JPH03291511A

JPH03291511A - 計測データ処理装置

Info

Publication number: JPH03291511A
Application number: JP9354590A
Authority: JP
Inventors: Toshio Harada; 敏夫原田; Kiyoshi Takagawa; 高川　清
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-04-09
Filing date: 1990-04-09
Publication date: 1991-12-20
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: JPH0820248B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は切削加工、旋削加工等による機械加工品の表面
粗さを自動的に計測し、計測データを内部プログラムに
より自動的に解析して良否判定を行う面粗度データ処理
装置等の計測データ処理装置に関するものであり、特に
数値制御装置を用いた機械加工における仕上げ精度のイ
ンプロセス計測・判定に用いて好適なものである。

［従来の技術１面粗度を計測する原理は周知のように、例えば触針を用
いた計測では検出器に連動した触針を駆動して被測定対
象物の表面に接触させ、被測定対象物の表面に沿って触
針を直線的に移動させ、表面に対する触針の上下方向の
変位を抽出することによって表面の粗さを検出している
。

従来この原理を用いた、面粗度を計測し計測データを処
理する面粗度データ処理装置としては第９図に示すよう
な構成の装置があった。

図において、（１）は例えばパーソナルコンビ１−りに
代表される計算機（以下ＰＣという）であり、（２）は
Ｐ　Ｃ（１１から構成される装置指令を入力する入力部
、（３）はＰ　Ｃｆｉｌかも指令された位置指令を解読
し、駆動部を駆動する位置制御部、（４）は計測装置で
あり、（５）は被測定対象物、（６）は計測ベツド、（
７）は計測ヘッド（６）を駆動するボールスクリュー、
（８）は計測ヘッド（６）から出力される計測データを
記憶する記憶部、（９）は記憶部（８）に記憶されてい
る計測データに基づき面粗度を計算する演算部、（１０
）は演算部（９）により計算された面粗度値を出力する
出力部、（１１）は出力部（ｌＯ）から出力される面粗
度値を記録する出力装置である。

次にこの構成による装置の動作について説明する。Ｐ　
Ｃ（ｌ］　には被測定対象物の面粗度を計測すべき面を
倣うためのトレース情報が位置指令として記憶されてお
り、外部からＰ　Ｃｆｌ）に入力される計測開始指令に
より計測動作が開始され、ＰＣ（１）は上記位１指令を
入力部（２）に出力する。入力部（２）はＰ　Ｃ（１１
から出力された上記位置指令を読み取って位置制御部（
３）に出力する。位置制御部（３）は入力部（２）から
出力された上記位置指令を演算処理し、パルス列等のモ
ータを駆動できる電気信号に変換して計測装置（４）に
出力し、図示していないモータを駆動する。上記モータ
は被測定対象物（５）と計測ヘッド（６）の相対位置を
制御するためのボールスクリュー（７）に結合されてお
り、モータが回転駆動されるとボールスクリュー（７）
も同時に回転し、計測ヘッド（６）は直線運動をする。

上記のように制御された結果、被測定対象物（５）の所
望の面の面粗度に関するデータは計測ヘッド（６）の出
力信号として記憶部（８）に出力され、記憶部（８）に
記憶される。演算部（９）は上記記憶部（８）に記憶さ
れた計測データを解析し、第１Ｏ図に示すように基準軸
＋２１の指定位置に対する他軸ｆＸｌの位置情報として
対応させ、出力部（ｌＯ）を介してプリンタや表示装置
等の出力装置（１１）に出力して可視化したり、外部制
御装置へ出力して報知する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の面粗度データ処理装置は以上のように構成されて
いるので、インプロセス計測を行ってもその結果の検証
はプリントアウトされた記録紙を第１１図に示すような
対応表を用いて解析したり。

外部の解析プログラムにより判定する必要があるため、
オペレークが即時に判定したり、計測部位と対応付けて
面粗度を認識することはできなかった。なお第１１図は
、日本工業規格（ＪＩＳ−ＢＯＯ３１１に規定されてい
る仕上げ記号と表面粗さの標準数列との対応表で、図中
（Ｒａｌは中心線平均粗さ、（Ｒｍａｘｌは最大高さ、
（Ｒｚ）は十点平均粗さである。

