JPH0338522B2 - - Google Patents
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- JPH0338522B2 JPH0338522B2 JP13289780A JP13289780A JPH0338522B2 JP H0338522 B2 JPH0338522 B2 JP H0338522B2 JP 13289780 A JP13289780 A JP 13289780A JP 13289780 A JP13289780 A JP 13289780A JP H0338522 B2 JPH0338522 B2 JP H0338522B2
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- Japan
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- wavelength
- determined
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は二物体間、例えばガラスデイスクと磁
気ヘツドとの間の隙間測定などのように、一方の
物体が透明体である場合、もしくは光束の振幅分
割により非透明体に対しても反射光束によつて干
渉縞が創生できる場合に使用される微小隙間測定
方法に関するものである。
気ヘツドとの間の隙間測定などのように、一方の
物体が透明体である場合、もしくは光束の振幅分
割により非透明体に対しても反射光束によつて干
渉縞が創生できる場合に使用される微小隙間測定
方法に関するものである。
従来のこの種の測定方法の原理を第１図につい
て説明するに、１は広帯域の波長（0.3〜0.7μｍ）
を含む白色光源、２は白色光源１に対設されたフ
イルタ、３はカメラ、４はフイルタ２およびカメ
ラ３に対設されたハーフミラー、５はハーフミラ
ー４からの光束を有効に入射させるために、表面
に反射防止膜を塗布したガラスデイスクで、この
ガラスデイスク５はハーフミラー４に対設されて
いる。６はガラスデイスク５と対向して設けられ
たスライダである。
て説明するに、１は広帯域の波長（0.3〜0.7μｍ）
を含む白色光源、２は白色光源１に対設されたフ
イルタ、３はカメラ、４はフイルタ２およびカメ
ラ３に対設されたハーフミラー、５はハーフミラ
ー４からの光束を有効に入射させるために、表面
に反射防止膜を塗布したガラスデイスクで、この
ガラスデイスク５はハーフミラー４に対設されて
いる。６はガラスデイスク５と対向して設けられ
たスライダである。
上記フイルタ２は白色光源１からの光を単波長
の光束となし、この光束の一部をハーフミラー４
によりガラスデイスク５に入射させ、さらにスラ
イダ６により反射させる。このスライダ６の表面
の反射光とガラスデイスク５の裏面の反射光とに
より干渉縞が発生し、この干渉縞をハーフミラー
４を介してカメラ３により観察する。このカメラ
３による干渉縞を写真に記録し、または目視によ
り観察していた。
の光束となし、この光束の一部をハーフミラー４
によりガラスデイスク５に入射させ、さらにスラ
イダ６により反射させる。このスライダ６の表面
の反射光とガラスデイスク５の裏面の反射光とに
より干渉縞が発生し、この干渉縞をハーフミラー
４を介してカメラ３により観察する。このカメラ
３による干渉縞を写真に記録し、または目視によ
り観察していた。
従来は上記のように写真記録または目視により
干渉縞の位置を読み取り、これにより二物体間、
すなわちガラスデイスク５とスライダ６との間の
微小〓間を測定していた。このような測定方法で
は、(a)測定者によつて誤差を生ずる(b)フイルムに
より感度が異なるため、同じギヤツプでも異なる
値となる、(c)フイルムが高価であるからコスト高
となる、(d)写真から読み取るときにかなりの手数
と時間を要するなどの欠点がある。
干渉縞の位置を読み取り、これにより二物体間、
すなわちガラスデイスク５とスライダ６との間の
微小〓間を測定していた。このような測定方法で
は、(a)測定者によつて誤差を生ずる(b)フイルムに
