JPH03233986A - 端面励起型固体レーザー発振器 - Google Patents
端面励起型固体レーザー発振器Info
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- JPH03233986A JPH03233986A JP2927590A JP2927590A JPH03233986A JP H03233986 A JPH03233986 A JP H03233986A JP 2927590 A JP2927590 A JP 2927590A JP 2927590 A JP2927590 A JP 2927590A JP H03233986 A JPH03233986 A JP H03233986A
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- 239000007787 solid Substances 0.000 title description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- ZBWBYBYOJRDPDE-UHFFFAOYSA-K potassium titanium(4+) phosphate Chemical compound P(=O)([O-])([O-])[O-].[Ti+4].[K+] ZBWBYBYOJRDPDE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、端面励起型固体レーザー発振器に関する。
本発明は、レーザーロッドの両端面のうち少なくとも一
方がポンピング光による発熱に基づく収差を補正し得る
曲率の球面とされて成るようにして、ポンピング光によ
って発生する熱収差を確実に補正できると共に、大出力
のレーザー光を得ることができるようにしたものである
。
方がポンピング光による発熱に基づく収差を補正し得る
曲率の球面とされて成るようにして、ポンピング光によ
って発生する熱収差を確実に補正できると共に、大出力
のレーザー光を得ることができるようにしたものである
。
従来、固体レーザー発振器のレーザー媒質にはＮｄ：Ｙ
ＡＧ＜ネオジウム：イツトリウム・アルミニウム・ガー
ネット）が多く使用されている。又、このレーザー媒質
の形状は通常円柱形で、レーザーロッドと称されている
。又、このＮｄ： Ｙ Ａ Ｇを使用した固体レーザー
発振器によれば、比較的容易に高光出力のレーザービー
ムを得ることができる。以下に、第５図を参照して、従
来のレーザーロッドが使用されている固体レーザー発振
器について説明する。
ＡＧ＜ネオジウム：イツトリウム・アルミニウム・ガー
ネット）が多く使用されている。又、このレーザー媒質
の形状は通常円柱形で、レーザーロッドと称されている
。又、このＮｄ： Ｙ Ａ Ｇを使用した固体レーザー
発振器によれば、比較的容易に高光出力のレーザービー
ムを得ることができる。以下に、第５図を参照して、従
来のレーザーロッドが使用されている固体レーザー発振
器について説明する。
（１）は光源で、大出力のグリーンレーザー光を得るた
めにレーザーダイオードＬ１〜Ｌ７ と、これらに光学
的に接続されたオプチカルファイバＦ。
めにレーザーダイオードＬ１〜Ｌ７ と、これらに光学
的に接続されたオプチカルファイバＦ。
〜Ｆ７ から成る。そして、各レーザーダイオードＬ１
〜Ｌ７ からのレーザー光がオプチカルファイバＦ、〜
Ｆ７を通り、これらオプチカルファイバＦ１〜Ｆ７がバ
ンドルされたファイババンドルＦの先端より、出射され
る。この光源（１）からの例えば波長が８０８ｎｍのレ
ーザービーム、即ち、励起光（ポンピング光）は、凸レ
ンズ（２）を介して、共振器（３）の凹面鏡（４）の背
面に入射する。この凹面鏡（４）はグイクロイックミラ
ーと成っているので、レーザーダイオード（１）から凸
レンズ（２）を介して供給される波長が８０８ｎｍの励
起光だけを通過させ、共振器（３）内を往復進行する光
を反射する。
〜Ｌ７ からのレーザー光がオプチカルファイバＦ、〜
Ｆ７を通り、これらオプチカルファイバＦ１〜Ｆ７がバ
ンドルされたファイババンドルＦの先端より、出射され
る。この光源（１）からの例えば波長が８０８ｎｍのレ
ーザービーム、即ち、励起光（ポンピング光）は、凸レ
ンズ（２）を介して、共振器（３）の凹面鏡（４）の背
面に入射する。この凹面鏡（４）はグイクロイックミラ
ーと成っているので、レーザーダイオード（１）から凸
レンズ（２）を介して供給される波長が８０８ｎｍの励
