JPH03280592A - リワーク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、回路基板から表面取り付け用デバイスを取
り外すための装置に関する。さらに詳しくは、この発明
はノズルを交換することなく、様々なサイズを有するデ
バイスを取り外すことのできるマルチノズルリワーク（
ｒｅｗｏｒｋ）装置に関する。

［従来の技術］ 従来のホラトガスリワークステーションは、迅速かつ容
易にプリント回路基板へ表面取り付け用（ｓｕｒｆａｃ
ｅ　ｍｏｕｎｔ）部品を取り付けたり、回路基板から部
品を取り外したりするために用いられてきた。このとき
、周囲の部品に妨害を加えたり、基板から外したり基板
へ取り付けたりするデバイスを傷つけることはない。そ
うした従来のシステムの一例は、米国、カリフォルニア
州ムアパーク（Ｍｏｏｒ　ｐａｒｋ、Ｃａ１ｉｆｏｒｎ
ｉａ）のセミコンダクタ・イクイップメント・コーポレ
ーション（ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＥｑｕｉｐｍｅ
ｎｔ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）によって製造されてい
るモデル４４６０ホツトガスリワークステーシヨンであ
る。この従来のリワークシステムは、そこを窒素のホッ
トガスが通る交換可能なノズルを−っ利用した複雑な装
置を有する。窒素のホットカスジェットは、隣接する部
品を加熱することなく表面取り付け用部品を取り外せる
ように、非常に限られた領域に導かれる必要がある。こ
のため、種々の寸法を有する表面取り付け部品に対して
作業を行えるように、装置には交換可能な複数のノズル
が設けられていなければならない。しかし、従来の表面
取り付け用リワーク装置においては、オペレータがプリ
トン基板上の異なる寸法のデバイスを移動したり取り替
えたりできるように、交換可能な異なる寸法のノズルが
必要であるというのが現実であった。

ホラトガスリワークツールは以下に示す従来の多くの特
許に開示されている。

プロチン（Ｂｒｏｔｅｎ）、他の米国特許第４．２９５
．５９６号 ファネーン（Ｆａｎｅｎｅ）の米国特許第４．３６６、
９２５号へツク（Ｂｅｃｋ）の米国特許第４．４２６．
５７１号ゾフコ（Ｚｏｖｋｏ）　、他の米国特許第４．
５５２．３００号スラック（Ｓｌａｃｋ）　、他の米国
特許第４．６０２．７３３号 フリートマン（Ｆｒｉｄｍａｎ）の米国特許第４．６０
５．１５２号 ホルトウェイ（Ｈｏ　ｌｄｗａｙ　）の米国特許第４．
６２０．５５９号 グリーン（Ｇｒｅｅｎ）の米国特許第４．６９６．０９
６号上述した特許では、異なるサイズの表面取り付け用
デバイスに対して作業を行うためには、ノズル、あるい
はこれと類似のガス方向付け装置を交換しなければなら
ない。上述の特許は、精密なホットガス技術を用いて異
なるサイズの表面取り付け用デバイスの取り外し及び／
あるいは再取り付けを行うためにノズルの交換を行う必
要のある従来型装置の代表的なものである。

従って、この発明では複数のノズルを備え付けることに
よって従来型装置の改良を行っている。

ノズルは往復運動を行って、表面取り付け用デバイスの
接合位置へホットガスを正確に導く。この発明において
は、サイズの異なる多数のノズル在庫を保持している必
要はなく、またノズルを交換するために時間を浪費する
こともない。

［発明の概要］ この発明は、ノズルを交換することなく、実際上すべて
のサイズ及びスタイルの表面取り付け用デバイスを迅速
かつ正確に取り外したり再取り付けしたりすることので
きる万能のリワーク装置を提供している。プリント回路
基板あるいはこれと類似の基板に取り付けられた表面取
り付け用デバイスには、エポキシ接合された型板（ｄｉ
ｅ）　、共晶接合された（ｅｕｔｅｃｔｉｃ　ｂｏｎｄ
ｅｄ）型板及びリードレスチップキャリヤが含まれる。

