JPH03296633A - 微小空気圧発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、圧力センサの測定等に利用する微小空気圧
を供給するための微小空気圧発生装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

第２図は従来の微小空気圧発生装置の一例を示す概略構
成図である。この図で、１は空気ボックス、２はこの空
気ボックス１に加圧空気を供給する空気加圧装置、３は
前記空気ボックス１の空気を減圧する空気減圧装置、４
および５は前記空気加圧装置２および空気減圧装置３の
加圧と減圧のタイミングを調整する電磁バルブ、６は前
記両電磁バルブ４．５の加圧と減圧との空気圧差を微小
空気圧として取り出す微小空気圧取出口である。

次に、動作について説明する。

空気加圧装置２によって空気ボックス１に加圧空気を供
給し、同時に空気減圧装置３によって空気ボックス１よ
り減圧する。この加圧と減圧のタイミングを電磁バルブ
４．５により調整し、加圧と減圧を微小空気圧として微
小空気圧取出口６より発生させる。

〔発明が解決しようとする課題） 従来の微小空気圧発生装置は、以上のように構成され、
電磁バルブ４．５等により機械的に微小空気圧を発生さ
せているので、空気加圧側と空気減圧側の電磁バルブ４
．５の開閉タイミングのずれなどの問題点があり、数ｍ
ｍＨｇ以下の微小空気圧を安定に発生させることが困難
である等の問題点があった。

二の発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、微小空気圧を任意に発生することができる
微小空気圧発生装置を得ることを目的とするものである
。

〔課題を解決するための手段） この発明に係る微小空気圧発生装置は、上面が開放され
た水槽と、この水槽内の水中に挿入される浮力減殺用バ
ラストを備えた空気容器と、この空気容器に一端が接続
され、他端にダイヤフラムが設けられ、かつ上下動可能
な通気管とを具備したものである。

（作用〕 この発明においては、空気容器を上下動させ、水中にお
ける位置（水深）を変えることにより、水深に対応した
微小空気圧（大気圧との微小差圧力）を発生させる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す微小空気圧発生装置
の構成図である。なお、この実施例では、微小空気圧取
出口に圧力センサを取り付けた場合について説明する。

第１図において、２１は水槽、２２は浮力減殺用バラス
ト、２３は空気容器、２４は水、２５は通気管、２Ｂは
圧力取出口（圧力センサ開口端面）、２７は前記通気管
２５に取り付けたギヤ。

２８はギヤモータ、２９は前記水槽２１９通気管２５を
支持する支持台、３０はダイヤフラム、３１は被測定試
料（圧力センサ）、３２はチップ、３３は温度制御装置
であり、ａは水面、ｂは前記被測定試料３１の開口部で
ある。

第１図の装置は、被測定試料３１の開口部す側は大気圧
であり、この開口部すと被測定試料３１の他端面開口部
（圧力取出口）２６よりチップ３２にｌｍｍＨｇ〜数１
０ｍｍＨＨの空気圧を印加し、被測定試料３１の電気的
特性を測定（図中省略）する装置である。

この発明の原理は、水中においては水深が１０ｍ増すご
とに圧力が１気圧（７６０ｍＨｇ）ずつ高くなることを
応用したもので、水４ｉ１２１と空気容器２３により水
圧を空気圧に変え、通気管２５を通して「大気圧＋水圧
」の空気圧を圧力取出口２６に得るものである。

例えば、水深１ｍでは「大気圧＋７６ｍｍＨｇＪの空気
圧が圧力取出口２６に得られ、被測定試料３１の開口部
す側は大気圧であるので、被測定試料３１には７６ｍＨ
ｇの空気が印加される。

、発生空気圧は、ギヤモータ２８により空気容器２３の
高さを調整することにより、ｉｍｍＨｇ〜数１０ｍｍＨ
ｇの範囲で調整が可能である。また、水面ａおよび被測
定試料３１の開口部すは共に大気圧であるため、例え大
気圧が変化した場合においても水圧が比例して変化する
ため、被測定試料３１への印加圧力は一定となる。

さらに、微小空気圧の精度を高めるためには、水槽２１
内の水温を一定に保持する必要がある。

このために温度制御装置３３を設けである。なお、ダイ
ヤフラム３０は、空気容器２３および通気管２５の一端
を封止し、これら内部の空気の漏れを防止するとともに
、水分が被測定試料３１゜チップ３２に付着することを
防止するために設けられている。

なお、上記実施例では、水槽２１の深さを１ｍとし、ｌ
ｍｍＨｇ〜数１０ｍｍＨｇの微小空気圧発生装置を示し
たが、水槽２１の深さを大きくすることによって、さら
に過大な空気圧を得ることも可能である。また、通気管
２５の上下動はギヤ装置に限定されない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、上面が開放された水
槽と、この水槽内の水中に挿入される浮力減殺用バラス
トを備えた空気容器と、この空気容器に一端が接続され
、他端にダイヤフラムが設けられ、かつ上下動可能な通
気管とを具備したので、微小空気圧（大気圧との微差空
気圧、ｌｍｍＨｇ〜数１０ｍｍＨｇ）を容易に、かつ安
定して得ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例示す微小空気圧発生装置に
被測定試料として圧力センサを装着した構成図、第２図
は従来の微小空気圧発生装置の構成図である。 図において、２１は水槽、２２は浮力減殺用バラスト、
２３は空気容器、２４は水、２５は通気管、２６は圧力
取出口、２７はギヤ、２８はギヤモータ、２９は支持台
、３ｏはダイヤフラム、３１は被測定試料、３２はチッ
プ、３３は温度制御装置、ａは水面、ｂは開口部である
。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 上面が開放された水槽と、この水槽内の水中に挿入され
   る浮力減殺用バラストを備えた空気容器と、この空気容
   器に一端が接続され、他端にダイヤフラムが設けられ、
   かつ上下動可能な通気管とを具備したことを特徴とする
   微小空気圧発生装置。