より感度が異なるため、同じギヤツプでも異なる
値となる、(c)フイルムが高価であるからコスト高
となる、(d)写真から読み取るときにかなりの手数
と時間を要するなどの欠点がある。
本発明は上記欠点を解消し、微小〓間を迅速
に、かつ高精度に測定することを目的とするもの
である。
に、かつ高精度に測定することを目的とするもの
である。
本発明は、光干渉法により創出された二物体間
を現わす干渉縞に対向して光電変換用のカメラの
一構成要素である複数個の画像検出用センサを固
定または移動可能に配置し、その各センサからの
ビデオ出力から、少なくとも２波長を用いて創出
する干渉縞の明部と暗部の位置を読み取ることに
より、前記物体間の任意位置における微小〓間を
測定することを特徴とするものである。
を現わす干渉縞に対向して光電変換用のカメラの
一構成要素である複数個の画像検出用センサを固
定または移動可能に配置し、その各センサからの
ビデオ出力から、少なくとも２波長を用いて創出
する干渉縞の明部と暗部の位置を読み取ることに
より、前記物体間の任意位置における微小〓間を
測定することを特徴とするものである。
隙間に対応した干渉縞パターンのビデオ出力
を、波長差を制限した少なくとも二波長で発生
し、一の物体のエツジ位置を基準点とした干渉縞
の明部と暗部のピーク位置を、信号処理により検
出し演算する方法を採用しているため、簡単で高
速、高精度に微小隙間が測定される。
を、波長差を制限した少なくとも二波長で発生
し、一の物体のエツジ位置を基準点とした干渉縞
の明部と暗部のピーク位置を、信号処理により検
出し演算する方法を採用しているため、簡単で高
速、高精度に微小隙間が測定される。
以下本発明の一実施態様を光電変換用カメラと
して例えばラインカメラを配置した場合について
説明する。
して例えばラインカメラを配置した場合について
説明する。
第２図に示す符号のうち第１図に示す符号と同
一のものは同一部分を示すものとする。
一のものは同一部分を示すものとする。
第２図において、７は一次元に素子を配列した
ラインカメラで、このラインカメラ７はその中に
スライダ６全体が入るように設置されている。８
はスライダ６全体の長手方向の輪郭を検出するた
めの拡大ないし縮小用のレンズ系で、スライダ６
の表面の反射光とガラスデイスク５の裏面の反射
光とにより創生された干渉縞パターンは前記レン
ズ系８を介して一次元のラインカメラ７上に結像
する。
ラインカメラで、このラインカメラ７はその中に
スライダ６全体が入るように設置されている。８
はスライダ６全体の長手方向の輪郭を検出するた
めの拡大ないし縮小用のレンズ系で、スライダ６
の表面の反射光とガラスデイスク５の裏面の反射
光とにより創生された干渉縞パターンは前記レン
ズ系８を介して一次元のラインカメラ７上に結像
する。
上記スライダ６の浮上面は十分な反射光を維持
するために鏡面に近い状態に仕上げられているの
で、干渉縞が創出されると否とにかかわらず、ラ
インカメラ７には一定の光量が入力される。前記
干渉縞の理想的な状態では、暗部は出力が零にな
るはずであるが、実際にはこのようになることが
なく、任意のスライスレベルが設定可能な、干渉
にあずからない光量による出力すなわち直流の出
力レベルが必ず生ずる。
するために鏡面に近い状態に仕上げられているの
で、干渉縞が創出されると否とにかかわらず、ラ
インカメラ７には一定の光量が入力される。前記
干渉縞の理想的な状態では、暗部は出力が零にな
るはずであるが、実際にはこのようになることが
なく、任意のスライスレベルが設定可能な、干渉
にあずからない光量による出力すなわち直流の出
力レベルが必ず生ずる。
フイルタ２およびハーフミラー４を経て第３図
に示すように波長λ1の単色光束が入ると干渉縞を
創出する。いまデイスク５が静止している場合、
スライダ６はバネ力（図示せず）などによりデイ
スク５の表面に押圧されているため隙間は最も小
さく、少なくとも一個所以上が接触しており、第
４図Ａに示すように暗部に対応した干渉縞が得ら
れる。
に示すように波長λ1の単色光束が入ると干渉縞を
創出する。いまデイスク５が静止している場合、