これらの中では、リードレスチップキャリヤが特によく
使用されるものである。従来のホット力スリワークシス
テムと同しように、この発明の装置でも接合位置へ低速
で正確に導かれる窒素ガスを使用することが好ましい。

ガスの温度は通常８００°Ｃまでである。

この発明の装置は複数のノズルを設けることによって、
従来型装置においては利用できなかった多機能を発揮す
ることかできる。複数のノズルは種々のサイズ及び形状
を有する表面取り付け用デバイスのリワークを可能にす
る。従来の装置においては、多数の異なるスタイル及び
形状を有するノズルを交換することによってしか、リワ
ークを行うことができなかった。マルチノズル機構（通
常は四つのノズルを各ノズルが仮想上の長方形の各辺に
ほぼ沿う形で往復運動するようになっている）を用いる
ことによって、この発明の装置は特定の位置へ非常に高
温のホットガスを導゛いて、基板の上に取り付けられた
表面取り付け用デバイスを取り外したり再取り付けした
りすることができる。このとき、隣接するデバイスを加
熱しすぎたり、作業を行っているデバイスへ損傷を与え
たりすることはない。この発明の装置は、異なる形状を
有するノズルを交換するために時間を浪費することなく
前述した作業を行うことができる。従来の装置において
は、形状及びサイズの異なるデノ゛＜イスに対してリワ
ークを行うには、異なる形状を有するノズルを使用する
必要があった。従って、この発明の装置を使用すれば、
従来の装置においては必要であったノズル交換に係わる
ダウンタイムが不用になる。この発明によるリワーク装
置の利用者は、従来の装置においてそうであったように
、種々のサイズ及び形状を有するノズルを在庫として備
えている必要はなく、すべての表面取り付け用デバイス
に対して作業を行うことかできる。

［発明の目的］ 従って、この発明の主な目的は、種々のスタイル、サイ
ズ、形状を有する表面取り付け用デバイスに対して作業
を行う場合に、隣接するデバイスに妨害を加えたり損傷
を与えたりすることなく、迅速かつ容易に表面取り付け
用デバイスの取り外し及び取り替えを行うことのできる
表面取り付け用リワーク装置を提供することである。

この発明の別の目的は、表面取り付け用デバイス端部の
接合部分へ低速のホットガスを導くように配置された多
数のノズルを使用し、プリント回路基板あるいはこれと
類似の基板上のデバイスに対するリワークを容易にする
表面取り付け用リワーク装置を提供することである。

この発明のさらに別の目的は、作業の対象となるデバイ
スあるいは隣接するデバイスに損傷を与えることなく、
また異なるサイズ及び形状を有するデバイスに対して作
業する場合に、時間のかかるノズル交換を行う必要がな
く、さらにリヮークされるデバイスのサイズ及び形状に
応じてリヮーク装置上で交換される必要のある様々なサ
イズ及び形状を有するノズルの在庫を保持している必要
がなく、表面取り付け用デバイスのリワークを可能にす
る多機能のマルチノズル表面取り付け用リワーク装置を
提供することである。

この発明の他の目的及び利点は、以下で説明するこの発
明の実施例から明らかになろう。

［実施例コ 以下、添付図面に基づいてこの発明によりリヮーク装置
の実施例を説明する。この発明による表面取り付け用リ
ヮークシステムは、米国、９３０２１　カリフォルニア
州ムアパークのセミコンダクタ・イクイップメント・コ
ーポレーションによって製造されている表面取り付け用
リヮークシステムであるモデル４４６０のサブシステム
を多数使用可能であるという点て、このモデル４４６０
とかなり類似している。−例として、他の装置同様モデ
ル４４６０はリワークシステムにおいて使用するのに十
分な温度までガスを加熱する装置、及び加熱されたガス
をノズルへ導（装置を備えている。別の例として、従来
の装置には作業位置を観察するためにビデオカメラやビ
デオモニタ及びこれと類似の装置が備わっている。これ
らのサブシステムは、この発明において使用されている
サブシステムと同様のものである。例えばモデル４４６
０のような従来型の装置において使用されており、この
発明においても使用可能な電子装置及び真空装置は通常
のものであり、この発明による装置の新しい特徴をなす
ものではない。従って、こうした従来のサブシステムの
動作についてはここでは説明しない。当該分野の技術者
は、この発明の実施例におけるそうしたサブシステムの
動作や使用については即座に理解できるであろう。

