JPH03248007A

JPH03248007A - 平面の段差計測装置

Info

Publication number: JPH03248007A
Application number: JP4671390A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Fukuhara; 敏彦福原; Tatsuya Maruyama; 達也丸山; Takeyuki Saito; 斎藤　雄之
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1990-02-27
Filing date: 1990-02-27
Publication date: 1991-11-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、被計測平面上を移動する移動体に搭載した距
離センサによって移動体と被計測平面との距離を検出し
、該検出結果から上記被計測平面の段差を計測する装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来、工作機械等において直線案内の真直度と被加工物
の真直度とを共に求める技術がある（特公昭６１−３３
３６４号公報、［真直測定方法およびその装置」）この技術では、サドルを直線案内に沿って移動自在に配
設するとともに、サドルに２つの変位計（たとえばうず
電流型変位計が使用される）を移動方向に所定距離だけ
離間して取り付け、サドルを移動させ、２つの変位計で
直線案内に平行な被加工物と直線案内との距離を各移動
地点ごとに検出する。そして、２つの変位計の検出結果
に後述する所定の演算式を適用して直線案内の真直度と
被加工物の真直度とを正確に得んとするものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記技術において適用される演算式は、サドル
が上記２つの変位計の離間距離だけ移動する地点ごとの
変位計出力を使用する漸化式であり、これにより直線案
内の真直度および被加工物の真直度を求めた場合には、
分解能が２つの変位計の離間距離によって規制されると
いう難点がある。

本発明はこうした実情に鑑みてなされたものであり、上
記演算式を用いて被加工物の真直度、広くは被計測平面
の段差を従来よりもより高分解能にて求めることができ
る装置を提供しようとするものである。

〔課題を解決するための手段および作用〕そこでこの発
明では、被計測平面と平行に移動する移動体と、前記移
動体の移動方向に沿って該移動体に並設され、前記移動
体と前記被計測平面との距離を検出する２つの距離セン
サとを有し、該２つの距離センサの各出力に基づいて前
記移動体の移動ライン下における前記被計測平面の段差
を計測するようにした平面の段差計測装置において、前
記移動体がスタート地点から前記２つの距離センサの並
設距離移動する各地点ごとの前記２つの距離センサの各
出力に基づいて前記移動体の移動ライン下における前記
各地点ごとの前記被計測平面の段差を演算する第１の演
算手段と、前記スタート地点から前記並設距離離間した
地点までを所定距離ごとの複数地点に分割し、分割した
複数地点をそれぞれ前記スタート地点にして前記第１の
演算を実行する第１の演算手段実行手段とを具え、前記
第１の演算手段実行手段の実行結果に基づいて前記移動
体の移動ライン下における前記所定距離ごとの前記被計
測平面の段差を計測するようにしている。

すなわち、かかる構成によれば、第１の演算手段におい
て、移動体がスタート地点から２つの距離センサの並設
距離移動する各地点ごとの距離センサの出力に基づき前
記各地点ごとの被計測平面の段差が演算される。そして
、第１の演算手段実行手段によってスタート地点から並
設距離離間した地点までを所定距離ごとの複数地点に分
割し、該分割した複数地点を各スタート地点にして第１
の演算手段が実行される。したがって、被計測平面の段
差は、２つの距離センサの並設距離を複数に分割した位
置ごとに得られ、分解能は従来に比べてはるかに向上す
る。

また、本発明では、被計測平面と平行に移動する移動体
と、前記移動体の移動方向に沿って該移動体に並設され
、前記移動体と前記被計測平面との距離を検出する２つ
の距離センサとを有し、該２つの距離センサの各出力に
基づいて前記移動体の移動ライン下における前記被計測
平面の段差を計測するようにした平面の段差計測装置に
おいて、前記移動体がスタート地点から前記２つの距離
センサの並設距離移動する各地点ごとの前記２つの距離
センサの各出力に基づいて、前記移動体の前記各地点ご
との鉛直方向変位および前記移動体の移動ライン下にお
ける前記各地点ごとの前記被計測平面の段差をそれぞれ
演算する第１の演算手段と、前記スタート地点から前記
並設距離離間した地点までを所定距離ごとの複数地点に
分割し、分割した複数地点をそれぞれ前記スタート地点
にして前記第１の演算を実行する第１の演算手段実行手
段と、前記第１の演算手段実行手段の実行結果得られた
前記移動体の前記所定距離ごとの鉛直方向変位に基づい
てこれら所定距離ごとの鉛直方向変位をそれぞれ補正演
算する鉛直方向変位補正手段と、前記鉛直方向変位補正
手段によって演算された補正鉛直方向変位に基づいて前
記第１の演算手段実行手段の実行結果得られた前記移動
体の移動ライン下における前記所定距離ごとの前記波計
１１′Ｉｌｊ平面の段差をそれぞれ補正演算する段差補
正手段とを具えるようにしている。