スライダ６はバネ力（図示せず）などによりデイ
スク５の表面に押圧されているため隙間は最も小
さく、少なくとも一個所以上が接触しており、第
４図Ａに示すように暗部に対応した干渉縞が得ら
れる。
次にデイスク５を回転させると隙間は次第に増
加し第４図Ｂのような干渉縞がラインカメラ上に
結像する。定常状態で第４図Ｂのような干渉縞が
あらわれるとき、これに対応した電気出力すなわ
ちラインカメラのビデオ出力から極大値（干渉縞
明部に対応）もしくは極小値（干渉縞暗部に対
応）とその位置を検出すればスライダ６の任意の
面上の隙間を決定することができる。
加し第４図Ｂのような干渉縞がラインカメラ上に
結像する。定常状態で第４図Ｂのような干渉縞が
あらわれるとき、これに対応した電気出力すなわ
ちラインカメラのビデオ出力から極大値（干渉縞
明部に対応）もしくは極小値（干渉縞暗部に対
応）とその位置を検出すればスライダ６の任意の
面上の隙間を決定することができる。
次にこの測定条件と方法について述べる。
第３図に示すように、定常状態におけるスライ
ダの傾きをθ，最小隙間をhmin，最大隙間を
hmax，任意の隙間をｈとする。ラインカメラ上
の基準位置からλ1の光束で結像した干渉縞の極大
値（明部に着目）までの位置をx11，x12とする。
ダの傾きをθ，最小隙間をhmin，最大隙間を
hmax，任意の隙間をｈとする。ラインカメラ上
の基準位置からλ1の光束で結像した干渉縞の極大
値（明部に着目）までの位置をx11，x12とする。
まず一般に波長λと縞次数ｋ，すきまｈとの関
係は干渉縞の明部では次式で示される。
係は干渉縞の明部では次式で示される。
ｈ＝2k＋１／４λ ……(1)
次に第４図Ｂのように干渉縞が２本観察できる
条件として次式を得る。
条件として次式を得る。
Sotanθ１／２λ1 ……(2)
すなわちスライダの傾き角θが(2)式で示される
条件以上でなければならない。これは多くの場合
満足されてくる。一方Soを大きくし、λ1を小さ
くすることでθの条件は緩和できる。第４図Ｂの
ようにカメラ面上での観察位置をx11，x12とする
と傾き角は次式で決定できる。
条件以上でなければならない。これは多くの場合
満足されてくる。一方Soを大きくし、λ1を小さ
くすることでθの条件は緩和できる。第４図Ｂの
ようにカメラ面上での観察位置をx11，x12とする
と傾き角は次式で決定できる。
θ＝tan-1λ1／２／x12−x11 ……(3)
同時にx12に対応したすきまをh12(k)とすると次
式が得られる。
式が得られる。
h12(k)＝2k＋１／４λ1＝hmin＋tanθx12 ……(4)
次に第２の波長λ2を用いて干渉縞を創生し、こ
の時のカメラ面上の位置をx21、x22とすると、同
様にして次式が得られる。
の時のカメラ面上の位置をx21、x22とすると、同
様にして次式が得られる。
h22（k′）＝2k′＋１／４λ2
＝hmin＋tanθx22 ……(5)
(4)式と(5)式から、ｋ＝k′すなわちλ1、λ2の２波
長を用いて干渉縞を発生させたとき、同一次数内
で干渉縞の変化を測定できれば次の様にして最小
隙間hminが決定できる。
長を用いて干渉縞を発生させたとき、同一次数内
で干渉縞の変化を測定できれば次の様にして最小
隙間hminが決定できる。
(4)式(5)式から
h22(k)−h12(k)＝2k＋１／４（λ2−λ1）
＝tanθ（x22−x12） ……(6)
(6)式から
2k＋１／４＝x22−x12／λ2−λ1tanθ……(7)
これより
ｋ＝λ1（x11＋x12−2x22）＋λ2（x12−x11）／２（
x12−x11）（λ1−λ2） ……(8) として次数ｋが決定できる。
x12−x11）（λ1−λ2） ……(8) として次数ｋが決定できる。
したがつて、(8)式を用いることにより、(4)式な
いし(5)式によりx12点やx22点での絶対浮上量が決
定できる。
いし(5)式によりx12点やx22点での絶対浮上量が決
定できる。
(7)式を(4)式に代入すると
hmin＝x22−x12／λ2−λ1tanθ・λ1−tanθx12
＝λ1x22−λ2x12／λ2−λ1・λ1／２（x12−x11）
