JPH02129810U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02129810U JPH02129810U JP3951689U JP3951689U JPH02129810U JP H02129810 U JPH02129810 U JP H02129810U JP 3951689 U JP3951689 U JP 3951689U JP 3951689 U JP3951689 U JP 3951689U JP H02129810 U JPH02129810 U JP H02129810U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unevenness
- surface roughness
- detection means
- calculating
- frequency value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第1図は本考案の基本的構成の例示図、第2図
は本考案一実施例の全体構成図、第3図はそのコ
ンピユータにて行われる処理のフローチヤート、
第4図A〜Eはその処理の説明図である。 M1……試料、M2……凹凸検出手段、M3…
…回帰線演算手段、M4……最大頻度値演算手段
、M5……表面粗さ演算手段、3……試料、5…
…表面粗さ検出器、21……コンピユータ。
は本考案一実施例の全体構成図、第3図はそのコ
ンピユータにて行われる処理のフローチヤート、
第4図A〜Eはその処理の説明図である。 M1……試料、M2……凹凸検出手段、M3…
…回帰線演算手段、M4……最大頻度値演算手段
、M5……表面粗さ演算手段、3……試料、5…
…表面粗さ検出器、21……コンピユータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 試料表面の凹凸状態を検出する凹凸検出手段と
、 この凹凸検出手段にて検出された凹凸データに
基づき最小二乗法にて回帰線を演算する回帰線演
算手段と、 この回帰線と凹凸検出手段にて検出された凹凸
データとの偏差の最大頻度値を求める最大頻度値
演算手段と、 この最大頻度値の位置を基準位置として凹凸検
出手段にて検出された凹凸データから、表面粗さ
状態を求める表面粗さ演算手段と、 を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3951689U JPH02129810U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3951689U JPH02129810U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02129810U true JPH02129810U (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=31548493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3951689U Pending JPH02129810U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02129810U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03291511A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | 計測データ処理装置 |
-
1989
- 1989-04-03 JP JP3951689U patent/JPH02129810U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03291511A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | 計測データ処理装置 |