本発明はこのような問題点を解消するためになされたも
ので、計測結果の解読を容易にすることのできる計測デ
ータ処理装置を提供しようとするものである。

［課題を解決するための手段］本発明に係る計測データ処理装置は、計測データ記憶部
に記憶された計測データを統計的手法を用いて解析処理
する演算部と、この演算部の処理結果を、被計測対象物
の計測部の線分を特定できる情報、または被計測対象物
の計測部の図形線分に対応させて出力する出力装置とを
備える構成としたものである。

また第２の発明は、標準情報を記憶する標準情報記憶部
と、計測データ記憶部に記憶された計測データを解析し
、この計測データが上記標準情報記憶部に記憶された標
準情報のどの区分に属するかを比較するとともに、この
比較結果に基づいてこの計測データをその属する区分の
標準情報に変換する演算部と、この演算部の処理結果を
、被計測対象物の計測部の線分を特定できる情報、また
は被計測対象物の計測部の図形線分に対応させて出力す
る出力装置とを備える構成としたものである。

また第３の発明は、被計測対象物の各線分における指定
情報を記憶する指定情報配憶部と、計測データ記憶部に
記憶された計測データを統計的手法を用いて解析処理す
る演算部と、この演算部の処理結果が上記指定情報記憶
部に記憶された指定値を満足しているか否かを判定する
判定部と、上記演算部の処理結果及び指定情報の少なく
とも一方を、被計測対象物の計測部の線分を特定できる
情報、または被計測対象物の計？ｌｌ＋＋部の図形線分
に対応させて出力するとともに、上記演算部の処理結果
が指定値を満足しないとき、この部分の表示態様を変更
して出力するか、または指定値を満足しないメツセージ
を出力する出力装置とを備える構成としたものである。

更に又第４の発明は、被計測対象物の各線分における指
定情報を記憶する指定情報記憶部と、標準情報を記憶す
る標準情報記憶部と、計測データ記憶部に記憶された計
測データを解析し、この計測データが上記標準情報記憶
部に記憶された標準情報のどの区分に属するかを比較す
るとともに、この比較結果に基づいてこの計測データを
その属する区分の標準情報に変換する演算部と、この演
算部の処理結果が上記指定情報記憶部に記憶された指定
値を満足しているか否かを判定する判定部と、上記演算
部の処理結果及び指定情報の少なくとも一方を、被計測
対象物の計測部の線分を特定できる情報、または被計測
対象物の計測部の図形線分に対応させて出力するととも
に、上記演算部の処理結果が指定値を満足しないとき、
この部分の表示態様を変更して出力するか、または指定
値を満足しないメツセージを出力する出力装置とを備え
る構成としたものである。

〔作用１第１の発明によれば、計測データを演算部にて日本工業
規格等で規定されているオペレータが判り易いデータに
変換し、かつこのデータを、プリンタ、表示装置等の出
力装置に計測部の線分を特定できる情報（例えばＮＣ加
ニブログラム中の図形形状を特定できるシーケンスＮＯ
，）又は計測部の図形線分に対応させて出力する。

また第２の発明によれば、計測データを演算部にて日本
工業規格等で規定されている標準情報と比較できるデー
タとし、このデータを標準情報のどの区分に属するかを
比較するとともに、この比較結果に基づいて、このデー
タをその属する区分の標準情報に変換し、かつこの変換
したデータを第１の発明と同様に出力する。

また第３の発明によれば、計測データを演算部にて日本
工業規格等で規定されているオペレータが判り易いデー
タに変換するとともに、このデータが指定値を満足して
いるか否かを判定部にて判定し、かつこのデータ及び指
定情報の少なくとも一方を、第１の発明と同様に出力す
るとともに。

上記データが指定値を満足しないとき、この部分の表示
態様を変更（例えば表示色を変化させる）して出力した
り、満足しない旨のメツセージを出力する。

更に又第４の発明によれば、計測データを演算部にて標
準情報と比較できるデータとし、このデータを標準情報
のどの区分に属するかを比較するとともに、この比較結
果に基づいてこのデータをその属する区分の標準情報に
変換する。そしてこの変換データが指定値を満足してい
るか否かを判定部にて判定し、この変換データ及び指定
情報の少なくとも一方を、第１の発明と同様に出力する
とともに、上記データが指定面粗度を満足しないとき、
この部分の表示態様を変更して出力したり、満足しない
旨のメツセージを出力する。