すなわち、かかる構成によれば、第１の演算手段におい
て、移動体がスタート地点から２つの距離センサの並設
距離移動する各地点ごとの距離センサの出力に基づき前
記各地点ごとの移動体の鉛直方向変位および前記各地点
ごとの被計測平面の段差が演算される。そして、第１の
演算手段実行手段によってスタート地点から並設距離離
間した地点までを所定距離ごとの複数地点に分割し、該
分割した複数地点を各スタート地点にして第１の演算手
段が実行される。そして、第１の演算手段実行手段の実
行結果得られる移動体の前記所定距離ごとの鉛直方向変
位がそのまま使用されるのではなくこれら各鉛直方向変
位に基づき該鉛直方向変位が補正される。さらに補正さ
れた各補正鉛直方向変位に基づ”き第１の演算手段実行
手段の実行結果得られる移動体の移動ライン下における
前記所定距離ごとの被計測平面の段差がそれぞれ補正さ
れる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明に係る被計測平面の段差計
測装置の実施例について説明する。なお、実施例では被
計測平面として路面を想定し、路面上を走行する車両に
搭載した変位計によって路面の段差を計測する場合につ
いて説明する。

まず、最初に本発明に適用される演算原理について説明
する。

第２図に示すように車両４の前部にはセンサ部１が配設
されている。このセンサ部１は２つの非接触型の変位計
２．３で構成されていて、これら変位計２．３は車両４
の進行方向に沿って所定距離ｄだけ離間している。変位
計２．３は、たとえばレーザ光点変位計、超音波距離計
等が使用され、路面ＲＤに向けて射出されるレーザ光、
超音波等の変位計２．３と路面ＲＤの間の往復伝播時間
を計時することにより、変位計２．３と路面ＲＤとの距
離（鉛直方向）、つまり車両４と路面ＲＤとの相対距離
を検出する。

そこで、いま車両４が矢印に示すように図面左方に進行
したものとすると、第１図に概念的に示すようにセンサ
部１は、スタート地点から上記センサの並設距離ｄだけ
移動するごとに車両４のピッチング等の影響に起因して
状態２０ｏ（スタート地点）、２０１．２０２．２０３
．２０４・・・のごとく上下方向に揺動しつつ、両変位
計２．３によって上記相対距離を検出する。ここで、セ
ンサ部１の鉛直方向変位、路面ＲＤの鉛直方向変位を下
方向をプラス極性としてそれぞれｘ、ｙ、そして変位計
２．３の出力（たとえば電圧値）をそれぞれ■９、ＶＢ
、さらに変位計２．３により得られる上記相対距離をそ
れぞれＦＡ　　（ＶＡ　）　、ＦＢ（ＶＢ）とすると、
スタート地点から並設距離ｄずつ離間した地点の順番を
示す番号を添字ｋ　（１，２，３・・・）として、これ
らの間には下記（１）〜（４）式の関係が成立する。

ＦＡ　　（ＶＫＡ）　　ＦＡ　　（ＶＯＡ）　−ＹＫ　
−ＸＫ・・・（１）Ｆａ　　（ＶＫＢ）　　ＦＢ　　（ＶＯＲ）　−Ｙ）［
＋１　　Ｙ＋−Ｘに・・・（２）ゆえに、Ｘｘ　　−ＦＡ　　（ＶｌＡ）　　　ＦＡ　　（ＶＫＡ
）＋ＦＢ　　（Ｖ（Ｋ−１１Ｂ）　　Ｆｌｌ　　（Ｖｏ
ｓ）　＋Ｘｘ−＋＋Ｘ、・・・（３）ＹＫ　　−ＸＫ　　＋　Ｆ　Ａ　　（ＶＫＡ）　　−Ｆ
　Ａ　　（ＶＯＡ）・・・（４）したがって、変位計２．３の出力ＶＫＡ、ＶＫＢを上記
（３）、（４）式に順次代入することにより路面ＲＤの
鉛直方向変位ＹＫが順次求まることになる。なお、同時
にセンサ部１の鉛直方向変位Ｘ８も順次求められる。