第１図及び第２図を参照して説明する。参照番号１０で
表されたこの発明によるマルチノズルの表面取り付け用
のリワーク装置は、制御用コンソール１２と作業用コン
ソール１４とを有する。作業用コンソール１４は、ノズ
ルアセンブリのハウジングアセンブリ１８の中にノズル
アセンブリ１６を有する。ノズルアセンブリ１６は複数
のノズル、好ましくは四つのノズルを有するが、このノ
ズルアセンブリ１６についてはさらに詳しく説明する。

ノズルアセンブリ１６は、従来技術においては必要であ
ったノズル交換を行うことなく、表面取り付け用デバイ
スの実質的にすべてのスタイル及び形状のリワークをリ
ワーク装置ｌＯが行えるようにする。リワーク装置１０
ではノズルアセンブリ１６を即座に調節でき、小さい方
は０．１インチ（２，５４ｍｍ）から大きい方は２，０
インチ（５゜０８ｃｍ）まで、任意のサイズの表面取り
付け用デバイスに対応できる。リワーク装置１０は正方
形の表面取り付け用デバイスだけでなく長方形の表面取
り付け用デバイスにも対応でき、また一つのサイドや二
つのサイド、あるいは四つのサイドにコンタクトを有す
るデバイスに対応することもできる。こうした機能は、
ノズルを取り外したり交換したすせずに行うことができ
る。リワーク装置を異なるサイズ及び形状を有する表面
取り付け用デバイスに適用する必要のある場合には、リ
ワーク装置ｌＯは、それぞれのスタイル及び形状を有す
るデバイスを処理するために、ビデオデイスプレィ付き
のモータによって駆動される調節装置を介してリセット
される。このときの調節は、後で述べるように数秒で行
うことができる。

ボードホルダ２０は、リワークされる表面取り付け用デ
バイス、すなわち接合部分へ低速のホットガスを正確に
導き離脱及び接合を行うことによって取り外しや交換が
行われる表面取り付け用デバイス（図示されていない）
がその上に載っているプリント回路基板を保持できるよ
うな形状を有する。ボードホルダ２０は、ノズルアセン
ブリ１６のすぐ下に位置するツーポジションの作業面３
６の一部を形成している。

以下でさらに詳しく説明するように、ビデオカメラ２４
及びビデオモニタ２６を有する光学システムによって、
リワーク装置１０のオペレータは作業領域を観察するこ
とができる。イメージスプリッタ２２によれば、リワー
クされている表面取り付け用デバイスを観察できるだけ
でなく、第４図を参照して後述するように、ノズルアセ
ンブリ１６も同時に観察することができる。従来型のリ
ワーク装置も表面取り付け用デバイスの作業を容易にす
るためにビデオ装置を用いているから、このビデオ装置
の構造及び動作についてはここでは詳しく述べない。

ノズルアセンブリ１６の中央には真空ピックアップ３０
が設けられており、表面取り付け用デバイスに傷を付け
ることなくデバイスを操作できるようになっている。真
空ピックアップ３０については、第３図を参照してさら
に詳しく説明する。

作業用コンソール１４上には作業面３６に隣接して準備
ステーション２８か設けられている。準備ステーション
２８はオプションであり、似たような構造は従来型の装
置においても使用されてきた。

制御用コンソール１２の前面にはステータスパネル３２
が配置されており、ノズルアセンブリ１６の状態が即座
に決定できるようになっている。

ノズルアセンブリ１６の制御は、作業用コンソール１４
上の利用者が操作しやすい位置に設けられたキーバッド
３８を介して行われる。作業用コンソール１４にはポジ
ションコントロール３４も設けられており、ボードホル
ダ２０のＸ、Ｙ位置及びθ位置を制御できるようになっ
ている。ボードホルダ２０によるプリント回路基板の位
置付けに使用される特定の機構、及びリワーク装置１０
内の制御に使用される電子装置は従来のものである。