［発明の実施例］以下に本発明の実施例を第１図〜第８図を用いて説明す
る。第１図は本発明における第１の発明を具現化するた
めの面粗度データ処理装置の構成図、第２図は本発明に
おける第２の発明を具現化するための面粗度データ処理
装置の構成図、第３図は本発明における第３の発明を具
現化するための面粗度データ処理装置の構成図、第４図
は本発明における第４の発明を具現化するための面粗度
データ処理装置の構成図、第５図（ａ）〜第５図ｉｄ）
は第１〜第４の発明における、装置内部に記憶された標
準面粗度情報、指定面粗度情報、計測データ、計算面粗
度情報の相関を示す図であり、図中の符号は第１図〜第
４図に示す構成要素の符号に対応する。第６図は例えば
表面粗さの−っである十点平均粗さを計算する演算部の
フローチャート。

第７図は更に上記計算された面粗度と指定面粗度を比較
判定するフローチャート、第８図（ａｌ〜第８図ｆｄ）
は第１〜第４の発明の各出力例を示す図である。各図に
おいて、（２）は入力部であり、断面曲線等のプログラ
ムを入力する。なおこのプログラムは、ＮＣ加ニブログ
ラムを編集して作成される。（３ｂ）は断面曲線プログ
ラムに基づいて計測装置（４）を制御する位置制御部、
（５）は被測定対象物、（６）は非接触式の計測ヘッド
であり、ボールスクリュー（７）を介して駆動される。

ｆｌｏｌは演算結果を出力する出力部、　［１１１は演
算結果を表示する出力装置、（１２）は第１の記・億部
、（１３）は第２の記憶部、（１４）は第３の記憶部、
（１６）は第４の記憶部であり、それぞれ上記プログラ
ム、指定面粗度情報、計測データ、日本工業規格で規定
された標準面粗度情報を記憶する。（１５）は第１の満
Ｘ部、（１７１ｉ；ｉ　！　２　（７）演算部、（２２
）は第３の？ｊｉ算部、（２ｏ）は第４の演算部であり
、それぞれの各演算動作については後述する。（１８）
は表示制御部（出方制御部）　、　ｆ１９１は表示装置
（出力装置）　、　＋２３Ｎ２１）：ま計測データの処
理結果が指定面粗度と異なるがどうかを判定する第１、
第２の判定部である。

次に本発明における第１の発明の実施例の動作について
第１図、第５図（ａ）、第６図及び第８図（ａｌ　によ
り説明する。

入力部（２）は図示していない久方装置から断面曲線プ
ログラムを読み込み、第１の記憶部（１２）に断面曲線
プログラムを記憶させるとともに、位置制御部（３ｂ）
に計測開始を指令する。位置制御部（３ｂ）は上記第１
の記憶部（１２）から断面曲線プログラムを順次読み出
し、長手方向（ここではＺ軸方向とする）の指令成分を
抽出してＺ軸方向の移動情報を生成し電力変換して、計
測装置（４）に配設された図示していないモータに供給
する。上記モータはボールスクリュー（７）に結合され
ており、位置制御部（３ｂ）の出力に従ってボールスク
リュー（７）を回転駆動する。ボールスクリュー（７）
には計測ヘッド（６）がネジ機構を介して結合されてお
り、モータの回転運動は直線運動に変換されて計測ヘッ
ド（６）の位置をＺ軸方向に制御する。上記制御により
被測定対象物（５）と計測ヘッド（６）の位置関係は相
対的に変化し、被測定対象物（５）の所定の領域に亘っ
て、計測ヘッド（６）からの面粗度計測データを得るこ
とができる。上記面粗度計測データは第３の記憶部（１
４）に順次記憶される。

