JPH03269242A - Apparatus for inspecting nonmetallic enclosure - Google Patents
Apparatus for inspecting nonmetallic enclosureInfo
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、画像処理技術を用いた非金属介在物の検査装
置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an inspection device for nonmetallic inclusions using image processing technology.
（従来の技術）
金属材料中に存在する非金属介在物は金属材料の機械的
緒特性を左右するため、これらの定量解析を行うことは
金属祠料の品質管理を行ううえで大変重要である。(Conventional technology) Non-metallic inclusions present in metal materials affect the mechanical properties of metal materials, so quantitative analysis of these inclusions is very important for quality control of metal abrasives. .
従来より、金属材料中に存在する非金属介在物の検査方
法として、Ａ Ｓ Ｔ Ｍ （ＡＩＩｌｅｒｉｃａｎ
５ｏｃｉｅｔｙｆｏｒ Ｔｅｓｔｉｎｇ Ｍａｔｅｒｉ
ａｌｓ）法と呼ばれる方法が知られている。これは、金
属材料から採取された試料の表面に表れる非金属介在物
を顕微鏡で観察し、その形状や分布状態により金属材料
の品質が決定されるものである。ＡＳＴＭ法では、非金
属介在物は形状や分布状態により第５図に示すようなＡ
系、Ｂ系、Ｃ系、Ｄ系、ＴｉＢ系、ＴｉＤ系の６種類に
分類される。さらに、各々はＴｈ１ｎ（薄型）とＨｅａ
ｖｙ （原型）とに分類される。そして、分類された非
金属介在物の各々に対して、金属材料の品質が決定され
る。Conventionally, A STM (A IIlerican
5ocietyfor Testing Materi
A method called the als method is known. In this method, nonmetallic inclusions appearing on the surface of a sample taken from a metallic material are observed using a microscope, and the quality of the metallic material is determined by the shape and distribution state of the nonmetallic inclusions. In the ASTM method, non-metallic inclusions are classified as A as shown in Figure 5 depending on their shape and distribution.
It is classified into six types: type, B type, C type, D type, TiB type, and TiD type. Furthermore, each of Th1n (thin) and Hea
It is classified as vy (prototype). The quality of the metal material is then determined for each of the classified nonmetallic inclusions.
ところで、検査者の肉眼による目視検査では、検査速度
や誤差の面で問題があるため、最近では金属材料の検査
を画像処理技術を用いて自動的に行う検査装置が開発さ
れている。By the way, visual inspection by the naked eye of an inspector has problems in terms of inspection speed and error, so recently, inspection apparatuses have been developed that automatically inspect metal materials using image processing technology.
この検査装置の構成を第６図を用いて説明する。The configuration of this inspection device will be explained using FIG. 6.
金属材料から採取された試料１は、ホールダ２に収めら
れたうえて顕微鏡３のステージに固定される。ステージ
に固定された試料１は、照明光源４により顕微鏡３の光
軸と同軸で照明される。顕微鏡３により拡大された試料
１の画像は、顕微鏡３に取付けられたＩＴＶカメラ（Ｉ
ｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｔｅ１ｅｖｉｓｉｏｎ ；工業
用テレビカメラ）５によって映像信号に変換される。Ｉ
ＴＶカメラ５から出力された映像信号は、画像処理装置
６に入力され所定の画像処理が行われる。A sample 1 taken from a metal material is placed in a holder 2 and fixed to the stage of a microscope 3. A sample 1 fixed on a stage is illuminated by an illumination light source 4 coaxially with the optical axis of a microscope 3. The image of the sample 1 magnified by the microscope 3 is captured by the ITV camera (ITV camera) attached to the microscope 3.
The signal is converted into a video signal by an industrial television camera (industrial television camera) 5. I
The video signal output from the TV camera 5 is input to an image processing device 6 and subjected to predetermined image processing.
この画像処理装置６は、Ａ／Ｄコンバータ７、フレーム
メモリ８、制御ＣＰＵ９から構成されており、入力され
た映像信号は、まず、Ａ／Ｄコンバータ７によって１画
面を構成する各画素ごとの濃度が例えば８ビツトのディ
ジタルの濃度情報に変換され、フレームメモリ８に順次
格納される。The image processing device 6 is composed of an A/D converter 7, a frame memory 8, and a control CPU 9, and the input video signal is first processed by the A/D converter 7 to determine the density of each pixel constituting one screen. is converted into, for example, 8-bit digital density information and sequentially stored in the frame memory 8.