従って、これら従来型装置の構造及び機能は詳細に説明
する必要はないので省略する。

次に、第２図、第３図、第４図を参照して説明する。図
かられかるように、ノズルアセンブリ１６はノズル４０
を有する。この発明に従ってリワークされる表面取り付
け用デバイス（図示されていない）の端部に沿った位置
へ、ノズル４０を通して低速のホットガスが正確に導か
れる。第２図、第３図、第４図においては、イメージス
プリッタ２２及び真空ピックアップ３０の説明を行いや
すいように、ノズル４０は二つだけしか描かれていない
。以下で説明するこの発明の実施例においては、種々の
サイズ及び形状を有する表面取り付け用デバイスのリワ
ークを行う上で、最大限の多様性を発揮できるように四
つのノズル４０が使用されている。

真空ピックアップ３０は真空チューブ４２を有する。真
空チューブ４２はその端部にコンタクトヘッド４４を有
し、また真空チューブ４２の外側端部は従来の方法によ
って真空供給源（図示されていない）へ連結されている
。真空チューブ４２は曲線形状を有するか、あるいは曲
折されており、ビデオカメラ２４に対してボードホルダ
２ｏの上の表面取り付け用デバイス４６とノズル４ｏの
視界が遮られないようになっている。デバイス４６を取
り外す場合には、真空ピックアップ３ｏをデバイス４６
の上まで下げた状態で真空供給源が駆動される。ノズル
４０から出たホットガスがいったん接合材料のりフロー
を生じさせると、デバイス４６がボード４７から持ち上
げられる。真空チューブ４２の前端部に設けられた調節
可能なばねによって付勢されたアセンブリ４８によって
、リフローが生じたちょうどその時にデバイス４６が持
ち上げやすくなる。真空チューブ４２が曲線形状を有す
ることあるいは曲折されていることは、リワーク装置１
０のオペレータがビデオモニタ２６によってほとんど遮
られることなくデバイス４６及びノズル４０を即座に観
察することができるという点で、この発明の重要な特徴
をなしている。

真空ピックアップ３０によって表面取り付け用のデバイ
ス４６が持ち上げられると、ノズルアセンブリ１６は上
方へ後退し、ノズルアセンブリ１６の下からボードホル
ダ２０を取り出せる隙間ができ、検査や清掃などが容易
に行える。真空チューブ４２の端部においては種々のサ
イズを有するコンタクトヘッド４４を交換することかで
き、非常に小さな部品も含めて様々なサイズの部品に対
して真空ピックアップ３０を使用することができる。

第２図、第３図、第４図かられかるように、イメージス
プリッタ２２は、ノズル４０の先端とリワークされる表
面取り付け用のデバイス４６との間に後退可能に配置さ
れている。イメージスプリッタ２２は本質的には画像を
分割するためのミラーからなる。このミラーによって、
下方のデバイス４６を見ることができると同時に上方の
ノズル４０をも見ることができ、これら二つの画面は重
ねてビデオモニタ２６の上に表示される。従って、リワ
ーク装置ＩＯの利用者は、取り外しあるいは設置の対象
となるデバイス４６及びノズル４０の両方を同時に観察
することができ、ノズル４ｏをデバイス４６へ確実に合
わせることができる。この観察はノズルアセンブリ１６
が上昇した位置にある場合に行われる。イメージスプリ
ッタ２２を後退させ続けてノズルアセンブリ１６を下げ
ると、ノズル４０と表面取り付け用のデバイス４６は位
置が正確に揃えられる。ノズル４０のスイープレンジ及
び位置は、上昇した位置にあるノズルアセンブリ１６に
よって調節でき、また、いったんイメージスプリッタ２
２を用いて位置揃えを行えば、移動するノズルによって
調節することができる。

ボードホルダ２０は、リヮークを行うためにボード４７
のようなプリント回路基板あるいはこれと類似の基板を
保持する。ボード４７がボードホルダ２０の中でおおよ
その位置合わせが行われロックされると、ボード４７は
ポジションコントロール３４によって提供される微調整
用ノブを利用してＸ、Ｙ位置及びθ位置が微調整される
。第２図において最もよくわかるように、ノブアセンブ
リ５０によってボード４７をおおよその位置にロックす
ることができる。