……(9) (9)式においてλ1、λ2は既知であり、x22、x12、
x11を測定することによりhminは決定できる。
……(9) (9)式においてλ1、λ2は既知であり、x22、x12、
x11を測定することによりhminは決定できる。
次にｋ＝k′の条件で上式のようにhminを決定
できるためにはλ1の波長で縞を創生し、λ1→λ2
（λ1＞λ2）にしたとき、短波長λ2の一段高い次数
の干渉縞がλ1の次数の干渉縞をとびこさなければ
良い。すなわち次式が得られる。
できるためにはλ1の波長で縞を創生し、λ1→λ2
（λ1＞λ2）にしたとき、短波長λ2の一段高い次数
の干渉縞がλ1の次数の干渉縞をとびこさなければ
良い。すなわち次式が得られる。
２（ｋ＋１）＋１／４λ2＞2k＋１／４λ1 ……(10)
(10)式で示される条件は、測定範囲によつて干渉
縞の次数の大きさが定まることを示している。
縞の次数の大きさが定まることを示している。
次に測定範囲の上限hmaxを1.5μｍとして最長
の使用波長λ1を0.7μｍとした場合の一例をあげ
る。測定範囲内では干渉縞の次数は、 hmax＝2k＋１／４λ1より ｋ＝０〜４となる。従つて第２の波長λ2の可変範
囲は、今測定の対象としている隙間に対応して異
なつてくる。(10)式を用いてそれぞれの次数におけ
る第２の波長λ2の可変範囲を求めると次のように
なる。
の使用波長λ1を0.7μｍとした場合の一例をあげ
る。測定範囲内では干渉縞の次数は、 hmax＝2k＋１／４λ1より ｋ＝０〜４となる。従つて第２の波長λ2の可変範
囲は、今測定の対象としている隙間に対応して異
なつてくる。(10)式を用いてそれぞれの次数におけ
る第２の波長λ2の可変範囲を求めると次のように
なる。
λ1＞λ2であるから波長の可変条件は次のように
なる。
なる。
ところで、測定範囲は一般にあらかじめ決定さ
れる。しかし次数は未知である。従つて（12）式
からいずれの次数であつても隙間を決定できる条
件としてλ1＞λ2＞９／11λ1を採用してこの範囲内で 第２の波長λ2を用いて干渉縞の明部、暗部のピー
ク位置を測定すれば良い。
れる。しかし次数は未知である。従つて（12）式
からいずれの次数であつても隙間を決定できる条
件としてλ1＞λ2＞９／11λ1を採用してこの範囲内で 第２の波長λ2を用いて干渉縞の明部、暗部のピー
ク位置を測定すれば良い。
以上説明したように、可変波長範囲を設定して
干渉縞の位置を求めることにより隙間を決定でき
る。
干渉縞の位置を求めることにより隙間を決定でき
る。
なお(3)式や（12）式の関連で、傾斜角θが小さ
くて干渉縞の明部、暗部が十分に発生しないため
(3)式より傾斜角θが決定できない場合は、第３の
波長、第４の波長（λ1＞λ2＞λ3＞λ4）を用いれば
良い。
くて干渉縞の明部、暗部が十分に発生しないため
(3)式より傾斜角θが決定できない場合は、第３の
波長、第４の波長（λ1＞λ2＞λ3＞λ4）を用いれば
良い。
次に干渉縞の光強度分布に対応した極大値もし
くは極小値を検出する方法について述べる。
くは極小値を検出する方法について述べる。
ラインカメラは第４図B′に示すように各素子
に入力した干渉縞光量Ａに比例したセンサ出力を
第５図ａに示す信号Ｂとして第５図ｂに示すクロ
ツクＣに同期して出力する。そのクロツクＣおよ
び第５図(c)に示すスキヤン開始信号Ｄは予めライ
ンカメラ７から出力されるので、これに同期させ
て第５図ａのセンサ出力Ｂを処理して位置を決定
すればよい。
に入力した干渉縞光量Ａに比例したセンサ出力を
第５図ａに示す信号Ｂとして第５図ｂに示すクロ
ツクＣに同期して出力する。そのクロツクＣおよ
び第５図(c)に示すスキヤン開始信号Ｄは予めライ
ンカメラ７から出力されるので、これに同期させ
て第５図ａのセンサ出力Ｂを処理して位置を決定
すればよい。
その一例を第６図について説明する。７は画像
検出用センサ９、クロツク発生器１０、シフトカ
ウンタ１１およびアンプ１２を備えるラインカメ
ラ、１３はクロツク発生器１０およびアンプ１２
に接続するスライスレベル設定回路、１４はアン
プ１２に接続するサンプルホールド回路、１５は