次いで、フレームメモリ８に格納された濃度情報が、制
御ＣＰＵ９により所定の閾値で二値化される。なぜなら
ば、フレームメモリ８に格納された濃度情報には８ビツ
ト幅の濃淡があり、そのままでは非金属介在物の形状を
把握しにくい。そこで、画像の背景と非金属介在物の濃
度が概ね異なる点に着目し、濃度情報を適当な濃度を閾
値として二値化することで、非金属介在物の形状が明確
に抽出される。Next, the density information stored in the frame memory 8 is binarized by the control CPU 9 using a predetermined threshold value. This is because the density information stored in the frame memory 8 has 8-bit width shading, which makes it difficult to grasp the shape of the nonmetallic inclusion. Therefore, by focusing on the fact that the density of the nonmetallic inclusions is generally different from the background of the image, and binarizing the density information using an appropriate density as a threshold value, the shape of the nonmetallic inclusions can be clearly extracted.
そして、これらの濃度情報が制御ＣＰＵ９を介してホス
トｃＰＵ１０に送られて、非金属介在物の形状や濃度な
どの特徴から解析がなされる。Then, this concentration information is sent to the host cPU 10 via the control CPU 9, and analyzed based on characteristics such as the shape and concentration of the nonmetallic inclusions.
なお、１１は画像処理された試料１の画像を表示するモ
ニタである。Note that 11 is a monitor that displays an image of the sample 1 that has undergone image processing.
このような画像処理技術が用いられた非金属介在物の検
査装置による検査では、ＩＴＶカメラ５で撮像された画
像の品質によって検査精度が太きく左右される。In an inspection using a nonmetallic inclusion inspection apparatus using such an image processing technique, the inspection accuracy is largely influenced by the quality of the image captured by the ITV camera 5.
さらに言えば、画像の品質は試料面の明るさに左右され
ることから、試料面の明るさが所定のレベルに保たれて
いることか好ましい。Furthermore, since the quality of the image depends on the brightness of the sample surface, it is preferable that the brightness of the sample surface be maintained at a predetermined level.
しかしながら、試料面を照明する照明光源４は、長時間
使用すると経時変化により次第に光量が低下するので、
正確な検査が行えなくなる場合かあった。However, when the illumination light source 4 that illuminates the sample surface is used for a long time, the light intensity gradually decreases due to changes over time.
There were times when it became impossible to conduct accurate tests.
（発明が解決しようとする課題）
上述したように、従来の非金属介在物の検査装置では、
照明光源の経時変化などによる光量の変化によって、正
確な検査が行えない場合があるという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) As mentioned above, in the conventional nonmetallic inclusion inspection apparatus,
There has been a problem in that accurate inspection may not be possible due to changes in the amount of light due to changes in the illumination light source over time.
本発明は、このような点に対処してなされたちので、試
料面の明るさが十分であるか否かを判定させることで正
確な検査が行えるようにした非金属介在物の検査装置を
提供するものである。The present invention has been made to address these points, and therefore provides an inspection device for non-metallic inclusions that enables accurate inspection by determining whether or not the brightness of the sample surface is sufficient. It is something to do.
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
本発明は、非金属介在物を含む試料を拡大視する顕微鏡
と、この顕微鏡により拡大視された試料を映像信号に変
換する撮像手段と、前記映像信号を構成する各画素の濃
度を多値化する変換器と、この変換器により多値化され
た各画素の濃度情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手
段に記憶された濃度情報をもとに前記撮像手段により撮
像された試料の表面の明るさの平均レベルを算出する算
出手段と、前記算出手段により算出された明るさの平均
レベルが所定の範囲内であるか否か判定し、その結果を
報知する報知手段とを具備するものである。[Configuration of the Invention (Means for Solving the Problems) The present invention provides a microscope for magnifying a sample containing nonmetallic inclusions, an imaging means for converting the sample magnified by the microscope into a video signal, a converter for converting the density of each pixel constituting the video signal into multi-values, a storage means for storing density information of each pixel multi-valued by the converter, and a storage means for storing the density information stored in the storage means. Calculating means for calculating the average brightness level of the surface of the sample imaged by the imaging means, and determining whether the average brightness level calculated by the calculating means is within a predetermined range. , and notification means for notifying the results.