起光だけを通過させ、共振器（３）内を往復進行する光
を反射する。
（５）はレーザーロッド（Ｎｄ：ＹＡＧ）で、励起光が
このレーザーロッド（５）に入射すると、その端面付近
の例えば直径７００μｍの狭い領域が選択的に励起され
て、波長が１１０６４ｎの赤外光が発生する。
このレーザーロッド（５）に入射すると、その端面付近
の例えば直径７００μｍの狭い領域が選択的に励起され
て、波長が１１０６４ｎの赤外光が発生する。
（６）はＫＴＰ （チタンリン酸カリウム）から成る一
辺が略５ｎ＋ｍの直方体の非線形光学素子で、入射光に
より発生する非線形分極を利用して、光の周波数変換を
行う。この光学素子（６）に１１０６４ｎの光が入射す
ると、その１／２の波長、即ち５３２ｎｍの波長の光が
出射する。
辺が略５ｎ＋ｍの直方体の非線形光学素子で、入射光に
より発生する非線形分極を利用して、光の周波数変換を
行う。この光学素子（６）に１１０６４ｎの光が入射す
ると、その１／２の波長、即ち５３２ｎｍの波長の光が
出射する。
（７）はグイクロイックミラーと成っている凹面鏡で、
波長が５３２ｎｍの光の一部を通過させる。
波長が５３２ｎｍの光の一部を通過させる。
凹面鏡（４）及び（７）間、即ち、共振器（３）内を往
復進行し、レーザー媒質により増幅された強い波長が１
１０６４ｎの赤外光中に、光学素子（６）がおかれ、高
効率で周波数変換が行なわれるので、波長５３２ｎｍの
数ｌＱｍＷ〜ＩＷのレーザー光が出力される。
復進行し、レーザー媒質により増幅された強い波長が１
１０６４ｎの赤外光中に、光学素子（６）がおかれ、高
効率で周波数変換が行なわれるので、波長５３２ｎｍの
数ｌＱｍＷ〜ＩＷのレーザー光が出力される。
第６図Ａ、Ｂは、レーザーロッド（５）のタンジェンシ
ャル方向及びサジタル方向における軸上波面収差を示す
。Ｘ軸は輪帯光線の半径上の位置を示し、ｙ軸は波長（
λ）を単位とした波面収差を示している。第６図Ａ及び
Ｂから明らかなように、輪帯光線の半径上の位置が０．
６ｍｍに近づくにつれて、波面収差が大と成り、Ｑ、
５ｍｍに達すると、波面収差は約０．１λと成る。これ
は、輪帯光線が共振器（３）内を伝播する毎に約０．１
２の波面収差が発生することを示している。
ャル方向及びサジタル方向における軸上波面収差を示す
。Ｘ軸は輪帯光線の半径上の位置を示し、ｙ軸は波長（
λ）を単位とした波面収差を示している。第６図Ａ及び
Ｂから明らかなように、輪帯光線の半径上の位置が０．
６ｍｍに近づくにつれて、波面収差が大と成り、Ｑ、
５ｍｍに達すると、波面収差は約０．１λと成る。これ
は、輪帯光線が共振器（３）内を伝播する毎に約０．１
２の波面収差が発生することを示している。
上述のような波面収差が発生する原因として、レーザー
ロッド（５）の発熱が上げられる。この熱収差は、励起
光の一部が熱に変換され、レーザーロッド（５）内の温
度分布が不均一と成り、その結果、レーザーロッド（５
）内の屈折率分布が不均一となることにより発生する。
ロッド（５）の発熱が上げられる。この熱収差は、励起
光の一部が熱に変換され、レーザーロッド（５）内の温
度分布が不均一と成り、その結果、レーザーロッド（５
）内の屈折率分布が不均一となることにより発生する。
特に、レーザーダイオード等による端面励起型固体レー
ザーにおいては、励起光の強度分布が固体レーザー共振
器の基本横モードになるべく一致するように、レーザー
ロッド〔５）の端部に近い例えば直径が７００μｍの円
形の狭い領域が選択的に励起されるようにしている。従
って、レーザーロッド（５）内が比較的複雑な温度分布
と成る。これを補正するには、別体の非球面素子等を使
用すれば良い。
ザーにおいては、励起光の強度分布が固体レーザー共振
器の基本横モードになるべく一致するように、レーザー
ロッド〔５）の端部に近い例えば直径が７００μｍの円
形の狭い領域が選択的に励起されるようにしている。従
って、レーザーロッド（５）内が比較的複雑な温度分布
と成る。これを補正するには、別体の非球面素子等を使
用すれば良い。
又、フラッシニランプによる側面励起型固体レーザーに
おいては、レーザーロッドは均一な励起が行なわれるの
でロンドの長さ方向に−様な、回転放物面型の温度分布
と屈折率変化が発生するが、この場合は、波面収差が発
生しないので、単純に共振器の内の凹面鏡の移動や球面
レンズの挿入によって、レーザーロッドのレンズパワー
（正のパワー）を相殺すればよい。このような熱レンズ
を補正する凹レンズ作用をつくる目的でレーザーロッド