サンプルホールド回路１４に接続するＡ／Ｄ変換
器、１６はＡ／Ｄ変換器１５に接続するラツチ回
路、１７はＡ／Ｄ変換器とラツチ回路１６に接続
する比較回路、１８はＡ／Ｄ変換器１５、比較回
路１７および後述するデコーダ２１に接続する比
較回路、１９は比較回路１７と比較回路１８に接
続するデータ処理回路、２０はクロツク発生器１
０に接続するカウンタ、２１はカウンタ２０に接
続するデコーダである。
検出用センサ９、クロツク発生器１０、シフトカ
ウンタ１１およびアンプ１２を備えるラインカメ
ラ、１３はクロツク発生器１０およびアンプ１２
に接続するスライスレベル設定回路、１４はアン
プ１２に接続するサンプルホールド回路、１５は
サンプルホールド回路１４に接続するＡ／Ｄ変換
器、１６はＡ／Ｄ変換器１５に接続するラツチ回
路、１７はＡ／Ｄ変換器とラツチ回路１６に接続
する比較回路、１８はＡ／Ｄ変換器１５、比較回
路１７および後述するデコーダ２１に接続する比
較回路、１９は比較回路１７と比較回路１８に接
続するデータ処理回路、２０はクロツク発生器１
０に接続するカウンタ、２１はカウンタ２０に接
続するデコーダである。
上記のような構成からなる干渉縞の明暗部を決
定する電気回路では、まずスライスレベル設定回
路１３からラインカメラ７上のスライダ面の位置
n0（第５図ｄ参照）が決定される。ついでクロツ
ク発生器１０から出力される１クロツク内の出力
に対して、サンプルホールド回路１４によりサン
プルホールドした後にＡ／Ｄ変換器１５により
Ａ／Ｄ変換し、この出力を比較回路１７において
常に比較する。これを１画素に相当する各クロツ
ク毎に行う。すなわち、上記比較回路１７では、
ラツチ回路１６を用いて１クロツク前の値と比較
し、その差分の符号の変化をみる。その符号が増
から減あるいは減から増に変化したとき、比較回
路１８を開きセンサの番号とレベルを入力する。
定する電気回路では、まずスライスレベル設定回
路１３からラインカメラ７上のスライダ面の位置
n0（第５図ｄ参照）が決定される。ついでクロツ
ク発生器１０から出力される１クロツク内の出力
に対して、サンプルホールド回路１４によりサン
プルホールドした後にＡ／Ｄ変換器１５により
Ａ／Ｄ変換し、この出力を比較回路１７において
常に比較する。これを１画素に相当する各クロツ
ク毎に行う。すなわち、上記比較回路１７では、
ラツチ回路１６を用いて１クロツク前の値と比較
し、その差分の符号の変化をみる。その符号が増
から減あるいは減から増に変化したとき、比較回
路１８を開きセンサの番号とレベルを入力する。
いま上記符号が波長λ1のとき増から減に（ある
いは減から増に）変化した場合のクロツク番号
（センサ番号値と同じ）をそれぞれnx11、nx22
（nx11）（第５図ｄ参照）とする。予め使用してい
る波長λ1およびラインカメラ７上のスライダ面の
位置n0が判つているので、前記センサ番号値
ηx11、ηx22から次のようにして所望の最小隙間
hminを求めるための値を決定できる。
いは減から増に）変化した場合のクロツク番号
（センサ番号値と同じ）をそれぞれnx11、nx22
（nx11）（第５図ｄ参照）とする。予め使用してい
る波長λ1およびラインカメラ７上のスライダ面の
位置n0が判つているので、前記センサ番号値
ηx11、ηx22から次のようにして所望の最小隙間
hminを求めるための値を決定できる。
（nx11−n0）Δl＝x11
（nx12−n0）Δl＝x12 ……（13）
ただしΔl：一画素の長さ
同様にλ2の波長を用いて求めたセンサ番号値を
nx21、nx22とすると （nx21−n0）Δl＝x21 （nx22−n0）Δx＝x22 …（14） 以下同様にして （nx31−n0）Δl＝x31 （nx32−n0）Δx＝x32 ……（15） となる。
nx21、nx22とすると （nx21−n0）Δl＝x21 （nx22−n0）Δx＝x22 …（14） 以下同様にして （nx31−n0）Δl＝x31 （nx32−n0）Δx＝x32 ……（15） となる。
次にnX11、nx11に対応するビデオ出力をEX11、
Ex11とすると鮮明度Ｖは次式で示される。