（作 用）
本発明では、記憶手段に記憶された濃度情報をもとに算
出される試料の表面の明るさの平均レベルが所定の範囲
内であるか否か判定し、その結果を報知する。(Function) In the present invention, it is determined whether the average level of brightness on the surface of the sample calculated based on the concentration information stored in the storage means is within a predetermined range, and the result is notified. .
従って、試料の表面の明るさの管理が可能となるので、
検査精度を向上させることができる。Therefore, it is possible to control the brightness of the sample surface.
Inspection accuracy can be improved.
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は、本発明の一実施例の非金属介在物の検査装置
の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a nonmetallic inclusion inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
同図に示すように、この検査装置は、金属材料から採取
された試料１００を拡大視した映像信号を得るための光
学系２００と、光学系２００により得られた映像信号を
画像処理して非金属介在物の解析を行う処理系３００と
から構成されている。As shown in the figure, this inspection device includes an optical system 200 for obtaining an image signal of a magnified view of a sample 100 taken from a metal material, and an image processing of the image signal obtained by the optical system 200. The processing system 300 includes a processing system 300 that analyzes metal inclusions.
また、光学系２００は、複数個の試料１００を収納する
ホールダ２１０、試料面を光学的に拡大する光学顕微鏡
２２０、光学顕微鏡２２０により拡大された試料面を撮
像して映像信号に変換するＩＴＶカメラ（Ｉｎｄｕｓｔ
ｒｉａｌ Ｔｅ１ｅｖｉｓｉｏｎ ；工業用テレビカメ
ラ）２３０、試料面を顕微鏡２２０の光軸と同軸で照明
する照明光源２４０、顕微鏡２２０に備えられたオート
フォーカス機構の制御を行うオートフォーカスコントロ
ーラ２５０、ホルダ２１０の位置をＸ−Ｙ２方向に移動
させるＸＹステージ２６０、処理系３００からの指示に
基づいてＸ−Ｙステージ２６０の移動制御を行うＸ−Ｙ
ステージコントローラ２７０から構成されている。The optical system 200 also includes a holder 210 that stores a plurality of samples 100, an optical microscope 220 that optically magnifies the sample surface, and an ITV camera that images the sample surface magnified by the optical microscope 220 and converts it into a video signal. (Industry
real television camera) 230, an illumination light source 240 that illuminates the sample surface coaxially with the optical axis of the microscope 220, an autofocus controller 250 that controls the autofocus mechanism provided in the microscope 220, and a position of the holder 210. An X-Y stage 260 that moves in two directions, X-Y, and an X-Y stage that controls the movement of the X-Y stage 260 based on instructions from the processing system 300.
It is composed of a stage controller 270.
なお、照明光源２４０には、光量調整の機能が設けられ
ており、試料１００を照明する光量の調節が可能とされ
ている。Note that the illumination light source 240 is provided with a light amount adjustment function, and the amount of light illuminating the sample 100 can be adjusted.
また、処理系３００は、検査装置全体の制御と測定デー
タの処理を行う情報処理装置３１０、情報処理装置３１
０の指示に基づいてＩＴＶカメラ２３０から映像信号を
人力し検査に必要な画像処理を行う画像処理装置３２０
、ＩＴＶカメラ２３０で撮像された生画像の表示を行う
画像モニタ３３０、画像処理装置３２０で画像処理され
た画像の表示を行う画像モニタ３４０１画像処理装置３
２０て画像処理された画像のハードコピーを出力するビ
デオプリンター３５０、情報処理装置３１０で処理され
た測定データなどの印字を行うプリンター３６０から構
成されている。The processing system 300 also includes an information processing device 310 and an information processing device 31 that control the entire inspection apparatus and process measurement data.
An image processing device 320 that manually receives a video signal from the ITV camera 230 and performs the image processing necessary for the inspection based on instructions from the ITV camera 230.