上記演算式によって得られる路面ＲＤの鉛直方向変位Ｙ
Ｘをプロ・ン卜すると、第２図のＰＦ″：こ示すような
プロフィールが得られる。ここｔこ、実際の路面ＲＤの
プロフィールと比較すると、分解能が低いことがわかる
。これは、上記演算式では、両変位計２．３の並設距離
ｄごとにしか変位データＹＫを得ることができないこと
から明らかである。

そこで、実施例では上記演算式を基本的に使用すること
で、より高精細な路面ＲＤのプロフィルを得ようとする
ものである。

第３図に実施例装置のブロック図を示す。なお、変位計
２．３は、第２図と同様に車両４に搭載され、両変位計
２．３の並設距離ｄは１００ｍｍであるものとする。変
位計２．３はレーザ光点変位計の使用を想定している。

そして同図の実施例装置は車両４に搭載されているもの
とする。

第３図に示すように変位計２．３の出力ＶＫＡ、ＶＫＢ
はドライバ５．６を介してデータプロセッサ７のデータ
変換・抽出部８に出力される。加速度センサ１３は車両
４の加速度を検出するものてあり、検出結果はマーカ９
に出力され、データ変換・抽出部８に、車両４が段差計
測終了地点まで到達したことを示すデータ取得終了信号
を出力する。

距離計１４はたとえば車両４の車輪に付設されたエンコ
ーダであり、スタート地点からの車両４の進行距離に応
じたクロックパルス数をＣＰＵＩ　１ニ出力する。ＣＰ
ＵＩＩはデータ変換・抽出部８、メモリ１０、フロッピ
ディスク１２等を制御するものであり、距離計１４から
の入力クロツシエくルスに基づき進行距離１ｍｍごとの
タイミングでデータ変換・抽出部８に対して変位計２．
３の出力Ｖ　ＫＡ、　Ｖ　）（Ｂを取得するための信号
を出力する。このため、データ変換・抽出部８は進行距
離１ｍｍごとのサンプリング周期で変位計２．３の出力
Ｖ□、Ｖ）（Ｂを取得し、これら取得データに電圧／距
離の工学単位変換等を施し、相対距離Ｆ　Ａ　　（Ｖ　
ＸＡ）Ｆｅ　　（ＶＫＢ）を求める。ここに、変位計と
しては一般的には車両４と路面ＲＤとの距離を検出する
ものとして多種類のものがあるが、レーザ光点変位計、
超音波距離計等で代表されるように、近時のセンサは高
応答のものが多く、これら変位計を使用すれば、例えば
この実施例のように車両４がたとえば５０　ｋ　ｍ　／
　ｈ以上の高速で走行したとしても、両変位計２．３の
並設距離ｄ（１００ｍｍ）以下の間隔（１ｍｍ）ごとの
連続的なデータ取得が可能である。

メモリ１０は必要に応じてＣＰＵＩＩの内部記憶処理を
行い、ＣＰＵＩＩは最終的にスタート地点から上記デー
タ取得終了信号出力時点までの１ｍｍ間隔ごとの相対距
離データＦＡ　（■に＾）、ＦＢ　　（ＶＫＢ）をフロ
ッピディスク１２に記憶、格納する。フロッピディスク
１２の記憶内容はオフラインにて解析・処理部１５に伝
送され、この解析・処理部１５において以下のような演
算処理が実行される。

