JPH0325912U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325912U JPH0325912U JP8386189U JP8386189U JPH0325912U JP H0325912 U JPH0325912 U JP H0325912U JP 8386189 U JP8386189 U JP 8386189U JP 8386189 U JP8386189 U JP 8386189U JP H0325912 U JPH0325912 U JP H0325912U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor section
- fluid
- capillary
- flow rate
- thin tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 5
- 230000003387 muscular Effects 0.000 claims 1
- 230000001225 therapeutic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Description
第１図は本考案による警報機能付マスフローコ
ントローラの第１実施例を示すブロツク図、第２
図は第１実施例に用いたセンサー部の信号状況を
示す図、第３図は本考案の第２実施例を示すブロ
ツク図、第４図は従来のマスフローコントローラ
のブロツク図である。 １……流入路、２……バイパス部、３……第１
センサー部、４……流出路、５……コントロール
バルブ、６……増幅回路、７……比較制御回路、
８……第２センサー部、９，１２……比較手段、
１０，１３……表示手段、１１……増幅回路。
ントローラの第１実施例を示すブロツク図、第２
図は第１実施例に用いたセンサー部の信号状況を
示す図、第３図は本考案の第２実施例を示すブロ
ツク図、第４図は従来のマスフローコントローラ
のブロツク図である。 １……流入路、２……バイパス部、３……第１
センサー部、４……流出路、５……コントロール
バルブ、６……増幅回路、７……比較制御回路、
８……第２センサー部、９，１２……比較手段、
１０，１３……表示手段、１１……増幅回路。
Claims (1)
- 流体の流入路と、この流入路の流体が流れる細
管を有する第１センサー部と、この第１センサー
部の細管の流体と並列に別けて流れる前記第１セ
ンサー部の細管と管径の異なる細管を有する第２
センサー部と、これら第１センサー部の細管およ
び第２センサー部の細管と並列に別けて流体が流
れるバイパス部と、これら第１センサー部の細管
と第２センサー部の細管とバイパス部との流体が
合流して流れる流出路と、この流出路に設けたコ
ントロールバルブと、前記第１センサー部で検出
した質量流量信号とあらかじめ設定した質療流量
設定信号とを比較制御し前記コントロールバルブ
へ駆動信号を出力する比較制御回路と、前記第１
センサー部で検出した質量流量信号と前記第２セ
ンサー部で検出した質量流量信号とを比較して比
較信号を出力する比較手段と、この比較手段の比
較信号を表示する表示手段とからなることを特徴
とする警報機能付マスルローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8386189U JPH0325912U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8386189U JPH0325912U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325912U true JPH0325912U (ja) | 1991-03-18 |
Family
ID=31631884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8386189U Pending JPH0325912U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325912U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP8386189U patent/JPH0325912U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
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