一方、第２の記憶部（１３）には入力部（２）からプロ
グラムとして入力されるまたは入力部（２）から手動で
入力される断面曲線の各線分の加工表面粗さを指定する
指定面粗度情報が記憶されている。第１の演算部（１５
）は上記第３の記憶部（１４）に記憶されている面粗度
計測データを解析し、第６図に示すように所定の計算式
に従って中心線平均粗さｆＲａｌ、最大高さｆＲｍａｘ
ｌ、十点平均粗さ（Ｒｚｌ等を求め、第１の演算部（１
５）内に有する計算面粗度記憶テーブルに記憶する。続
いて第１の演算部（１５）は上記第２の記憶部（１３）
に記憶されている断面曲線の各線分に対応する指定面粗
度情報を読み出し、既に算出した上記十点平均粗さ（Ｒ
ｚｌ等を断面曲線のプログラムブロック（被計測対象物
の粗度指定面を表わす情報）に対応させて出力部（１０
）に出力する。出力部（ｌＯ）は第１の演算部（１５）
から出力されたプログラムブロックデータと指定面粗度
情報および面粗度計測データ解析結果をプリンタ等の出
力装置（１１）に表示出力させる。第５図ｆａｔにその
表示出力例（十点平均粗さ出力の例）を示す。

なお第１の記憶部（１２）に断面曲線プログラムが記憶
されているので、このプログラムのデータを表示出力時
に読出せば、被計測対象物の断面曲線を出力できると共
に、この断面曲線の粗度指定面（こ対応させて上記指定
面粗度及び面粗度計測データ解析結果を出力できること
は言うまでもなし）。

次にこの時の面粗度情報を得るまでの制御を第６図を用
いて説明する。

第６区は情報テーブルに基づいて十点平均粗さを計算す
るフローチャートであり、５ＴＥＰＩで十、φ。

平均粗さを計算するための山頂の最大高さから５番目ま
でのデータｈを記憶するメモリ、同じ（谷底の最低高さ
から５番目までのデーク氾を記憶するメモリ、およびチ
エツク回ｖｌｎをＯをクリアする。５ＴＥＰ２ではｎに
対応する計測データを読み出し、５ＴＥＰ３で山頂の最
大値を、５ＴＥＰ４で谷底の最低値をチエツクし、最大
値および最低値をメモリにセットする。　５ＴＥＰ５で
はチエ・ツク回数ｎがサンプリング回数のｍに達したか
どうかを判断し、ｎ＝用でなければ５ＴＥＰらでカウン
タを＋１して上記処理をｍ回繰り返す。これにより最大
値および最低値はそれぞれ５個取り出され、ｈ　ｌ”−
ｈ　ｓおよびε〜！５に記憶される。５ＴＥＰ５でｎ＝
用が判断されると５ＴＥＰ７に進み、Ｒ３＝（Σｈ−Σ
り＝５を計算し、５ＴＥＰ８でＲｚ値を第１の演算部（
１５）内に有する計算面粗度記憶テーブルの所定のアド
レスに記憶する。上記処理により十点平均粗さが計算さ
れる。

次に本発明における第２の発明の実施例の動作について
第２図、第５図（ｂ）、第６図及び第８図＋ｂｌ　によ
り説明するが、第１図と重複する基本部分の動作につい
ては説明を省略する。

位置制御部（３ｂ）は第１の記憶部（１２）から断面曲
線プログラムを順次読み出してＺ軸方向の指令成分を抽
出し、Ｚ軸方向の移動情報を生成して計測＝ｚ（４１の
計測ヘッド（６）の位置をＺ軸方向に制御する。このと
き得られる計測ヘッド（６）からの面粗度計測データは
第３の記憶部（１４）に順次記憶される。一方、第４の
記憶部（１６）には固定プログラムデータとして有する
、または入力部（２）かも手動で入力される標準面粗度
情報が記憶されている。ここで第２の演算部（１月は上
記第３の記憶部（１４）に記憶されている面粗度計測デ
ータを解析し。