の端面の一方、或は両方に凹面加工したレーザーロッド
が次に記す刊行物に記載されている。
おいては、レーザーロッドは均一な励起が行なわれるの
でロンドの長さ方向に−様な、回転放物面型の温度分布
と屈折率変化が発生するが、この場合は、波面収差が発
生しないので、単純に共振器の内の凹面鏡の移動や球面
レンズの挿入によって、レーザーロッドのレンズパワー
（正のパワー）を相殺すればよい。このような熱レンズ
を補正する凹レンズ作用をつくる目的でレーザーロッド
の端面の一方、或は両方に凹面加工したレーザーロッド
が次に記す刊行物に記載されている。
Ｃ１ｔｅｄ ｉｎ Ｗ ＩＫｏｅｃｈｎｅｒ ｅｄ、
：“５ｏｌｉｄ−３ｔａｔｅ ＬａｓｅｒＢｎｇｉｎｅ
ｅｒｉｎｇ”（Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ、 ２
ｎｄ ｅｄ、 、 １９８８）。
：“５ｏｌｉｄ−３ｔａｔｅ ＬａｓｅｒＢｎｇｉｎｅ
ｅｒｉｎｇ”（Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ、 ２
ｎｄ ｅｄ、 、 １９８８）。
Ｐ−３６６、（ダブリュ・ケヒナーによる編集： “ソ
リッド−ステートレーザーエンジニアリンク”（スブリ
ンガーーフェアラーク、第２版、 １９８８）、 ３６
６ページ） １、 ＬｌＭ、０ｓｔｅｒｉｎｋ、 Ｊ、Ｄ、Ｆ
ｏｓｔｅｒ：Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔ。
リッド−ステートレーザーエンジニアリンク”（スブリ
ンガーーフェアラーク、第２版、 １９８８）、 ３６
６ページ） １、 ＬｌＭ、０ｓｔｅｒｉｎｋ、 Ｊ、Ｄ、Ｆ
ｏｓｔｅｒ：Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔ。
１２、１２８（１９６ｇ）；
（１，エル・エム・オスドリンク及びジェー・デイ−・
フォスター：ジャーナル・オブ・アプライドフィジック
ス・１２．１２８ （１９６８） ； ）２、Ｎ、Ｂａ
ｒｎｅｓ、 Ｓ、Ｊ、５ｃａ１ｉｓｅ：Ａｐｐｌ、Ｏｐ
ｔ、１７．１５３７（１９７ｇ）。
フォスター：ジャーナル・オブ・アプライドフィジック
ス・１２．１２８ （１９６８） ； ）２、Ｎ、Ｂａ
ｒｎｅｓ、 Ｓ、Ｊ、５ｃａ１ｉｓｅ：Ａｐｐｌ、Ｏｐ
ｔ、１７．１５３７（１９７ｇ）。
（２，エヌ・バーンズ及びニス・ジェー・スカライズ：
ジャーナル・オブ・アプライド・１７．１５３７（１９
７８）、 ） 〔発明が解決しようとする課題〕 上述から明らかなように、端面励起型固体レーザー発振
器においては、共振器内を往復進行する光がポンピング
光による発熱により、その内部が不均一な屈折率分布と
成っているレーザーロッドを通過するとき発生する収差
は、単純な共振器内の凹面鏡の移動や、球面レンズの挿
入によって補正することが困難である。又、汎用光学設
計プログラム等によるシミュレーションによれば、例え
ば、上述の収差は、回転双曲面を有する非球面光学素子
によって補正することが可能である。しかし、非球面光
学素子は加工が困難であり、特に、低散乱、高精度が要
求される共振器内にて用いるのは著しく困難である。
ジャーナル・オブ・アプライド・１７．１５３７（１９
７８）、 ） 〔発明が解決しようとする課題〕 上述から明らかなように、端面励起型固体レーザー発振
器においては、共振器内を往復進行する光がポンピング
光による発熱により、その内部が不均一な屈折率分布と
成っているレーザーロッドを通過するとき発生する収差
は、単純な共振器内の凹面鏡の移動や、球面レンズの挿
入によって補正することが困難である。又、汎用光学設
計プログラム等によるシミュレーションによれば、例え
ば、上述の収差は、回転双曲面を有する非球面光学素子
によって補正することが可能である。しかし、非球面光
学素子は加工が困難であり、特に、低散乱、高精度が要
求される共振器内にて用いるのは著しく困難である。
かかる点に鑑み、本発明は励起光によって発生する熱収
差を確実に補正できると共に、大出力のレーザー光を得
ることのできる端面励起型固体レーザー発振器を提案し
ようとするものである。
差を確実に補正できると共に、大出力のレーザー光を得
ることのできる端面励起型固体レーザー発振器を提案し
ようとするものである。
本発明は、レーザーロッド（５）の両端面のうち少なく
とも一方がポンピング光による熱収差を補正し得る曲率
の球面とされて成るものである。
とも一方がポンピング光による熱収差を補正し得る曲率
