDに脈動駆動信号を与えて駆動信号
が零のときの測定値で反射光の測定チヤネルを較
正するのが適切である。
第２図は第１図のフアイバ１の端領域の境界面
１５，１６の他の例を示す。好ましい実施例では
測定装置は加速度計であり可動体２の一端（第２
図の上端）はフアイバ端面１６に固定され、また
弾性部１７及び重りとして作用するコンパウンド
１８を有し、コンパウンドは加速度が加えられる
と弾性部１７を境界面１６に対して傾斜させるの
を助ける。こうして弾性部は境界面１５及び１６
と一体的に形成されておりそれらは共に光学的機
能を行う。コンパウンド１８は可動体２の表面で
ある境界面１５の一部に集中することが望まし
く、このコンパウンドを弾性部１７の取付部付近
に配置することにより装置内において機械的信号
即ち加速度を示す信号を増幅できる。次に境界面
１５には加速度に応じて境界面１６に対する相対
運動が与えられる。装置の停止状態において境界
面１５，１６はフアイバの主方向（軸方向）に対
して90゜からそれた角度θを成しているため、あ
る光線（光線２０，２３）は境界面１５に向つて
反射した後フアイバから出て行くが他の光線（光
線１９，２２）は全体反射として既知の方法でフ
アイバ内に戻る。角度θは反射光のおよそ半分が
フアイバ内に戻るように調整することができる。
この部分は境界面１５及び１６間の相対運動によ
り生じる角度θ′の変化に対して非常に鋭敏とな
る。可動体２の弾性部１７はホトルミネセント材
を含みそれは入力光エネルギよりも長い波長の発
光を行う。発光の方向依存性を入射光線２１及び
出力光束２４により示す様に、その分布はランパ
ートの法則に従い方向依存性が比較的弱い。従つ
て反射光の強度は境界面１５の境界面１６に対す
る傾き、即ち被測定量（この場合加速度）に依存
し、、他方、発光は方向依存性が低いために発光
の光強度は被測定量に依存せず一定であるという
ことができる。従つて、上記の様に反射光を加速
度の測定に用い、発光エネルギをフアイバの光損
失に対する補償用に用いることができる。実施例
の可動体２の弾性部のホトルミネセンス材は例え
ばAlxGa1-xAsのような半導体を有するエピタキ
シヤル層として形成されており、ある層において
はｘ＝０であり他の層においてはｘ＝0.3〜0.5で
ある。半導体材はInxGa1-xAsyP1-yとすることも
できる。Alの含有量の変化により材料のエネル
ギギヤツプ従つてその発光特性及び耐薬品性が影
響を受ける。こうして化学食刻及び写真右版パタ
ーン技術により前記したような弾性及び光学特性
を有する三次元的に形成された本体を製作するこ
とができる。
１５，１６の他の例を示す。好ましい実施例では
測定装置は加速度計であり可動体２の一端（第２
図の上端）はフアイバ端面１６に固定され、また
弾性部１７及び重りとして作用するコンパウンド
１８を有し、コンパウンドは加速度が加えられる
と弾性部１７を境界面１６に対して傾斜させるの
を助ける。こうして弾性部は境界面１５及び１６
と一体的に形成されておりそれらは共に光学的機
能を行う。コンパウンド１８は可動体２の表面で
ある境界面１５の一部に集中することが望まし
く、このコンパウンドを弾性部１７の取付部付近
に配置することにより装置内において機械的信号
即ち加速度を示す信号を増幅できる。次に境界面
１５には加速度に応じて境界面１６に対する相対
運動が与えられる。装置の停止状態において境界
面１５，１６はフアイバの主方向（軸方向）に対
して90゜からそれた角度θを成しているため、あ
る光線（光線２０，２３）は境界面１５に向つて
反射した後フアイバから出て行くが他の光線（光
線１９，２２）は全体反射として既知の方法でフ
アイバ内に戻る。角度θは反射光のおよそ半分が
フアイバ内に戻るように調整することができる。
この部分は境界面１５及び１６間の相対運動によ
り生じる角度θ′の変化に対して非常に鋭敏とな
る。可動体２の弾性部１７はホトルミネセント材
を含みそれは入力光エネルギよりも長い波長の発
光を行う。発光の方向依存性を入射光線２１及び
出力光束２４により示す様に、その分布はランパ
ートの法則に従い方向依存性が比較的弱い。従つ
て反射光の強度は境界面１５の境界面１６に対す
る傾き、即ち被測定量（この場合加速度）に依存
し、、他方、発光は方向依存性が低いために発光
の光強度は被測定量に依存せず一定であるという
ことができる。従つて、上記の様に反射光を加速
度の測定に用い、発光エネルギをフアイバの光損
失に対する補償用に用いることができる。実施例
の可動体２の弾性部のホトルミネセンス材は例え
ばAlxGa1-xAsのような半導体を有するエピタキ
シヤル層として形成されており、ある層において
はｘ＝０であり他の層においてはｘ＝0.3〜0.5で
ある。半導体材はInxGa1-xAsyP1-yとすることも
できる。Alの含有量の変化により材料のエネル
ギギヤツプ従つてその発光特性及び耐薬品性が影
響を受ける。こうして化学食刻及び写真右版パタ
ーン技術により前記したような弾性及び光学特性
を有する三次元的に形成された本体を製作するこ
とができる。
尚、第１図において検出された発光エネルギに
基づいてLED５の発光量を制御したが、増幅器
７，１１の増幅率を制御するようにしても良い。
基づいてLED５の発光量を制御したが、増幅器
７，１１の増幅率を制御するようにしても良い。
なお、被測定量のフアイバの光損失による変動
に対する補償方法として、上記実施例の様に検出
された発光エネルギに基づいてLED５の発光量