Ex11とすると鮮明度Ｖは次式で示される。
Ｖ＝EX11−Ex11／EX11−Ex11……（16）
（16）式の変化を測定することにより、計測誤
差要因を検知する。例えば反射率の変化、面のう
ねり等が干渉縞光量分布に与える程度が検知でき
る。
差要因を検知する。例えば反射率の変化、面のう
ねり等が干渉縞光量分布に与える程度が検知でき
る。
以上説明したように、本発明によれば、測定者
による誤差の発生を防止し、高精度にかつ迅速に
微小隙間を測定することができる。
による誤差の発生を防止し、高精度にかつ迅速に
微小隙間を測定することができる。
第１図は従来の微小隙間測定方法の概念を示す
図、第２図は本発明に係わる微小隙間測定方法の
一実施例の概念を示す図、第３図ないし第５図は
第２図に示す実施例の説明用図、第６図は同実施
例の電気回路図である。 ７……ラインカメラ、９……画像検出用セン
サ、１０……クロツク発生器、１３……スライス
レベル設定回路、１９……データ処理回路、２１
……デコーダ。
図、第２図は本発明に係わる微小隙間測定方法の
一実施例の概念を示す図、第３図ないし第５図は
第２図に示す実施例の説明用図、第６図は同実施
例の電気回路図である。 ７……ラインカメラ、９……画像検出用セン
サ、１０……クロツク発生器、１３……スライス
レベル設定回路、１９……データ処理回路、２１
……デコーダ。
Claims (1)
- １ ２つの平面がθなる角度で対向して配置した
とき形成される〓間に、波長の異なる少なくとも
２種類の単色光を照射して、干渉縞を形成し、該
２種類の単色光の波長差をそれぞれの単色系で形
成される干渉縞の明部と暗部が異なる次数同士で
一致しないように選び、該２種類の単色光で形成
される干渉縞の明部または暗部の位置を画像検出
用センサで測定し、この結果から前記２つの平面
間で形成される〓間の最小値を演算して求めるこ
とを特徴とする微小〓間測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13289780A JPS5759106A (en) | 1980-09-26 | 1980-09-26 | Measuring method for fine clearance |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13289780A JPS5759106A (en) | 1980-09-26 | 1980-09-26 | Measuring method for fine clearance |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5759106A JPS5759106A (en) | 1982-04-09 |
| JPH0338522B2 true JPH0338522B2 (ja) | 1991-06-11 |
Family
ID=15092098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13289780A Granted JPS5759106A (en) | 1980-09-26 | 1980-09-26 | Measuring method for fine clearance |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5759106A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0684153B2 (ja) * | 1989-12-29 | 1994-10-26 | 住友金属工業株式会社 | 鉄道車両の空気ばねへの給気方法 |
-
1980
- 1980-09-26 JP JP13289780A patent/JPS5759106A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5759106A (en) | 1982-04-09 |
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