１）スタート地点から両変位計２．３の並設距離ｄ　（
１００ｍｍ）離間した地点まで１０分割し、これらスタ
ート地点からそれぞれ１０ｍｍ、２０ｍｍ、・・・１０
０ｍｍ離間した合計１０の地点をそれぞれ前記第（１）
〜（４）式におけるスタート地点にしてこれら式を適用
する。この際、各スタート地点、つまり１０ｍｍ地点、
・・・　１００ｍｍ地点における相対距離データＦＡ（
ＶＫＡ）、ＦＢ（Ｖ　ＫＢ）は、それぞれＯｍｍ地点か
ら１０ｍｍ地点までの１ｍｍごとの取得相対距離データ
の平均値、・・・　９０ｍｍから１００ｍｍまでの同平
均値とする。

２）たとえば１０ｍｍ地点をスタート地点にして前記第
（１）〜（４）式を適用する場合には、スタート地点（
１０ｍｍ）から１００ｍｍずつ離間した１　１０ｍｍ地
点、２１０ｍｍ地点、・・・における相対距離データＦ
Ａ　　（ＶＫＡ）　、ＦＢ　　（ＶＫＲ）　ハ、同様に
それぞれ１００ｍｍ地点から１１０ｍｍ地点までの１ｍ
ｍごとの取得相対距離データの平均値、２００ｍｍから
２１０ｍｍまでの同平均値、・・・とする。２０ｍｍ地
点、・・・１００ｍｍ地点をスタート地点にして前記第
（１）〜（４）式を適用する場合も同様である。なお、
前記第（１）〜（４）式における初期値Ｘ、は各スター
ト地点ごとに所要の値として予め与えておくものとする
。

なお、また平均値の替りに中央値、つまり１００ｍｍ地
点から１１０ｍｍ地点までであれば、１０５ｍｍの相対
距離データを使用するような実施もまた可能である。

３）こうして１０ｍｍ間隔ごとに各スタート地点を設定
してそれぞれ前記第（１）〜（４）式を適用し、１００
ｍｍ間隔ごとの路面ＲＤの鉛直方向変位ＹＫ（（４）式
）が求まったならば、データＹ、を１０ｍｍ間隔ごとに
並べて、たとえば横軸を車両４のスタート地点からの進
行距離、縦軸を路面ＲＤの鉛直方向変位Ｙ、として、所
要の表示装置に表示したり、出力例に示すようにプリン
タにてプリントアウトする。なお、この実施例では１０
ｍｍごとのデータを得るようにしているが、スタート地
点を１ｍｍごとに１００個設定して、１ｍｍごとの変位
データを取得するような実施もまた可能である。

この実施例によって得られる路面ＲＤのプロフィールは
理論的には第２図のＰＦに示すように、従来プロフィー
ルＰＦ−に比べてより高精細化され、実際の路面ＲＤの
形状により忠実化していることががわかる。

第６図はスタート地点を一点とし、１００ｍｍ間隔ごと
に鉛直方向変位Ｙにを得る従来技術の出力結果であり、
第７図は上述した実施例の技術による出力結果を示す。

なお、実験のため計測対象は角型の板である。第６図（
ｂ）、第７図（ｂ）はそれぞれ第６図（ａ）、第７図（
ａ）の８ｍ〜１６ｍ区間プロフィールをより詳細に示し
ている。

これら図から明らかなように第７図の実施例のものは従
来のものよりも高精細化が達成されているものの、同図
に示すように１００ｍｍ間隔を一周期として変位データ
の発振現象が見られる。これは、主に前記（１）〜（４
）式で与える初期値に問題があると考えられるが、こう
した発振現象を抑えることができる実施例について以下
説明する。

すなわち、第３図の解析・処理部１５では第５図に示す
ような処理が実行される。以下、第４図の概念説明図を
併せ参照して説明する。

まず、車両４のスタート地点から１ｍｍ間隔ごトノ相対
距離チー９ＦＡ　　（ＶＫＡ）　、ＦＢ　　（ＶＫＢ）
が読み込まれ（ステップ１０１）、上記１）　、２）と
同様にして１０のスタート地点を設定してそれぞれ前記
（１）〜（４）式を適用し、１００ｍｍ間隔ごとの車両
変位Ｘに、路面変位ＹＫを得る。

ここに、１０ｍｍ地点、・・・　１００ｍｍ地点を各ス
タート地点として得られる車両変位ＸＫを示すラインを
第４図にそれぞれＬｌ、・・・Ｌｌｏ（以下、これらを
車両候補線群という）にて概念的に示す。