を制御することにより補償を行うかわりに、特開
昭56−101516号公報に示される様に、検出された
反射光エネルギと発光エネルギとの商をとること
により補償を行うようにしても良い。
に対する補償方法として、上記実施例の様に検出
された発光エネルギに基づいてLED５の発光量
を制御することにより補償を行うかわりに、特開
昭56−101516号公報に示される様に、検出された
反射光エネルギと発光エネルギとの商をとること
により補償を行うようにしても良い。
又、ホトルミネセント材は可動体にではなく、
光フアイバの境界面又はその付近に設けられても
良く、又ホトルミネセント材は金属イオンで形成
されても良い。
光フアイバの境界面又はその付近に設けられても
良く、又ホトルミネセント材は金属イオンで形成
されても良い。
第１図は本発明の光フアイバ測定装置の好適実
施例を示す図、第２図は第１図のセンサの運動感
知部の他の例の詳細図である。 符号の説明、１…光フアイバ、２…可動体、
３，４…フアイバ分岐、５…LED、６，１１…
ホトダイオード、７，１２…増幅器、８，１３…
濾波器、９…レジスタユニツト、１４…制御回
路、１５，１６…境界面、１７…弾性部、１８…
コンパウンド。
施例を示す図、第２図は第１図のセンサの運動感
知部の他の例の詳細図である。 符号の説明、１…光フアイバ、２…可動体、
３，４…フアイバ分岐、５…LED、６，１１…
ホトダイオード、７，１２…増幅器、８，１３…
濾波器、９…レジスタユニツト、１４…制御回
路、１５，１６…境界面、１７…弾性部、１８…
コンパウンド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 発光素子５からの光を導く光フアイバ１と、 該光フアイバの一端から出射された光を反射し
て該光フアイバに再入射させる反射面１５を有
し、被測定物理量の大きさに応じて移動する可動
体２とを有し、前記光フアイバの一端面１６と前
記反射面１５間の相対位置は前記被測定物理量に
応じて変化し、 前記一端面と反射面の少なくとも一方は、前記
光フアイバからの出射光に対して異なる周波数で
発光して該光フアイバに入射させるホトルミネセ
ンス材を有し、前記ホトルミネセンス材からの前
記光フアイバへの発光エネルギは入射光量に応じ
て変化すると共に、前記光フアイバの一端面１６
と前記反射面１５間の相対位置に無関係であり、
前記反射面からの反射光エネルギは前記一端面と
反射面間の相対位置に依存する、前記被測定物理
量を測定する光フアイバ測定装置であつて、該測
定装置は更に、前記光フアイバ内を伝送される前
記反射光と前記ホトルミネセンス材からの光とを
分離して別々に抽出する手段６，１１と、 前記抽出された反射光エネルギに基づいて前記
被測定物理量を測定する測定手段６〜１４と、 前記抽出されたホトルミネセンス材からの光エ
ネルギに基づいて前記測定された被測定物理量
を、前記フアイバ内を伝送される光の損失による
変動分に対して補償する手段とを備えたことを特
徴とする光フアイバ測定装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記可動体２の一端は前記光フ
アイバの一端面に堅固に接合され、前記可動体は
弾性部１７を有することを特徴とする光フアイバ
測定装置。 ３ 特許請求の範囲第１項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記抽出手段は前記反射光と前
記ホトルミネセンス材からの光とを分割する光濾
波器１０を有することを特徴とする光フアイバ測
定装置。 ４ 特許請求の範囲第３項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記測定手段は前記光濾波器１
０で分割された反射光エネルギを電気的エネルギ
に変換する光電変換器６と、変換された信号を通
す高域濾波器もしくは帯域濾波器８を有すること
を特徴とする光フアイバ測定装置。 ５ 特許請求の範囲第５項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記測定手段は前記光濾波器で
分割された前記ホトルミネセンス材からの発光エ
ネルギと反射光エネルギをそれぞれ別個に増幅す
る第１，第２の増幅手段７，１２を有し、前記第
１増幅手段の出力に応じて前記発光素子５により
前記フアイバ１へ供給される光エネルギ強度もし
くは前記増幅手段７，１２の増幅率の制御を行う
ことを特徴とする光フアイバ測定装置。 ６ 特許請求の範囲第３項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記測定手段は前記分割された
反射光エネルギ及び前記ホトルミネセンス材から
の発光エネルギ成分を夫々電気信号に変換した後
に２つの信号成分間の商を得ることを特徴とする
光フアイバ測定装置。 ７ 特許請求の範囲第２項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記可動体２の弾性部１７はそ
れに固着された重りとして作用するコンパウンド
１８を有することを特徴とする光フアイバ測定装
置。 ８ 特許請求の範囲第２項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記光フアイバの一端面１５と
前記反射面１６はフアイバの主方向に対して90゜
からそれた角度をなすことを特徴とする光フアイ
バ測定装置。 ９ 特許請求の範囲第８項に記載の光フアイバ測