図面には描かれていないが、ボード４７のようなボード
上の表面取り付け用デバイスに熱的なショックを加えな
いように、リヮーク装置１ｏには“バックサイドヒータ
を設けることができる。

バックサイドヒータは、前述したセミコンダクタ・イク
イップメント・コーポレーションのモデル４４６０のよ
うなシステムにおいて以前から使用されている。バック
サイドヒータは予加熱サイクルが終わるとリワーク装置
のオペレータに催促するタイミング機能を果たすととも
に、ガスフロー及び温度の制御を効率よく行う。バック
サイドヒータはボード４７の下側の非常に近接した位置
へ固定されており、ヒータはボードホルダ２０直下の作
業用コンソール１４の中に取り付けられている。ボード
４７を予加熱するために加えられる熱エネルギの量は、
従来から用いられているガスフロー及び温度の制御装置
（図示されていない）によって制御される。次に、第５
図、第６図、第１２図を参照して説明する。実施例にお
いてノズルアセンブリ１６は四つのノズル４０を有する
。ノズル４０は、第１２図かられかるようにデバイス４
６のような表面取り付け用デバイスの端部に沿った位置
へ正確に低速のホットガスを供給する。

第５図及び第６図において、ノズル４０の各々は、その
中で表面取り付け用のデバイス４６がボート４７上で取
り外しや再取り付けがおこなわれる領域における一つの
サイドに沿って往復運動を行う。

リワーク装置１０を適正に動作させるためには、窒素な
どのガスを非常な高温まで加熱することと、ガス中の利
用可能な熱エネルギを接合材料を溶かす位置へ集中的に
加えることが大切である。低速のホットガスを適切に印
加しやすくするために、ノズルアセンブリ１６は正確に
上下して所定の位置へ位置付けされなければならない。

ノズル４０をより見やすくするために、ノズル４０は第
５図においては垂直に対して約３０°の方向に傾斜され
ているが、実際に好ましい角度範囲は、１８゜〜２０°
である。第１２図かられかるように、四つのノズル４０
はそれぞれ表面取り付け用のデバイス４６に対して二つ
の運動自由度を有する。各ノズル４０がデバイス４６の
端部に沿って移動する距離を“スイープレンジ”と呼ぶ
ことにし、各ノズル４０の表面取り付け用のデバイス４
６に対する近接位置を“ノズル位置”と呼ぶことにする
。

説明の都合上、それぞれのノズルを右、左、前、後ろの
ノズル４０と呼ぶことにする。動作時には、左のノズル
４０と右のノズル４０は電気的に連結されており、左の
ノズル４０の“スイープレンジ”と右のノズル４０の“
スイープレンジ”か同時に変化するようになっている。

従って、一つを調節するだけで左のノズルと右のノズル
の両方のスイープレンジを制御することかできる。同様
に、前のノズル４０と後ろのノズル４０は電気的に連結
されており、一つを調節することによって両方のノズル
を制御することができる。さらに、上述したノズル４０
の各対を連結して、一方の“ノズル位置”が他方の“ノ
ズル位置”と同時に変化するようにできる。また、すべ
てのノズル４０を連結して、正方形を有する表面取り付
け用のデバイス４６を扱うとき、位置とスイープレンジ
の両方に関して迅速に位置合わせが行えるようにもでき
る。二つのサイドだけにコンタクトを有するデバイス４
６を外したり再取り付けしたりするときには、各ノズル
対、すなわち左及び右のノズル、あるいは前及び後ろの
ノズルは、後退させたり、機能させずにおくこともでき
る。さらに、基板上の“イン−ライン”コンポーネント
あるいは非常に小さいコンポーネントを外したり再取り
付けしたすするには、単一のノズル４０を使用すること
もできる。