なお、同図におけるシロマル印は前記（１）〜（４）式
から得られる１００ｍｍ間隔ごとの車両変位ＸＫをプロ
ットしたものである。同様にして路面変位に関しても１
０のライン（以下、これらを路面候補線群という）が得
られることになる（ステップ１０２）。

そこで、つぎに上記得られた車両候補線群の平均値を１
０ｍｍ間隔ごとに演算する。すなわち同図に示すように
１０ｍｍ間隔ごとの各地点！１．１２、・・・１１０に
おいてラインＬ１〜ＬＩＯ上の変位値（シロマル印また
はバラ印で示す）を平均する。こうして、同図にクロマ
ル印で示す平均値が順次求められ、これら平均値を連続
的に結ぶラインＬＳ（以下、これを車両基準線という）
が得られる。ここに従来は、同図に示すシロマル印を単
に連続的に結ぶことにより１０ｍｍ間隔ごとの車両変位
ＸＸを取得するようにしていたため、たとえばＰＳＱに
示すように１００ｍｍ間隔ごとに変位値の発振現象がみ
られるが、車両基準線ＬＳを導出することにより１０ｍ
ｍ間隔ごとの車両変位ＸＫが平滑化されることになる（
ステップ１０３）。

つぎに上記得られた車両基準線ＬＳと車両候補線群との
偏差を１０ｍｍ間隔ごとに演算する。すなわち、たとえ
ば地点１１．１２、・・・１１０においてラインＬ１上
の変位値（シロマル印で示す）と車両基準線ＬＳ上の変
位値（クロマル印で示す）との偏差、ラインＬ２上の変
位値（シロマル印で示す）と車両基準線ＬＳ上の変位値
（クロマル印で示す）との偏差、・・・ラインＬ１０上
の変位値（シロマル印で示す）と車両基準線ＬＳ上の変
位値（クロマル印で示す）との偏差を順次求める。

こうして１０ｍｍ間隔ごとの偏差が求められたならば、
上記ステップ１０２で得られた路面候補線群の対応する
変位値にこれを加算する処理を実行する。すなわち、た
とえば地点１１において得られた偏差であれば、ライン
Ｌ１に対応する路面候補線群のうち１０ｍｍ地点をスタ
ート地点とするラインの地点１１における路面変位値Ｙ
、に上記偏差を加算することになる。こうして１０ｍｍ
間隔ごとに路面変位ＹＫが補正される。そして、こうし
て順次求められた補正路面変位ＹＸを連続的に結ぶライ
ン（以下、これを補正路面線という）が得られる（ステ
ップ１０４）。以下、所要にノイズを除去する等の処理
が実行され、最終的に路面ＲＤのプロフィールが出力、
表示等されることになる（ステップ１０５）。

第８図は上述した処理を実行した場合における補正鉛直
方向変位ＹＫの出力結果である。なお、第６．７図と同
様に計測対象を角型の板としている。第８図（ｂ）は、
同図（ａ）の８ｍ〜１６ｍ区間プロフィールをより詳細
に示している。同図から明らかなように実施例のものは
第６図に較べて高精細化を達成しつつも、第７図でみら
れた変位データの発振現象が除去されているのがわかる
。

以上説明したように実施例によれば、路面段差計測にお
いて、変位計２．３の並設距離ｄごとの該変位計２．３
の出力に基づく路面変位演算式（（１）〜（４）式）を
スタート地点をずらして利用して、並設距離ｄよりも短
い間隔で路面変位を得るようにしたので、路面ＲＤの計
測精度が大幅に向上する。

さらに、スタート地点をずらして得られる車両候補線群
に基づき車両基準線を導出し、この導出した車両基準線
に基づき路面候補線群を補正して、並設距離ｄよりも短
い間隔の路面変位を得るようにしたので、路面ＲＤの計
測精度が大幅に向上するとともに、平滑化された路面Ｒ
Ｄのプロフィルを得ることができる。