第６図に示すように所定の計算式に従って中心線平均粗
さ（Ｒａｌ、最大高さｆＲｍａｘｌ、十点平均粗さ（Ｒ
ｚｌ等を求める。続いて第２の演算部（１７）は先に求
めた面粗度値が、上記第４の記憶部（１６）に記憶され
ている標準面粗度情報のどの区分に属するかを比較する
と共に、この比較結果に基づいてこの面粗度値をその属
する区分の標準面粗度情報に変換し、第２の演算部（１
７）内に有する計算面粗度記憶テーブルに記憶する。そ
して変換された数値または仕上げ信号（、〜等）等の面
粗度情報と第２の記憶部（１３）に記憶されている指定
面粗度情報を断面曲線のプログラムブロックに対応させ
て出力部（ｌＯ）に出力する。出力部（１０）は第２の
演算部（１７）から出力されたプログラムブロックデー
タと指定面粗度情報と上記変換された計測面粗度情報を
プリンタ等の出力装置（１１）に表示出力させる。

第８図（ｂｌ　にその表示出力例（十点平均粗さ出力の
例）を示す。なお第８図（ｂｌの表示出力例は、第１の
実施例と同一の計測データを使用した場合の出力例であ
る。

また第１の記憶部（１２）に断面曲線プログラムが記憶
されているので、このプログラムのデータを表示出力時
に読出せば、被計測対象物の断面曲線を出力できると共
に、この断面曲線の粗度指定面に対応させて上記指定面
粗度及び変換された面粗度計測データを出力できること
は言うまでもない。

次に本発明における第３の発明の実施例の動作について
第３図、第５図（Ｃ）、第６図、第７図及び第８図（ｃ
ｌ　により説明するが、第１、第２の発明の実施例と重
複する基本部分の動作については説明を省略する。

位置制御部（３ｂ）は第１の記憶部（１２）から断面曲
線プログラムを順°次読み出してＺ軸方向の指令成分を
抽出し、Ｚ軸方向の移動情報を生成して計測装置（４）
の計測ヘッド（６）の位置をＺ軸方向に制御する。この
とき得られる計測ヘッド（６）からの面粗度計測データ
は第３の記憶部（１４）に順次記憶される。一方、第２
の記憶部（１３）には入力部（２）からプログラムとし
て入力されるまたは入力ｆｆｌ　（２１から手動で入力
される断面曲線の各線分の加工表面粗さを指定する指定
面粗度情報が記憶されている。ここで第３の演算部（２
２）は上記第３の記憶部（１４）に記憶されている面粗
度計測データを解析し、第６図に示すように所定の計算
式に従って十点平均粗さ（Ｒｚ）等を求め、第３の演算
部（２２）内に有する面粗度記憶テーブルに記憶する。

続いて第３の演算部（２２）は上記割算された面粗度及
び、上記第２の記憶部（１３）に記憶されている指定面
粗度を、数値およびまたは仕上げ記号（、〜等）等の面
粗度情報として断面曲線のプログラムブロックに対応さ
せて表示制御部（１８）に出力する。表示制御部（１８
）は上記第１の記憶部（１２）に記憶されている断面曲
線プログラムに基づいて断面曲線形状を表示装置（１９
）にグラフィ・ツク出力するとともに、上記第３の演算
部（２２）から出力された、計算された面粗度及び指定
面粗度情報を断面曲線の指定された各線分に対応させて
所定の位置に表示する。

このとき判定部（２３）は上記第３の演算部（２２）が
上記第３の記憶部（１４）に記憶されている面粗度計測
データから求めた面粗度値と、上記第２の記憶部（１３
）に記憶されている指定面粗度情報とを比較し、上記面
粗度値が上記指定面粗度を満足しなければ面粗度ｌＩ＃
報の表示態様を、例えば指定値以内であれば十点、平均
粗さ、仕上げ記号等を青色で、また指定値を満たさなけ
れば十点平均粗さ、仕上げ記号等を赤色で表示する如く
、変更するように変更信号を上記表示制御部（１８）に
出力し、表示装置（１９）に表示させる。