定装置において、前記ホトルミネセンス材は前記
可動体２の一部に設けられた AlxGa1-xAsもしくは InxGa1-xAsyP1-y等の半導体層で構成されている
ことを特徴とする光フアイバ測定装置。 １０ 特許請求の範囲第９項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記半導体層はエピタキシヤ
ル層として作成されていることを特徴とする光フ
アイバ測定装置。 １１ 特許請求の範囲第１項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記光フアイバの一端面には
前記ホトルミネセンス材が被覆されていることを
特徴とする光フアイバ測定装置。 １２ 特許請求の範囲第１項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記ホトルミネセンス材は前
記光フアイバの一端面１６付近に設けられている
ことを特徴とする光フアイバ測定装置。 １３ 特許請求の範囲第１項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記ホトルミネセンス材は金
属イオンからなることを特徴とする光フアイバ測
定装置。 １４ 特許請求の範囲第７項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記コンパウンド１８は前記
可動体２の前記反射面１５の一部分のみに設けら
れていることを特徴とする光フアイバ測定装置。 １５ 特許請求の範囲第２項に記載の光フアイバ
測定装置において、前記可動体２はその一端を中
心として前記光フアイバの一端面に対して枢動可
能であり、前記反射面と前記光フアイバの一端面
間の角度は前記被測定物理量に応じて変化しそれ
により反射光エネルギが変化することを特徴とす
る光フアイバ測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8203296A SE430825B (sv) | 1982-05-27 | 1982-05-27 | Fiberoptisk givare for metning av dynamiska rorelser |
| SE82032962 | 1982-05-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58215510A JPS58215510A (ja) | 1983-12-15 |
| JPH0345772B2 true JPH0345772B2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=20346910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58091403A Granted JPS58215510A (ja) | 1982-05-27 | 1983-05-24 | 光フアイバ測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4581528A (ja) |
| EP (1) | EP0096262B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58215510A (ja) |
| CA (1) | CA1218725A (ja) |
| DE (1) | DE3377590D1 (ja) |
| SE (1) | SE430825B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0154025A1 (de) * | 1983-12-29 | 1985-09-11 | INTERATOM Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur direkten Umwandlung von Messgrössen in Veränderungen eines über Lichtleiter zu- und abgeleiteten Lichtsignals und Hybrid-Sensor zur Durchführung des Verfahrens |
| SE441127B (sv) * | 1984-01-25 | 1985-09-09 | Asea Ab | Accelerometer |
| SE441128B (sv) * | 1984-01-25 | 1985-09-09 | Asea Ab | Fiberoptisk givare for metning av dynamisk acceleration |
| US4678902A (en) * | 1985-04-30 | 1987-07-07 | Metatech Corporation | Fiber optic transducers with improved sensitivity |
| US4870271A (en) * | 1987-02-06 | 1989-09-26 | Philips Gerald J | Method and apparatus for determining the size of defects in rolling element bearings with high frequency capability |