, an image monitor 330 that displays raw images captured by the ITV camera 230, and an image monitor 3401 that displays images processed by the image processing device 320. Image processing device 3
20 and a printer 360 that prints measurement data processed by the information processing device 310.
なお、３１２は、情報処理装置３１０からの指示で所定
の表示を行うモニタデイスプレィである。Note that 312 is a monitor display that performs a predetermined display based on instructions from the information processing device 310.
さらに、画像処理装置３２０の画像処理に関わる部分に
ついて詳細な構成を第２図に示す。Further, FIG. 2 shows a detailed configuration of a portion of the image processing device 320 related to image processing.
同図において、３２１は画像処理装置３２０全体の制御
を行う制御ＣＰＵである。In the figure, 321 is a control CPU that controls the entire image processing device 320.
また、３２２はＩＴＶカメラ２３０から入力される映像
信号の濃度をディジタル値に変換するＡ／Ｄコンバータ
、３２３はＡ／Ｄコンバータ３２２により変換された濃
度情報を記憶するフレームメモリである。Further, 322 is an A/D converter that converts the density of the video signal input from the ITV camera 230 into a digital value, and 323 is a frame memory that stores the density information converted by the A/D converter 322.
さらに、３２４はフレームメモリ３２３に記憶されてい
る濃度情報からなる画像データの画像処理を行う画像処
理専用プロセッサ、３２５は画像処理専用プロセッサが
画像処理に用いる作業ＲＡＭである。Further, 324 is a processor dedicated to image processing that performs image processing of image data consisting of density information stored in the frame memory 323, and 325 is a work RAM used by the processor dedicated to image processing for image processing.
次に、光量点検の動作を第３図に示すフローチャートを
参照しつつ説明する。Next, the operation of checking the amount of light will be explained with reference to the flowchart shown in FIG.
ます、試料１００に検査の基準となる標準試料を用いた
画像をフレームメモリ３２３に取込まれる（ステップ３
０１）。これは、Ａ／Ｄコンバータ３２２に入力された
１画面分の映像信号を構成する例えば縦５１２画素×横
５１２画素の各画素の濃度か、Ａ／Ｄコンバータ３２２
により例えば８ビツト（０〜２５５）のディジタルの濃
度情報に変換され、この濃度情報がフレームメモリ３２
３に順次記憶されることで行われる。First, an image of the sample 100 using a standard sample as a reference for inspection is captured into the frame memory 323 (step 3).
01). This is the density of each pixel, for example, 512 pixels vertically by 512 pixels horizontally, which constitutes one screen worth of video signal input to the A/D converter 322.
For example, it is converted into digital density information of 8 bits (0 to 255), and this density information is stored in the frame memory 32.
This is done by sequentially storing the data in 3.
次いで、１ライン分の水平射影を算出する（ステップ３
０２）。ここで、水平射影とは第４図に示すように、画
素ごとの濃度を水平方向（Ｘ方向）に１ライン分加算し
たもので、水平方向の明るさを知る指数である。ちなみ
にこの値は、最も明るいとき１３０５８０ （画素数５
１２×濃度２５５）となり、最も暗いとき０ （画素数
５１２×濃度０）となる。Next, calculate the horizontal projection for one line (step 3
02). Here, as shown in FIG. 4, the horizontal projection is the addition of the density of each pixel by one line in the horizontal direction (X direction), and is an index for determining the brightness in the horizontal direction. By the way, this value is 130580 (pixel count 5) at its brightest.
12×density 255), and the darkest value is 0 (number of pixels 512×density 0).
この後、全水平ラインの水平射影が算出されたかが確認
され（ステップ３０３ ） 、全水平ラインについて水
平射影か算出されている場合、水平射影の平均値が算出
される（ステップ３０４）。なお、算出されていない場
合、次のラインの水平射影の算出が行われる（ステップ
３０２）。Thereafter, it is checked whether the horizontal projections of all the horizontal lines have been calculated (step 303), and if the horizontal projections have been calculated for all the horizontal lines, the average value of the horizontal projections is calculated (step 304). Note that if it has not been calculated, the horizontal projection of the next line is calculated (step 302).