第８図（ｃ）にその表示出力例を示す。この図では判ら
ないがｒ　３０ＺＪの文字のみ赤色で、その他の文字は
青色で表示されている。

次にこの判定部（２３）の制御を第７図を用いて説明す
る。

第７図は上記第６図に示した制御により計算された面粗
度と指定面粗度を各指定面について比較判定するもので
あり、５ＴＥＰＩＩでは全指定面に対してチエツクを行
ったかどうかの判断を行う。ＳＴＴＥ１０１はｎに対応
した指定面粗度データを指定面粗度記憶テーブルからレ
ジスタａに読み出し、　５ＴＥＰ１３ではｎに対応した
計算面粗度データを計算面粗度記憶テーブルからレジス
タｂに読み出す。５ＴＥＰ１４では上記レジスタａとレ
ジスタｂの大小判別を行い、ａ　２　ｂであれば５ＴＥ
Ｐ１５に進み、指定面粗度以内に加工されていると判定
してデータを青色で表示するようにフラグをセットし、
　５ＴＥＰ１４でａくｂと判定されれば５ＴＥＰ１６に
進み指定面粗度以内に加工されていないと判定してデー
タを赤色で表示するようにフラグをセットする。５ＴＥ
Ｐ１５と５ＴＥＰ１６はそれぞれ処理後５ＴＥＰ１７に
進み、カウンタを＋１して上記処理を繰り返す。５ＴＥ
ＰＩ　１で全指定面に対してチエツクが終わったことが
判定されると、５ＴＥＰ１８で計算面粗度データ及び指
定面粗度データを表示出力する。上記表示制御部（１８
）は上記判定部（２３）から出力された変更信号に基づ
いて上記第３の演算部（２２）から出力された計算面粗
度情報の表示態様を制御して上記表示装置（１９）に出
力する。

これにより上記表示装置（１９）には断面曲線形状とと
もに各線分における表面粗さが例えば指定値以内であれ
ば十点平均粗さ、仕上げ記号等が青色で、また指定値を
満たさなければ十点平均粗さ、仕上げ記号等が赤色で表
示されるので、オペレータは一瞥して製品の良否や工具
の摩耗具合を判断することができる。

次に本発明における第４の発明の実施例の動作について
第４図、第５図（ｄ）、第６図、第７図及び第８図ｆｄ
）により説明するが、第１〜第３の発明の実施例と重複
する基本部分の動作については説明を省略する。

位置制御部（３ｂ）は第１の記憶部（１２）から断面曲
線プログラムを順次読み出してＺ軸方向の指令成分を抽
出し、Ｚ軸方向の移動情報を生成して計測装置（４）の
計量＋＋ヘッド（６）の位置を２軸方向に制御する。こ
のとき得られる計測ヘッド（６）からの面粗度計測デー
タは第３の記憶部（１４）に順次記憶される。一方、第
２の記憶部（１３）には入力部（２）からプログラムと
して入力されるまたは入力部（２）から手動で入力され
る断面曲線の各線分の加工表面粗さを指定する指定面粗
度情報が、第４の記憶部（１６）には固定プログラムデ
ータとして有する、または入力部（２）から手動で入力
される標準面粗度情報が記憶されている。ここで第４の
演算部（２０）は上記第３の記憶部（１４）に記憶され
ている面粗度計測データを解析し、第６図に示すように
所定の計算式に従って十点、平均粗さ（Ｒｚ）等を求め
る。

続いて第４の演算部（２０）は上記で求めた面粗度値が
、上記第４の記憶部（１６）に記憶されている標準面粗
度情報のどの区分に属するかを比較・判定すると共に、
この比較結果に基づいてこの面粗度値をその属する区分
の標準面粗度情報に変換し、第４の演算部（２０）内に
有する計算面粗度記憶テーブルに記憶する。そして、上
記計算・変換された面粗度及び上記第２の記憶部（１３
）に記憶されている指定面粗度を、数値およびまたは仕
上げ記号（、〜等）等の面粗度情報として断面曲線のプ
ログラムプロ・ツクに対応させて表示制御部（１８）に
出力する。表示制御部（１８）は上記第１の記憶部（１
２）に記憶されている断面曲線プログラムに基づいて断
面曲線形状を表示装置（１９）にグラフィック出力する
とともに、上記第４の演算部（２０）から出力された、
計算・変換された面粗度及び指定面粗度情報を断面曲線
の指定された各線分に対応させて所定の位置に表示する
。

このとき判定部（２１）は上記第４の演算部（２ｏ）が
上記第３の記憶部（１４）に記憶されている面粗度計測
データから求めた面粗度値と、上記第２の記憶部（１３
）に記憶されている指定面粗度情報とを比較し、上記面
粗度値が上記指定面粗度を満足しなければ面粗度情報の
表示態様を１例えば指定値以内であれば十点平均粗さ、
仕上げ記号等を青色で、また指定値を満たさなければ十
点平均粗さ、仕上げ記号等を赤色で表示する如く、変更
するように変更信号を上記表示制御部（１８）に出力す
る。