の球面とされて成るものである。
上述せる本発明によれば、レーザーロッド（５）の端面
が球面とされていることによって、ポンピング光による
熱収差が補正される。
が球面とされていることによって、ポンピング光による
熱収差が補正される。
以下に、第１図を参照して本発明による端面励起固体レ
ーザー発振器について詳細に説明する。
ーザー発振器について詳細に説明する。
先ず、第１図Ａについて説明するも、第５図について説
明した端面励起型固体レーザー発振器と対応する部分に
は同一番号を付してその重複説明は省略する。
明した端面励起型固体レーザー発振器と対応する部分に
は同一番号を付してその重複説明は省略する。
第１図Ａに示した端面励起型固体レーザー発振器は、第
５図について説明した端面励起型固体レーザー発振器と
その構成は同じであるが、レーザーロッド（５）の形状
が異なる。即ち、第５図に示したレーザーロッド（５）
の両端面は平面であるのに対し、第２図Ａに示すレーザ
ーロッド（５）の両端面は夫々球面と成っている。第２
図Ｂは、そのレーザーロッド（５）の拡大図である。
５図について説明した端面励起型固体レーザー発振器と
その構成は同じであるが、レーザーロッド（５）の形状
が異なる。即ち、第５図に示したレーザーロッド（５）
の両端面は平面であるのに対し、第２図Ａに示すレーザ
ーロッド（５）の両端面は夫々球面と成っている。第２
図Ｂは、そのレーザーロッド（５）の拡大図である。
次に、上述のように、レーザーロッド（５）の両端面を
夫々球面とした理由について第４図を参照して説明する
。
夫々球面とした理由について第４図を参照して説明する
。
第４図は、レーザーロッド（Ｎｄ： Ｙ Ａ Ｇ ”）
（５）の直径を３ｍｍ、長さを５ｍｍとし、その吸収
係数、熱伝導係数及び屈折率温度係数を夫々０．６ｍ＋
＋ｒ’。
（５）の直径を３ｍｍ、長さを５ｍｍとし、その吸収
係数、熱伝導係数及び屈折率温度係数を夫々０．６ｍ＋
＋ｒ’。
０、０１３Ｗ／ｍｍ ｄｅｇ及び７．３ ｘｌＯ−６ｄ
ｅｇ−’とし、且つ、励起条件として、開口数０．２（
但し、空気中）で収束する一様強度分布を有するポンピ
ング光（励起光）が、ロッド端面付近で約７００μｍの
直径を有し、そのロッド内で発生する総発熱量を３．５
Ｗとしたときの、選択的励起により発生する温度分布を
数値解析により求めた結果を示したものである。
ｅｇ−’とし、且つ、励起条件として、開口数０．２（
但し、空気中）で収束する一様強度分布を有するポンピ
ング光（励起光）が、ロッド端面付近で約７００μｍの
直径を有し、そのロッド内で発生する総発熱量を３．５
Ｗとしたときの、選択的励起により発生する温度分布を
数値解析により求めた結果を示したものである。
この第４図において、ｙ軸はレーザーロッド（５）の半
径（ｍｍ）を示し、ｙ軸は入力パワーで規格化された温
度上昇（ｄｅｇ／ｗａｔｔ）を示す。各曲線はＺ軸に垂
直な断面内の温度分布で、０．２ （ｍｍ） 毎、即ち
、Ｚ ＝０．０．２．０．４． ＝ ＝（ｍｍ） １．
ニオケルモノ１：対応する。この温度分布によって、固
体レーザー材料、即ち、Ｎｄ：ＹＡＧ（レーザーロッド
）の屈折率温度係数を乗じた、不均一屈折率分布が誘起
される。
径（ｍｍ）を示し、ｙ軸は入力パワーで規格化された温
度上昇（ｄｅｇ／ｗａｔｔ）を示す。各曲線はＺ軸に垂
直な断面内の温度分布で、０．２ （ｍｍ） 毎、即ち
、Ｚ ＝０．０．２．０．４． ＝ ＝（ｍｍ） １．
ニオケルモノ１：対応する。この温度分布によって、固
体レーザー材料、即ち、Ｎｄ：ＹＡＧ（レーザーロッド
）の屈折率温度係数を乗じた、不均一屈折率分布が誘起
される。
さて、有限要素法を用いて、熱解析を行うと、光軸に垂
直な平面内で最大３５ｄｅｇ （ｔ） の温度差が、
又、光軸方向には５３ｄｅｇ （ｔ＞ の温度差が生
じ、これより誘起される屈折率差は各々、略、２．５
Ｘｌ０−’及び４ Ｘｌ０−’と成る。これより、焦点
距離が略４００ｍｍの熱レンズが発生する。
直な平面内で最大３５ｄｅｇ （ｔ） の温度差が、
又、光軸方向には５３ｄｅｇ （ｔ＞ の温度差が生
じ、これより誘起される屈折率差は各々、略、２．５
Ｘｌ０−’及び４ Ｘｌ０−’と成る。これより、焦点
距離が略４００ｍｍの熱レンズが発生する。
上述から、第１図已に示すように、レーザーロッド（５
）の第１図Ａにおける凸レンズ（２）側の端面を例えば
５ｍｍの曲率半径（Ｒ１）を有する凸球面とし、第１図
Ａにふける光学素子（６）側の端面を例えば３ｍｍの曲
率半径（Ｒ２）を有する凹球面とし、即ち、レーザーロ
