JPH0336908U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0336908U JPH0336908U JP9827989U JP9827989U JPH0336908U JP H0336908 U JPH0336908 U JP H0336908U JP 9827989 U JP9827989 U JP 9827989U JP 9827989 U JP9827989 U JP 9827989U JP H0336908 U JPH0336908 U JP H0336908U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- incident position
- angle
- rotating polygon
- position data
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の鏡面角度測定装置
の全体構成図、第２図は第１図の実施例における
鏡面角度の演算原理例を示す説明図、第３図はポ
リゴンミラーを示す斜視図、第４図は従来の鏡面
角度の測定方法を示す説明図である。 １１……ポリゴンミラー、１２……レーザ管、
１４……位置検出センサー、１５……演算部、１
６……角度入力部、１７……デイスプレー、１８
……基準となるポリゴンミラー、１９……ポリゴ
ンミラー取付台、２０……定盤。
の全体構成図、第２図は第１図の実施例における
鏡面角度の演算原理例を示す説明図、第３図はポ
リゴンミラーを示す斜視図、第４図は従来の鏡面
角度の測定方法を示す説明図である。 １１……ポリゴンミラー、１２……レーザ管、
１４……位置検出センサー、１５……演算部、１
６……角度入力部、１７……デイスプレー、１８
……基準となるポリゴンミラー、１９……ポリゴ
ンミラー取付台、２０……定盤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 角錐台状の回転多面鏡の鏡面と底面との鏡面角
度を測定する回転多面鏡の鏡面角度測定装置であ
つて、 前記鏡面にレーザ光線を照射するレーザ照射手
段と、 前記鏡面から所定距離だけ離れた位置に設けら
れ前記鏡面からの反射レーザ光線の入射位置を検
出する入射位置検出手段と、 鏡面角度が既知の前記回転多面鏡に前記レーザ
照射手段によりレーザ光線を照射した際に前記入
射位置検出手段により検出される入射位置データ
を記憶する入射位置データ記憶手段と、 入力された前記既知の鏡面角度値を記憶する鏡
面角度値記憶手段と、 鏡面角度が未知の前記回転多面鏡に前記レーザ
照射手段によりレーザ光線を照射した際に前記入
射位置検出手段により検出される入射位置データ
と、前記入射位置データ記憶手段の入射位置デー
タ及び前記鏡面角度値記憶手段の鏡面角度値とに
基づいて前記未知の鏡面角度を演算する鏡面角度
演算手段と、 を備えることを特徴とする回転多面鏡の鏡面角度
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827989U JPH0336908U (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827989U JPH0336908U (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0336908U true JPH0336908U (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=31647387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9827989U Pending JPH0336908U (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0336908U (ja) |
-
1989
- 1989-08-23 JP JP9827989U patent/JPH0336908U/ja active Pending
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