さらに、同様にして、全垂直ラインの垂直射影が算出さ
れ、さらに垂直射影の平均値が算出され０
る（ステップ３０５．３０６．３０７ ）。Furthermore, in the same manner, the vertical projections of all vertical lines are calculated, and the average value of the vertical projections is calculated (steps 305, 306, and 307).
このようにして算出された水平射影の平均値と垂直射影
の平均値をそれぞれ予め設定されている標準値（例えば
５００００ ）と比較し、所定の許容値の範囲（例えば
±５０００）内に収まっているか否かを調べる（ステッ
プ３０８）。この結果、いずれがの・１４均値が標弗値
−５０００以下であった場合、モニタデイスプレィ３１
２上にそれぞれの標準値と測定値ならびに光量不足であ
る由の表示が行われる（ステップ３０９）。また、いず
れの平均値も許容範囲内であった場合、モニタデイスプ
レィ３１２上に光量は許容範囲内である由の表示が行わ
れる（ステップ３１Ｏ）。さらに、いずれかの平均値が
標準値＋５０００以上である場合、モニタデイスプレィ
３１２上にそれぞれの標準値と測定値ならびに光量過多
であることの表示が行われる（ステップ３１１）。The average value of the horizontal projection and the average value of the vertical projection calculated in this way are compared with a preset standard value (for example, 50,000), and are determined to be within a predetermined tolerance range (for example, ±5,000). It is checked whether there is one (step 308). As a result, if any of the 14 average values is less than the standard value -5000, the monitor display 31
2, the respective standard values and measured values as well as the reason for the insufficient light amount are displayed (step 309). If both average values are within the allowable range, a message indicating that the amount of light is within the allowable range is displayed on the monitor display 312 (step 31O). Furthermore, if any of the average values is greater than or equal to the standard value +5000, the respective standard values, measured values, and the fact that the amount of light is excessive are displayed on the monitor display 312 (step 311).
そして、これらの表示に応じて、検査者は照明光源２４
０の光量調整を行って、光量が許容範囲内となるように
調節する。例えば、光量不足てあ１す
る場合には、照明光源２４０の光量調整を操作して照明
光源２４０のランプを明るくし、光量が許容範囲内とな
るように調節する。調節によって所定の光量を得ること
ができない場合には、電球に寿命がきたものとして、電
球の交換を行う。また、光量過多である場合には、ラン
プを暗くし、光量が許容範囲内となるように調節する。Then, according to these displays, the inspector turns on the illumination light source 24.
Perform the light intensity adjustment of 0 so that the light intensity is within the allowable range. For example, if the amount of light is insufficient, the light amount adjustment of the illumination light source 240 is operated to make the lamp of the illumination light source 240 brighter, and the amount of light is adjusted to be within the allowable range. If the predetermined amount of light cannot be obtained through adjustment, the bulb is assumed to have reached the end of its lifespan and should be replaced. Further, if the amount of light is excessive, the lamp is dimmed and the amount of light is adjusted to be within a permissible range.
従って、検査を行う前に光量の点検を行うようにすれば
、照明光源２４０の光量が検査精度に及ぼす影響を小さ
く押さえることが可能となる。Therefore, by checking the amount of light before performing the inspection, it is possible to minimize the influence of the amount of light from the illumination light source 240 on the inspection accuracy.
なお、上述の実施例では、試料の明るさレベルを表すも
のとして、水平射影と垂直射影という指数を用いたが、
他の指数を用いても良い。とまた、１画面を構成する画
素数や濃度の分解能などは本実施例に限定されるもので
はなく、他の値であって構わない。In addition, in the above-mentioned example, the indices of horizontal projection and vertical projection were used to represent the brightness level of the sample.
Other indexes may also be used. Furthermore, the number of pixels constituting one screen, the density resolution, etc. are not limited to the present embodiment, and may be other values.
［発明の効果］
本発明では、記憶手段に記憶された濃度情報をもとに算
出される試料の表面の明るさの平均レベルが所定の範囲
内であるか否か判定し、その結果２
を報知する。[Effects of the Invention] In the present invention, it is determined whether the average brightness level of the surface of the sample calculated based on the concentration information stored in the storage means is within a predetermined range, and the result 2 is determined. inform.