ッド（５）全体の形状を同心形に近いメニスカスレンズ
状とした。これによって、第１図已に示すように温度分
布が均一な状態で熱レンズ効果を発生させないようにで
きる。尚、中心厚は５ｍｍ、屈折率は１．８２でこのと
き焦点距離は略ＩＱｍｍと成る。
）の第１図Ａにおける凸レンズ（２）側の端面を例えば
５ｍｍの曲率半径（Ｒ１）を有する凸球面とし、第１図
Ａにふける光学素子（６）側の端面を例えば３ｍｍの曲
率半径（Ｒ２）を有する凹球面とし、即ち、レーザーロ
ッド（５）全体の形状を同心形に近いメニスカスレンズ
状とした。これによって、第１図已に示すように温度分
布が均一な状態で熱レンズ効果を発生させないようにで
きる。尚、中心厚は５ｍｍ、屈折率は１．８２でこのと
き焦点距離は略ＩＱｍｍと成る。
上述の条件で、レーザーロッド（５）をポンピングする
と、不均一な屈折率分布がロッド（５）内に発生０ するが、このとき、球面（Ｒ，及びＲ２）上の各点で屈
折率が異なるため、二つの球面（Ｒ１及びＲ２）が光学
的に非球面として作用する。
と、不均一な屈折率分布がロッド（５）内に発生０ するが、このとき、球面（Ｒ，及びＲ２）上の各点で屈
折率が異なるため、二つの球面（Ｒ１及びＲ２）が光学
的に非球面として作用する。
第３図に示すように、第６図について説明した端面励起
型固体レーザー発振器の熱収差（波面収差）が、大幅に
補正されていることがわかる。従って、一定の励起条件
では、熱収差（波面収差）を完全に補正するようにレー
ザーロッド（５）の端面の球面の曲率半径を選定するこ
とが可能であることがわかる。
型固体レーザー発振器の熱収差（波面収差）が、大幅に
補正されていることがわかる。従って、一定の励起条件
では、熱収差（波面収差）を完全に補正するようにレー
ザーロッド（５）の端面の球面の曲率半径を選定するこ
とが可能であることがわかる。
第２図は、従来の端面励起型固体レーザー発振器及び本
発明の端面励起型固体レーザー発振器のボンピングパワ
ー（相対値）に対するレーザー基本モードの回折損失（
％）を示す図である。Ｘ軸をそのボンピングパワーとし
、ｙ軸を回折損失（％）とする。尚、ボンピングパワー
１．０のときは、発熱量が３．５Ｗの規準ポンプ条件値
と成り、これは第４図について示した温度分布図と対応
する。図において従来の発振器によるデータを一点鋼線
で示し、本発明による発振器のデータを実線で示す。
発明の端面励起型固体レーザー発振器のボンピングパワ
ー（相対値）に対するレーザー基本モードの回折損失（
％）を示す図である。Ｘ軸をそのボンピングパワーとし
、ｙ軸を回折損失（％）とする。尚、ボンピングパワー
１．０のときは、発熱量が３．５Ｗの規準ポンプ条件値
と成り、これは第４図について示した温度分布図と対応
する。図において従来の発振器によるデータを一点鋼線
で示し、本発明による発振器のデータを実線で示す。
この第２図から明らかなように、例えばボンピングパワ
ーが２．０のとき、従来の発振器では、回折損失が５．
５％以上と大変大きいのに対し、本発明による発振器で
は、１．２％未満と成り、従来の発振器と比較して、本
発明による発振器が大幅に改善されていることがわかる
。
ーが２．０のとき、従来の発振器では、回折損失が５．
５％以上と大変大きいのに対し、本発明による発振器で
は、１．２％未満と成り、従来の発振器と比較して、本
発明による発振器が大幅に改善されていることがわかる
。
尚、第２図においては、ポンプジオメトリを固定し、ボ
ンピングパワーを増加させるとき、原理的に誘起される
屈折率分布の相似性が保たれるため、広いボンピング（
励起）条件の範囲で、増加する波面収差を打・ち消す効
果があることが示されている。又、このような球面加工
は、レーザーロッド（５）を例えば光学研磨することに
より容易に達成できる。又、上述の実施例において、レ
ーザーロッド（５）の両端面を球面としたが、一方が平
面でもその効果が期待できる。
ンピングパワーを増加させるとき、原理的に誘起される
屈折率分布の相似性が保たれるため、広いボンピング（
励起）条件の範囲で、増加する波面収差を打・ち消す効
果があることが示されている。又、このような球面加工
は、レーザーロッド（５）を例えば光学研磨することに
より容易に達成できる。又、上述の実施例において、レ
ーザーロッド（５）の両端面を球面としたが、一方が平
面でもその効果が期待できる。
上述せる本発明によれば、レーザーロッドの両１
２
端面のうちの少なくとも一方がポンピング光による発熱
に基づく収差を補正し得る曲率の球面とされて成るよう
