JPH0328475U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0328475U JPH0328475U JP8884189U JP8884189U JPH0328475U JP H0328475 U JPH0328475 U JP H0328475U JP 8884189 U JP8884189 U JP 8884189U JP 8884189 U JP8884189 U JP 8884189U JP H0328475 U JPH0328475 U JP H0328475U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp heater
- reference signal
- heater unit
- generating means
- disconnection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例によるランプヒータ断
線検出装置のブロツク図である。 １……ランプヒータ、３……温度調節計、４…
…電力調整器、１２……電流計、１３……基準信
号発生器、１４，１７……スイツチ、１８……自
動切り換え器。
線検出装置のブロツク図である。 １……ランプヒータ、３……温度調節計、４…
…電力調整器、１２……電流計、１３……基準信
号発生器、１４，１７……スイツチ、１８……自
動切り換え器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 並列接続された複数のランプヒータを有し基板
加熱を行うためのランプヒータユニツトと、この
ランプヒータユニツトに供給する電力を調節する
電力調整器とを備えた成膜装置におけるランプヒ
ータの断線検出装置であつて、 前記ランプヒータユニツトに全負荷分の電流が
供給されるよう前記電力調整器に基準信号を与え
るための基準信号発生手段と、前記基準信号発生
手段から電力調整器に基準信号を出力するタイミ
ングを制御する出力タイミング制御手段と、基板
加熱開始時に前記ランプヒータユニツトに供給さ
れる電流が所定の値を下回つたときに断線信号を
出力する断線信号出力手段とを備えた成膜装置に
おけるランプヒータ断線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8884189U JPH0328475U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8884189U JPH0328475U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328475U true JPH0328475U (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=31638434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8884189U Pending JPH0328475U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328475U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017109954A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 理化工業株式会社 | 負荷制御装置、負荷制御装置の電流計測方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0193083A (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ヒータ断線検出方式 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP8884189U patent/JPH0328475U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0193083A (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ヒータ断線検出方式 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017109954A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 理化工業株式会社 | 負荷制御装置、負荷制御装置の電流計測方法 |
| JPWO2017109954A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2018-08-16 | 理化工業株式会社 | 負荷制御装置、負荷制御装置の電流計測方法 |
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