| DE3820912A1 (de) * | 1988-06-21 | 1989-12-28 | Bayerische Motoren Werke Ag | Fiberoptisches sensorsystem |
| EP0354882B1 (en) * | 1988-08-12 | 1994-05-25 | Consiglio Nazionale Delle Ricerche | Fiber-optic vibration sensor |
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| SE413344B (sv) * | 1978-03-17 | 1980-05-19 | Asea Ab | Optiskt metdon |
| SE411955B (sv) * | 1978-06-02 | 1980-02-11 | Asea Ab | Fiberoptiskt metdon med hogst tva fibrer |
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| SE414672B (sv) * | 1978-11-16 | 1980-08-11 | Asea Ab | Fiberoptiskt don for metning av fysikaliska storheter sasom kraft, tojning, tryck, acceleration och temperatur |
| SE417137B (sv) * | 1979-05-31 | 1981-02-23 | Asea Ab | Optiskt metdon for metning av magnetiska och elektriska felt |
| DE2937485A1 (de) * | 1979-09-17 | 1981-06-19 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Optische vorrichtung zum messen geringer druckdifferenzen mittels lichtintensitaetsaenderung |
| DE2937484A1 (de) * | 1979-09-17 | 1981-05-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Optische vorrichtung zum messen von druckdifferenzen mittels lichtintensitaetsaenderung |
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| SE420130B (sv) * | 1980-01-24 | 1981-09-14 | Asea Ab | Optiskt metdon for metning av kraft eller tryck |
| SE436800B (sv) * | 1980-11-06 | 1985-01-21 | Asea Ab | Optiskt sensorelement av fast material for avkenning av fysikaliska storheter, sasom tryck, vilket exciteras optiskt och avger fotoluminiscens |
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-
1982
- 1982-05-27 SE SE8203296A patent/SE430825B/sv not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-05-19 EP EP83104981A patent/EP0096262B1/de not_active Expired
- 1983-05-19 DE DE8383104981T patent/DE3377590D1/de not_active Expired
- 1983-05-24 JP JP58091403A patent/JPS58215510A/ja active Granted
- 1983-05-26 CA CA000428971A patent/CA1218725A/en not_active Expired
- 1983-05-26 US US06/498,478 patent/US4581528A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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|---|---|
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| JPS58215510A (ja) | 1983-12-15 |
| SE8203296L (sv) | 1983-11-28 |
| SE430825B (sv) | 1983-12-12 |
| CA1218725A (en) | 1987-03-03 |
| EP0096262A1 (de) | 1983-12-21 |
| EP0096262B1 (de) | 1988-08-03 |
| DE3377590D1 (en) | 1988-09-08 |
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