第８図ｆｄ）にその表示出力例を示す。この図では計量
＋＋データの仕上げ記号のみ赤色で、その他の仕上げ記
号は青色で表示されている。この制御は、既に説明した
第７図に示すものと実質的に同様であるので説明を省略
する。

なお、面粗度検出方式には周知のようにサーボ追従を行
わせ、フィードバックを変位として処理するＳＴＭ［５
ｅｒｖｏ　Ｔｒａｃｅ　Ｍｅｔｈｏｄ１方式や、形状を
トレースし、粗度をアナログ量として抽出するアナログ
方式等があるが、本発明はどの方式を用いてもよいし、
計測ヘッドは接触式でも非接触式でも実現できることは
言うまでもない。

また、上記第３、第４の発明の実施例では計測された面
粗度が指定面粗度情報と異なるときは指定面粗度情報の
表示態様を変えて表示するようにしたが、指定面粗度情
報の表示態様を変えるのではな（、対応する断面曲線の
各線分の表示態様、例えば表示色や輝度を変えてもよい
し、またその旨メツセージを出力してもよい。

また、同じ（上記第３、第４の発明の実施例では第３、
第４の演算部（２２１（２０１の演算結果と第２の記憶
部（１３）に記憶された指定面粗度情報とを比較する判
定部（２３１（２１）を設けているが、この機能を第３
．第４の演算部ｆ２２１　＋２０１に持たせてもよい。

また第３、第４の実施例における表示形態として、断面
曲線を表示するものについて説明したが、第８図（ａｔ
及び第８図ｆｂｌで示す表形式のものとして、その指定
面粗度及び計測データのいずれが一方の表示態様を変更
するようにしてもよいことは言うまでもない。

また、上記各実施例はいずれも指定面粗度及び計測デー
タの両方を出力するものについて説明したが、第１、第
２の実施例の場合にあっては、計測データのみを表示す
るようにしてもよく、更に第３、第４の実施例にあって
は指定面粗度及び計測データのいずれが一方のみを表示
するようにしても所期の目的を達成できることは勿論で
ある。

また、上記各実施例は、主に十点平均粗さについて説明
したが、中心線平均粗さｆＲａｌ、　Ｊ％大高さｆＲｍ
ａｘｌ等についても同様に実施できる。

なお更に、本発明における出力装置にはプリンタまたは
表示装置を用いたが、記憶装置や外部に接続される通信
機器や処理装置であってもよい。

なおまた、各線分における面粗度の計算や比較処理は各
線分の計測移動が終了するたびに行ってもよいし、全て
の線分について計測移動が終了した後に一括して行って
もよい。また上記実施例では面粗度肝−１１について説
明したが、うねり４測や４゜水平度計測等にも本発明が適用できる。