にしたので、ポンピング光によって発生する熱収差を改
善に補正できると共に、大出力のレーザー光を得ること
ができる。
に基づく収差を補正し得る曲率の球面とされて成るよう
にしたので、ポンピング光によって発生する熱収差を改
善に補正できると共に、大出力のレーザー光を得ること
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示す線図、第２図はボンピ
ングパワーに対する回折損失を示すグラフ、第３図は実
施例に供する波面収差を示す図、第４図は温度分布を示
す図、第５図は従来の端面励起型固体レーザー発振器を
示す図、第６図はその従来の発振器の波面収差を示す図
である。 （５）はレーザーロッドである。
ングパワーに対する回折損失を示すグラフ、第３図は実
施例に供する波面収差を示す図、第４図は温度分布を示
す図、第５図は従来の端面励起型固体レーザー発振器を
示す図、第６図はその従来の発振器の波面収差を示す図
である。 （５）はレーザーロッドである。
Claims (1)
- レーザーロッドの両端面のうちの少なくとも一方がポン
ピング光による発熱に基づく収差を補正し得る曲率の球
面とされて成ることを特徴とする端面励起型固体レーザ
ー発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2927590A JP3074692B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 端面励起型固体レーザー発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2927590A JP3074692B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 端面励起型固体レーザー発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03233986A true JPH03233986A (ja) | 1991-10-17 |
| JP3074692B2 JP3074692B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=12271732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2927590A Expired - Fee Related JP3074692B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 端面励起型固体レーザー発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3074692B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996033538A1 (en) * | 1995-04-17 | 1996-10-24 | Coherent, Inc. | High repetition rate erbium: yag laser for tissue ablation |
| EP0822629A2 (en) * | 1996-06-19 | 1998-02-04 | ESC Medical Systems Ltd. | High power infrared laser system |
| JP2006093661A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-04-06 | Corning Inc | 波面補正光学表面を有する光学システム |
| EP2523277A1 (de) * | 2011-05-09 | 2012-11-14 | Trumpf Laser Marking Systems AG | Laser-Resonator zur Erzeugung frequenzkonvertierter Laserstrahlung |
| CN113036583A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-06-25 | 四川光天下激光科技有限公司 | 一种锥棒激光放大器 |
