JPH0344273U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の断面図（第２図の
−線に沿う断面図）、第２図は真空用ゲート弁
の平面図（第１図の−線に沿つて見た図）、
第３図は第２図の−線に沿う断面図、第４図
は弁板及びカムの開放直後又は閉鎖直前の状態を
示す図、第５図は弁板及びカムの閉鎖状態を示す
図である。 １０……弁箱、１２……流路、１４……弁部材
配置空間部、１６……弁押え板、１８……弁板、
２０……シール面、２２……シール部材、２４…
…段差部、２６……車輪、２８……空圧シリンダ
（弁駆動装置）、３４……引張りコイルスプリン
グ、３６……引張りコイルスプリング、３８……
ピン、４０……カム、４０ａ……突起部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 弁箱と、弁押え板と、弁板と、弁押え板に設け
   られるカムと、弁押え板を駆動する弁駆動装置と
   、を有し、弁箱は、これを貫通する流路と、弁部
   材配置空間部と、を有しており、弁部材配置空間
   部の一方の端面にシール面が形成されており、弁
   押え板及び弁板は弁板がシール面側に位置するよ
   うに重なり合つた状態で弁箱の弁部材配置空間部
   内に配置されており、弁板のシール面と対面する
   部分には全周にわたつてシール部材が設けられて
   おり、弁押え板は弁駆動装置によつて駆動されて
   シール面に平行に往復動可能であり、弁板は弁押
   え板に対してこれの往復動方向及び垂直方向に相
   対移動可能に連結されており、弁押え板には弁板
   に面する側に突起部を有する上記カムがピンによ
   つて回動可能に支持されており、弁板にはカムの
   突起部と接触する段差部が設けられており、弁押
   え板と弁板との間には両者を互いに近づける向き
   の力を作用するスプリングが設けられており、弁
   押え板が弁駆動装置によつて一方向に駆動された
   とき弁押え板よりも先に弁板が停止されるように
   構成されており、弁押え板が更に駆動されること
   によりカムが回動して突起部の先端で弁板をシー
   ト面側に押出し、シール部材がシール面に密着す
   るように弁部材配置空間部、弁押え板及び弁板の
   寸法関係が設定されている真空用ゲート弁。