ノズルのスイープサイクルは同じである。スイープサイ
クルとは、ノズル４０がデバイス４６のコンタクト列ま
で降りて元のノズル位置まで戻るのに必要な時間をさす
。従って、方形デバイスの隣接するサイドにおけるリフ
ロータイムのマツチングと熱入力のバランスは、別々の
カス温度及びガスフロー制御装置を必要とする。すなわ
ち、左のノズル４０及び右のノズル４０に対する一組と
、前のノズル４０及び後ろのノズル４０に対する別の組
とを必要とする。二つのサイドのみにコンタクトを有す
る表面取り付け用デバイスに対して作業を行う場合には
、どちらかの制御装置を完全に停止させることかできる
。リワーク装置を最初に動作させるときには、四つのノ
ズルをすべて固定されたアイドリング温度まて上げてレ
スポンスを速くさせることができる。協働する加熱装置
にタイマ（図示されていない）を設けて、サイクルの持
続を一定にし、かつオーバーヒートを防止することもで
きる。前述したように、真空ピックアップ３０によって
デバイス４６を持ち上げると、ノズルアセンブリ１６は
上方へ後退し、加熱装置はアイドリング温度まで戻る。

ガス圧が低い場合にヒータが焼き切れるのを防止するた
めに、圧力インターロック（図示されていない）を設け
ることもできる。

次に、第５図及び第６図を参照して説明する。

ノズル４０は、第１２図に示された左、右、前、後ろの
対に対応した方向に配置されている。“スイープレンジ
２モードにおけるノズル４０対の移動は、ケーブル６０
によってスプロケット５４゜５６とアイドラプーリ５８
へつながれたギヤモータ５２を駆動して行われる。スイ
ープレンジの手動調節は、スプロケット５４．５６と協
働するレンジ設定用ノブ６２．６４によって行われ、与
えられたリワーク状況に必要なスイープレンジまでノズ
ル４０を制御する。ノズル４０の位置は、二つのケーブ
ル・プーリアセンブリ６６．６８によって制御される。

ケーブル・プーリアセンブリ６６．６８は、ケーブルの
張りを維持するためのターンバックル調節装置７０．７
２を有する。各ケーブル・プーリアセンブリ６６．６８
は、ノズル４０をちょうねじ７８によって設定される元
の位置へ戻す戻しばね７４．７６を有する。

各ノズル４０はノズル取り付け用のアセンブリ８０内に
保持されている。アセンブリ８０は往復運動を行って上
述したスイープレンジ機能を行えるように取り付けられ
ている。ノズル４０を動かすために、小型のステッピン
グモータのような電気モータ（図示されていない）を使
用することができる。これらの電気モータは電気的な連
結を行って、ノズル４０を適当に位置付けする。ノズル
４０は、上述した装置以外の装置によっても制御するこ
とができる。

第７図を参照して説明する。ステータスパネル３２は、
本質的にはノズル４０の状態を表示するための平面状の
スイッチ／デイスプレィパネルからなる。また、リワー
ク装置１０は、ステータスパネル３２を介して制御する
ことかできる。−例として、装置の機能を示すインデイ
ケータを点滅して、装置の状態を表示することができる
。また、ノズル４０の位置を図示することもでき、ノズ
ルへのガスフローの状態をステータスパネル３２上に表
示することもできる。

第８図及び第９Ａ図〜第９Ｄ図に関して説明したように
、ノズル４０対の間はリンク制御パネル８２を介して制
御することができる。スイープレンジパネル８４は第９
Ａ図及び第９Ｂ−図においては、左及び右のノズルと前
及び後ろのノズルの連結を示すフラッシュライトの対か
らなっている。

両方のノズル対を連結してノズル４０対の特定の連結に
応じて、交互あるいは同時にライト８６のすべてを点灯
させることができる。同様に、ライト９０からなるノズ
ル位置デイスプレィ８８によってノズル位置が表示され
る。