〔発明の効果ｊ以上説明したように本発明では、オペレータは加工仕上
げ等の状況を簡単に知ることができ、加工品の良／不良
を即時に判断したり、計測部位と対応付けて面粗度等を
認識することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明における第１の発明を具現化するための
面粗度データ処理装置の構成図、第２図は本発明におけ
る第２の発明を具現化するための面粗度データ処理装置
の構成図、第３図は本発明における第３の発明を具現化
するための面粗度データ処理装置の構成図、第４図は本
発明における第４の発明を具現化するための面粗度デー
タ処理装置の構成図、第５図ｆａｔ〜第５図＋ｄｌは装
置内部に記憶された標準面粗度情報、指定面粗度情報計
量＋＋データ、計算面粗度情報の相関を示す図、第６図
はこれらの情報テーブルに基づいて、例えば表面粗さの
一つである十点平均粗さを計算する演算部のフローチャ
ート、第７図は更に上記計算された面粗度と指定面粗度
を比較判定するフローチャート、第８区（ａｌ〜第８図
Ｆｄｌは本発明における第１〜第４の実施例に係る出力
例を示す図、第９図は従来の面粗度データ処理装置の構
成図、第１０図は従来の出力例を示す図、第１１図は仕
上げ記号と標準数列の対応表である。（３）は位置制御部、（４）は計測装置、（５）は被測
定対象物、（６）は計測ヘッド、（１２）は第１の記憶
部、　＋１３）は第２の記憶部、（１４）は第３の記憶
部、（１５）は第１の演算部、（１６）は第４の記憶部
、（１７）は第２の演算部、（１８）は表示制御部、（
２ｏ）は第４の演算部、（２１）は第２の判定部、（２
２）は第３の演Ｘ部、　＋２３）は第１の判定部である
。なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被計測対象物と計測ヘッドの相対位置を制御して
被計測対象物を計測する計測データ処理装置において、
計測プログラムに基づき被計測対象物と計測ヘッドの相
対位置を制御する位置制御部と、上記計測ヘッドから出
力される計測データを記憶する計測データ記憶部と、上
記計測データ記憶部に記憶された計測データを統計的手
法を用いて解析処理する演算部と、この演算部の処理結
果を、被計測対象物の計測部の線分を特定できる情報、
または被計測対象物の計測部の図形線分に対応させて出
力する出力装置とを備えてなる計測データ処理装置。
（２）被計測対象物と計測ヘッドの相対位置を制御して
被計測対象物を計測する計測データ処理装置において、
計測プログラムに基づき被計測対象物と計測ヘッドの相
対位置を制御する位置制御部と、上記計測ヘッドから出
力される計測データを記憶する計測データ記憶部と、標
準情報を記憶する標準情報記憶部と、上記計測データ記
憶部に記憶された計測データを解析し、この計測データ
が上記標準情報記憶部に記憶された標準情報のどの区分
に属するかを比較するとともに、この比較結果に基づい
てこの計測データをその属する区分の標準情報に変換す
る演算部と、この演算部の処理結果を、被計測対象物の
計測部の線分を特定できる情報、または被計測対象物の
計測部の図形線分に対応させて出力する出力装置とを備
えてなる計測データ処理装置。
（３）被計測対象物と計測ヘッドの相対位置を制御して
被計測対象物を計測する計測データ処理装置において、
計測プログラムに基づき被計測対象物と計測ヘッドの相
対位置を制御する位置制御部と、上記計測ヘッドから出
力される計測データを記憶する計測データ記憶部と、被
計測対象物の各線分における指定情報を記憶する指定情
報記憶部と、上記計測データ記憶部に記憶された計測デ
ータを統計的手法を用いて解析処理する演算部と、この
演算部の処理結果が上記指定情報記憶部に記憶された指
定値を満足しているか否かを判定する判定部と、上記演
算部の処理結果及び指定情報の少なくとも一方を、被計
測対象物の計測部の線分を特定できる情報、または被計
測対象物の計測部の図形線分に対応させて出力するとと
もに、上記演算部の処理結果が指定値を満足しないとき
、この部分の表示態様を変更して出力するか、または指
定値を満足しないメッセージを出力する出力装置とを備
えてなる計測データ処理装置。
（４）被計測対象物と計測ヘッドの相対位置を制御して
被計測対象物を計測する計測データ処理装置において、
計測プログラムに基づき被計測対象物と計測ヘッドの相
対位置を制御する位置制御部と、上記計測ヘッドから出
力される計測データを記憶する計測データ記憶部と、被
計測対象物の各線分における指定情報を記憶する指定情
報記憶部と、標準情報を記憶する標準情報記憶部と、上
記計測データ記憶部に記憶された計測データを解析し、
この計測データが上記標準情報記憶部に記憶された標準
情報のどの区分に属するかを比較するとともに、この比
較結果に基づいてこの計測データをその属する区分の標
準情報に変換する演算部と、この演算部の処理結果が上
記指定情報記憶部に記憶された指定値を満足しているか
否かを判定する判定部と、上記演算部の処理結果及び指
定情報の少なくとも一方を、被計測対象物の計測部の線
分を特定できる情報、または被計測対象物の計測部の図
形線分に対応させて出力するとともに、上記演算部の処
理結果が指定値を満足しないとき、この部分の表示態様
を変更して出力するか、または指定値を満足しないメッ
セージを出力する出力装置とを備えてなる計測データ処
理装置。