| EP4002609A1 (en) * | 2020-11-20 | 2022-05-25 | Advalight APS | Solid-state laser system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101986479B (zh) * | 2010-08-26 | 2012-08-01 | 大恒新纪元科技股份有限公司 | 一种全固态激光谐振腔 |
-
1990
- 1990-02-08 JP JP2927590A patent/JP3074692B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996033538A1 (en) * | 1995-04-17 | 1996-10-24 | Coherent, Inc. | High repetition rate erbium: yag laser for tissue ablation |
| US5642370A (en) * | 1995-04-17 | 1997-06-24 | Coherent, Inc. | High repetition rate erbium; YAG laser for tissue ablation |
| US5644585A (en) * | 1995-04-17 | 1997-07-01 | Coherent, Inc. | High repetition rate Eribum-YAG laser for tissue ablation |
| US6096031A (en) * | 1995-04-17 | 2000-08-01 | Coherent, Inc. | High repetition rate erbium:YAG laser for tissue ablation |
| EP0822629A2 (en) * | 1996-06-19 | 1998-02-04 | ESC Medical Systems Ltd. | High power infrared laser system |
| EP0822629A3 (en) * | 1996-06-19 | 1999-10-13 | ESC Medical Systems Ltd. | High power infrared laser system |
| JP2006093661A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-04-06 | Corning Inc | 波面補正光学表面を有する光学システム |
| EP2523277A1 (de) * | 2011-05-09 | 2012-11-14 | Trumpf Laser Marking Systems AG | Laser-Resonator zur Erzeugung frequenzkonvertierter Laserstrahlung |
| WO2012152583A1 (de) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Trumpf Laser Marking Systems Ag | Laser-resonator zur erzeugung frequenzkonvertierter laserstrahlung |
| US9362704B2 (en) | 2011-05-09 | 2016-06-07 | Trumpf Laser Marking Systems Ag | Laser resonator for generating frequency-converted laser radiation |
| EP4002609A1 (en) * | 2020-11-20 | 2022-05-25 | Advalight APS | Solid-state laser system |
| CN113036583A (zh) * | 2021-05-27 | 2021-06-25 | 四川光天下激光科技有限公司 | 一种锥棒激光放大器 |
| CN113036583B (zh) * | 2021-05-27 | 2021-08-03 | 四川光天下激光科技有限公司 | 一种锥棒激光放大器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3074692B2 (ja) | 2000-08-07 |
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|---|---|---|---|
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