次に第１Ｏ図及び第１１図を参照して説明する。

この実施例においてはノズル４０は内側及び外側のヒー
トシールド９２．９４内に保持されている。

ノズル４０の加熱は、サーモカップル９８によって熱表
示の行えるヒータ９６によって行われる。

ヒートシールド内のノズル４０の位置調節は、ばねによ
って付勢された調節ノブ１００によって行われる。

上述した実施例は発明の精神及び範囲を逸脱しない限り
、いかなる形によっても実現することが可能である。機
械的なサブシステム及び電気的なサブシステムと詳細に
説明しなかった特徴によって、従来型の即座に利用可能
なサブシステムが構成される。こうしたサブシステムに
は、ガス加熱サブシステム、電子制御サブシステム、バ
ックサイド加熱サブシステム、真空サブシステムなとが
含まれる。この発明はその最も基本的な形態は、プリン
ト回路基板などの基板上の表面取り付け用デバイスを取
り外したり再取り付けしたりするために、所定の位置へ
正確に低速のホットガスを導くために独立に座標上を移
・動できる多数のノズルを有する表面取り付け用リワー
ク装置として提供される。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明による表面取り付け用ワーク装置の実施
例を示しており、第１図は表面取り付け用リワークシス
テムの斜視図、第２図は第１図に示された装置の立面図
、第３図は装置の真空ピックアップサブシステムの部分
立面図、第４図はリワーク位置を見やすくするために使
われる光学装置の立面図、第５図はマルチノズル装置の
平面図、第６図は第５図の６−６線断面図、第７図は装
置を制御するために使用される平面スイッチ／デイスプ
レィパネルを示す図、第８図は装置を制御するために使
用されるデイスプレィパネルを示す図、第９Ａ図、第９
Ｂ図、第９Ｃ図、第９Ｄ図は第８図に示すデイスプレィ
パネル上においてノズルのスイープレンジを表示するイ
ンデイケータの組合せを示す図、第１０図はホットガス
アセンブリの部分断面図、第１１図はホットガスアセン
ブリの立断面図、第１２図は表面取り付け用デバイスの
リワークを行うときの幾つかのノズルの位置を示す図で
ある。 １２・・・制御用コンソール １４・・・作業用コンソール １６・・・ノズルアセンブリ １８・・・ハウジング ２０・・・ボードホルダ ２２・・・イメージスプリッタ ２４・・・ビデオカメラ ２６・・・ビデオモニタ ３０・・・真空ピックアップ ３２・・・ステータスパネル ３４・・・ポジションコントロール ３８・・・キーバット ４０・・・ノズル ４２・・・真空チューブ ４４・・・コンタクトヘッド ４６・・・デバイス ４７・・・ボード ４８．８０・・・アセンブリ ５０・・・ノブアセンブリ ５２・・・ギヤモータ ５４．５６・・・スプロケット ５８・・・アイドラプーリ ２．６４・・・レンジ設定用ノブ ６．６８・・・ケーブル・プーリアセンブリ０．７２・
・・ターンバックル調節装置４．７６・・・戻しばね ８２・・・リンク制御パネル ８４・・・スイープレンジパネル ６．９０・・・ライト ８８・・・ノズル位置デイスプレィ ００・・・調節ノブ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上の表面取り付け用のデバイスの少なくとも
   一つの端部に加熱ガスを当ててその部分の接合材料を溶
   かすことによって、デバイスを取り外したり再取り付け
   したりするためのリワーク装置であって、その中を加熱
   ガスが通される複数のノズルからなるノズルアセンブリ
   と、前記ノズルを独立に、あるいは前記デバイスと調和
   して移動させて、そこへ加熱ガスを当てるための移動装
   置と、を有し、前記ノズルの各々が前記表面取り付け用
   のデバイスへ向けて加熱ガスを導くために前記デバイス
   の部分に対して位置付け可能に設定されているリワーク
   装置。
2. （２）前記表面取り付け用のデバイスが方形であり、前
   記ノズルアセンブリが四つのノズルを有し、各ノズルが
   デバイスの一つのサイドに沿って移動されるようになっ
   ている特許請求の範囲第１項記載のリワーク装置。
3. （３）前記移動装置が前記デバイスに対するノズルのス
   イープレンジと位置とを制御するための装置を有し、異
   なる端部寸法を有するデバイスに対してリワーク装置を
   使用できるようになっている特許請求の範囲第１項記載
   のリワーク装置。
4. （４）前記移動装置が各ノズルのスイープレンジを制御
   するための装置を有し、異なる端部寸法を有するデバイ
   スに対してリワーク装置を使用できるようになっている
   特許請求の範囲第１項記載のリワーク装置。
5. （５）前記移動装置が対向して配置されたノズルの各対
   のスイープレンジを同時に制御するための装置を有し、
   異なる端部寸法を有するデバイスに対してリワーク装置
   を使用できるようになっている特許請求の範囲第１項記
   載のリワーク装置。