従って、試料の表面の明るさの管理が可能となるので、
光量が検査精度に及ぼす影響を小さく押さえることが可
能となり、検査精度を向上させることができる。Therefore, it is possible to control the brightness of the sample surface.
It is possible to suppress the influence of the amount of light on inspection accuracy to a small extent, and it is possible to improve inspection accuracy.
第１図は本発明の実施例の非金属介在物の検査装置の構
成を示すブロック図、第２図はこの検査装置の画像処理
装置で行われる画像処理に係わる部分の構成を示すブロ
ック図、第３図はこの画像処理装置の光量点検の動作を
示すフローチャート、第４図は水平射影および垂直射影
を説明する図、第５図はＡＳＴＭ法による非金属介在物
の分類図、第６図は従来例の非金属介在物の検査装置の
構成を示すブロック図である。
１００・・・試料、２２０・・・光学顕微鏡、２３０・
・・ＩＴＶカメラ、２４０・・・照明光源、２６０・・
・ＸＹステージ、３１０・・情報処理装置、３１２・・
・モニタデイスプレィ、３２０・・画像処理装置、３２
１・・・制御ＣＰＵ、３２２・・・Ａ／Ｄコンバータ、
３３
２３・・・フレームメモリ、３２４・・・画像処理専用
プロセッサ、３２５−作業ＲＡＭ、３３０．３４０・・
・画像モニタ。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a nonmetallic inclusion inspection device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a portion related to image processing performed by an image processing device of this inspection device. Figure 3 is a flowchart showing the operation of light intensity inspection of this image processing device, Figure 4 is a diagram explaining horizontal projection and vertical projection, Figure 5 is a classification diagram of non-metallic inclusions according to the ASTM method, and Figure 6 is FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a conventional nonmetallic inclusion inspection device. 100... Sample, 220... Optical microscope, 230.
...ITV camera, 240...Illumination light source, 260...
・XY stage, 310... Information processing device, 312...
・Monitor display, 320...Image processing device, 32
1... Control CPU, 322... A/D converter,
33 23... Frame memory, 324... Processor dedicated to image processing, 325-Work RAM, 330.340...
・Image monitor.
Claims (1)
る撮像手段と、 前記映像信号を構成する各画素の濃度を多値化する変換
器と、 この変換器により多値化された各画素の濃度情報を記憶
する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された濃度情報をもとに前記撮像手
段により撮像された試料の表面の明るさの平均レベルを
算出する算出手段と、 前記算出手段により算出された明るさの平均レベルが所
定の範囲内であるか否か判定し、その結果を報知する報
知手段と を具備することを特徴とする非金属介在物の検査装置。(1) A microscope that magnifies a sample containing nonmetallic inclusions, an imaging means that converts the sample magnified by the microscope into a video signal, and multivalues the density of each pixel constituting the video signal. a converter; a storage means for storing density information of each pixel multivalued by the converter; and a brightness of the surface of the sample imaged by the imaging means based on the density information stored in the storage means. and a notification device that determines whether the average level of brightness calculated by the calculation device is within a predetermined range and notifies the result. An inspection device for non-metallic inclusions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2069228A JP2889931B2 (en) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | Metal material inspection method and metal material inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JP2889931B2 JP2889931B2 (en) | 1999-05-10 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08145984A (en) * | 1994-11-21 | 1996-06-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Inspection device of non-metal inclusion |
| JP2005003510A (en) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Nippon Light Metal Co Ltd | Method of measuring nonmetallic inclusions in aluminum or the like and measurement apparatus used for the same |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62298705A (en) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Linear sensor light source controlling system |
| JPS63309844A (en) * | 1987-06-12 | 1988-12-16 | Nippon Steel Corp | Inspecting device for nonmetallic inclusion |
| JPH0235342A (en) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Datsuku Eng Kk | Visual inspection method |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP2069228A patent/JP2889931B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62298705A (en) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Linear sensor light source controlling system |
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| JP2005003510A (en) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Nippon Light Metal Co Ltd | Method of measuring nonmetallic inclusions in aluminum or the like and measurement apparatus used for the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2889931B2 (en) | 1999-05-10 |
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