なお、実施例では車両候補線群に基づき車両基準線を導
出し、この導出した車両基準線に基づき路面候補線群を
補正する場合、車両候補線群の平均値を求めて車両基準
線を導出し、車両基準線と車両候補線群との偏差を路面
候補線群に加算して該路面候補線群を補正するようにし
ているが、上記平均値、上記偏差および上記加算処理に
限定されることなく路面候補線群を補正する演算方法は
任意である。

なおまた、実施例では、路面ＲＤの段差を一次元的に求
めるようにしているが、たとえば車両４の前部に進行方
向と垂直にセンサ部１を複数曲べて、路面ＲＤの段差を
２次元的に求める実施も可能である。

また、実施例では路面段差計測を想定しているが、これ
に限定されることなく、変位計が移動しながら被計測平
面を計測するあらゆる分野、たとえば以下の分野に適用
可能である。

・レーダ開口合成・海中ソナー（海の波の影響）・鉄道レールの計測・工作機械の加工精度〔発明の効果〕以上説明したように本発明によれば、被計測平面の計測
精度が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る平面の段差計測装置の原理を説
明するために用いた説明図、第２図は、実施例の路面段
差計測の様子を示す側面図、第３図は、第２図に示す車
両に搭載されるとされる実施例装置を概念的に示すブロ
ック図、第４図は、実施例における演算処理を説明する
ために用いた図、第５図は、第３図に示す解析・処理部
で実行される手順の一例を示すフローチャート、第６図
は、従来技術による被測定平面のプロフィールを示す図
、第７図は、実施例による被測定平面のプロフィールを
示す図、第８図は、他の実施例による被測定平面のプロ
フィールを示す図である。１・・・センサ部、２．３・・・変位計、４・・・車両
、１４・・・距離計、１５・・・解析・処理部。第１図第２図第４図（ｍｍ）第７図第８図詞

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被計測平面と平行に移動する移動体と、前記移動
体の移動方向に沿って該移動体に並設され、前記移動体
と前記被計測平面との距離を検出する２つの距離センサ
とを有し、該２つの距離センサの各出力に基づいて前記
移動体の移動ライン下における前記被計測平面の段差を
計測するようにした平面の段差計測装置において、前記移動体がスタート地点から前記２つの距離センサの
並設距離移動する各地点ごとの前記２つの距離センサの
各出力に基づいて前記移動体の移動ライン下における前
記各地点ごとの前記被計測平面の段差を演算する第１の
演算手段と、前記スタート地点から前記並設距離離間した地点までを
所定距離ごとの複数地点に分割し、分割した複数地点を
それぞれ前記スタート地点にして前記第１の演算を実行
する第１の演算手段実行手段とを具え、前記第１の演算手段実行手段の実行結果に基づ
いて前記移動体の移動ライン下における前記所定距離ご
との前記被計測平面の段差を計測するようにしたことを
特徴とする平面の段差計測装置。
（２）被計測平面と平行に移動する移動体と、前記移動
体の移動方向に沿って該移動体に並設され、前記移動体
と前記被計測平面との距離を検出する２つの距離センサ
とを有し、該２つの距離センサの各出力に基づいて前記
移動体の移動ライン下における前記被計測平面の段差を
計測するようにした平面の段差計測装置において、前記移動体がスタート地点から前記２つの距離センサの
並設距離移動する各地点ごとの前記２つの距離センサの
各出力に基づいて、前記移動体の前記各地点ごとの鉛直
方向変位および前記移動体の移動ライン下における前記
各地点ごとの前記被計測平面の段差をそれぞれ演算する
第１の演算手段と、前記スタート地点から前記並設距離離間した地点までを
所定距離ごとの複数地点に分割し、分割した複数地点を
それぞれ前記スタート地点にして前記第１の演算を実行
する第１の演算手段実行手段と、前記第１の演算手段実行手段の実行結果得られた前記移
動体の前記所定距離ごとの鉛直方向変位に基づいてこれ
ら所定距離ごとの鉛直方向変位をそれぞれ補正演算する
鉛直方向変位補正手段と、前記鉛直方向変位補正手段に
よって演算された補正鉛直方向変位に基づいて前記第１
の演算手段実行手段の実行結果得られた前記移動体の移
動ライン下における前記所定距離ごとの前記被計測平面
の段差をそれぞれ補正演算する段差補正手段とを具える
ようにしたことを特徴とする平面の段差計測装置。